JPH08184463A - 磁気情報検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度、高分解能の磁気式のスケール、エン
コーダ等の磁気情報検出装置を得ることを目的とする。 【構成】 磁気情報が記録された磁気記録媒体１と、こ
の磁気記録媒体１に対し、相対的に変位可能で、この磁
気情報を検出する磁界検出手段１０とを有する磁気情報
検出装置において、この磁界検出手段１０として、フレ
キシブル基板１１上に導体層１２ａと磁性層１２ｂとが
交互に積層されて成る人工格子膜構造の磁気抵抗効果素
子１２を用いたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えば工作機械や産業機
械、精密測長・測角装置等に適用される磁気式のスケー
ル、ロータリーエンコーダ等に使用して好適な磁気情報
検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、工作機械や産業機械、精密測長・
測角装置等に適用される磁気式のスケール、ロータリー
エンコーダ等の磁気情報検出装置の磁界検出手段、即ち
検出ヘッドとしてＦｅ−Ｎｉ（パーマロイ）、Ｎｉ−Ｃ
ｏ等の薄膜による磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果
素子（ＭＲ素子）が用いられている。

【０００３】このＭＲ素子による検出ヘッド（以下ＭＲ
センサーという）は一般に、表面を研磨し所定の平滑性
としたガラス基板やシリコン基板上に蒸着、スパッタ等
の方法を使用して、Ｆｅ−Ｎｉ，Ｎｉ−Ｃｏ等の薄膜を
成膜し、フォトリソグラフィ技術を利用してパターニン
グされてＭＲセンサーが形成される。

【０００４】このように形成されるＭＲセンサーを検出
ヘッドとして使用したスケール、エンコーダにおいて
も、その目的、用途等により様々な形状、構造のものが
あるが、一般的に高精度、高分解能化を指向するもので
は記録波長を短くすることから、スケールとこの検出ヘ
ッドとが近接して保持され、相対的に移動する如くなさ
れている。

【０００５】例えば、図８Ａ，Ｂに示す如き構成が採ら
れている。即ち、図８Ａにおいて、１は断面円形状の磁
気スケールを示し、この磁気スケール１はＣｕＮｉＦ
ｅ，ＦｅＣｒＣｏ等の磁性合金から成り、この磁気スケ
ール１の表面に長手方向に沿って、通常の磁気ヘッドで
一定波長λ例えば１００μｍで磁気目盛を記録したもの
である。

【０００６】この磁気スケール１はヘッドホルダー２と
連続して設けた軸受２ａ及び２ｂを貫通して摺動する如
くなすと共にこのヘッドホルダー２の軸受２ａ及び２ｂ
間の磁気スケール１に対向する面にガラス基板上に形成
されたＭＲセンサー３を接着固定し、このＭＲセンサー
３と磁気スケール１とが一定間隔を保って相対的に移動
できる如くなされている。また、このＭＲセンサー３よ
りの検出信号は図示しないフレキシブル配線基板を介し
て検出回路に供給される如くなされている。

【０００７】図９Ａ，Ｂは従来のロータリーエンコーダ
の例を示し、この図９Ａにおいて、４はローターを示
し、このローター４の外周にフェライト等を磁性材料に
用いた所謂プラスチックマグネットから成る磁気記録媒
体５を設け、この磁気記録媒体５に所定波長λで磁気目
盛を磁気記録する如くする。このローター４の外周の磁
気記録媒体５に対向して例えばガラス基板上に設けたＭ
Ｒセンサー３を配する如くする。

【０００８】この場合ＭＲセンサー３は磁気記録媒体５
に対して、一定間隔を保って回転方向に相対的移動する
ことができるようにステイター上に保持され、このＭＲ
センサー３よりの検出信号がフレキシブル配線基板を介
して検出回路に供給される如くなされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述の磁気式スケー
ル、エンコーダは通常９０度位相差を有する少なくとも
２つの正弦波信号をこのＭＲセンサー３から出力し、そ
れらの検出信号から移動量や移動方向を検知する如くし
ている。通常このＭＲセンサー３は電圧駆動により電圧
変動の検出信号が得られ、温度特性上からも有利である
等の理由からブリッジ構成が用いられ、この為２相出力
の場合、最低でも４本のＭＲ素子が必要とされ、所定出
力位相に対応する如く配置される。

