JPH08186315A - 偏波変調可能な半導体レーザおよびこれを用いた光通信方式 - Google Patents

偏波変調可能な半導体レーザおよびこれを用いた光通信方式

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JPH08186315A
JPH08186315A JP7015542A JP1554295A JPH08186315A JP H08186315 A JPH08186315 A JP H08186315A JP 7015542 A JP7015542 A JP 7015542A JP 1554295 A JP1554295 A JP 1554295A JP H08186315 A JPH08186315 A JP H08186315A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】再現性が高く歩留まりの良い偏波変調可能な半
導体レーザおよびこれを用いた光通信方式である。 【構成】半導体レーザは、1対のブラッグ反射導波路、
又は、ブラッグ反射導波路と反射端面に挾まれた活性方
向性結合器から構成される。半導体レーザは直交する2
つの偏波モードのいずれでも発振が可能なように構成さ
れる。活性方向性結合器13の結合波長とブラッグ反射
導波路11のブラッグ波長とを夫々制御する電極105
を備える。電極105に流す電流より、活性方向性結合
器13の結合波長とブラッグ反射導波路11のブラッグ
波長とを、2つの偏波モードのいずれかの偏波モードに
おいて合わせることで、発振する偏波モードの選択が行
なわれる。光通信方式では、この半導体レーザと偏光子
もしくは偏波ビームスプリッタとで振幅変調された信号
光を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高速変調時などにおい
ても動的波長変動を抑え、安定に高密度の波長分割多重
光通信等を実現するための半導体レーザに関するもので
あり、特に、直交する偏波モードの発振制御を可能とす
る偏波変調可能な半導体レーザおよびこれを用いた光通
信方式に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、光通信分野において伝送容量を拡
大することが望まれており、複数の波長あるいは光周波
数を1本の光ファイバに多重させた波長多重(WDM)
伝送の開発が行なわれている。伝送容量をなるべく多く
する為には、波長間隔を狭くすることが重要である。そ
の為には、波長フィルタあるいは分波器の選択帯域幅が
小さく、光源となるレーザの占有周波数帯域あるいはス
ペクトル線幅が小さいことが望ましい。例えば、波長可
変幅3nmの半導体DFBフィルタでは、透過帯域幅
0.03nm程度である為、理想的には100チャネル
の多重が可能である。しかし、この場合、光源のスペク
トル線幅が0.03nm以下であることが要求される。
現状では、動的単一モード発振する半導体レーザとして
知られるDFBレーザでさえも、直接ASK変調を行な
うと動的波長変動が起きてスペクトル線幅が0.3nm
程度まで広がってしまい、このような波長多重伝送には
向かない。
【0003】そこで、このような波長変動を抑える為、
外部強度変調器を用いたり(例えば鈴木他、“λ/4シ
フトDFBレーザ/吸収型光変調器集積光源”, 電子
情報通信学会研究会予稿集, OQE90−45,
p.99, 1990)、直接FSK変調方式(例え
ば、M.J.Chawski et al. “1.5
Gbit/s FSK transmission s
ystem usingtwo electrode
DFB laser as a tunableFSK
discriminator/photodetec
tr”,Electron. Lett. vol.2
6, No.15, p.1146,1990)、直接
偏波変調方式(特開平2−159781号明細書)など
が考案されている。
【0004】上記3つの例を比較してみる。外部変調器
の場合、波長変動が0.03nm程度あり、仕様に対し
てぎりぎりの性能であり、装置の点数も増えるためコス
トなどの面で好ましくない。また、FSKの場合、受信
側のフィルタを波長弁別装置として機能させる必要があ
り、複雑な制御技術を必要とする。一方、偏波変調は、
通常のDFBレーザを多電極化するだけで装置点数は増
えず、波長変動が外部変調方式に比べてさらに小さく、
伝送信号はASKのため、受信側のフィルタ等の負荷が
小さいという利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとしてる課題】以上の様に偏波変調
は、波長多重伝送等に好適の変調方式であるが、従来の
