JPH0821343B2 - 画像形成装置 - Google Patents
画像形成装置Info
- Publication number
- JPH0821343B2 JPH0821343B2 JP61128190A JP12819086A JPH0821343B2 JP H0821343 B2 JPH0821343 B2 JP H0821343B2 JP 61128190 A JP61128190 A JP 61128190A JP 12819086 A JP12819086 A JP 12819086A JP H0821343 B2 JPH0821343 B2 JP H0821343B2
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- Japan
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- electron beam
- image forming
- cold cathode
- beam generator
- forming apparatus
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子線を用いた画像形成装置に関し、更に
詳しくは、複数の冷陰極素子を具備する電子ビーム発生
装置を用いた画像形成装置における、電子ビーム発生装
置と被照射部材間の相対位置ずれによる形成画像の品位
低下防止に関する。
詳しくは、複数の冷陰極素子を具備する電子ビーム発生
装置を用いた画像形成装置における、電子ビーム発生装
置と被照射部材間の相対位置ずれによる形成画像の品位
低下防止に関する。
［従来の技術］ 近年、例えば特公昭54−30274号、特開昭54−111272
号（米国特許第4259678号と対応）、同56−15529号（米
国特許第4303930号と対応）、特開昭57−38528号等に示
されるように、所謂冷陰極を用いた電子ビーム発生装置
が開発されている。
号（米国特許第4259678号と対応）、同56−15529号（米
国特許第4303930号と対応）、特開昭57−38528号等に示
されるように、所謂冷陰極を用いた電子ビーム発生装置
が開発されている。
上記電子ビーム発生装置における冷陰極は、現在電子
ビーム発生装置に最も一般的に用いられている熱陰極
が、耐久性上の問題から、電子放出面の面積を小さくす
るのに大きな制約を受けるのに対し、このような制約を
ほとんど受けない利点がある。また、熱陰極は、複数個
を、均一な特性を持たせて高い位置精度で配列するのが
困難であるのに対し、冷陰極は、フォトリソグラフィー
や電子線リソグリフィーといった製造プロセスで形成す
ることにより、複数個を、均一な特性を持たせて高い位
置精度で配列できる利点がある。従って、かかる技術又
はその類似技術によれば、多数の冷陰極素子を具備する
電子ビーム発生装置を得ることが可能で、表示装置をは
じめとする各種の画像形成装置への応用が考えられる。
ビーム発生装置に最も一般的に用いられている熱陰極
が、耐久性上の問題から、電子放出面の面積を小さくす
るのに大きな制約を受けるのに対し、このような制約を
ほとんど受けない利点がある。また、熱陰極は、複数個
を、均一な特性を持たせて高い位置精度で配列するのが
困難であるのに対し、冷陰極は、フォトリソグラフィー
や電子線リソグリフィーといった製造プロセスで形成す
ることにより、複数個を、均一な特性を持たせて高い位
置精度で配列できる利点がある。従って、かかる技術又
はその類似技術によれば、多数の冷陰極素子を具備する
電子ビーム発生装置を得ることが可能で、表示装置をは
じめとする各種の画像形成装置への応用が考えられる。
従来、第３図に示されるように、多数の陰極を同一基
板上に配列することにより、螢光スクリーン３′の全表
示領域に対応する範囲に、二次元配列の電子ビーム発生
部１を設けた電子ビーム発生装置２を、螢光スクリーン
３′と相対峙させた表示装置が知られている（特開昭54
−111272号）。このような表示装置とすれば、電子ビー
ムを、螢光スクリーン３′の中央から上下左右端まで順
次偏向走査させる必要をなくせることから、表示装置を
薄い箱型のものとすることが可能となる。
板上に配列することにより、螢光スクリーン３′の全表
示領域に対応する範囲に、二次元配列の電子ビーム発生
部１を設けた電子ビーム発生装置２を、螢光スクリーン
３′と相対峙させた表示装置が知られている（特開昭54
−111272号）。このような表示装置とすれば、電子ビー
ムを、螢光スクリーン３′の中央から上下左右端まで順
次偏向走査させる必要をなくせることから、表示装置を
薄い箱型のものとすることが可能となる。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上述の表示装置で、例えば螢光スクリ
ーンを表示装置本体に溶着固定する時や内部の真空排気
時に、電子ビーム発生装置と螢光スクリーンとの間に位
置ずれを生じると、各電子ビーム発生部から発せられる
電子ビームが正しい位置に照射されなくなる。この電子
ビームの照射位置ずれは、例えばＲ（レッド）、Ｇ（グ
リーン）、Ｂ（ブルー）の螢光体を塗り分けたカラー画
像表示の場合には色ずれとなって表われ、表示画像の品
位を著しく低下させるもととなる。
ーンを表示装置本体に溶着固定する時や内部の真空排気
