JPH08208204A - オゾン発生器 - Google Patents

オゾン発生器

Info

Publication number
JPH08208204A
JPH08208204A JP7039045A JP3904595A JPH08208204A JP H08208204 A JPH08208204 A JP H08208204A JP 7039045 A JP7039045 A JP 7039045A JP 3904595 A JP3904595 A JP 3904595A JP H08208204 A JPH08208204 A JP H08208204A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge electrode
ozone
discharge
secondary side
transformer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7039045A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Ikegami
英雄 池上
Hitoshi Dogoshi
仁 堂腰
Yutaka Hotta
豊 堀田
Masataka Ueno
正隆 上野
Nobuaki Miki
修昭 三木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Technova Inc
Original Assignee
Technova Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technova Inc filed Critical Technova Inc
Priority to JP7039045A priority Critical patent/JPH08208204A/ja
Publication of JPH08208204A publication Critical patent/JPH08208204A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型で効率が高く、放電電極にて電流のリー
クが発生しないオゾン発生器を提供する。 【構成】 電源装置30が、モノバイブレータMの二次
側で共振を生ぜしめる周波数の電流を一次側に流すた
め、二次側に高電位が発生し、該モノバイブレータMの
二次側に接続されたオゾン発生装置10の放電電極16
にて単極放電を生ぜしめることができる。放電電極での
単極放電であるため、酸素からオゾンを効率よく発生さ
せ得ると共に、該放電電極16に硝酸アンモニウムが発
生してもリークの生じることがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、オゾン発生器に関し、
特に、単極放電により酸素をオゾンに変換させるオゾン
発生器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】1対の放電電極と対向電極との間に誘電
体層を介在させ、電力供給装置から高電位を印加し、放
電を生じさせることにより酸素をオゾンに変換するオゾ
ン発生器が、半導体のマスク除去等の大規模な工業上の
用途の他、食品加工等の中規模な用途に、更に、冷蔵庫
の脱臭等の家庭用にも用いられるようになっている。こ
のオゾン発生器の放電素子としては、大規模な用途に
は、円筒状の対向電極の中心に棒状の放電電極を配置し
て、純酸素を供給してオゾンを発生せしめている。ま
た、中規模用には、平板状の対向電極と放電電極とを対
向させ、この両電極間に空気又は酸素を流入してオゾン
を発生せしめている。他方、家庭用では、セラミック等
の誘電体の基板内に面状の対向電極を埋設すると共に、
該誘電体表面に放電電極を配設し、該誘電体表面に沿っ
て放電を生ぜしめる沿面放電型の放電素子が多く用いら
れている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した中規模用の平
板状の対向電極と放電電極とから成る放電素子では、オ
ゾン発生器の小型化を図るためには、対向電極と放電電
極との間のギャップを小さくし、印加電圧を下げること
により電力供給装置を小型化することが必要となる。し
かしながら、ギャップを小さくすると、気体の通路面積
が狭くなり圧損が大きくなり効率が低下する。また、純
酸素ではなく空気を用いた場合には、放電電極側でオゾ
ンと共に、放電により生成するNOX と空気中のNH3
とが放電により反応して硝酸アンモニムが発生し、放電
電極に付着して該対向電極との間でリークが発生し、オ
ゾンを発生し得ない状態に陥いることがある。このた
め、平板状の対向電極と放電電極とを用いるタイプで
は、ギャップを小さくすることにより小型化を図るには
自ずと限界があった。
【0004】同様に上述した比較的少容量の用途に用い
られる沿面放電型の放電素子では、放電電極と対向電極
とに介在させる誘電体を薄くすることによりギャップを
小さくしているため、放電を生ぜしめる誘電体の表面に
沿ってリークが発生し易いという問題があった。
