JPH0821966A - Plane display and system using the same - Google Patents
Plane display and system using the sameInfo
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- JPH0821966A JPH0821966A JP6154413A JP15441394A JPH0821966A JP H0821966 A JPH0821966 A JP H0821966A JP 6154413 A JP6154413 A JP 6154413A JP 15441394 A JP15441394 A JP 15441394A JP H0821966 A JPH0821966 A JP H0821966A
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、平面型ディスプレイ、
およびそれを用いたシステムに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a flat type display,
And a system using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の機械式の偏向手段を用いた平面型
ディスプレイに関しては、『ＮＩＫＫＥＩ ＥＬＥＣＴ
ＲＯＮＩＣＳ １９９３．６．２１ （ＮＯ．５８
４）』の６５頁から６６頁に示されている。この手法
は、６５頁左端段落、４行目から６行目に『開発した投
射型ディスプレイは、可動ミラーを集積したミラーアレ
イチップを使う。』とあるように、高効率化のため、マ
イクロマシーニング型のミラーアレイチップを用いてい
る。2. Description of the Related Art Regarding the conventional flat type display using a mechanical deflecting means, "NIKKEI ELECT
RONICS 1993.6.21 (NO.58
4) ”, pp. 65 to 66. According to this method, the leftmost paragraph on page 65, lines 4 to 6, "The developed projection type display uses a mirror array chip in which movable mirrors are integrated. ], The micro-machining type mirror array chip is used for high efficiency.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上述の従来技術は投射
型であるため、投射の為の実質的な空間が必要となるた
め、装置が大型となり、またミラー反射面が小さいた
め、光源からのエネルギーが集中し、非常に高温とな
り、素子の信頼性が問題となる。Since the above-mentioned prior art is of the projection type, it requires a substantial space for projection, resulting in a large device and a small mirror reflection surface, which results in a light source from a light source. Energy is concentrated, the temperature becomes very high, and the reliability of the device becomes a problem.
【０００４】本発明の目的は、上述の課題を解決し、小
形で信頼性の高い平面型ディスプレイの新規な構造を提
供する事にある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a novel structure of a small and highly reliable flat panel display.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の課題は、光源から
の光の機械的な偏向を映像出力面で直接行うことにより
解決することができる。The above problems can be solved by directly mechanically deflecting the light from the light source on the image output surface.
【０００６】[0006]
【作用】上記の手法により、投射の為の実質的な空間が
不要となり、装置が小形となり、また光源からのエネル
ギーが集中しないため、装置が高温とならず、装置の信
頼性が確保される。According to the above method, since a substantial space for projection is not required, the apparatus is downsized, and the energy from the light source is not concentrated, the apparatus does not become hot and the reliability of the apparatus is secured. .
【０００７】[0007]
【実施例】以下、図１から図２７を用いて本発明の実施
例について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 27.
【０００８】図１（ａ）、（ｂ）に本発明の第１実施例
の平面型ディスプレイを模式的に示す。映像出力面は基
板１上にＲ，Ｇ，Ｂの光源２、光の導波路３、マイクロ
アクチュエータによる光の偏向部４が図に示すように、
それぞれ画面画素に対応する位置に配置され、映像情報
のオン（明度大）に対応した位置ではミラー５により光
は前面に反射され、散乱材７により散乱される。光散乱
部７は前面からの視野角を広げるために配置している。
散乱材としては表面処理を行ったガラス等が好ましい。
またミラー５の駆動は静電駆動用電極６により行う。即
ち、ミラー部と電極部を同電位とすれば（対地に対して
は電位差を与える）、電極６とミラー５は反発力を受け
ミラー５は起きあがり、逆に、電位差を与えれば、ミラ
ー５は下がる。これにより、光の偏向が可能となる。光
源２としては同基板上に配置された、レーザー光源とす
る事が望ましい。また、駆動部の長辺の長さは、動画に
対応できる応答速度を確保するため、１０ｍｍ以下が望
ましい。以上、本実施例によれば、光の機械的な偏向を
映像出力面で直接行うことができるため、投射の為の実
質的な空間が不要となり、装置が小形となり、また光源
からのエネルギーが集中しないため、装置が高温となら
ず、装置の信頼性が確保される。FIGS. 1 (a) and 1 (b) schematically show a flat type display according to a first embodiment of the present invention. As shown in the figure, the image output surface includes the R, G, and B light sources 2, the optical waveguide 3, and the light deflector 4 by the microactuator on the substrate 1.
Light is reflected to the front surface by the mirror 5 and scattered by the scattering material 7 at the positions corresponding to the screen pixels, respectively, at the positions corresponding to ON (high brightness) of the image information. The light scattering portion 7 is arranged to widen the viewing angle from the front surface.
As the scattering material, surface-treated glass or the like is preferable.