時に、電子ビーム発生装置と螢光スクリーンとの間に位
置ずれを生じると、各電子ビーム発生部から発せられる
電子ビームが正しい位置に照射されなくなる。この電子
ビームの照射位置ずれは、例えばＲ（レッド）、Ｇ（グ
リーン）、Ｂ（ブルー）の螢光体を塗り分けたカラー画
像表示の場合には色ずれとなって表われ、表示画像の品
位を著しく低下させるもととなる。
この問題は、単に上述のような形態の画像表示装置の
みに限ったものではなく、複数の電子ビーム発生部を具
備する電子ビーム発生装置を用いた画像形成装置におい
ては必ず起こり得る性質のものである。
みに限ったものではなく、複数の電子ビーム発生部を具
備する電子ビーム発生装置を用いた画像形成装置におい
ては必ず起こり得る性質のものである。
本発明は、上述のような問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、電子ビーム発生装置と螢光スクリーン
等の被照射部材との間に位置ずれが生じた場合にも、形
成画像の品位低下を防止できる画像形成装置を提供する
ことにある。
で、その目的は、電子ビーム発生装置と螢光スクリーン
等の被照射部材との間に位置ずれが生じた場合にも、形
成画像の品位低下を防止できる画像形成装置を提供する
ことにある。
［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するために本発明で講じられた手段
は、複数の冷陰極素子が配置された電子ビーム発生装置
と、前記複数の冷陰極素子と一対一に対応させて画像形
成部材の複数が配置された被照射部材とを有する画像形
成装置において、前記電子ビーム発生装置と前記被照射
部材との相対位置ずれ量に応じて、前記複数の冷陰極素
子から放出される全ての電子ビームに対して等しい偏向
を行う手段を有することを特徴とする画像形成装置とし
たものである。
は、複数の冷陰極素子が配置された電子ビーム発生装置
と、前記複数の冷陰極素子と一対一に対応させて画像形
成部材の複数が配置された被照射部材とを有する画像形
成装置において、前記電子ビーム発生装置と前記被照射
部材との相対位置ずれ量に応じて、前記複数の冷陰極素
子から放出される全ての電子ビームに対して等しい偏向
を行う手段を有することを特徴とする画像形成装置とし
たものである。
［作用］ 本発明の画像形成装置に係る電子ビーム発生装置には
複数の冷陰極素子が配置されており、先述したようにこ
の冷陰極素子は熱陰極とは異なり、複数個を均一な特性
を持たせて高い位置精度で配列できる。また、高い位置
精度で配列された上記複数の冷陰極素子と一対一に対応
する複数の画像形成部材も、同様の高い位置精度で配列
される。そして、例えば組立て工程において、電子ビー
ム発生装置と被照射部材間に位置ずれが生じた場合、互
いに対応する各対の冷陰極素子と画像形成部材とのずれ
量は全て均一となる。そのため、上記ずれ量に応じて複
数の冷陰極素子から放出される全ての電子ビームに対し
て等しい偏向を行うことにより、一括して上記位置ずれ
を補償し、全ての電子ビームを正しい位置に照射するこ
とができる。
複数の冷陰極素子が配置されており、先述したようにこ
の冷陰極素子は熱陰極とは異なり、複数個を均一な特性
を持たせて高い位置精度で配列できる。また、高い位置
精度で配列された上記複数の冷陰極素子と一対一に対応
する複数の画像形成部材も、同様の高い位置精度で配列
される。そして、例えば組立て工程において、電子ビー
ム発生装置と被照射部材間に位置ずれが生じた場合、互
いに対応する各対の冷陰極素子と画像形成部材とのずれ
量は全て均一となる。そのため、上記ずれ量に応じて複
数の冷陰極素子から放出される全ての電子ビームに対し
て等しい偏向を行うことにより、一括して上記位置ずれ
を補償し、全ての電子ビームを正しい位置に照射するこ
とができる。
［実施例］ 第１図に示されるように、電子ビーム発生装置２と被
照射部材３とが相対峙して設けられており、この両者間
には偏向手段４が配置されている。
照射部材３とが相対峙して設けられており、この両者間
には偏向手段４が配置されている。
電子ビーム発生装置２は、例えば同一基板上に複数の
冷陰極素子を配列することにより、一体に設けられた複
数の電子ビーム発生部１を具備している。また、本実施
例における電子ビーム発生部１は、被照射部材３の所定
の面領域内に電子ビームを照射すべく、二次元配列され
ている。ここで二次元配列とは、縦横共に複数配列され
ていることをいう。
冷陰極素子を配列することにより、一体に設けられた複
数の電子ビーム発生部１を具備している。また、本実施
例における電子ビーム発生部１は、被照射部材３の所定
の面領域内に電子ビームを照射すべく、二次元配列され
ている。ここで二次元配列とは、縦横共に複数配列され
ていることをいう。
本実施例における偏向手段４は、左右（Ｘ方向）一対
の平板電極4a,4bと上下（Ｙ方向）一対の平板電極4c,4d
によって構成されている。各組の平板電極4aと4b,4cと4
dは、電子ビーム発生部１から発せられる全ビームの軌
道を間に挟んで、各々平行に相対向して配置されてい
る。平板電極4a,4b間には可変電圧源5aから、また平板
電極4c,4d間には可変電圧源5bから、各々所要の電圧を
印加できるようになっている。尚、偏向手段４として
は、上記平板電極4a〜4dの他電磁コイル等を用いること
ができる。
の平板電極4a,4bと上下（Ｙ方向）一対の平板電極4c,4d