【００１０】一方、図８Ａ，Ｂに示す如き磁気情報検出
装置の磁気スケール１の磁気目盛の記録面は曲面部分で
あり、ＭＲセンサー３は上述のようにガラス基板３ａ等
の平面上に形成されているので、図８Ｂに示す如くこの
ＭＲセンサー３の１本の素子３ｂの内でもその場所によ
って磁気スケール１との距離（クリアランス）が変わる
ことになる。

【００１１】この為、クリアランスの広い所では抵抗値
の変化量が減少するので、１本の素子３ｂの全体では磁
気スケール１が平面型の構造に比べて抵抗変化が低く成
り、ＭＲセンサー３としては出力信号が低くなる。ま
た、このＭＲセンサー３の素子３ｂの長さを短くして抵
抗変化率を確保することも考えられるが、このときは抵
抗値が小さくなり、消費電流が大きくなる等の種々の不
都合が生じる。

【００１２】特に磁気情報検出装置の全体を小型にしよ
うとしたときには磁気スケール１の径が小さくなるの
で、上述不都合が顕著になり、またこの様な構造におい
ては実際に検出する検出幅が狭くなるため、得られる出
力信号の磁気記録媒体による粒子性ノイズが増大する傾
向にあるため、高精度化に対して不都合である。

【００１３】また図９Ａ，Ｂに示す如きロータリーエン
コーダについても、同様な問題があり、磁気目盛はロー
ター４の曲面（円筒面）の磁気記録媒体５に記録されて
おり、この磁気目盛を平面のＭＲセンサー３で検出する
ため、このＭＲセンサー３の素子パターンの相対変化方
向（回転方向）の拡がりによって、このＭＲセンサー３
を構成する各素子３ｂと磁気記録媒体５とのクリアラン
スはそれぞれ図９Ｂに示す如く異なったものとなる。こ
の為、各素子３ｂの抵抗変化が等しくならないので出力
信号の振幅が異なったり、直流成分が変動したりするこ
とになり、精度を悪化させる不都合があった。

【００１４】ところで、このＭＲセンサー３のガラス基
板等の基板の検出面を前以って曲面状に加工しておい
て、そこにＭＲ素子３ｂを形成することが考えられる
が、この加工自体が高価なものになる上、曲面に対する
ＭＲ素子３ｂのパターン形成は技術的に困難であり、特
に小型に成り曲率が大きくなるほど困難になり、実際に
曲面上にＭＲ素子３ｂを形成することは殆ど不可能であ
った。

【００１５】またＦｅ−Ｎｉ，Ｎｉ−Ｃｏ等の強磁性体
から成るＭＲ素子は外力によって膜にストレスが掛かっ
た場合に磁歪のため、その異方性磁界Ｈ_K が変化する。
その為、磁場に対する抵抗変化率が変化し、出力信号が
変動する。通常は成膜時に出力信号が最大になる方向に
異方性が出来るように作製するので、この磁歪によっ
て、抵抗変化率は減少してしまい使用が困難なものとな
る。

【００１６】更に従来の強磁性体によるＭＲ素子では膜
を形成する基板の表面性、平滑性が必要で、この表面
性、平滑性が悪いと磁気抵抗効果が小さかったり、得ら
れないことがあり、膜が形成されたとしても、表面の凹
凸部分にはピンホール等の欠陥が出来やすく使用時には
そこから欠陥が拡大し故障に至ることが屡々あった。

【００１７】従って、これまでのＭＲ素子は膜にストレ
スが掛からないように硬い基板材料で且つ表面性に優れ
る研磨ガラス、シリコン基板等を使用せざるを得なかっ
た。

【００１８】本発明は斯る点に鑑み、高精度、高分解能
の磁気式のスケール、エンコーダ等の磁気情報検出装置
を得ることを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明磁気情報検出装置
は例えば図１、図２、図３に示す如く、磁気情報が記録
された磁気記録媒体１と、この磁気記録媒体１に対し、
相対的に変位可能で、この磁気情報を検出する磁界検出
手段１０とを有する磁気情報検出装置において、この磁
界検出手段１０としてフレキシブル基板１１上に導体層
１２ａと磁性層１２ｂとが交互に積層されて成る人工格
子膜構造の磁気抵抗効果素子１２を用いたものである。

【００２０】また本発明磁気情報検出装置は例えば図
１、図２に示す如く、この磁気記録媒体１の記録領域が
曲面から成ると共にこの磁界検出手段１０をこの磁気記
録媒体１の記録領域の曲面に沿わせるようにしたもので
ある。