Further, the mirror 5 is driven by the electrostatic drive electrode 6. That is, if the mirror portion and the electrode portion have the same potential (give a potential difference with respect to the ground), the electrode 6 and the mirror 5 receive a repulsive force, and the mirror 5 rises up. Go down. This allows the light to be deflected. The light source 2 is preferably a laser light source arranged on the same substrate. In addition, the length of the long side of the drive unit is preferably 10 mm or less in order to ensure a response speed that can handle moving images. As described above, according to the present embodiment, since the mechanical deflection of light can be directly performed on the image output surface, a substantial space for projection is not required, the device becomes compact, and the energy from the light source is reduced. Since the device is not concentrated, the temperature of the device does not rise and the reliability of the device is ensured.
【０００９】図２は本発明の第２実施例の１部を示して
いる。ミラー部８は光の反射面を荒らすことにより、光
を乱反射させている。実施例１では視野角拡大のため、
散乱部７が必要であったが、本実施例によれば、ミラー
面自体が散乱機能もかね備えているため、装置が小型と
なる。FIG. 2 shows a part of a second embodiment of the present invention. The mirror portion 8 diffuses the light by roughening the light reflection surface. In the first embodiment, since the viewing angle is expanded,
Although the scattering unit 7 was required, according to the present embodiment, the mirror surface itself also has a scattering function, so that the device becomes compact.
【００１０】図３は本発明の第３実施例の１部を示して
いる。基板１２上に加熱用電極１１とミラー部１０が配
置されている。加熱用電極１１は端子９、９’間に電流
を流すことにより加熱され、、ミラー部１０は熱応力に
より変形を受け、同図（ｂ）の用に変形する。電流を停
止すれば、素子の大きさが小さいため、熱容量が小さ
く、非常に速い速度で元の状態（同図（ａ））に戻る。
実施例１では静電駆動原理を用いていたため、素子の駆
動にはかなり大きな電圧（１００Ｖ〜数ＫＶ）が必要と
なり、漏電等に対する安全対策が必要であった。しか
し、本実施例では、数１００ｍＡ程度の電源で駆動が可
能なため、安全対策等が不要である。FIG. 3 shows a part of a third embodiment of the present invention. The heating electrode 11 and the mirror portion 10 are arranged on the substrate 12. The heating electrode 11 is heated by passing an electric current between the terminals 9 and 9 ', and the mirror portion 10 is deformed by thermal stress and is deformed as shown in FIG. If the current is stopped, the size of the element is small, so the heat capacity is small, and the device returns to its original state ((a) in the same figure) at a very high speed.
Since the electrostatic drive principle was used in Example 1, a considerably large voltage (100 V to several KV) was required to drive the element, and a safety measure against leakage or the like was required. However, in this embodiment, since it can be driven by a power supply of about several hundred mA, safety measures etc. are unnecessary.
【００１１】図４は第１実施例の駆動部分を示したもの
である。第１実施例では上述の様に大きな電圧を必要と
し、また、可動部が機械的に固定されているため、繰返
し動作に弱い。そこで、第４実施例では、この課題を解
決するため、図５（ａ）、（ｂ）に示したように、可動
部１３を横に滑らせ、さらに、静電駆動部１４を櫛歯状
にして、電界を高め、駆動電圧の低減化を図った。本実
施例によれば、駆動電圧の低減化と信頼性の向上が可能
である。FIG. 4 shows the driving portion of the first embodiment. In the first embodiment, a large voltage is required as described above, and since the movable part is mechanically fixed, it is weak in repeated operation. Therefore, in the fourth embodiment, in order to solve this problem, as shown in FIGS. 5A and 5B, the movable portion 13 is slid sideways, and the electrostatic drive portion 14 is formed in a comb tooth shape. Then, the electric field was increased to reduce the driving voltage. According to this embodiment, it is possible to reduce the driving voltage and improve the reliability.
【００１２】図６は本発明の第５実施例の１部を示して
いる。基板１８上に支持部１５により支持されたミラー
部５、および静電駆動用電極１６、１７が階段状に配置
されている。実施例１では静電駆動用電極が１個しかな
いため、ミラーを開かせる状況では、電極が同電位とな
りの電界強度が弱く、ミラーが動きにくい。本実施例で
は、ミラーのどちら側にも電極を配置しているため、ど
ちらの方向にも、動作が容易である。FIG. 6 shows a part of the fifth embodiment of the present invention. The mirror portion 5 supported by the support portion 15 and the electrostatic drive electrodes 16 and 17 are arranged in a stepped manner on the substrate 18. In the first embodiment, since there is only one electrostatic drive electrode, when the mirror is opened, the electric field strength at which the electrodes have the same potential is weak and the mirror is hard to move. In this embodiment, since the electrodes are arranged on either side of the mirror, the operation is easy in either direction.
【００１３】図７は本発明の第６実施例の１部を示して
いる。階段状に配置されている基板１８上に支持部１５
により支持されたミラー部５、および静電駆動用電極１
９が配置されている。実施例１では静電駆動用電極とミ
ラー部の支持位置が同一平面位置に配置されていたた
め、電位差により引き付けられた両電極が短絡して急激
に電流がながれ、信頼性に問題がある。本実施例では、
台座を階段状とし、両電極の短絡を防止しており、信頼
性向上の効果がある。FIG. 7 shows a part of a sixth embodiment of the present invention. The support portion 15 is provided on the substrate 18 arranged in a stepwise manner.
Mirror portion 5 supported by and electrostatic drive electrode 1
9 are arranged. In the first embodiment, since the electrostatic drive electrode and the supporting position of the mirror portion are arranged on the same plane position, both electrodes attracted by the potential difference are short-circuited to cause a rapid current flow, which is problematic in reliability. In this embodiment,
The pedestal has a stepped shape to prevent a short circuit between both electrodes, which has the effect of improving reliability.
【００１４】図８は本発明の第７実施例の１部を示して
いる。同図（ａ）が画面方向の図、（ｂ）が横から見た
ものである。基板上に加熱用電極２１と形状記憶材料を
用いたミラー部２０が配置されている。加熱用電極２１
の通電時と無通電時に、ミラー部は２０⇔２１’と変位
する。第３実施例では熱応力を用いていたため、可動部
の変位を大きく取るためにはかなり大きな温度差が必要
なため、大きな消費エネルギーが必要であった。しか
し、本実施例では、大きな温度差が必要無いためエネル
ギーの消費量が少ない。FIG. 8 shows a part of the seventh embodiment of the present invention. The figure (a) is a figure of a screen direction, and the figure (b) is what was seen from the side. A heating electrode 21 and a mirror section 20 using a shape memory material are arranged on a substrate. Heating electrode 21
When energized and de-energized, the mirror portion is displaced from 20 to 21 '. Since the thermal stress is used in the third embodiment, a large amount of energy consumption is required because a considerably large temperature difference is required to obtain a large displacement of the movable portion. However, in this embodiment, energy consumption is small because a large temperature difference is not required.
【００１５】図９は上記第７実施例の異なる形態を示し
ている。加熱用電極２２の近くの形状記憶材料を用いた
ミラー部２３は半円型の形状をしている。加熱用電極２
２の通電、無通電時に対応し、同図（ａ）、（ｂ）の様
に変化する。図１０も上記第７実施例の異なる形態を示
している。加熱用電極２２の近くの形状記憶材料を用い
たミラー部２４はねじれた帯型の形状をしている。加熱
用電極２２の通電、無通電時に対応し、同図（ａ）、
（ｂ）の様に変化する。FIG. 9 shows a different form of the seventh embodiment. The mirror portion 23 using a shape memory material near the heating electrode 22 has a semicircular shape. Heating electrode 2
2 corresponds to the case of energization and de-energization, and changes as shown in FIGS. FIG. 10 also shows a different form of the seventh embodiment. The mirror portion 24 using a shape memory material near the heating electrode 22 has a twisted strip shape. Corresponding to when the heating electrode 22 is energized or de-energized.
It changes like (b).
【００１６】図１１は本発明の第８実施例の１部を示し
ている。回転ロータ２５の周辺にミラー部２６を接続し
ている。光のオン−オフ周波数ω0とロータ２５の回転
周波数ωの間にFIG. 11 shows a part of the eighth embodiment of the present invention. A mirror section 26 is connected around the rotary rotor 25. Between the light on-off frequency ω 0 and the rotation frequency ω of the rotor 25
【００１７】[0017]
【数１】 ω0＝ｎω （ｎ：ミラー部の数） の関係を保ったまま、光、またはロータの位相を制御す
ることにより、光の偏向制御を行う。ロータ２５の周辺
に何枚かのミラー部を設けているため、第１実施例の駆
動周波数より早い周波数で、光の表示が可能となり、本
実施例を用いれば、マイクロアクチュエータ部の周波数
が低くても表示速度を増加させることができる。## EQU1 ## The light deflection control is performed by controlling the phase of the light or the rotor while maintaining the relationship of ω 0 = nω (n: the number of mirror portions). Since several mirror parts are provided around the rotor 25, it is possible to display light at a frequency faster than the driving frequency of the first embodiment. With this embodiment, the frequency of the microactuator part is low. However, the display speed can be increased.
【００１８】図１２は本発明の第９実施例の本ディスプ
レイの作製方法を示している。基板２７上に下部電極２
８、単結晶Ｓｉ膜２９が形成される（ａ）。次にＳｉＯ
2絶縁膜３０を熱酸化またはスパッタ法等により形成
し、ギャップ部をエッチング等により形成し（ｂ）、次
にＳｉの異方性エッチングによりギャップ部から絶縁膜
３０の下をエッチングする（ｃ）。次にミラー部３１を
形成し（ｄ）、光導波路３２を形成する（ｅ）。本実施
例によれば、Ｓｉの異方性エッチングを用いているた
め、ディスプレイ作製精度が高い。FIG. 12 shows a method of manufacturing the present display of the ninth embodiment of the present invention. Lower electrode 2 on substrate 27
8. A single crystal Si film 29 is formed (a). Then SiO
2 The insulating film 30 is formed by thermal oxidation or sputtering, the gap is formed by etching or the like (b), and then the insulating film 30 is etched under the insulating film 30 by anisotropic etching of Si (c). . Next, the mirror portion 31 is formed (d) and the optical waveguide 32 is formed (e). According to this embodiment, since the anisotropic etching of Si is used, the display manufacturing accuracy is high.
【００１９】図１３は本発明の第１０実施例を示してい
る。第１実施例では、光の偏向はオン−オフの２状態し
か取りえず、画面の階調制御をすることができない。第
１０実施例では図に示したように、それぞれの位置（図
では１、２、３）に対応して、光源の電流を制御して、
その光量を制御し、階調制御を可能としている。同様
に、図１４は本発明の第１１実施例を示しており、その
階調制御を光通過部３３の面積に対する偏向部３４の反
射面積を制御することにより行っている。FIG. 13 shows a tenth embodiment of the present invention. In the first embodiment, the light can be deflected only in two states of ON and OFF, and the gradation control of the screen cannot be performed. In the tenth embodiment, as shown in the figure, the current of the light source is controlled corresponding to each position (1, 2, 3 in the figure),
By controlling the amount of light, gradation control is possible. Similarly, FIG. 14 shows an eleventh embodiment of the present invention, in which gradation control is performed by controlling the reflection area of the deflection section 34 with respect to the area of the light passage section 33.
【００２０】図１５（ａ）、（ｂ）は本発明の第１２実
施例を示している。上述の実施例では、光の偏向部にマ
イクロアクチュエータを用いていたため、装置の作製工
程が複雑となる。本実施例では、すだれ状電極３５から
生じさせた弾性表面波の波面３６により、光の偏向を行
う。本実施例では、基板上にすだれ状電極と導波路を形
成するだけであるため、作製工程の簡略化が可能とな
る。15 (a) and 15 (b) show a twelfth embodiment of the present invention. In the above-described embodiment, since the micro-actuator is used for the light deflector, the manufacturing process of the device becomes complicated. In the present embodiment, the light is deflected by the wavefront 36 of the surface acoustic wave generated from the interdigital electrode 35. In this embodiment, since only the interdigital electrode and the waveguide are formed on the substrate, the manufacturing process can be simplified.
【００２１】図１６は本発明の第１３実施例を示してい
る。本実施例は、光の偏向部にセル３７を用いている。
単位セルとしては図１７に示したように、液体３７内に
微小粒４０が封入されており、その上下に、電極３８、
３８’が配置され、電源３９により微小粒４０を撹拌し
て、光を散乱させるものと、図１８に示したように、磁
性微小粒４０をコイル４１と電源４２により撹拌して光
を散乱させるものと、図１９に示したように、液晶４４
を電極４３、４３’間に電源４５により電圧を掛けて配
向させることにより制御する方法がある。FIG. 16 shows a thirteenth embodiment of the present invention. In this embodiment, the cell 37 is used as a light deflector.
As a unit cell, as shown in FIG. 17, fine particles 40 are enclosed in a liquid 37, and electrodes 38,
38 'is arranged to stir the fine particles 40 by the power source 39 to scatter the light, and as shown in FIG. 18, stir the magnetic fine particles 40 by the coil 41 and the power source 42 to scatter the light. As shown in FIG. 19, the liquid crystal 44
There is a method of controlling by applying a voltage between the electrodes 43 and 43 ′ by a power supply 45 to orient the electrodes.
【００２２】図２０（ａ）、（ｂ）は本発明の第１４実
施例を示している。本実施例は、光導波路の構造を変え
ることにより、光の制御を行うものであり、（ａ）が導
波路４６により光の収束を行うもの、（ｂ）が導波路４
７により光の拡散を行うものである。尚、光の導波路
は、ＬｉＮｂＯ3上のＴｉの熱拡散等、屈折率の異なる
層を形成する事により形成される。本実施例によれば、
光束の制御が可能となるため、光源の大きさ、形態を自
由に選ぶことができるため、設計の自由度向上の効果が
ある。20 (a) and 20 (b) show a fourteenth embodiment of the present invention. In the present embodiment, the light is controlled by changing the structure of the optical waveguide. (A) shows that the light is converged by the waveguide 46, and (b) shows the waveguide 4.
The light is diffused by 7. The optical waveguide is formed by forming layers having different refractive indexes such as thermal diffusion of Ti on LiNbO 3 . According to the present embodiment,
Since the light flux can be controlled, the size and form of the light source can be freely selected, which has the effect of improving the degree of freedom in design.
【００２３】図２１は本発明の第１５実施例を示してい
る。本実施例は、上記第１４実施例の考え方をさらに発
展させ、導波路上で、光の強度制御を行うものである。
第１０実施例では、光の強度設定を、光源側で行ってい
たが、本実施例では、導波路４９の間に電極４８、４
８’間に電界をかけ、ポッケルス効果により導波路の屈
折率を変え制御を行っている。本実施例によれば、第１
０実施例のような電流制御型に対して、電圧制御型で行
うことができるため、回路の損失を抑えることができ
る。FIG. 21 shows a fifteenth embodiment of the present invention. The present embodiment is a further development of the idea of the 14th embodiment, in which the intensity control of light is performed on the waveguide.
In the tenth embodiment, the light intensity is set on the light source side, but in the present embodiment, the electrodes 48, 4 are provided between the waveguides 49.
An electric field is applied between 8'and the refractive index of the waveguide is changed and controlled by the Pockels effect. According to this embodiment, the first
Since the voltage control type can be performed as compared with the current control type as in the 0th embodiment, the loss of the circuit can be suppressed.
【００２４】図２２は本発明の第１６実施例を示してい
る。第１実施例では、各画素に対応する点を準じ走査し
ていたため、各点の発光時間が短く、実質的に、大きな
パワーの光源を必要としていた。本実施例では、この問
題を光の導波路端にミラー５１、５１’を設け、偏向部
には、ハーフミラー５３を配置することにより解決し
た。図中、導波路５２、光源５０も合わせて示してい
る。本実施例によれば各画素点では、連続的に発光が行
われているため、光源のパワーを下げることができる。
尚、本実施例の方法の他に、第１実施例の光散乱部７に
蛍光材料を塗布する方法も考えられる。この方法は、容
易に行うことができる等の利点がある。FIG. 22 shows a sixteenth embodiment of the present invention. In the first embodiment, since the points corresponding to the respective pixels are scanned in a similar manner, the light emission time at the respective points is short, and a light source with substantially large power is required. In this embodiment, this problem is solved by providing mirrors 51 and 51 'at the end of the optical waveguide and disposing the half mirror 53 in the deflecting unit. In the figure, the waveguide 52 and the light source 50 are also shown together. According to the present embodiment, since light emission is continuously performed at each pixel point, it is possible to reduce the power of the light source.
In addition to the method of this embodiment, a method of applying a fluorescent material to the light scattering portion 7 of the first embodiment is also conceivable. This method has an advantage that it can be easily performed.
【００２５】図２３（ａ）、（ａ’）、（ｂ）、
（ｂ’）は本発明の第１７実施例を示している。第１実
施例では、ミラー面５の支持は弾性的に固定を行ってお
り、繰返し制御を行うことにより、疲労破壊が発生する
可能性があり、寿命劣化等の信頼性の問題がある。本実
施例では、支持部の構造を変えることにより、この問題
を解決した。同図（ａ）、（ａ’）では支持部５４に比
較的柔らかい有機材料を用いており、同図（ｂ）、
（ｂ’）では支持部５５を軸受型として、弾性的応力を
軽減している。本実施例によれば、寿命劣化等の信頼性
の問題が無い。23 (a), (a '), (b),
(B ') shows a seventeenth embodiment of the present invention. In the first embodiment, the support of the mirror surface 5 is elastically fixed, and fatigue control may occur due to repeated control, and there is a reliability problem such as life deterioration. In the present embodiment, this problem is solved by changing the structure of the supporting portion. (A) and (a ') of the figure, a relatively soft organic material is used for the supporting portion 54, and (b) of the figure,
In (b '), the support portion 55 is a bearing type to reduce elastic stress. According to this embodiment, there is no problem of reliability such as deterioration of life.
【００２６】図２４は本発明の第１８実施例を示してい
る。本実施例は第１から第１６実施例の平面型ディスプ
レイを用いたテレビジョン受信機システムの例である。
アンテナ５６から入力した信号は、信号処理部５７によ
り、音声信号と映像信号に分離され、それぞれ音声出力
（スピーカー）部５９と本発明の平面型ディスプレイ５
８により出力される。本システムは従来の液晶等のディ
スプレイに比べ、ディスプレイ部の後に光源を必要とし
ないため、薄くなり、また、光源の強度制御であるた
め、効率が高いという利点を有している。FIG. 24 shows an eighteenth embodiment of the present invention. The present embodiment is an example of a television receiver system using the flat type display of the first to sixteenth embodiments.
