JPH08207281A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH08207281A JPH08207281A JP4131695A JP4131695A JPH08207281A JP H08207281 A JPH08207281 A JP H08207281A JP 4131695 A JP4131695 A JP 4131695A JP 4131695 A JP4131695 A JP 4131695A JP H08207281 A JPH08207281 A JP H08207281A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- electrode
- recording head
- ink jet
- wiring width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、配線電極の配線幅が急激に変化する
部分或いは前記配線電極の折れ曲がっている部分等での
電流集中を防止し、信頼性の高いインクジェット記録ヘ
ッドを提供することを目的とするものである。 【構成】本発明は上記目的を達成するために、 電気熱
変換体に電気的に接続した配線電極が設けられてなる発
熱体基板を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記配線電極の配線幅が急激に変化する部分、或いは前
記配線電極の折れ曲がっている部分を電流集中を緩和す
る形状としたことを特徴とするものである。
部分或いは前記配線電極の折れ曲がっている部分等での
電流集中を防止し、信頼性の高いインクジェット記録ヘ
ッドを提供することを目的とするものである。 【構成】本発明は上記目的を達成するために、 電気熱
変換体に電気的に接続した配線電極が設けられてなる発
熱体基板を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記配線電極の配線幅が急激に変化する部分、或いは前
記配線電極の折れ曲がっている部分を電流集中を緩和す
る形状としたことを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、記録用の液体（インク
等）を飛翔液滴として吐出口（オリフィス）から吐出さ
せて、記録媒体に付着させることによって記録を行うイ
ンクジェット記録装置に配設されるインクジェット記録
ヘッドに関するものである。
等）を飛翔液滴として吐出口（オリフィス）から吐出さ
せて、記録媒体に付着させることによって記録を行うイ
ンクジェット記録装置に配設されるインクジェット記録
ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種のインクジェット記録法を適用した
記録ヘッドの中でも、高密度マルチオリフィス化に好適
な構造を有するものとして、吐出液滴形成用のエネルギ
ーとして熱を利用するタイプのものが挙げられる。この
熱エネルギーを利用するインクジェット記録ヘッドによ
る記録は、記録ヘッドの通路内のインクを電気熱変換体
（ヒーター）を通電することにより短時間で加熱し、気
泡を発生させ、その際に生じる力により吐出口より液滴
を吐出させ、それを被記録材に付着させることによって
行われる。従来、このようなインクジェット記録ヘッド
における配線方法としては、配線抵抗算出の容易さやＣ
ＡＤ等によるデータ作成時の簡略化等の理由から、図５
に示すように共通電極や個別電極などの配線と各電極パ
ッドとの接続が、単純に２つのパターンが重なったその
ままの形状で行われていた。
記録ヘッドの中でも、高密度マルチオリフィス化に好適
な構造を有するものとして、吐出液滴形成用のエネルギ
ーとして熱を利用するタイプのものが挙げられる。この
熱エネルギーを利用するインクジェット記録ヘッドによ
る記録は、記録ヘッドの通路内のインクを電気熱変換体
（ヒーター）を通電することにより短時間で加熱し、気
泡を発生させ、その際に生じる力により吐出口より液滴
を吐出させ、それを被記録材に付着させることによって
行われる。従来、このようなインクジェット記録ヘッド
における配線方法としては、配線抵抗算出の容易さやＣ
ＡＤ等によるデータ作成時の簡略化等の理由から、図５
に示すように共通電極や個別電極などの配線と各電極パ
ッドとの接続が、単純に２つのパターンが重なったその
ままの形状で行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記する
ような構成の場合、相接するパターンの配線幅の差が大
きくなるに従い、特に電流が配線幅の広い方から狭い方
へ流れていく場合には、両パターンが接する部分の狭い
方の配線の角部に電流集中が起こり、この部分で破壊が
生じるという問題があった。
ような構成の場合、相接するパターンの配線幅の差が大
きくなるに従い、特に電流が配線幅の広い方から狭い方
へ流れていく場合には、両パターンが接する部分の狭い
方の配線の角部に電流集中が起こり、この部分で破壊が
生じるという問題があった。
【０００４】そこで本発明は、このような配線電極の配
線幅が急激に変化する部分或いは前記配線電極の折れ曲
がっている部分等での電流集中を防止し、信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする
ものである。
線幅が急激に変化する部分或いは前記配線電極の折れ曲
がっている部分等での電流集中を防止し、信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする
ものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、電気熱変換体に電気的に接続した配線電極
が設けられてなる発熱体基板を有するインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記配線電極の配線幅が急激に変化
する部分、或いは前記配線電極の折れ曲がっている部分
等を電流集中を緩和する形状としたことを特徴とするも
のである。そして、本発明においては前記電流集中を緩
和する形状として、配線幅が徐々に変化するようなテー
パー状とするか、または、配線幅が徐々に変化するよう
に１段または複数段に分けて配線幅を変えた形状とする
か、或いは配線幅が徐々に変化するように１段または複
数段に分けて配線幅が変えてあり、且つ各段差接続部に
テーパーが形成された形状とするかのいずれかの形状を
採用することができる。
成するため、電気熱変換体に電気的に接続した配線電極
が設けられてなる発熱体基板を有するインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記配線電極の配線幅が急激に変化
する部分、或いは前記配線電極の折れ曲がっている部分
等を電流集中を緩和する形状としたことを特徴とするも
のである。そして、本発明においては前記電流集中を緩
和する形状として、配線幅が徐々に変化するようなテー
パー状とするか、または、配線幅が徐々に変化するよう
に１段または複数段に分けて配線幅を変えた形状とする
か、或いは配線幅が徐々に変化するように１段または複
数段に分けて配線幅が変えてあり、且つ各段差接続部に
テーパーが形成された形状とするかのいずれかの形状を
採用することができる。
【０００６】
【作用】本発明は、上記したように配線電極の配線幅が
急激に変化する部分、或いは前記配線電極の折れ曲がっ
ている部分等を電流集中を緩和する形状、例えば、テー
パー部などの電流集中を緩和するような形状を有するパ
ターンを施すことにより、電流の流れをスムースにする
ことができるので、電流が配線幅の広い方から狭い方へ
流れても、配線幅が急激に変化する部分における狭い方
の配線接続部等に電流集中が起こることがなく、電流集
中による記録ヘッドの破壊が防止される。
急激に変化する部分、或いは前記配線電極の折れ曲がっ
ている部分等を電流集中を緩和する形状、例えば、テー
パー部などの電流集中を緩和するような形状を有するパ
ターンを施すことにより、電流の流れをスムースにする
ことができるので、電流が配線幅の広い方から狭い方へ
流れても、配線幅が急激に変化する部分における狭い方
の配線接続部等に電流集中が起こることがなく、電流集
中による記録ヘッドの破壊が防止される。
【０００７】
【実施例】以下、実施例に従って本発明を詳細に説明す
る。図１は本発明の一実施例におけるインクジェット記
録ヘッドの基板の主要部を示す平面図である。インクジ
ェット記録ヘッドは基板（１００）上に複数の電気熱変
換体（ヒーター）が形成され、それぞれのヒーターは一
対の対向する電極間に配置された構成を有している。こ
れら一対の電極は、一方は共通電極に接続され、他方は
個別電極に接続されていて、それぞれ各電極パッドに接
続されている。各ヒーターは、これらの電極を通じて電
圧が印加されることにより発熱する。このような構成に
おいて、配線電極（１０２）と電極パッド（１０１）と
の接続部分には電流集中緩和パターン（１０３）として
テーパー部が形成されている。このような記録ヘッド
は、例えば以下のようにして作成することができる。ま
ず、Ｓｉウエハーの表面に熱酸化により約３μｍ厚さの
ＳｉＯ2層を形成する。更にスパッタ法によりヒーター
層としてＨｆＢ2を１５００オームストロングの厚さに
スパッタリングし、続いて電子ビーム蒸着法またはスパ
ッタ法により配線電極材料としてＡｌ膜を５０００〜６
０００オームストロング堆積させた後、フォトリソグラ
フィ工程により、所望のヒーター形状及び配線電極形状
が得られるようにパターン形成する。次に保護層として
ＳｉＯ2膜をスパッタリングにより１．０μｍ堆積させ
る。その後、スパッタ法により耐キャビテーション層と
してＴａを０．２μｍ形成後、フォトリソグラフィ工程
により所望のＴａ膜のパターンを得て基板作成を終了す
る。
る。図１は本発明の一実施例におけるインクジェット記
録ヘッドの基板の主要部を示す平面図である。インクジ
ェット記録ヘッドは基板（１００）上に複数の電気熱変
換体（ヒーター）が形成され、それぞれのヒーターは一
対の対向する電極間に配置された構成を有している。こ
れら一対の電極は、一方は共通電極に接続され、他方は
個別電極に接続されていて、それぞれ各電極パッドに接
続されている。各ヒーターは、これらの電極を通じて電
圧が印加されることにより発熱する。このような構成に
おいて、配線電極（１０２）と電極パッド（１０１）と
の接続部分には電流集中緩和パターン（１０３）として
テーパー部が形成されている。このような記録ヘッド
は、例えば以下のようにして作成することができる。ま
ず、Ｓｉウエハーの表面に熱酸化により約３μｍ厚さの
ＳｉＯ2層を形成する。更にスパッタ法によりヒーター
層としてＨｆＢ2を１５００オームストロングの厚さに
スパッタリングし、続いて電子ビーム蒸着法またはスパ
ッタ法により配線電極材料としてＡｌ膜を５０００〜６
０００オームストロング堆積させた後、フォトリソグラ
フィ工程により、所望のヒーター形状及び配線電極形状
が得られるようにパターン形成する。次に保護層として