【００２１】

【作用】本発明によれば磁界検出手段１０としてフレキ
シブル基板１１上に導体層１２ａと磁性層１２ｂとが交
互に積層されて成る人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子
１２を用いたので、磁気スケールである磁気記録媒体１
が曲面から成っていても、この磁界検出手段を、この曲
面に沿って配することができ、この磁気記録媒体１と磁
界検出手段の全てとを一定のクリアランスを保持して相
対変位させることができ、高精度、高分解能の磁気式の
スケール、エンコーダ等を得ることができる。

【００２２】また導体層１２ａと磁性層１２ｂとが交互
に積層されて成る人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子１
２の異方性磁界Ｈ_K の値は導体層１２ａの層厚で決定さ
れるため、膜にストレスがかかっても磁場に対する抵抗
変化率はほとんど変化しない。

【００２３】また、この導体層１２ａと磁性層１２ｂと
が交互に積層されてなる人工格子膜構造の磁気抵抗効果
素子１２は基板の表面性として、これまでのＭＲ素子の
ような優れた平滑性は必要が無く、プラスチックフィル
ム程度の平滑性があれば十分に機能する人工格子膜を成
膜することができる。

【００２４】

【実施例】以下、図１、図２及び図３を参照して本発明
磁気情報検出装置の一実施例につき説明しよう。この図
１、図２において図８に対応する部分には同一符号を付
し、その詳細説明は省略する。

【００２５】図１、図２において、１は断面円形状の棒
状の磁気スケールを示し、この磁気スケール１はＣｕＮ
ｉＦｅ，ＦｅＣｒＣｏ等の磁性合金から成り、この磁気
スケール１の表面に長手方向に沿って、通常の磁気ヘッ
ドで一定波長λ例えば１００μｍで磁気目盛を記録した
ものである。

【００２６】図１及び図２において、１０はこの磁気ス
ケール１を所定のクリアランスを以て巻回する如く設け
た検出ヘッドである。この検出ヘッド１０は例えば図３
Ａ及びＢに示す如き構成とする。

【００２７】この検出ヘッド１０の例を図３Ａ，Ｂを参
照して製造例に従って説明する。図３Ａ，Ｂにおいて、
１１はフレキシブル基板を示し、このフレキシブル基板
１１として、ポリアミド、ポリエステル、ガラスエポキ
シ等が使用することができる。このフレキシブル基板１
１の厚さとしては一般的に用いられている１２．５〜１
２５μｍ程度の厚さのものを使用する。

【００２８】図３Ｂに示す如くこのフレキシブル基板１
１上の所定位置に所定大きさの導体層１２ａとしてのＣ
ｕ層と磁性層１２ｂとしてのＣｏＦｅＮｉ磁性合金層と
から成る人工格子多層膜をスパッタリング装置を使用し
て成膜する。この場合このＣｕ層１２ａは２．２ｎｍ、
ＣｏＦｅＮｉ磁性合金層１２ｂは１ｎｍの厚さで、それ
ぞれ交互に２０層ずつ成膜し、磁気抵抗効果素子１２を
形成した。この場合、導体層１２ａと磁性層１２ｂとの
順はどちらが先であってもよい。

【００２９】この磁性層１２ｂとしてＣｏＦｅＮｉ磁性
合金の他にＦｅ₂₀Ｎｉ₈₀，Ｆｅ₂₅Ｃｏ₇₅，Ｆｅ₁₀Ｃ
ｏ₉₀，Ｃｏ，Ｎｉ₁₀Ｃｏ₉₀，Ｎｉ₅₀Ｃｏ₅₀，Ｆｅ₁₆Ｃｏ
₂₈Ｎｉ₃₆Ｃｕ₂₀等の磁性合金が使用できる。

【００３０】その後この磁気抵抗効果素子１２上よりフ
レキシブル基板１１の所定位置までに亘って例えばＣｕ
により所定パターンの引出電極１３を形成すると共にこ
の磁気抵抗効果素子１２を覆う如く合成樹脂により保護
膜１４を形成する。この人工格子膜層１２ａ，１２ｂ、
引出電極１３及び保護膜１４はフォトリソグラフィ技術
を利用して、そのパターンを形成した。