提案では、偏波の制御を可能とする為の積極的手段を有
していない。その為、再現性の高いデバイスの実現が困
難であり、また、作製後の調整が必要で歩留まりが悪い
などの問題点があった。
【0006】よって、本発明の目的は、上記の問題点を
解決した偏波変調可能な半導体レーザ及びこれを用いた
光通信方式を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、典型的には、
実用的な偏波変調方式を提供するために、1対のブラッ
グ反射導波路或はブラッグ反射導波路と反射端面に挾ま
れた活性方向性結合器(活性領域を含む方向性結合器)
から構成される半導体レーザを用い、該半導体レーザは
直交する2つの偏波モードのいずれでも発振が可能なよ
うに構成され、発振する偏波モードの選択は、該活性方
向性結合器の結合波長と該ブラッグ反射導波路のブラッ
グ波長とを、該2つの偏波モードのうちいずれかの偏波
モードにおいて合わせることにより行なうことを特徴と
する。
【0008】詳細には、本発明の偏波変調可能な半導体
レーザ、1対のブラッグ反射導波路に挾まれた活性方向
性結合器から構成される半導体レーザであって、該半導
体レーザは直交する2つの偏波モードのいずれでも発振
が可能なように構成され、該活性方向性結合器の結合波
長と該ブラッグ反射導波路のブラッグ波長とを夫々制御
する手段(例えば、複数の電極)を備え、発振する偏波
モードの選択は、該活性方向性結合器の結合波長と該ブ
ラッグ反射導波路のブラッグ波長とを、該制御手段によ
り、該2つの偏波モードのうちいずれかの偏波モードに
おいて合わせることにより行なわれることを特徴とす
る。また、1対のブラッグ反射導波路は、ブラッグ反射
導波路と反射端面に置き換えられてもよい。具体的に
は、以下の形態を取ることができる。活性方向性結合器
は活性層と導波路層から構成される。活性方向性結合器
における導波モード間の結合が、グレーティングによる
位相整合で行なわれる。2つの偏波モードにおける共振
器内利得が、ブラッグ反射導波路のブラッグ波長付近に
おいて、ほぼ等しくなるように構成されている。活性層
が、引っ張り歪が導入された多重量子井戸で構成され、
ホールの準位であるヘビーホール準位Ehh0とライトホ
ール準位Elh0がほぼ等しくなる様に構成されている。
【0009】また、本発明の光通信方式は、上記偏波変
調可能な半導体レーザを直接偏波変調して、その出力光
を偏光子もしくは偏波ビームスプリッタを通すことによ
り、振幅変調された信号光として、光ファイバで伝送し
光受信器で検波することを特徴とする。また、上記偏波
変調可能な半導体レーザのブラッグ反射導波路に注入す
る電流を制御することでその発振波長が可変になるよう
に該半導体レーザを使用して振幅変調された信号光を得
ることを特徴とする。
【0010】更に、本発明の光通信方式は、上記偏波変
調可能な半導体レーザを複数接続し、複数の波長の光を
夫々変調して伝送させ、光フィルタもしくは分波器を備
えた光受信器により所望の波長の光にのせた信号のみを
取り出す様に、波長分割多重通信することを特徴とす
る。
【0011】
【第1実施例】具体的に、図1及び図2をもとに本発明
の原理を説明する。ブラッグ反射領域11、12(一方
が反射端面でもよい)と活性方向性結合領域13の3領
域からなる半導体レーザにおいて、ブラッグ反射領域1
1、12では図2(a)のように、特定の波長(ブラッ
グ波長)のみが反射される様、導波路層14の上にある
グレーティング層15に細かい周期のグレーティング1
6が形成されている。グレーティング16で反射される
ブラッグ波長λBRは偏波モードに依存し多少異なるが、
その差は僅かである。
【0012】活性方向性結合領域13では、導波路層1
4の上部にグレーティング層15が形成され、更に活性
層17が形成されている。活性層17と導波路層14の
組成/層厚が異なる為、活性方向性結合領域13では、
特定の結合波長λDCでのみ、導波モード間の位相整合が
満足され、活性層17と導波路層14に夫々中心強度を
有する2つの導波モード間で結合が生ずる。直交する2
つの偏波モード(TEおよびTMモード)に対して、こ
の結合波長λDCは図2(b)、(c)のように異なった
値となる。活性方向性結合領域13の電極104に注入
する電流を制御することにより、結合波長λDCを変化さ
せ、あるときは、図2(b)のようにTMモードのλDC
を、あるときは、図2(c)のようにTEモードのλDC
をブラッグ反射領域11、12で反射されるブラッグ波
長λBRに一致させる。
【0013】活性方向性結合領域13で、結合する偏波
モード(TEもしくはTMモード)を切り換えることに
より、導波路層14から活性層17へ移行した偏波モー
ドのみが利得を受けて、ブラッグ反射領域11および1