A signal input from the antenna 56 is separated into an audio signal and a video signal by the signal processing unit 57, and an audio output (speaker) unit 59 and the flat panel display 5 of the present invention, respectively.
8 is output. Compared with conventional displays such as liquid crystal, this system has the advantages that it does not require a light source after the display unit, so it is thin, and that it is highly efficient because it controls the intensity of the light source.
【００２７】図２５は本発明の第１９実施例を示してい
る。本実施例は第１から第１６実施例の平面型ディスプ
レイをビューファインダとして用いたビデオカメラシス
テムの例である。撮像部５９から出力された信号は、信
号記録部６１により、磁気テープ等に記録され、また本
発明の平面型ディスプレイ６０により操作者にモニタリ
ングされる。本システムは従来の液晶等のディスプレイ
に比べ、ディスプレイ部の後に光源を必要としないた
め、小型となり、また、光源の強度制御であるため、効
率が高いという利点を有している。FIG. 25 shows a nineteenth embodiment of the present invention. The present embodiment is an example of a video camera system using the flat type displays of the first to sixteenth embodiments as a viewfinder. The signal output from the image pickup unit 59 is recorded on a magnetic tape or the like by the signal recording unit 61, and is monitored by the operator by the flat display 60 of the present invention. Compared with the conventional display such as a liquid crystal display, this system does not require a light source after the display unit, and thus has a small size, and has the advantage of high efficiency because it controls the intensity of the light source.
【００２８】図２６は本発明の第２０実施例を示してい
る。本実施例は第１から第１６実施例の平面型ディスプ
レイをコンピュータのディスプレイ部として用いたコン
ピュータシステムの例である。キーボード等の命令入力
部６２から送られた信号により記憶、演算処理部６３か
ら制御信号が本発明の平面型ディスプレイ６４に送ら
れ、操作者に画像情報として出力される。本システムは
従来の液晶等のディスプレイに比べ、ディスプレイ部の
後に光源を必要としないため、小型となり、また、光源
の強度制御であるため、効率が高いという利点を有して
いる。FIG. 26 shows a twentieth embodiment of the present invention. The present embodiment is an example of a computer system using the flat type displays of the first to sixteenth embodiments as a display unit of a computer. A signal sent from a command input unit 62 such as a keyboard is stored, and a control signal is sent from the arithmetic processing unit 63 to the flat display 64 of the present invention and output as image information to the operator. Compared with the conventional display such as a liquid crystal display, this system does not require a light source after the display unit, and thus has a small size, and has the advantage of high efficiency because it controls the intensity of the light source.
【００２９】図２７は本発明の第２１実施例を示してい
る。本実施例は第１から第１６実施例の平面型ディスプ
レイを掲示用ディスプレイ部として用いた掲示システム
の例である。コンピュータ等の命令入力部６５から送ら
れた信号を信号処理部６６により映像制御信号に変換さ
れ本発明の平面型ディスプレイ６７に送られ、掲示画像
情報として出力される。本システムは従来のＬＥＤ等の
ディスプレイに比べ、小型で、また、簡易な構造である
ため、コストが安いという利点を有している。FIG. 27 shows a twenty-first embodiment of the present invention. This embodiment is an example of a bulletin system using the flat type displays of the first to sixteenth embodiments as a display portion for bulletin. A signal sent from a command input unit 65 such as a computer is converted into a video control signal by a signal processing unit 66, sent to a flat display 67 of the present invention, and output as posted image information. The present system has a merit that the cost is low because it is small in size and has a simple structure as compared with conventional displays such as LEDs.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上、本発明によれば、小形で信頼性の
高い平面型ディスプレイが可能となる。As described above, according to the present invention, a small and highly reliable flat panel display can be realized.
【図１】本発明の第１実施例の平面型ディスプレイの基
本構成図である。FIG. 1 is a basic configuration diagram of a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２実施例の一部模式図である。FIG. 2 is a partial schematic view of a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３実施例の一部模式図である。FIG. 3 is a partial schematic view of a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１実施例の一部模式図である。FIG. 4 is a partial schematic view of the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第４実施例の一部模式図である。FIG. 5 is a partial schematic view of a fourth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第５実施例の一部模式図である。FIG. 6 is a partial schematic view of a fifth embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第６実施例の一部模式図である。FIG. 7 is a partial schematic view of a sixth embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第７実施例の一部模式図である。FIG. 8 is a partial schematic view of a seventh embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第７実施例（円形型）の一部模式図で
ある。FIG. 9 is a partial schematic view of a seventh embodiment (circular type) of the present invention.
【図１０】本発明の第７実施例（ねじり型）の一部模式
図である。FIG. 10 is a partial schematic view of a seventh embodiment (twisting type) of the present invention.