【００３１】図３Ｂに示す如く、これとは別にポリアミ
ド、ポリエステル、ガラスエポキシ等の合成樹脂よりな
るフレキシブル基板１５上に所定パターンの接続電極１
６を有するフレキシブル配線基板１７を用意し、このフ
レキシブル配線基板１７と導体層１２ａと磁性層１２ｂ
とより成る人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子１２が設
けられたフレキシブル基板１１とを電極面どうしが相対
向する如くし、引出電極１３の所定位置と接続電極１６
の所定位置とが電極１８を介して導通する如く接合す
る。このフレキシブル配線基板１７とフレキシブル基板
１１との接合は接着剤１９により行う如くする。

【００３２】この場合、検出ヘッド１０としては、図５
Ａに示す如く４つの磁気抵抗効果素子１２（以下ＧＭＲ
素子Ｒ₁ ，Ｒ₂ ，Ｒ₃ ，Ｒ₄ とする。）を形成する。こ
の４つのＧＭＲ素子Ｒ₁ ，Ｒ₂ ，Ｒ₃ ，Ｒ₄ を磁気スケ
ール１の長手方向に沿って順次配すると共にこのＧＭＲ
素子Ｒ₁ とＲ₂ との間隔及びＲ₃ とＲ₄ との間隔を夫々
磁気スケール１の記録波長λの１／４とし、このＧＭＲ
素子Ｒ₂ とＲ₃ との間隔をλ／８とする如くする。

【００３３】またＧＭＲ素子Ｒ₁ 及びＲ₃ の夫々の一端
に所定の正電圧＋Ｖを供給すると共にＧＭＲ素子Ｒ₂ 及
びＲ₄ の夫々の一端に所定の負電圧−Ｖを供給し、ＧＭ
Ｒ素子Ｒ₁ 及びＲ₂ の夫々の他端を互いに接続し、この
接続点より一方の検出端子Ｖｏｕｔ１を導出すると共に
ＧＭＲ素子Ｒ₃ 及びＲ₄ の夫々の他端を互いに接続し、
この接続点より他方の検出端子Ｖｏｕｔ２を導出する。

【００３４】この検出ヘッド１０の等価回路は図５Ｂに
示す如くＧＭＲ素子Ｒ₁ 及びＲ₂ の直列回路とＧＭＲ素
子Ｒ₃ 及びＲ₄ の直列回路とが並列に接続され、ＧＭＲ
素子Ｒ₁ とＲ₂ との接続点及びＧＭＲ素子Ｒ₃ とＲ₄ と
の接続点より夫々一方及び他方の検出端子Ｖｏｕｔ１及
びＶｏｕｔ２を導出したブリッジ構成である。

【００３５】また図４Ａ及びＢは、夫々この検出ヘッド
１０の他の実施例を示す。この図４Ａ及びＢにつき説明
するに、この図４Ａ及びＢにおいて、図３Ａ，Ｂに対応
する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略す
る。

【００３６】この図４Ａは図３Ａ，Ｂと同様にポリアミ
ド、ポリエステル、ガラスエポキシ等の合成樹脂よりな
るフレキシブル基板１１上の所定位置に所定大きさの導
体層１２ａとしてのＣｕ層と磁性層１２ｂとしてのＣｏ
ＦｅＮｉ磁性合金層とから成る人工格子多層膜をスパッ
タリング装置を使用して成膜する。この場合このＣｕ層
１２ａは２．２ｎｍ、ＣｏＦｅＮｉ磁性合金層１２ｂは
１ｎｍの厚さで、それぞれ交互に２０層ずつ成膜し、磁
気抵抗効果素子１２を形成する。

【００３７】その後、この磁気抵抗効果素子１２上より
フレキシブル基板１１上の所定位置まで例えばＣｕによ
り所定パターンの引出電極１３を長く形成し、この引出
電極１３を接続電極１６と兼ねた構造とすると共にこの
磁気抵抗効果素子１２を覆う如く、合成樹脂により保護
膜１４を形成する。

【００３８】またこれとは別にポリアミド、ポリエステ
ル、ガラスエポキシ等の合成樹脂よりなるフレキシブル
基板１５を用意し、このフレキシブル基板１５をフレキ
シブル基板１１の引出電極１３の所定部分を覆う如く接
着剤１９を介して接合する如くする。

【００３９】また、図４Ｂ例は図４Ａ例において、フレ
キシブル基板１５を磁気抵抗効果素子１２の保護膜１４
上まで延長し、この磁気抵抗効果素子１２の保護をより
強化したものである。