【0005】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、小型で
効率が高く、放電電極にて電流のリークが発生しないオ
ゾン発生器を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1のオゾン発生器では、オゾンを発生させる
ための放電電極と、該放電電極に高周波電圧を印加する
電圧印加装置とから成るオゾン発生器であって、前記電
圧印加装置が、一次側に少ない数の巻線が巻回され、二
次側に多くの数の巻線が巻回され、二次側の一端がフロ
ーティング或いは一次側のどちらか一方の端子に接続さ
れ他端が前記放電電極に接続されたトランスと、トラン
スの二次側で共振を生ぜしめる周波数の電流を一次側に
流し、トランスの二次側に接続された前記放電電極に単
極放電を生ぜしめる高電位を発生させる電力供給手段
と、から構成されることを特徴とする。
【0007】上記の目的を達成するため、請求項2のオ
ゾン発生器では、オゾンを導出する噴射ノズルを有し、
把持可能な大きさに形成されたケーシングと、該ケーシ
ング内に収容され、空気中に放電してオゾンを発生させ
る放電電極と、該ケーシング内に収容され、放電電極へ
外部からの空気を圧送し、前記噴射ノズルからオゾンを
噴出させる送風装置と、該ケーシング内に収容されるト
ランスであって、一次側に少ない数の巻線が巻回され、
二次側に多くの数の巻線が巻回され、二次側の一端がフ
ローティング或いは一次側のどちらか一方の端子に接続
され他端が前記放電電極に接続されたトランスと、前記
トランスの一次側に接続され、トランスの二次側で共振
を生ぜしめる周波数の電流を一次側に流し、トランスの
二次側に接続された前記放電電極に単極放電を生ぜしめ
る高電位を発生させる電力供給手段と、から成ることを
特徴とする。
【0008】また、請求項3のオゾン発生器では、請求
項1又は2において、前記放電電極に複数の突起が形成
されていることを特徴とする。
【0009】
【作用】請求項1のオゾン発生器では、電力供給手段
が、トランスの二次側で共振を生ぜしめる周波数の電流
をトランスの一次側に流すため、二次側に高電位が発生
し、放電電極に単極放電を生ぜしめることができる。放
電電極での単極放電が、酸素からオゾンを効率よく発生
させる。
【0010】請求項2のオゾン発生器では、電力供給手
段が、トランスの二次側で共振を生ぜしめる周波数の電
流をトランスの一次側に流すため、二次側に高電位が発
生し、放電電極に単極放電を生ぜしめることができる。
放電電極での単極放電が、送風装置により圧送された空
気中の酸素からオゾンを発生させる。オゾンは、送風装
置によって噴射ノズルから噴出される。このため、ケー
シングの噴射ノズルを任意の場所に向けることにより、
所望の部位にオゾンを吹き付けることができる。
【0011】請求項3のオゾン発生器では、放電電極に
複数の突起が形成されている。この突起において電界密
度が高くなるため、効率よくオゾンを発生させることが
できる。
【0012】
【実施例】以下、本発明を具体化した実施例について図
を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施例に係
るオゾン発生器の構成を示している。このオゾン発生器
は、オゾンを発生させるオゾン発生装置10と、該オゾ
ン発生装置10に電力を供給する電源装置30とから構
成されている。
【0013】電源装置30は、商用電源を昇圧するトラ
ンス31、昇圧された電圧を平滑する第1平滑回路3
2、及び、第2平滑回路33から成る電源部34と、水
晶発振子35を有する発振回路36から成る発振部37
と、増幅器38、第1トランジスタTR1、第2トラン
ジスタTR2、及び、同調用のコンデンサC1から成る
増幅部39と、モノバイブレータMと、発振部37の発
振周波数を該モノバイブレータMの共振周波数へ同調さ
せる自動同調回路41から成る同調部40と、から構成
される。
【0014】モノバイブレータMは、一次L1側に14
0ターン巻線が巻回され、二次L2側に16000ター
ン巻線が巻回され100以上の巻線比にされ、一次L
1、二次L2が共通に接続されると共に、一次L1及び
二次L2が同心状に配置された空心トランス(以下モノ
バイブレータMと称する)からなる。該モノバイブレー
タMの二次L2側の出力端子は、オゾン発生装置10の
放電電極16に接続されることにより開放され、高圧を
発生して該放電電極16に単極放電(ここで、単極放電
とは、一対の電極間において発生する放電ではなく、孤
立して置かれた一つの電極からの大気中への放電を言
う)を生ぜしめるよう構成されている。
【0015】オゾン発生装置10は、ステンレス等の金
属にガラス等の誘電体層を被覆してなる放電電極16
と、該放電電極16を取り囲むケーシング12と、放電
電極16へ外部から空気を送るための図示しないモータ
により回転される送風ファン14とから構成されてい
る。そして、送風ファン14により導入した空気中の酸
素をオゾンに変えて、ケーシング12の開口部12aか
ら送出するようになっている。この開口部12aには、
テフロン等の耐オゾン性を有する樹脂性のパイプ(図示