ＳｉＯ2膜をスパッタリングにより１．０μｍ堆積させ
る。その後、スパッタ法により耐キャビテーション層と
してＴａを０．２μｍ形成後、フォトリソグラフィ工程
により所望のＴａ膜のパターンを得て基板作成を終了す
る。
【０００８】図２乃至図４は、本発明の他の実施例にお
けるインクジェット記録ヘッド基板の主要部を示す平面
図である。図２に示される実施例は、配線電極（１０
２）と電極パッド（１０１）との接続部分に電流集中緩
和パターン（１０３）として、階段状をなす１段及び複
数段の方形パターンを施し、配線幅が徐々に変化するよ
うに１段または複数段に分けて配線幅を変えるように形
成されている。また、図３に示される実施例は、配線電
極（１０２）と電極パッド（１０１）との接続部分には
電流集中緩和パターン（１０３）として、前記方形パタ
ーンとテーパー部とを組み合わせ、配線幅が徐々に変化
するように１段または複数段に分けて配線幅を変えると
共に、各段差接続部にテーパーを施すように形成されて
いる。さらに、図４（Ｂ）に示される実施例は、配線電
極パターン（１０２）が途中で折れ曲がっている図４
（Ａ）の従来例に対して、その屈曲角部にテーパー部を
有する電流集中緩和パターン（１０３）を形成するよう
にした藻のである。
けるインクジェット記録ヘッド基板の主要部を示す平面
図である。図２に示される実施例は、配線電極（１０
２）と電極パッド（１０１）との接続部分に電流集中緩
和パターン（１０３）として、階段状をなす１段及び複
数段の方形パターンを施し、配線幅が徐々に変化するよ
うに１段または複数段に分けて配線幅を変えるように形
成されている。また、図３に示される実施例は、配線電
極（１０２）と電極パッド（１０１）との接続部分には
電流集中緩和パターン（１０３）として、前記方形パタ
ーンとテーパー部とを組み合わせ、配線幅が徐々に変化
するように１段または複数段に分けて配線幅を変えると
共に、各段差接続部にテーパーを施すように形成されて
いる。さらに、図４（Ｂ）に示される実施例は、配線電
極パターン（１０２）が途中で折れ曲がっている図４
（Ａ）の従来例に対して、その屈曲角部にテーパー部を
有する電流集中緩和パターン（１０３）を形成するよう
にした藻のである。
【０００９】なお、本発明は上記した配線電極と電極パ
ッドとの接続部や屈曲部だけではなく、全ての配線幅の
異なるパターンの接続部及び屈曲部においても有効であ
ることは勿論である。
ッドとの接続部や屈曲部だけではなく、全ての配線幅の
異なるパターンの接続部及び屈曲部においても有効であ
ることは勿論である。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上のように電気熱変換体に
電気的に接続した配線電極が設けられてなる発熱体基板
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記配線
電極の配線幅が急激に変化する部分、或いは前記配線電
極の折れ曲がっている部分等を電流集中を緩和する形状
としたことにより、これらの部分における電流の流れを
スムースにすることができるので、電流集中によるイン
クジェット記録ヘッドの破壊を防止することができる。
また、その電流集中の緩和手段も、上記したようにその
パターン形状を変更するだけで行うことができるので、
そのためのコストアップを生じることなく信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドを得ることができる。
電気的に接続した配線電極が設けられてなる発熱体基板
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記配線
電極の配線幅が急激に変化する部分、或いは前記配線電
極の折れ曲がっている部分等を電流集中を緩和する形状
としたことにより、これらの部分における電流の流れを
スムースにすることができるので、電流集中によるイン
クジェット記録ヘッドの破壊を防止することができる。
また、その電流集中の緩和手段も、上記したようにその
パターン形状を変更するだけで行うことができるので、
そのためのコストアップを生じることなく信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドを得ることができる。
【図１】本発明の記録ヘッドを構成する基板の一実施例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図２】本発明の記録ヘッドを構成する基板の他の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図３】本発明の記録ヘッドを構成する基板の他の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図４】本発明の記録ヘッドを構成する基板の他の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図５】従来の記録ヘッドを構成する基板の一例を示す
平面図である。
平面図である。
１００ 基板 １０１ 電極パッド １０２ 配線電極 １０３ 電流集中緩和パターン
Claims (4)
- 【請求項１】電気熱変換体に電気的に接続した配線電極
が設けられてなる発熱体基板を有するインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記配線電極の配線幅が急激に変化
する部分、或いは前記配線電極の折れ曲がっている部分
等を電流集中を緩和する形状としたことを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記電流集中を緩和する形状が、配線幅