【００４０】本例においては図１、図２に示す如く、図
３、図４Ａ，Ｂに示す如き、フレキシブル基板１１上に
磁気抵抗効果素子１２を形成した検出ヘッド１０を磁気
スケール１を貫通して配された円筒形状のヘッドホルダ
ー２０の円筒の内面に磁気抵抗効果素子１２が位置する
如く接着して固定する。

【００４１】図２Ａに示す如く、このヘッドホルダー２
０の両側に夫々チップ２１ａ及び２１ｂをこのヘッドホ
ルダー２０と同芯同軸に配設し、このヘッドホルダー２
０に接着固定された検出ヘッド１０と磁気スケール１と
が、図２Ｂに示す如く所定のクリアランスを保って相対
移動ができる如くなす。

【００４２】この場合棒状の磁気スケール１の円形の外
周に沿って検出ヘッド１０即ち磁気抵抗効果素子１２の
それぞれのパターンの全ての検出領域が図２Ｂに示す如
く同芯状にクリアランスに相当する間隔を保って相対的
に変位することができる。

【００４３】また図２に示す如く、このヘッドホルダー
２０、チップ２１ａ及び２１ｂを覆う如くシールドケー
ス２２を設ける如くする。

【００４４】本例は上述の如く、検出ヘッド１０として
フレキシブル基板１１上に導体層１２ａと磁性層１２ｂ
とが交互に積層されて成る人工格子膜構造の磁気抵抗効
果素子１２を用いたので、断面円形の磁気スケール１の
円筒面に沿って配することができ、この為この断面円形
の磁気スケール１と検出ヘッド１０の全てとを一定のク
リアランスを保持して相対変位させることができ、高精
度、高分解能の磁気情報検出装置を得ることができる。

【００４５】この場合本例による検出ヘッド１０の導体
層１２ａと磁性層１２ｂとが交互に積層されて成る人工
格子膜構造の磁気抵抗効果素子１２の異方性磁界Ｈ_K の
値は導体層であるＣｕ層１２ａの層厚で決定されるた
め、膜にストレスがかかっても抵抗変化率はほとんど変
化しない。また、本例による検出ヘッド１０の導体層１
２ａと磁性層１２ｂとが交互に積層されてなる人工格子
膜構造の磁気抵抗効果素子１２は基板の表面性として、
これまでのＭＲ素子のような優れた平滑性は必要が無
く、プラスチックフィルム程度の平滑性があれば十分に
機能する人工格子膜を成膜することができる。

【００４６】また図６Ａ，Ｂは本発明をロータリーエン
コーダに適用した例を示す。この図６Ａ，Ｂにつき説明
するに図９Ａ，Ｂに対応する部分には同一符号を付して
示す。

【００４７】この図６Ａにおいて、４はローターを示
し、このローター４の外周に磁気スケール５を設ける。
この磁気スケール５はフェライト等を磁性材料に用いた
所謂プラスチックマグネットから成る磁気記録媒体に所
定波長λで磁気目盛を記録したものである。

【００４８】図６Ａ，Ｂに示す如くこのローター４に対
向してヘッドホルダー３０を設ける。このヘッドホルダ
ー３０のローター４に対向する面はローター４の外周に
沿った、即ちローター４と同芯の凹円筒面形状とし、こ
の面に図３Ａ，Ｂ，図４Ａ及びＢに示す如きフレキシブ
ル基板１１上に導体層１２ａと磁性層１２ｂとが交互に
積層されている人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子１２
を設けた検出ヘッド１０を接着剤を介して、この面に倣
って密着固定する如くする。

【００４９】この場合、ヘッドホルダー３０は取付ねじ
を用いてスライダーに固定されるが、その際にスペイサ
ー等の治具を使って位置が調整されて配設する如くし、
ローター４とヘッドホルダー３０の内面に固定された検
出ヘッド１０のそれぞれのパターンの全ての検出領域と
が図６Ｂに示す如くローター４と同芯にクリアランスの
量に相当する間隔を保って相対的に変位するようにす
る。

【００５０】斯る図６例においては、検出ヘッド１０の
例えば４つの人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子Ｒ₁ ，
Ｒ₂ ，Ｒ₃ ，Ｒ₄ をローター４に対して同一クリアラン
スになる位置に配置することが出来る為に、高精度、高
分解能のロータリーエンコーダを得ることができる利益
がある。また、この図６例においても図１、図２例と同
様の作用効果が得られることは勿論である。