せず)が接続され、オゾンを他の装置(図示せず)へ導
くようになっている。
【0016】次に、第1実施例のオゾン発生器の動作に
ついて説明する。先ず、電源部34のスイッチSW1を
オンにする。これにより、トランス31が通電されて、
第1平滑回路32からの電圧が発振回路36に印加さ
れ、該発振回路36が水晶振動子35の固有振動数に従
い発振を開始する。この固有振動数は、増幅部39のコ
ンデンサC1とモノバイブレータMの一次側L1に発振
を生ぜしめる周波数〔f1=1/{2π√(L1・C
1)〕に設定されている。
【0017】一方、第2平滑回路33から、ライン33
aを介して+100Vの電位が、また、ライン33cを
介して−100Vの電位が増幅器38に印加される。該
増幅器38は、ライン38aを介して+100Vの電位
を第1トランジスタTR1のコレクタに加え、また、ラ
イン38cを介して−100Vの電位を第2トランジス
タTR2のコレクタ側に印加させ、更に、信号ライン3
8bを介して第1、第2トランジスタTR1、TR2の
ベースに、上記発振回路36からの信号を加える。これ
により、第1、第2トランジスタTR1、TR2が通電
・停止を繰り返し、上述したようにモノバイブレータM
の一次側L1とコンデンサC1との共振する周波数の電
流が、当該モノバイブレータMの一次側L1に流され
る。
【0018】モノバイブレータMの二次側の開放端(放
電電極16)で、電位が最高になるのは、二次L2側の
インダクタンス分と二次側の浮遊容量Ctとの共振する
周期の電流が、一次側L1に流されたときである。この
浮遊容量Ctは、状態により変化するため該共振周波数
は変動することになる。この変動する周波数に同調させ
るため、自動同調回路41が、二次L2側の電位をライ
ン42からの信号を基に監視しながら、ライン36aを
介して走査信号を発振回路36へ送出する。該発振回路
36は、走査信号に基づき設定された範囲で発振周波数
をスキャンし、この発振信号に基づき増幅器38がモノ
バイブレータMの一次L1側に電流を流すことにより、
二次L2側の電位を変動させる。二次L2側で共振状態
となり電位が最高になると、これを自動同調回路41
が、二次L2側のライン42からの電位を基に検出し、
発振回路36の周波数を固定する。このとき、二次L2
に接続された放電電極16が単極放電を発生し得る電位
へ達し、該放電電極16から放電が開始される。そし
て、この放電電極16からのプラズマ放電により、送風
ファン14により圧送された空気中の酸素がオゾンに変
換され、ケーシング12の開口部12aから導出され
る。
【0019】第1実施例の構成に係るオゾン発生器で
は、モノバイブレータMの二次側で発振が発生するよう
に電力を制御するため、放電電極16で単極放電を発生
せしめる高電位を容易に発生することができる。そし
て、単極放電を用いるため、従来技術の平板状の放電素
子と異なり、空気を電極間に通さないため圧損の生じる
ことがない。また、単極放電を用いるため、例え放電電
極16にて生成するNOXと空気中のNH3 とが放電に
より反応して硝酸アンモニムが発生し、放電電極16に
付着しても、対向電極が無いためリークが発生し得ず、
オゾン発生効率の低下することがない。更に、この放電
電極16からの放電は、単極放電であるため、放電電極
16側から大気中への放電と、大気中から放電電極16
への放電を繰り返しているだけで、一対の電極間に電流
を流すのと異なり、放電電極16の温度が上昇し難い。
ここで、放電電極16が高温になると、生成したオゾン
と接触し酸素に還元させ効率を低下させるが、本実施例
では、放電電極16の温度が高くならないため、オゾン
発生効率の低下することがない。更に、放電電極16が
高温になると、放電時に空気中の窒素を有害なNOX
変換し易くなるが、この実施例では、放電電極16の温
度が高くならないため、高濃度のNOX を発生すること
がない。
【0020】ここで、本発明の第2実施例について図2
を参照して説明する。この第2実施例の構成において、
電源装置30は、上述した第1実施例とほぼ同一である
ので、同一の参照符号を用いると共にその説明を省略す
る。上述した第1実施例では、放電電極16へ空気を供
給し空気中の酸素をオゾンへ変換せしめたが、この第2
実施例においては、純酸素をオゾン発生装置10へ供給
してオゾンを発生せしめるようになっている。このオゾ
ン発生装置10へは、酸素供給装置20から酸素パイプ
25を介して酸素が供給されるようになっている。この
酸素供給装置20は、酸素を貯留した酸素ボンベ(図示
せず)と、該酸素ボンベからの酸素を一定の流量でオゾ
ン発生装置10側へ圧送するための流量調整器(図示せ
ず)とから構成されている。酸素からオゾンを発生する
放電電極16は、ケーシング12内に収容され、該ケー
シング12の開口部12aには、テフロン等の耐オゾン
性を有する樹脂性のパイプ(図示せず)が接続され、オ
ゾンを他の装置(図示せず)へ導くようになっている。
【0021】上述したように放電電極が高温になると、
発生させたオゾンを酸素に還元させるようになる。この
ため、大規模な工場等に設置される従来のオゾン発生器
では、放電時に高温となる放電電極を、液体酸素が気化
するときの気化熱により冷却された酸素を、接触させる
ことにより冷却している。しかしながら、病院等に配置
される比較的少容量で、且つ、純酸素からオゾンを発生
させるオゾン発生器では、火災等の危険がないよう酸素
ボンベから離してオゾン発生器を設けており、酸素によ
る冷却が行えないので、オゾンを連続して発生させると
放電電極が高温となりオゾンの発生効率が低下した。こ
れに対して第2実施例のオゾン発生器においては、単極
放電であるため、放電電極16側から酸素中への放電
と、酸素中から放電電極16への放電とを繰り返してい
るだけで、放電電極16の温度が上昇し難いため、連続
して動作してもオゾン発生効率が低下しない利点があ
る。
【0022】ここで、本発明の第3実施例について図3
を参照して説明する。この第3実施例の構成において、
電源装置30は、上述した第1実施例とほぼ同一である
ので、同一の参照符号を用いると共にその説明を省略す
る。上述した第1実施例では、放電電極16が針状に形
成されたが、この第2実施例において、図中(A)の一
部拡大図に示すよう放電電極16に、放射状に突起16
aが設けられている。第2実施例のオゾン発生器におい
ては、突起16aの先端において電界密度が高くなるた
め、効率よくオゾンを発生させることができる。この放
電電極16には、ステンレス、モリブデン等の耐オゾン
性のある金属を用いることができ、さらに、この金属表
面にガラス、セラミック等の誘電体の被覆を設けること
によりオゾンによる腐食を防ぐことも可能である。
【0023】次に、本発明の第4実施例について図4及
び図5を参照して説明する。図4において、電源装置1
30は、商用電源を昇圧するトランス31、昇圧された
電圧を平滑する第1平滑回路32、及び、第2平滑回路
33から成る電源部34と、水晶発振子35を有する発
振回路36から成る発振部37と、増幅器38、第1ト
ランジスタTR1、第2トランジスタTR2、及び、同
調用のコンデンサC1から成る増幅部39と、発振部3
7の発振周波数をモノバイブレータMの共振周波数へ同
調させる自動同調回路41から成る同調部40とから構
成される。この電源装置130の出力は、増幅部39か
らライン43を介してハンドピース50のモノバイブレ
ータMへ伝送されるようになっている。
【0024】ここで、ハンドピース50の機械的構成に
ついて図5を参照して説明する。ハンドピース50は、
操作者が容易に取り扱えるように全長150mmで把持可
能な大きさに形成されており、図1を参照した第1実施
例と同様なモノバイブレータMを収容するための筒状の
テフロンから成る把持部52と、該把持部52の先側に
形成されたノズル54とから主として構成されている。
モノバイブレータMの一次巻線及び二次巻線は、同心状
に中空ボビン57に巻回されている。モノバイブレータ
Mの二次巻線は、該ノズル54の略中央に配置される放
電電極16に接続される。ノズル54の先端にはオゾン
を噴射する開口部54aが設けられている。他方、把持
部52の後部には、モータ56と、該モータ56により
回動される送風ファン58とが配置されている。また、
把持部52の後端には、該ハンドピース50の吸気口5
2aを形成する開口部が設けられ、この吸気口52aに
は、防塵用のメッシュ59が取り付けられている。ま
た、モノバイブレータMの一次側は、電源装置30から
ライン43(図4参照)を介して高周波電圧の供給を受
けるようになっている。同様にモータ56は、電源装置
30の電源部34からライン33a、33cを介して電
力の供給を受けるようになっている。更に、モノバイブ
レータMからは、図1に示した第1実施例と同様に二次
側の電位がライン42を介し自動同調回路41に帰還さ
れるようになっている。
【0025】次に、第4実施例のオゾン発生器の動作に
ついて説明する。先ず、電源部34のスイッチSW1を
オンにする。これにより、トランス31が通電されて、
第1平滑回路32からの電圧が発振回路36に印加さ
れ、該発振回路36が水晶振動子35の固有振動数に従
い発振を開始する。この固有振動数は、増幅部39のコ
ンデンサC1とモノバイブレータMの一次側(一次側の
インダクタンスをL1とする)に発振を生ぜしめる周波
数〔f1=1/{2π√(L1・C1)〕に設定されて
いる。
【0026】一方、第2平滑回路33から、ライン33
a及びライン33cを介してハンドピース50のモータ
56へ電位が加えられ、該モータ56が送風ファン58
を回動し放電電極16への送風を開始する。これと同時
に、該第2平滑回路33から、ライン33aを介して+
100Vの電位が、また、ライン33cを介して−10
0Vの電位が増幅器38に印加される。該増幅器38
は、ライン38aを介して+100Vの電位を第1トラ
ンジスタTR1のコレクタに加え、また、ライン38c
を介して−100Vの電位を第2トランジスタTR2の
コレクタ側に印加させ、更に、信号ライン38bを介し
て第1、第2トランジスタTR1、TR2のベースに、
上記発振回路36からの信号を加える。これにより、第
1、第2トランジスタTR1、TR2が通電・停止を繰
り返し、上述したようにモノバイブレータMの一次側と
コンデンサC1との共振する周波数の電流が、当該モノ
バイブレータMの一次側に流される。