によって構成されている。各組の平板電極4aと4b,4cと4
dは、電子ビーム発生部１から発せられる全ビームの軌
道を間に挟んで、各々平行に相対向して配置されてい
る。平板電極4a,4b間には可変電圧源5aから、また平板
電極4c,4d間には可変電圧源5bから、各々所要の電圧を
印加できるようになっている。尚、偏向手段４として
は、上記平板電極4a〜4dの他電磁コイル等を用いること
ができる。
被照射部材３は電子ビームの照射によって、固定画像
又は可変画像を形成するものである。具体的には、本画
像形成装置を表示装置として用いる場合、例えば電子ビ
ーム発生部１と対応する位置にＲ、Ｇ、Ｂ三色の螢光体
を塗り分けた螢光スクリーン等を用いることができる。
また、フォトレジスト装置として用いる場合、フォトレ
ジスト層を有する部材とすればよい。尚、６は、電子ビ
ームを加速するための加速電圧源である。
又は可変画像を形成するものである。具体的には、本画
像形成装置を表示装置として用いる場合、例えば電子ビ
ーム発生部１と対応する位置にＲ、Ｇ、Ｂ三色の螢光体
を塗り分けた螢光スクリーン等を用いることができる。
また、フォトレジスト装置として用いる場合、フォトレ
ジスト層を有する部材とすればよい。尚、６は、電子ビ
ームを加速するための加速電圧源である。
本画像形成装置の組立て終了後、電子ビーム発生装置
２と被照射部材３間に、例えば第２図に示すような位置
ずれが発生したとする。即ち、第２図は被照射部材３へ
の投影図であり、点線で示す領域は本来電子ビームが照
射されるべき領域、実線で示す領域は位置ずれ（Ｘ方向
の位置ずれ量Δx,Y方向の位置ずれ量Δｙ）の結果、電
子ビームが照射されることとなった領域、4a′〜4d′は
各々平板電極4a〜4dの投影像である。
２と被照射部材３間に、例えば第２図に示すような位置
ずれが発生したとする。即ち、第２図は被照射部材３へ
の投影図であり、点線で示す領域は本来電子ビームが照
射されるべき領域、実線で示す領域は位置ずれ（Ｘ方向
の位置ずれ量Δx,Y方向の位置ずれ量Δｙ）の結果、電
子ビームが照射されることとなった領域、4a′〜4d′は
各々平板電極4a〜4dの投影像である。
上述の位置ずれに対し、Ｘ方向の位置ずれ量Δｘに応
じた電圧を可変電圧源5aで平板電極4a,4b間に印加する
とともに、Ｙ方向の位置ずれ量Δｙに応じた電圧を可変
電圧源5bで平板電極4c,4d間に印加することが可能であ
る。このとき、平板電極4aと4b,4cと4dを、十分な長さ
と間隔を有するものとすれば、電子ビーム発生部１から
照射されるすべての電子ビームに対して、平行で均一な
電界が印加されると考えてよく、従ってすべての電子ビ
ームに対して等しい偏向を行なう事が可能である。そし
て、これによって全電子ビームは、電子ビーム発生装置
２と被照射部材３間の相対位置ずれ量Δx,Δｙに応じた
量だけＸ方向とＹ方向に偏向軌道修正され、正しい位置
を照射することになる。
じた電圧を可変電圧源5aで平板電極4a,4b間に印加する
とともに、Ｙ方向の位置ずれ量Δｙに応じた電圧を可変
電圧源5bで平板電極4c,4d間に印加することが可能であ
る。このとき、平板電極4aと4b,4cと4dを、十分な長さ
と間隔を有するものとすれば、電子ビーム発生部１から
照射されるすべての電子ビームに対して、平行で均一な
電界が印加されると考えてよく、従ってすべての電子ビ
ームに対して等しい偏向を行なう事が可能である。そし
て、これによって全電子ビームは、電子ビーム発生装置
２と被照射部材３間の相対位置ずれ量Δx,Δｙに応じた
量だけＸ方向とＹ方向に偏向軌道修正され、正しい位置
を照射することになる。
以上の実施例においては、複数の電子ビーム発生部１
が二次元配列された電子ビーム発生装置２を具備する画
像形成装置となっているが、電子ビーム発生部１は、二
次元配列ではなく、一次元配列であってもよい。ここで
一次元配列とは、縦又は横方向に一列に配列されている
ことをいう。
が二次元配列された電子ビーム発生装置２を具備する画
像形成装置となっているが、電子ビーム発生部１は、二
次元配列ではなく、一次元配列であってもよい。ここで
一次元配列とは、縦又は横方向に一列に配列されている
ことをいう。
また、前述の実施例においては、位置ずれがX,Y両方
向に対して生じる場合を例にとったが、製造工程の性質
上又は電子ビーム発生部１の配列上、位置ずれの発生が
一方向に限定されるような場合には、例えば２対の平板
電極4aと4b,4cと4dのうち一方を省略した偏向手段４と
しても差しつかえない。
向に対して生じる場合を例にとったが、製造工程の性質
上又は電子ビーム発生部１の配列上、位置ずれの発生が
一方向に限定されるような場合には、例えば２対の平板
電極4aと4b,4cと4dのうち一方を省略した偏向手段４と
しても差しつかえない。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、電子ビーム発生
装置２と被照射部材３との間に位置ずれが生じた場合に
も、電子ビームの軌道を修正することにより、正しい位
置に電子ビームを照射することができ、高品位の画像を
形成することができる。従って、電子ビーム発生装置２
と被照射部材３を高い位置精度で組み立てる必要がある
場合、ガラスの溶着や真空排気といった工程でのくるい
によって、製造歩留りを低下させてコストを上昇させて
しまうことがなく、大量生産による低価格での提供が可