【００５１】また図７は本発明の他の実施例を示す。こ
の図７例につき説明するに、図７において３１は磁気ス
ケールを示し、この磁気スケール３１は角断面形状のガ
ラス基材の一方及び他方の面に無電解メッキで２〜３μ
ｍの磁性体を付け、一方の面３１ａに長手方向に一定波
長λ例えば４０μｍの磁気目盛を記録し、この他方の面
３１ｂに定点検出用の原点信号を記録したものである。
この磁気スケール３１としてＣｕＮｉＦｅ，ＦｅＣｒＣ
ｏ等の磁性合金材を用いても良い。

【００５２】またこの磁気スケール３１の両面を覆う如
く断面コ字状のスライダー３２を設け、このスライダー
３２の内側の磁気スケール３１の一方及び他方の面３１
ａ及び３１ｂに対向する面に夫々検出ヘッド１０ａ及び
１０ｂを固定する如くする。この場合磁気スケール３１
と検出ヘッド１０ａ，１０ｂが相対的に変位できる如く
する。

【００５３】この検出ヘッド１０ａ及び１０ｂは一枚の
フレキシブル基板１１の２か所に図３Ａ，Ｂ，図４Ａ及
びＢに示す如く導体層１２ａと磁性層１２ｂとが交互に
積層された人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子１２を形
成したものである。

【００５４】斯る図７例によれば、検出ヘッド１０ａ及
び１０ｂ間を折り曲げて配設でき、原点信号及び位置信
号の得られる磁気情報検出装置をコンパクトに形成でき
る利益がある。

【００５５】尚上述実施例においては検出ヘッド１０，
１０ａ，１０ｂとしてフレキシブル基板１１上に導体層
１２ａと磁性層１２ｂとが交互積層された人工格子膜構
造の磁気抵抗効果素子１２のみを設けた例につき述べた
が、この磁気抵抗効果素子１２に所定のバイアス磁界を
供給するようにしたり等その他の構成とすることができ
ることは勿論である。

【００５６】また、本発明は上述実施例に限らず本発明
の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得
ることは勿論である。

【００５７】

【発明の効果】本発明によれば磁界検出手段としてフレ
キシブル基板上に導体層と磁性層とが交互に積層されて
成る人工格子膜構造の磁気抵抗効果素子を用いたので、
磁気スケールである磁気記録媒体が曲面から成っていて
も、この磁界検出手段をこの曲面に沿って配することが
でき、この磁気記録媒体と磁界検出手段の全てとを一定
のクリアランスを保持して相対変位させることができ、
高精度、高分解能の磁気式のスケール、エンコーダ等を
得ることができる利益がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明磁気情報検出装置の一実施例の要部を示
す一部切欠斜視図である。

【図２】Ａは図１の横断面図、Ｂはその縦断面図であ
る。

【図３】検出ヘッドの例を示し、Ａはその断面図、Ｂは
その分解断面図である。

【図４】Ａ及びＢは夫々検出ヘッドの他の例を示す断面
図である。

【図５】検出ヘッドの例の説明に供する線図である。

【図６】本発明の他の実施例を示し、Ａはその斜視図、
Ｂはその上面図である。

【図７】本発明の他の実施例を示す側面図である。

【図８】従来の磁気情報検出装置の例を示し、Ａはその
斜視図、Ｂはその説明に供する線図である。

【図９】従来の磁気情報検出装置の例を示し、Ａはその
斜視図、Ｂはその説明に供する線図である。

【符号の説明】

１ 磁気スケール １０ 検出ヘッド １１，１５ フレキシブル基板 １２ 磁気抵抗効果素子 １２ａ 導体層 １２ｂ 磁性層 １３ 引出電極 １４ 保護膜 １６ 接続電極 １９ 接着剤 ２０ ヘッドホルダー

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気情報が記録された磁気記録媒体と、 該磁気記録媒体に対し相対的に変位可能で前記磁気情報
   を検出する磁界検出手段とを有する磁気情報検出装置に
   おいて、 前記磁界検出手段としてフレキシブル基板上に導体層と
   磁性層とが交互に積層されて成る人工格子膜構造の磁気
   抵抗効果素子を用いたことを特徴とする磁気情報検出装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の磁気情報検出装置におい
   て、前記磁気記録媒体の記録領域が曲面から成ると共に
   前記磁界検出手段を前記磁気記録媒体の記録領域の曲面
   に沿わせるようにしたことを特徴とする磁気情報検出装
   置。