が徐々に変化するようなテーパー状をなしていることを
特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記電流集中を緩和する形状が、配線幅
が徐々に変化するように１段または複数段に分けて配線
幅が変えてあることを特徴とする請求項１に記載のイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記電流集中を緩和する形状が、配線幅
が徐々に変化するように１段または複数段に分けて配線
幅が変えてあり、且つ各段差接続部にテーパーが形成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4131695A JPH08207281A (ja) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4131695A JPH08207281A (ja) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08207281A true JPH08207281A (ja) | 1996-08-13 |
Family
ID=12605113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4131695A Pending JPH08207281A (ja) | 1995-02-06 | 1995-02-06 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08207281A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011249809A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Lsis Co Ltd | 太陽電池モジュール用リボン |
| JP2020096157A (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| WO2020121851A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| US11513002B2 (en) | 2018-12-12 | 2022-11-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device having temperature compensated gain in avalanche photodiode |
| US11901379B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-02-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector |
-
1995
- 1995-02-06 JP JP4131695A patent/JPH08207281A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011249809A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Lsis Co Ltd | 太陽電池モジュール用リボン |
| CN102290471A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-12-21 | Ls产电株式会社 | 用于光伏组件的带 |
| US9147775B2 (en) | 2010-05-26 | 2015-09-29 | Lsis Co., Ltd. | Ribbon for photovoltaic module |
| JP2020096157A (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| WO2020121851A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| US11513002B2 (en) | 2018-12-12 | 2022-11-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device having temperature compensated gain in avalanche photodiode |
| US11561131B2 (en) | 2018-12-12 | 2023-01-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Determination method and light detection device |
| US11901379B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-02-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector |
| US11927478B2 (en) | 2018-12-12 | 2024-03-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
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