能となるものである。
装置２と被照射部材３との間に位置ずれが生じた場合に
も、電子ビームの軌道を修正することにより、正しい位
置に電子ビームを照射することができ、高品位の画像を
形成することができる。従って、電子ビーム発生装置２
と被照射部材３を高い位置精度で組み立てる必要がある
場合、ガラスの溶着や真空排気といった工程でのくるい
によって、製造歩留りを低下させてコストを上昇させて
しまうことがなく、大量生産による低価格での提供が可
能となるものである。
第１図は本発明の一実施例に係る画像形成装置の概略
図、第２図はその作用の説明図、第３図は従来技術の説
明図である。 1:電子ビーム発生部、2:電子ビーム発生装置、3:被照射
部材、4:偏向手段、4a〜4d:平板電極、5a,5b:可変電圧
源、6:加速電圧源。
図、第２図はその作用の説明図、第３図は従来技術の説
明図である。 1:電子ビーム発生部、2:電子ビーム発生装置、3:被照射
部材、4:偏向手段、4a〜4d:平板電極、5a,5b:可変電圧
源、6:加速電圧源。
フロントページの続き (72)発明者 山本 満 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−68155（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−258834（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】複数の冷陰極素子が配置された電子ビーム
発生装置と、前記複数の冷陰極素子と一対一に対応させ
て画像形成部材の複数が配置された被照射部材とを有す
る画像形成装置において、前記電子ビーム発生装置と前
記被照射部材との相対位置ずれ量に応じて、前記複数の
冷陰極素子から放出される全ての電子ビームに対して等
しい偏向を行う手段を有することを特徴とする画像形成
装置。 - 【請求項２】前記偏向を行う手段は、前記複数の冷陰極
素子から放出される全ての電子ビームに対して均一な電
界を印加する手段を有する特許請求の範囲第１項に記載
の画像形成装置。 - 【請求項３】前記偏向を行う手段は、前記複数の冷陰極
素子が配置された領域の外側に設けられた偏向電極対
と、前記電子ビーム発生装置と前記被照射部材との相対
位置ずれ量に応じて設定された一定電圧を前記偏向電極
対に印加する電圧源とを有する特許請求の範囲第１項ま
たは第２項に記載の画像形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61128190A JPH0821343B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61128190A JPH0821343B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 画像形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62287553A JPS62287553A (ja) | 1987-12-14 |
| JPH0821343B2 true JPH0821343B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=14978672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61128190A Expired - Fee Related JPH0821343B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821343B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2584045B2 (ja) * | 1989-02-01 | 1997-02-19 | 松下電器産業株式会社 | 平板型画像表示装置 |
| DE69423716T2 (de) * | 1993-12-22 | 2000-08-17 | Canon Kk | Bilderzeugungsgerät |
| JPH09212144A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-08-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像表示方法および装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5968155A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半板形陰極線管 |
| JPS60258834A (ja) * | 1985-01-29 | 1985-12-20 | Sony Corp | 画像表示装置 |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP61128190A patent/JPH0821343B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62287553A (ja) | 1987-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |