JPH08178638A

JPH08178638A - スキャナ用表面検査装置

Info

Publication number: JPH08178638A
Application number: JP33457894A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Sato; 寧佐藤; Takanari Nabeshima; 隆成鍋▲島▼
Original assignee: Sony Tektronix Corp
Current assignee: Tektronix Japan Ltd
Priority date: 1994-12-20
Filing date: 1994-12-20
Publication date: 1996-07-12

Abstract

(57)【要約】【目的】簡単な構成で迅速に画像原稿の表面状態を検査
できるスキャナ用表面検査装置を提供すること。【構成】画像原稿６の光照射位置に所定周波数で変調さ
れた検査光線を所定入射角で投光する検査光源４６と、
上記画像原稿の上記光照射位置からの上記所定入射角と
異なる反射角で反射された光を検出する光検出器５４
と、この光検出器５４の出力から上記所定周波数成分を
分離するフィルタ回路５６とを具え、フィルタ回路５６
の出力信号から上記画像原稿の表面を検査するスキャナ
用表面検査装置。【効果】簡単な構成でかつスキャナ装置の画像取込動作
中に同時にかつ迅速にフィルム表面の検査が行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、画像原稿から画像を取
り込むスキャナ用の表面検査装置に関する。

【０００２】

【従来技術】画像原稿から高解像度で画像を取り込み、
デジタル画像データに変換する装置としてスキャナがあ
る。例えば、４０００ＤＰＩのような高解像度で画像原
稿の画像情報を取り込むためには画像の走査密度を高く
する必要があり、小さな画像原稿でさえ画像全体を取り
込むのにかなりの時間を要する。このような時間をかけ
た後、取り込んだ画像が画像原稿の表面の傷や塵埃等に
より不良であることが判明すると、再度画像情報の取り
込みをやり直さねばならず極めて効率が悪い。そこで、
予め画像原稿の表面状態を検査することが望ましい。図
３は、従来の表面検査装置の構成を簡単に示す図であ
る。光源１０からの光が被検査対象画像原稿１２の表面
上に帯状のスリット光を照射し、その反射光をＣＣＤラ
イン・センサ・カメラのような２台の撮像装置１４−１
及び１４−２で撮像し、撮像画像情報を２台の画像処理
装置で画像処理し、コンピュータ１８により解析するも
のである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図２のシステムは、構
成が大規模であり、コストがかかる上に画像原稿の表面
検査のみに相当の時間が必要である。この表面検査の工
程が完了した後に画像原稿の画像取り込みを行うのは煩
雑である。しかし、上述のように、表面検査をしないで
画像情報の取り込みをするのも非効率である。

【０００４】したがって、本発明の目的は、簡単な構成
で迅速に画像原稿の表面状態を検査できるスキャナ用表
面検査装置を提供することである。

【０００５】本発明の他の目的は、画像原稿の情報を取
り込み中に同時に画像原稿の表面の検査を実施可能なス
キャナ用表面検査装置を提供することである。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は、画像原稿表面に
光を照射し、上記画像原稿の透過光又は反射光を検出
し、上記画像原稿の光照射位置の画像を取り込むスキャ
ナ用の表面検査装置を提供する。この装置は、画像原稿
表面の上記光照射位置に所定周波数で変調された検査光
線を所定入射角で照射する検査光源と、上記画像原稿の
上記光照射位置からの上記所定入射角と異なる反射角で
反射された光を検出する光検出器と、該光検出器の出力
から上記所定周波数成分を分離する周波数成分分離手段
とを具え、上記周波数成分分離手段の出力信号から上記
画像原稿の表面を検査することを特徴とする。

【０００７】更に、周波数成分分離手段の出力信号を所
定しきい値レベルと比較する比較手段を具え、この比較
手段の出力信号のパルス幅及びパルス数に応じて上記画
像原稿の表面を検査することを特徴とする。

【０００８】

【実施例】図２は、本発明を実施するのに好適なスキャ
ナ装置の構成を示すブロック図である。このスキャナ装
置は、本願出願人により平成６年３月１８日に出願され
た特願平６−７３８９９号「スキャナ装置」に記載され
た装置と同一である。