2(或は反射端面)の間で共振されてレーザ共振とな
る。
【0014】ブラッグ反射領域11、12に電流を注入
すると、導波路層14の実効屈折率が変化し、ブラッグ
波長λBRが変化する。活性方向性結合領域13の結合波
長の帯域幅は、ブラッグ反射波長の帯域幅と比較して2
桁以上広い為、ブラッグ反射領域11、12で発振波長
を変化させても、十分に活性方向性結合領域13の結合
条件を満足できる。
【0015】以上の様な構成により、発振波長はブラッ
グ反射領域で、また、偏波の選択は活性方向性結合領域
でとそれぞれ独立に制御できるため、波長チューニング
時にも安定な偏波変調を行なうことができる。
【0016】本発明による第1実施例の詳細を説明す
る。図1は本実施例による半導体レーザの断面図で、1
00は基板となるn−InP、101はクラッドとなる
n−InP層、14は上記のInGaAsP光導波路
層、15は導波路層14より屈折率の低い上記のInG
aAsPグレーティング層、16はブラッグ反射を起こ
す周期の細かい上記のグレーティング、17はアンドー
プのIn0.53Ga0.47As(厚さ5nm)/In0.28
0.72As(厚さ5nm)10層からなる歪超格子構造
の上記の活性層、102はp−InPクラッド層、10
3はp−In0.59Ga0.41As0.90.1コンタクト層、
104は上記のp電極であるCr/AuZnNi/Au
層、105は基板側のn電極であるAuGeNi/Au
層である。ここで、活性層17は引っ張り歪をもつ多重
量子井戸層になっており、ホールの準位であるライトホ
ール準位と電子の基底順位の遷移エネルギー(Elh0
e0)とホールの準位であるヘビーホール準位と電子の
基底順位の遷移エネルギー(Ehh0−Ee0)を等しく設
計してあるため、歪を含まない超格子に比べるとTM偏
波での利得が高く、TEモードとTMモードの発光スペ
クトルは1.56μmを中心としてほぼ重なる。グレー
ティング16によるブラッグ波長は利得の中心波長とほ
ぼ重なるようグレーティング16の周期を0.24μm
に設定している。
【0017】したがって、図2(b )に示すように活
性方向性結合領域13におけるTMモードの結合波長
が、ブラッグ反射領域のブラッグ波長(ここでは1.5
6μm)を含むように同調を行なえば、必然的にTEモ
ードの結合波長はブラッグ波長より十分長波長側にシフ
トし、TEモードの結合は生じない。この状態で、レー
ザはTMモードで発振する。
【0018】次に、活性方向性結合領域13への注入電
流を変化し、図2(c)のようにブラッグ反射領域のブ
ラッグ波長に対して、TEモードが結合するように制御
すれば、同様の機構により、TEモードでのレーザ発振
が起こる。このようにして、電流制御によりTE/TM
モードのスイッチングがおこる。TEモードとTMモー
ドのブラッグ反射領域におけるブラッグ波長は、いずれ
も波長1.56μm付近であるが、導波路の横閉じ込め
構造や層組成などデバイスの構造に依存し多少ずれる。
しかし、通常3−6nm程度である。それに対して、活
性方向性結合領域13での結合帯域幅は20nm程度で
ブラッグ波長のばらつきは十分含まれる。そのため、ブ
ラッグ反射領域での発振波長の変化に対して、活性方向
性結合領域13の結合効率はほとんど影響を受けない。
【0019】図3に本発明の半導体レーザを用いて強度
変調信号を伝送し、受信する光伝送系のブロック図を示
した。半導体レーザ31からの光出力を図3に示したよ
うに編光子32に通してTE偏波(もしくはTM偏波)
のみを取り出すことにより、高い消光比の強度振幅信号
が得られる。この際、TE/TMのモード変化は生じる
が、レーザ出力光の強度自体の変動はほとんどないため
(Elh0−Ee0とEhh0−Ee0の遷移エネルギーを等しく
設計してあるので)、活性層17のキャリア変動による
チャーピングが極めて小さくなる。偏光子32によって
選択されたTE光は、アイソレータ33を通して光ファ
イバ34に結合させて伝送する。伝送された光は光検出
器35にて検出される。このとき、TEとTMの消光比
は20dB以上得られ、したがって、この消光比をもつ
ASK伝送が可能である。
【0020】本発明の半導体レーザの偏波変調時にチャ
ーピングは極めて小さくTEモード出力のみを観測した
ところ0.03nm以下であることが確かめられた。ま
た、偏波変調の変調帯域も1GHz以上であることが示
された。
【0021】本発明による半導体レーザを用いて光伝送
を行なった実施例を図4に沿って説明する。図4におい
て、41は本発明によって波長制御及び消光比が安定に
制御され偏波変調されている半導体レーザである。この
半導体レーザでは、波長間隔6GHz(約0.05n
m)程度で、3nmの範囲で波長を変えられる(図1の
