JPH08189575A - 逆止弁 - Google Patents
逆止弁Info
- Publication number
- JPH08189575A JPH08189575A JP56595A JP56595A JPH08189575A JP H08189575 A JPH08189575 A JP H08189575A JP 56595 A JP56595 A JP 56595A JP 56595 A JP56595 A JP 56595A JP H08189575 A JPH08189575 A JP H08189575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- valve
- valve body
- sealing member
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高圧配管に使用しても弾性シール部材(Oリ
ング)が凹溝から抜け出たり変形しないようにするこ
と。 【構成】 弁体の凹溝内に装着したOリングの外径側を
押えてOリングが抜け出ようとするのと防止する押えリ
ング部材を弁体に嵌着して設けた逆止弁。
ング)が凹溝から抜け出たり変形しないようにするこ
と。 【構成】 弁体の凹溝内に装着したOリングの外径側を
押えてOリングが抜け出ようとするのと防止する押えリ
ング部材を弁体に嵌着して設けた逆止弁。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、流体の逆流を防止する
逆止弁の改良に関する。
逆止弁の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の逆止弁の一例を図2に示す。この
逆止弁は、流入流路11と管接続ねじ12を備えた弁本体1
と流出流路21と管接続ねじ22を備えた弁本体2をワッシ
ャ7を介してユニオンナット3でねじ締結した所謂イン
ライン式の逆止弁である。そして内部には弁本体1の開
口端に一体的に成形した弁座部13と開閉自在に対向配置
した弁体4が、通常ばね部材5によって閉弁方向に付勢
されている。弁体4には安定した開閉動作を行えるよう
に弁本体2の開口内面23と摺動するガイド部41と前記弁
座部13と直接当接して密封シールするシール部材、一般
にOリング6が凹溝42内に装着されている。尚、31は漏
れ検査用のリークポートである。
逆止弁は、流入流路11と管接続ねじ12を備えた弁本体1
と流出流路21と管接続ねじ22を備えた弁本体2をワッシ
ャ7を介してユニオンナット3でねじ締結した所謂イン
ライン式の逆止弁である。そして内部には弁本体1の開
口端に一体的に成形した弁座部13と開閉自在に対向配置
した弁体4が、通常ばね部材5によって閉弁方向に付勢
されている。弁体4には安定した開閉動作を行えるよう
に弁本体2の開口内面23と摺動するガイド部41と前記弁
座部13と直接当接して密封シールするシール部材、一般
にOリング6が凹溝42内に装着されている。尚、31は漏
れ検査用のリークポートである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような逆止弁は、
半導体製造装置における各種ガス配管系にも使用される
が、この種の配管系においても比較的高圧のガスを扱う
場合や逃し弁として使用することがある。また二次側流
路が真空引きされて使用することもある。このような場
合、開弁時に流入した流体が凹溝42の背面側に入り込み
Oリング6を凹溝42から押し出そうとする力が、また流
体の流れに押されて抜け出ようとする力が作用する。こ
れらによって最悪Oリングが抜け出てしまうことも考え
られるし、抜け出ないまでも変形をともなうので閉弁時
のシール性が低下するという問題がある。
半導体製造装置における各種ガス配管系にも使用される
が、この種の配管系においても比較的高圧のガスを扱う
場合や逃し弁として使用することがある。また二次側流
路が真空引きされて使用することもある。このような場
合、開弁時に流入した流体が凹溝42の背面側に入り込み
Oリング6を凹溝42から押し出そうとする力が、また流
体の流れに押されて抜け出ようとする力が作用する。こ
れらによって最悪Oリングが抜け出てしまうことも考え
られるし、抜け出ないまでも変形をともなうので閉弁時
のシール性が低下するという問題がある。
【0004】本発明は、このような問題を解決するもの
で高圧流体がOリングに作用してもシール機能を損うこ
とも、また抜け出ることもない逆止弁を提供することを
目的とする。
で高圧流体がOリングに作用してもシール機能を損うこ
とも、また抜け出ることもない逆止弁を提供することを
目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、弁座を有する
弁座を備えた第1の弁本体と、軸方向の摺動を案内する
ガイド部を有し、前記弁座に接離する弾性シール部材を
凹溝内に装着した弁体と、この弁体を弁座側に付勢する
ばね部材と、前記弁体を内部に配置した第2の弁本体
と、前記第1と第2の弁本体を締結するユニオンナット
とを有する逆止弁において、開弁時に前記弾性シール部
材が凹溝内から抜け出さないような抜け防止手段を設け
た逆止弁である。
弁座を備えた第1の弁本体と、軸方向の摺動を案内する
ガイド部を有し、前記弁座に接離する弾性シール部材を
凹溝内に装着した弁体と、この弁体を弁座側に付勢する
ばね部材と、前記弁体を内部に配置した第2の弁本体
と、前記第1と第2の弁本体を締結するユニオンナット
とを有する逆止弁において、開弁時に前記弾性シール部
材が凹溝内から抜け出さないような抜け防止手段を設け
た逆止弁である。
【0006】上記抜け防止手段としては、弾性シール部
材たとえばOリングの外形側の50〜70%を拘束するよう
な押えリング部材を装着する。あるいは凹溝の外径側を
かしめてOリングの抜け出しを拘束する等がある。
材たとえばOリングの外形側の50〜70%を拘束するよう
な押えリング部材を装着する。あるいは凹溝の外径側を
かしめてOリングの抜け出しを拘束する等がある。
【0007】
【作用】流体圧が凹溝内に入り込んで弾性シール部材を
押し出そうとしても抜け防止手段があるから外側への飛
び出しが抑えられ、抜け出すことがなく、また変形も少
ない。尚、低圧配管の場合はこのような抜け出し現象は
生じ難いので、必ずしも全てに抜け防止手段を設ける必
要はない。従って、押えリングを嵌着しないものを低圧
用とし、逆に押えリング付のものを高圧用とし、その他
の部品構成は同一となして逆止弁自体は共通化すること
ができる。
押し出そうとしても抜け防止手段があるから外側への飛
び出しが抑えられ、抜け出すことがなく、また変形も少
ない。尚、低圧配管の場合はこのような抜け出し現象は
生じ難いので、必ずしも全てに抜け防止手段を設ける必
要はない。従って、押えリングを嵌着しないものを低圧
用とし、逆に押えリング付のものを高圧用とし、その他