【0027】自動同調回路41は、二次側の電位をライ
ン42からの信号を基に監視しながら、ライン36aを
介して走査信号を発振回路36へ送出する。該発振回路
36は、走査信号に基づき設定された範囲で発振周波数
をスキャンし、この発振信号に基づき増幅器38がモノ
バイブレータMの一次側に電流を流すことにより、二次
側の電位を変動させる。二次側で共振状態となり電位が
最高になると、これを自動同調回路41が、二次側のラ
イン42からの電位を基に検出し、発振回路36の周波
数を固定する。このとき、二次に接続された放電電極1
6が単極放電を発生し得る電位へ達し、該放電電極16
から放電が開始される。
【0028】この放電電極16からのプラズマ放電によ
り、送風ファン58により圧送された空気中の酸素がオ
ゾンに変換され、ハンドピース50のノズル54の先端
に設けられた開口部54aからオゾンが噴射される。こ
の第4実施例においては、モノバイブレータMの二次側
で発振が発生するように電力を制御するため、放電電極
16で単極放電を発生せしめる高電位を容易に発生する
ことができ、把持可能な小型なハンドピース50内で大
量のオゾンを発生させることが可能となる。このハンド
ピース50は、ノズル54を所望の部位に向けることに
より、例えば、医療用装置等の狭い隙間の清掃や、或い
は、外科手術用具等の小さな部材の消毒等ができる。な
お、この第4実施例においては、空気中の酸素をオゾン
に変換する例について説明したが、空気の代わりに上述
した第2実施例のように純酸素を可撓性を有する酸素パ
イプを介して供給し、オゾンを発生させるよう構成する
ことも可能である。
【0029】以上説明した第1〜第4実施例では、自動
同調回路41が、モノバイブレータMの二次L2側で共
振を起こさせるように発振回路36の発振周波数を走査
し、二次側の電位を検出することにより二次側共振周波
数に一次側の周波数を固定したが、この自動同調回路4
1を設けることなく、二次L2側で共振を生ぜしめるで
あろう周波数に発振回路36を設定しておくことも可能
である。また、上述した実施例では、モノバイブレータ
Mを高電位発生用のトランスとして用いたが、この代わ
りにテスラーコイルを用いることも可能である。更に、
上述した実施例では、本発明の単極式の放電電極と電源
装置とオゾン発生器に適用する例について説明したが、
本発明はオゾン発生器に限定されず、例えば、イオン発
生器、帯電器、除電器等にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るオゾン発生器の構成
を示すブロック図である。
【図2】本発明の第2実施例に係るオゾン発生器の構成
を示すブロック図である。
【図3】本発明の第3実施例に係るオゾン発生器の構成
を示すブロック図である。
【図4】本発明の第4実施例に係るオゾン発生器の回路
構成を示すブロック図である。
【図5】本発明の第4実施例に係るオゾン発生器のハン
ドピースの一部切り欠き側面図である。
【符号の説明】 10 オゾン発生装置 16 放電電極 30 電源装置 37 発振部 39 増幅部 40 同調部 50 ハンドピース M モノバイブレータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀田 豊 北海道札幌市西区山の手1条10丁目2番1 −108 (72)発明者 上野 正隆 北海道札幌市南区南37条西11丁目9−3 (72)発明者 三木 修昭 北海道札幌市厚別区厚別中央1条5丁目1 −22 ライオンズステーションプラザ新札 幌ビル703

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 オゾンを発生させるための放電電極と、 該放電電極に高周波電圧を印加する電圧印加装置とから
    成るオゾン発生器であって、 前記電圧印加装置が、 一次側に少ない数の巻線が巻回され、二次側に多くの数
    の巻線が巻回され、二次側の一端がフローティング或い
    は一次側のどちらか一方の端子に接続され他端が前記放
    電電極に接続されたトランスと、 トランスの二次側で共振を生ぜしめる周波数の電流を一
    次側に流し、トランスの二次側に接続された前記放電電
    極に単極放電を生ぜしめる高電位を発生させる電力供給
    手段と、から構成されることを特徴とするオゾン発生
    器。
  2. 【請求項2】 オゾンを導出する噴射ノズルを有し、把
    持可能な大きさに形成されたケーシングと、 該ケーシング内に収容され、空気中に放電してオゾンを
    発生させる放電電極と、 該ケーシング内に収容され、放電電極へ外部からの空気
    を圧送し、前記噴射ノズルからオゾンを噴出させる送風
    装置と、 該ケーシング内に収容されるトランスであって、一次側
    に少ない数の巻線が巻回され、二次側に多くの数の巻線
    が巻回され、二次側の一端がフローティング或いは一次
    側のどちらか一方の端子に接続され他端が前記放電電極
    に接続されたトランスと、 前記トランスの一次側に接続され、トランスの二次側で
    共振を生ぜしめる周波数の電流を一次側に流し、トラン