【０００９】第１ディスク２は、例えばガラスその他の
透明な材料で形成され、共通中心軸４の周りに回転可能
に支持されている。この第１ディスク２の上側表面上に
画像原稿６が貼付されている。共通中心軸４に別の第２
ディスク８が回転可能に支持されている。この第２デス
クの上側表面上には、螺旋状のトラックが刻まれてい
る。この螺旋状のトラックは、レーザー・カッティング
により形成された原盤のトラックを周知の量産化工程で
複写したものであり、周知のコンパクト・ディスクやレ
ーザー・ディスク等の表面に形成されるものと同等のも
のである。この螺旋状のトラックは、極めて精度が高
く、隣接するトラックの間の凸部にデジタル信号を刻む
ことが出来る。この螺旋状のトラックの隣接トラック間
の間隔（トラック・ピッチ）は、例えば１．６μｍ（ミ
クロン）程度である。共通中心軸には、スピンドル・モ
ーター１０が接続されており、このモーターの回転駆動
力により、第１及び第２ディスク２及び８は、中心軸の
周りに同軸回転する構成である。スライド支持構体１２
が、第１及び第２ディスク２及び８の半径方向にスライ
ド可能に支持されている。このスライド支持構体１２
は、２本のアーム状の支持部１４及び１６を有し、上側
の支持部１４で画像原稿６を光学的に読み取り、下側の
支持部１６で第２ディスク８の表面の螺旋状のトラック
をトレースする構成である。

【００１０】スライド支持構体１２の第１支持部１４に
は、画像取込部１８が設けられ、第２支持部１６の下端
部には、第２ディスク８の表面の螺旋状のトラックをト
レースする為の周知の光学ピックアップを含む位置検出
部２０が設けられ、更に、第２支持部１６の上端部には
光源２１が設けられている。この位置検出部２０は、レ
ーザー光線を第２ディスク８の表面上の螺旋状のトラッ
クに照射し、その反射光を検出することにより、正確に
トレースする為の信号を制御回路２２に供給する。光源
２１からの出力光が第１ディスク２及び画像原稿６を透
過し、画像取込部１８により検出される。なお、この実
施例では、画像原稿６の透過光を検出する方式である
が、原稿の種類によっては、光源２１と画像取込部１８
とを同じ側に配置し、光源の出力光の反射光を検出する
ように構成しても良い。その場合には、第１ディスクは
透明な材料で形成する必要はない。この画像取込部１８
の検出出力信号は制御回路２２に送られる。

【００１１】制御回路２２は、ディスク２及び８を回転
させる為のスピンドル・モーターを制御すると共に、ス
ライド支持構体１２を直線駆動する為のスライド用モー
ター２４も制御する。スライド・モーター２６の回転軸
は、スライド機構ネジ２８に接続されており、このスラ
イド機構ネジ２６は、スライド支持構体１２に係合して
いる。スライド用モーター２４の回転に応じてスライド
支持構体１２の位置がディスク２及び８の半径方向に沿
って移動する構成である。

【００１２】以上のようなディスク型スキャナ装置によ
れば、極めて高い解像度で画像原稿６の画像情報を取り
込むことが可能である。本発明は、かかるスキャナ装置
に好適な表面検査装置であるが、上述のようなディスク
型スキャナ装置に限定されるものではない。従来より使
用されているドラム型のスキャナ装置やフラット型スキ
ャナ装置にも使用可能である。

【００１３】図１は、図２のスキャナ装置を使用した本
発明によるスキャナ用表面検査装置の実施例の構成を示
すブロック図である。図１の光源２１に対応してハロゲ
ンランプ３０及び光ガイド３２がある。この光源からの
出力光は透明ディスク２及び画像原稿６を透過して画像
取込部１８に送られる。画像取込部１８は、レンズ及び
ピンホール等の入力光学系３４と赤色光のみを透過させ
るダイクロイック・ミラー３６と、青色光のみを透過さ
せるダイクロイック・ミラー３８と、赤色光(Ｒ）、緑
色光(Ｇ）及び青色光(Ｂ）を夫々検出する光検出器４
０、４２及び４４で構成されている。この構成は、上述
の特願平６−７３８９９号「スキャナ装置」に記載され
たものと同様である。図１において更に、発光ダイオー
ドの如き検査光源４６を設け、出力した検査光線(赤外
線）を画像原稿６の画像情報取込のための照射位置に投
光する。検査光源４６は、パルス駆動源４８により駆動
され、例えば１００ＭＨｚの高周波数でオン・オフす
る。よって、検査光源４６から出力される検査光線は、
周波数１００ＭＨｚのパルス列光線となる。この時、検
査光線の入射角と同一の反射角で殆どの検査光線が反射
されるが、画像原稿６の表面上に傷、汚れ、塵埃等があ
ると、僅かながら乱反射が発生する。この乱反射した光
の一部が画像取込部１８にも入力される。この検査光線
は赤外線なので画像情報には影響を与えない。入力光学
系３４とダイクロイック・ミラー３６との間にビーム・
スプリッタ５０が設けられ、取り込んだ光の一部を抽出
する。ビーム・スプリッタ５０からの反射光は、赤外線
を通過させるフィルタ５２を介してホトダイオード(Ｐ
Ｄ）の如き光検出器５４により検出され、電気信号に変
換される。

【００１４】なお、光検出器５４は、ビーム・スプリッ
タ５０により画像取込部１８で取り込んだ光の一部を抽
出した光を検出しているが、この構成に限定されるもの
ではない。この光検出器５４は、画像原稿６の表面上か
らの乱反射光線を検出するのが目的であるから、検査光
線の入射角と異なる反射角の反射光を検出できる位置で
あればどこに配置しても構わない。その場合には、光検
出器５４で乱反射光の一部を直接検出する構成にすれ
ば、ビーム・スプリッタ５０は必要でない。

【００１５】光検出器５４の出力信号は、例えば１００
ＭＨｚを通過帯域とするバンドパスフィルタ(ＢＰＦ）
のような周波数成分分離回路５６に供給され、検査光線
の周波数成分が分離検出される。この周波数成分分離回
路５６の出力信号はＡＭ検波器５８で検波される。この
検波器５８の出力は、画像原稿６の表面上の傷、汚れ、
塵埃等に起因する乱反射光成分を表している。この検波
出力を所定の基準レベルＶrefと比較器６０で比較し、
パルス成形すると、比較出力は、画像原稿表面の傷等の
数に比例してパルスが発生し、その出力のパルス幅は、
傷等の大きさに比例することになる。よって、比較器６
０の出力パルスをパルス測定器６２により測定する。パ
ルス測定器６２は、カウンタ及びパルス幅測定機能を有
しており、パルスのカウント値により、画像原稿６上の
傷等の数が判り、各パルスのパルス幅により表面の傷等
の大きさが判る。したがって、これらの測定結果から画
像原稿６の表面上の検査を容易に行うことができる。ま
た、この表面検査は、画像原稿６の画像情報の取込動作
中にも同時に行えるので、画像情報の取込が終了する前
に不良状態になったか否かが判断できる。マイクロ・プ
ロセッサ６４は、パルス測定器６２のパルスのカウント
値又はパルス幅が所定許容値を越えた場合に警報器６６
から警報したり又は警告表示等を発生することにより不
良の発生を操作者に知らせるようにしても良い。

【００１６】以上、本発明の好適実施例を説明したが、
本発明は、上述の実施例のみに限定されるものではな
く、本発明の要旨から逸脱することなく、種々の変形及
び修正を加え得ることは当業者には明らかである。例え
ば、上述の実施例はディスク型スキャナ装置を使用して
説明したが、従来のドラム型スキャナ装置やフラット型
スキャナ装置にも同様に利用可能であり、応用範囲は広
い。

【００１７】

【発明の効果】本発明によれば、簡単な構成でかつスキ
ャナ装置の画像取込動作中に同時にかつ迅速に画像原稿
の表面の検査が行えるので極めて利用価値が高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を簡略に示すブロック
図である。

【図２】本発明を利用するのに好適なスキャナ装置の構
成を示すブロック図である。

【図３】従来の表面検査装置の構成を示すブロック図で
ある。

【符号の説明】

６画像原稿１８画像取込部２１光源４６検査光源４８パルス駆動源５０ビーム・スプリッタ５４光検出器５６周波数成分分離手段６０比較器６２パルス測定器６４マイクロ・プロセッサ６６警報器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】画像原稿表面に光を照射し、上記画像原
稿の透過光又は反射光を検出し、上記画像原稿の光照射
位置の画像を取り込むスキャナ用の表面検査装置であっ
て、上記画像原稿表面の上記光照射位置に所定周波数で変調
された検査光線を所定入射角で投光する検査光源と、上記画像原稿の上記光照射位置からの上記所定入射角と
異なる反射角で反射された光を検出する光検出器と、該光検出器の出力から上記所定周波数成分を分離する周
波数成分分離手段とを具え、上記周波数成分分離手段の出力信号から上記画像原稿の
表面を検査することを特徴とするスキャナ用表面検査装
置。
【請求項２】上記周波数成分分離手段の出力信号を基
準しきい値レベルと比較する比較手段を具え、該比較手段の出力信号のパルス幅及びパルス数に応じて
上記画像原稿の表面を検査することを特徴とする請求項
１記載のスキャナ用表面検査装置。