の部品構成は同一となして逆止弁自体は共通化すること
ができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面とともに説明す
る。図1は抜け防止手段として押えリング8を用いた実
施例を示す断面図である。弁本体1,弁本体2,ユニオ
ンナット3,弁体4,ばね5,ワッシャ7はそれぞれSU
S316L材からなり、その構成及び作用は上記した従来例
と同様である。弾性シール部材は耐食性の良いOリング
6とし、弁体4に形成した凹溝42内に装着している。押
えリング8はSUS316Lからなり弁体4に形成したOリン
グ装着用凹溝42の外径に嵌着できるようになっている。
従って、Oリング6を凹溝42に装着した後、押えリング
8を嵌着しOリング6の後部の60%程度を囲んで外径側
への変位を抑えるようにしている。開弁時、流体圧は凹
溝内にも侵入し作用するが押えリング8によって飛び出
しや変形が抑えられたため、設定開弁圧、シール性能、
チャタリング音などの異常は認められなかった。
る。図1は抜け防止手段として押えリング8を用いた実
施例を示す断面図である。弁本体1,弁本体2,ユニオ
ンナット3,弁体4,ばね5,ワッシャ7はそれぞれSU
S316L材からなり、その構成及び作用は上記した従来例
と同様である。弾性シール部材は耐食性の良いOリング
6とし、弁体4に形成した凹溝42内に装着している。押
えリング8はSUS316Lからなり弁体4に形成したOリン
グ装着用凹溝42の外径に嵌着できるようになっている。
従って、Oリング6を凹溝42に装着した後、押えリング
8を嵌着しOリング6の後部の60%程度を囲んで外径側
への変位を抑えるようにしている。開弁時、流体圧は凹
溝内にも侵入し作用するが押えリング8によって飛び出
しや変形が抑えられたため、設定開弁圧、シール性能、
チャタリング音などの異常は認められなかった。
【0009】他の実施例としては、弁体4の凹溝42の外
径側に弁体と一体の突起部分を延ばしておいて、この部
分を内側に変形させ、Oリング6をかしめて取付けると
いう手段がある。また内径側および/または外径側をか
しめて取付けるようにしても良い。
径側に弁体と一体の突起部分を延ばしておいて、この部
分を内側に変形させ、Oリング6をかしめて取付けると
いう手段がある。また内径側および/または外径側をか
しめて取付けるようにしても良い。
【0010】
【発明の効果】本発明によって、弾性シール部材の抜け
出しや変形が抑えられて高圧用配管にも使用できる逆止
弁を提供できた。
出しや変形が抑えられて高圧用配管にも使用できる逆止
弁を提供できた。
【図1】 本発明の実施例を示す逆止弁の断面図であ
る。
る。
【図2】 従来例を示す逆止弁の断面図である。
1…弁本体1 2…弁本体2 3…ユニオンナット 4…弁体 5…ばね 6…Oリング 7…ワッシャ 8…押えリング
Claims (1)
- 【請求項1】 弁座を備えた第1の弁本体と、軸方向の
摺動を案内するガイド部を有し、前記弁座に接離する弾
性シール部材を凹溝内に装着した弁体と、この弁体を弁
座側に付勢するばね部材と、前記弁体を内部に配置した
第2の弁本体と、前記第1と第2の弁本体を締結するユ
ニオンナットとを有する逆止弁において、開弁時に前記
弾性シール部材が凹溝内から抜け出さないような抜け防
止手段を設けたことを特徴とする逆止弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56595A JPH08189575A (ja) | 1995-01-06 | 1995-01-06 | 逆止弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56595A JPH08189575A (ja) | 1995-01-06 | 1995-01-06 | 逆止弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08189575A true JPH08189575A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11477247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56595A Pending JPH08189575A (ja) | 1995-01-06 | 1995-01-06 | 逆止弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08189575A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007205406A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nissan Tanaka Corp | 逆止弁 |
CN105352711A (zh) * | 2015-11-02 | 2016-02-24 | 新昌县利永达制冷机械有限公司 | 一种恒定压力阀及其检测装置和检测方法 |
CN107191648A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-09-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种带快速接口的排气装置 |
CN115573943A (zh) * | 2022-12-06 | 2023-01-06 | 河北双达石油设备制造有限公司 | 一种泵用机械密封 |
-
1995
- 1995-01-06 JP JP56595A patent/JPH08189575A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007205406A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nissan Tanaka Corp | 逆止弁 |
CN105352711A (zh) * | 2015-11-02 | 2016-02-24 | 新昌县利永达制冷机械有限公司 | 一种恒定压力阀及其检测装置和检测方法 |
CN105352711B (zh) * | 2015-11-02 | 2018-03-02 | 浙江利永达制冷机械有限公司 | 一种恒定压力阀及其检测装置和检测方法 |
CN107191648A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-09-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种带快速接口的排气装置 |
CN115573943A (zh) * | 2022-12-06 | 2023-01-06 | 河北双达石油设备制造有限公司 | 一种泵用机械密封 |
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