    スの二次側に接続された前記放電電極に単極放電を生ぜ
    しめる高電位を発生させる電力供給手段と、から成るこ
    とを特徴とするオゾン発生器。
  3. 【請求項3】 前記放電電極に複数の突起が形成されて
    いることを特徴とする請求項1又は2のオゾン発生器。
JP7039045A 1995-02-03 1995-02-03 オゾン発生器 Pending JPH08208204A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7039045A JPH08208204A (ja) 1995-02-03 1995-02-03 オゾン発生器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7039045A JPH08208204A (ja) 1995-02-03 1995-02-03 オゾン発生器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08208204A true JPH08208204A (ja) 1996-08-13

Family

ID=12542159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7039045A Pending JPH08208204A (ja) 1995-02-03 1995-02-03 オゾン発生器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08208204A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008034174A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Sharp Corp 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器
JP2008043034A (ja) * 2006-08-04 2008-02-21 Sharp Corp 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008034174A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Sharp Corp 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器
JP2008043034A (ja) * 2006-08-04 2008-02-21 Sharp Corp 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100422163B1 (ko) 플라즈마 처리장치 및 이 장치를 이용한 플라즈마 생성방법
US6099523A (en) Cold plasma coagulator
US5630990A (en) Ozone generator with releasable connector and grounded current collector
US6001315A (en) Apparatus for chemical conversion
US6730277B2 (en) Ozone generator
KR100407447B1 (ko) 고농도 오존 발생 장치
US11792910B2 (en) Process for producing ozone and apparatus for ozone generation
JPH08208204A (ja) オゾン発生器
JP2002319576A (ja) 高周波プラズマ処理装置
US6909237B1 (en) Production of stable, non-thermal atmospheric pressure rf capacitive plasmas using gases other than helium or neon
JP2001118697A (ja) 誘導プラズマの発生装置
JP2644973B2 (ja) オゾン発生装置
RU2139239C1 (ru) Портативный озонатор воздуха
JP2003051366A (ja) イオン発生装置
US5762886A (en) Ozone generator
KR100308337B1 (ko) 오존발생장치
JPH08213371A (ja) プラズマ加工装置
KR102135504B1 (ko) 플라즈마 발생 장치
JPH07309606A (ja) オゾン発生装置
JPH08151201A (ja) オゾン発生装置および水槽浄化装置
RU2294281C1 (ru) Устройство для электрогазоразрядной обработки поверхностей материалов
JP2000012257A (ja) 放電ランプ点灯装置
JPS60169178A (ja) ガスレ−ザ装置
JPH1154298A (ja) 可搬式小型表面処理装置
JP2707356B2 (ja) 気体レーザ装置