電極104への電流を制御して行う)。また、偏波変調
では、通常の直接強度変調で問題になるようなチャーピ
ングと呼ばれる動的波長変動が2GHz以下と非常に小
さいため、波長多重する場合に10GHz間隔で並べて
も隣のチャンネルにクロストークを与えることはない。
従って、この半導体レーザを用いた場合、3/0.05
=60チャネル程度の波長多重が可能である。この半導
体レーザは偏光ビームスプリッタ42と一体化して光送
信装置40を構成している。この光送信装置40から出
射された光を光ファイバ43に結合させ伝送する。ファ
イバカップラ44を伝送した信号光は、光受信装置45
において、光フィルタ46により所望の波長チャネルの
光が選択分波され、光検出器47により信号検波され
る。ここでは、光フィルタ46としてDFBレーザと同
じ構造のものを、しきい値以下に電流をバイアスして使
用している。2電極の電流比率を変えることで、透過利
得を20dB一定で透過波長を3nmの範囲で変えるこ
とができる。また、このフィルタ46の10dBダウン
の透過幅は0.03であり、0.05nmの間隔で波長
多重するのに十分な特性を持つている。光フィルタ46
として、同様の波長透過幅を持つもの、例えば、マハツ
ェンダ型、ファブリペロ型などを用いてもよい
【0022】
【第2実施例】本発明による第2の実施例を図5に沿っ
て説明する。ブラッグ反射領域11、12の構造は第1
実施例と同様であるが、活性方向性結合領域13におけ
る波長選択性(偏波モード選択性)を更に高めるため、
活性方向性結合領域13には比較的荒い周期のグレーテ
ィング51が形成されている。さらに本実施例では、グ
レーティング51上に、グレーティング層15とは屈折
率の異なるInGaAaP中間クラッド層52が形成さ
れ、その上に活性層53が形成されている。活性層53
は縦横対称としたInGaAsからなり(勿論、第1実
施例の活性層17でもよい)、TEモード及びTMモー
ドに対して同様の利得を持つ。ブラッグ反射領域11、
12のグレーティング16の周期等は第1実施例と同じ
である。
【0023】導波路層14と活性層53にそれぞれ中心
強度を有する導波モードの実効屈折率をそれぞれN(w)
eff、N(a) eff、比較的荒いグレーティング51の周期
をΛDCとすれば、結合波長λDC=|N(w) eff−N(a) eff
|ΛDCで表わされる。
【0024】ここで、グレーティング51による結合波
長は、偏波依存性が強くTEモードとTMモードに対し
て通常30nm程度異なる値を持つ。したがって、活性
方向性結合領域13のTEモードの結合波長が、ブラッ
グ反射領域11、12のブラッグ波長(ここでは1.5
6μm)を含むように活性方向性領域13に電流を注入
して同調を行なえば、必然的にTMモードの結合波長は
1.53μm付近となる。
【0025】ここで、活性方向性結合領域13ではTE
モードのみが選択結合される為、活性層53が励起され
て生じた自然放出光のうちTEモードのみがブラッグ反
射領域に移行結合される。ブラッグ反射領域11、12
では、ブラッグ波長で強い反射が生じ、結局、ブラッグ
反射領域で決定されるブラッグ波長での発振がTEモー
ドで生じる。次に、活性方向性結合領域13への注入電
流を変化し、ブラッグ反射領域のブラッグ波長に対し
て、TMモードが結合するように制御すれば、同様の機
構により、TMモードでのレーザ発振が起こる。このよ
うにして、活性方向性結合領域13への電流制御により
前記実施例と同様にTE/TMモードの偏波スイッチン
グおよび波長制御を行なうことができた。本実施例で
も、一方が反射端面であれば、共振がブラッグ反射領域
と活性層の外端の反射端面で起こる。
【0026】本実施例では、グレーティング51による
位相整合を用いるため、非対称性のみによる方向性結合
器(例えば、第1実施例)と比較して、グレーティング
を作製するぶん製法は少し複雑になるが、結合帯域幅が
より限定され、強い波長選択性を示す。そのため、活性
方向性結合領域の長さも短くて済み、より小さい電流変
化で偏波モードの切換が可能となる特徴を有する。動作
原理に関しては前記実施例と同様である。第2実施例
も、第1実施例と同様に、図3、図4の様な光通信方式
に使用できる。
【0027】
【発明の効果】本発明により、動的波長変動の極めて小
さい偏波変調可能な半導体レーザが実現でき、これを使
用した直接偏波変調方式を用いて、高密度波長多重光通
信システムを構築できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体レーザの構造を説明する
図。
【図2】本発明による半導体レーザの動作原理を表わす
図。
【図3】本発明による半導体レーザを用いた光通信方式
を説明する図。
【図4】本発明による半導体レーザを用いたたの光通信
方式を説明する図。
【図5】本発明による他の半導体レーザの構造を示す
図。
【符号の説明】
11、12 ブラッグ反射領域 13 活性方向性結合領域 14 導波路層 15 グレーティング層 16 ブラッグ反射を起こすグレーティング 17、53 活性層 31、41 半導体レーザ 32、42 偏光子もしくは偏光ビームスプリッタ 33 光アイソレータ 34、43 光ファイバ 35、47 光検出器 40 光送信装置 44 ファイバカップラ 45 光受信装置 46 光フィルタ 51 方向性結合を起こすグレーティング 52 中間クラッド層 100 基板 101、102 クラッド層 103 コンタクト層 104、105 電極

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1対のブラッグ反射導波路に挾まれた活
    性方向性結合器から構成される半導体レーザであって、
    該半導体レーザは直交する2つの偏波モードのいずれで
    も発振が可能なように構成され、該活性方向性結合器の
    結合波長と該ブラッグ反射導波路のブラッグ波長とを夫
    々制御する手段を備え、発振する偏波モードの選択は、
    該活性方向性結合器の結合波長と該ブラッグ反射導波路
    のブラッグ波長とを、該制御手段により、該2つの偏波
    モードのうちいずれかの偏波モードにおいて合わせるこ
    とにより行なわれることを特徴とする偏波変調可能な半
    導体レーザ。
  2. 【請求項2】 ブラッグ反射導波路と反射端面に挾まれ
    た活性方向性結合器から構成される半導体レーザであっ
    て、該半導体レーザは直交する2つの偏波モードのいず
    れでも発振が可能なように構成され、該活性方向性結合
    器の結合波長と該ブラッグ反射導波路のブラッグ波長と
    を夫々制御する手段を備え、発振する偏波モードの選択
    は、該活性方向性結合器の結合波長と該ブラッグ反射導
    波路のブラッグ波長とを、該制御手段により、該2つの
    偏波モードのうちいずれかの偏波モードにおいて合わせ
    ることにより行なわれることを特徴とする偏波変調可能
    な半導体レーザ。
  3. 【請求項3】 前記活性方向性結合器は活性層と導波路
    層から構成されることを特徴とする請求項1または2記
    載の偏波変調可能な半導体レーザ。
  4. 【請求項4】 前記活性方向性結合器における導波モー
    ド間の結合が、グレーティングによる位相整合で行なわ
    れることを特徴とする請求項1または2記載の偏波変調
    可能な半導体レーザ。
  5. 【請求項5】 前記2つの偏波モードにおける共振器内
    利得が、該ブラッグ反射導波路のブラッグ波長付近にお
    いて、ほぼ等しくなるように構成されていることを特徴
    とする請求項1乃至4のいずれかに記載の偏波変調可能
    な半導体レーザ。
  6. 【請求項6】 前記活性層が、引っ張り歪が導入された
    多重量子井戸で構成され、ホールの準位であるヘビーホ
    ール準位Ehh0とライトホール準位Elh0がほぼ等しくな
    る様に構成されたことを特徴とする請求項1乃至4のい
    ずれかに記載の偏波変調可能な半導体レーザ。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至4のいずれかに記載の偏波
    変調可能な半導体レーザを直接偏波変調して、その出力
    光を偏光子もしくは偏波ビームスプリッタを通すことに
    より、振幅変調された信号光として、光ファイバで伝送
    し光受信器で検波することを特徴とする光通信方式。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至4のいずれかに記載の偏波
    変調可能な半導体レーザのブラッグ反射導波路に注入す
    る電流を制御することでその発振波長が可変になるよう
    に該半導体レーザを使用して振幅変調された信号光を得
    ることを特徴とする半導体レーザ。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至4のいずれかに記載の偏波
    変調可能な半導体レーザを複数接続し、複数の波長の光
    を夫々変調して伝送させ、光フィルタもしくは分波器を
    備えた光受信器により所望の波長の光にのせた信号のみ
    を取り出す様に、波長分割多重通信することを特徴とす
    る光通信方式。
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