【図１１】本発明の第８実施例の一部模式図である。FIG. 11 is a partial schematic view of an eighth embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第９実施例の平面型ディスプレイの
作成方法を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a method of manufacturing a flat panel display according to a ninth embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第１０実施例の光源の電流制御方法
の説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram of a light source current control method according to a tenth embodiment of the present invention.
【図１４】本発明の第１１実施例の一部模式図である。FIG. 14 is a partial schematic view of an eleventh embodiment of the present invention.
【図１５】本発明の第１２実施例の一部模式図である。FIG. 15 is a partial schematic view of a twelfth embodiment of the present invention.
【図１６】本発明の第１３実施例の一部模式図である。FIG. 16 is a partial schematic view of a thirteenth embodiment of the present invention.
【図１７】本発明の第１３実施例（電界型）の一部模式
図である。FIG. 17 is a partial schematic view of a thirteenth embodiment (electric field type) of the present invention.
【図１８】本発明の第１３実施例（磁界型）の一部模式
図である。FIG. 18 is a partial schematic view of a thirteenth embodiment (magnetic field type) of the present invention.
【図１９】本発明の第１３実施例（液晶型）の一部模式
図である。FIG. 19 is a partial schematic view of a thirteenth embodiment (liquid crystal type) of the present invention.
【図２０】本発明の第１４実施例の一部模式図である。FIG. 20 is a partial schematic view of the fourteenth embodiment of the present invention.
【図２１】本発明の第１５実施例の一部模式図である。FIG. 21 is a partial schematic view of a fifteenth embodiment of the present invention.
【図２２】本発明の第１６実施例の一部模式図である。FIG. 22 is a partial schematic view of the 16th embodiment of the present invention.
【図２３】本発明の第１７実施例の一部模式図である。FIG. 23 is a partial schematic view of a seventeenth embodiment of the present invention.
【図２４】本発明の第１８実施例のテレビジョン受信機
システムを示す図である。FIG. 24 is a diagram showing a television receiver system according to an eighteenth embodiment of the present invention.
【図２５】本発明の第１９実施例のビデオカメラシステ
ムを示す図であるFIG. 25 is a diagram showing a video camera system according to a nineteenth embodiment of the present invention.
【図２６】本発明の第２０実施例のコンピュータシステ
ムを示す図である。FIG. 26 is a diagram showing a computer system according to a twentieth embodiment of the present invention.
【図２７】本発明の第２１実施例の掲示ディスプレイシ
ステムを示す図である。FIG. 27 is a diagram showing a bulletin display system according to a twenty-first embodiment of the present invention.
１…基板、 ４…偏向部、 ５…ミラー部、 ７…散乱部。 1 ... Substrate, 4 ... Deflection part, 5 ... Mirror part, 7 ... Scattering part.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 宏明 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 比企野 治 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 渡辺 一志 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所映像メディア研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiroaki Ikeda Inventor Hiroaki Ikeda, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa, Ltd.Inside of Hitachi Media Visual Media Research Institute (72) Inventor Hijino, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Hitachi Media & Video Research Laboratories (72) Inventor Kazushi Watanabe 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture Hitachi Video & Media Research Laboratories
Claims (23)
ィスプレイにおいて、機械的な可動偏向部が映像表示部
に平面的に配置された事を特徴とする平面型ディスプレ
イ。1. A flat panel display having a light source and a light guide means, wherein a mechanical movable deflecting section is arranged in a flat plane on an image display section.
分の長辺の大きさが１０ｍｍ以下である事を特徴とする
請求項１記載の平面型ディスプレイ。2. The flat panel display according to claim 1, wherein the length of the long side of the movable portion is 10 mm or less.
分の駆動力として、静電力を用いた事を特徴とする請求
項１記載の平面型ディスプレイ。3. The flat panel display according to claim 1, wherein in the flat panel display, an electrostatic force is used as a driving force for the movable portion.
発生部分に櫛歯状に形成されている事を特徴とする請求
項３記載の平面型ディスプレイ。4. The flat panel display according to claim 3, wherein the flat panel display is formed in a comb-teeth shape in a portion where an electrostatic field is generated.
分に熱により変形する材料を用い、温度変化により動作
する事を特徴とする請求項１記載の平面型ディスプレ
イ。5. The flat-panel display according to claim 1, wherein the flat-panel display uses a material that is deformed by heat for a movable portion and operates by a temperature change.
分に形状記憶合金を用い、温度変化により動作する事を
特徴とする請求項５記載の平面型ディスプレイ。6. The flat panel display according to claim 5, wherein a shape memory alloy is used for the movable portion of the flat panel display, and the flat panel display is operated by a temperature change.
分を回転させ、入力光のオン、オフ周波数（ω0）と回
転周波数（ω）を同期（ω0＝ｎω、ｎは自然数）さ
せ、上記オンオフ、または回転時の位相を制御すること
により、光の偏向を行う事を特徴とする請求項１記載の
平面型ディスプレイ。7. In the flat panel display, the movable part is rotated to synchronize the ON / OFF frequency (ω 0 ) of the input light with the rotation frequency (ω) (ω 0 = nω, n is a natural number), and the ON / OFF is set. 2. The flat panel display according to claim 1, wherein the light is deflected by controlling the phase during rotation.
の異方性エッチング法を用いて形成した事を特徴とする
請求項１記載の平面型ディスプレイ。8. The flat panel display according to claim 1, wherein the flat panel display is formed by using a single crystal anisotropic etching method.
向部分に弾性表面波による周期的な歪を用いている事を
特徴とする請求項１記載の平面型ディスプレイ。9. The flat panel display according to claim 1, wherein in the flat panel display, periodic distortion due to surface acoustic waves is used in a light deflecting portion.
散乱部を有する事を特徴とする請求項１記載の平面型デ
ィスプレイ。10. The flat panel display according to claim 1, further comprising a light scattering portion.
反射部分に面荒しを施した事を特徴とする請求項１０記
載の平面型ディスプレイ。11. The flat-panel display according to claim 10, wherein the light-reflecting portion of the flat-panel display is roughened.
乱反射部分に蛍光材料が塗布されている事を特徴とする
請求項１０記載の平面型ディスプレイ。12. The flat-panel display according to claim 10, wherein a fluorescent material is applied to a diffused light reflection portion of the flat-panel display.
セルに封入された、粒による乱反射を用いた事を特徴と
する請求項１０記載の平面型ディスプレイ。13. The flat-panel display according to claim 10, wherein the flat-panel display uses irregular reflection by particles enclosed in a unit cell.
セルにおける乱反射手段として液晶の配向性を利用した
事を特徴とする請求項１０記載の平面型ディスプレイ。14. The flat-panel display according to claim 10, wherein in the flat-panel display, liquid crystal orientation is utilized as diffuse reflection means in the unit cell.
導波部に、光の収束部または拡大部または偏向部を有す
る事を特徴とする請求項１記載の平面型ディスプレイ。15. The flat panel display according to claim 1, wherein the light guide section has a light converging section, a magnifying section, or a deflecting section.
導波部端に光の反射部を設け、その導波部内に、光の偏
向部としてハーフミラーを用いた事を特徴とする請求項
１記載の平面型ディスプレイ。16. The flat panel display according to claim 1, wherein a light reflecting portion is provided at an end of the light guiding portion, and a half mirror is used as a light deflecting portion in the light guiding portion. Flat display.
導波部端に光の反射部を設け、その導波部内に、光の偏
向部としてハーフミラーを用いた事を特徴とする請求項
１記載の平面型ディスプレイ。17. The flat display according to claim 1, wherein a light reflecting portion is provided at an end of the light guiding portion, and a half mirror is used as a light deflecting portion in the light guiding portion. Flat display.
部分を軸支えとした事を特徴とする請求項１記載の平面
型ディスプレイ。18. The flat-panel display according to claim 1, wherein the movable portion serves as a shaft support in the flat-panel display.
の平面型ディスプレイを用いた事を特徴とするシステ
ム。19. A system using the flat panel display according to claim 1. Description:
る事を特徴とする請求項１９記載のシステム。20. The system of claim 19, wherein the system is a television receiver.
特徴とする請求項１９記載のシステム。21. The system of claim 19, wherein the system is a computer.
特徴とする請求項１９記載のシステム。22. The system of claim 19, wherein the system is a video camera.
る事を特徴とする請求項１９記載のシステム。23. The system of claim 19, wherein the system is a billboard display.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6154413A JPH0821966A (en) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | Plane display and system using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6154413A JPH0821966A (en) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | Plane display and system using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821966A true JPH0821966A (en) | 1996-01-23 |
Family
ID=15583618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6154413A Pending JPH0821966A (en) | 1994-07-06 | 1994-07-06 | Plane display and system using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821966A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100403812B1 (en) * | 2001-06-23 | 2003-10-30 | 삼성전자주식회사 | Micro actuator |
| US7024094B2 (en) | 2002-02-22 | 2006-04-04 | Japan Science And Technology Agency | Display unit |
-
1994
- 1994-07-06 JP JP6154413A patent/JPH0821966A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100403812B1 (en) * | 2001-06-23 | 2003-10-30 | 삼성전자주식회사 | Micro actuator |
| US6760143B2 (en) | 2001-06-23 | 2004-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micromirror actuator |
| US7024094B2 (en) | 2002-02-22 | 2006-04-04 | Japan Science And Technology Agency | Display unit |
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