JPH08167552A - レジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法 - Google Patents
レジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法Info
- Publication number
- JPH08167552A JPH08167552A JP31013294A JP31013294A JPH08167552A JP H08167552 A JPH08167552 A JP H08167552A JP 31013294 A JP31013294 A JP 31013294A JP 31013294 A JP31013294 A JP 31013294A JP H08167552 A JPH08167552 A JP H08167552A
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- Japan
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- bottle
- valve
- resist bottle
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- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法を提
供する。 【構成】 レジスト瓶１内にレジスト液のレベルを検知
するレベルセンサ19を取付けるとともに、サックバック
バルブ７の下流側に空気圧作動のストップバルブ20を取
付けて、レベルセンサ19の空信号に基づいて下流側のス
トップバルブ20を閉止してからサックバックバルブ７を
作動させ、その後新しいレジスト瓶と交換することによ
り、レジスト瓶交換時における吸込み管からの液垂れを
防止することを可能にする。
供する。 【構成】 レジスト瓶１内にレジスト液のレベルを検知
するレベルセンサ19を取付けるとともに、サックバック
バルブ７の下流側に空気圧作動のストップバルブ20を取
付けて、レベルセンサ19の空信号に基づいて下流側のス
トップバルブ20を閉止してからサックバックバルブ７を
作動させ、その後新しいレジスト瓶と交換することによ
り、レジスト瓶交換時における吸込み管からの液垂れを
防止することを可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レジスト塗布装置のレ
ジスト瓶交換方法に関する。
ジスト瓶交換方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、感光後のウェーハにレジスト膜を
塗布するには滴下方式とかスプレー方式、ディップ方式
などがある。ここで、滴下方式によるレジスト塗布装置
について説明すると、図２に示すような構成とされる。
すなわち、図において、１はレジスト液を封入したレジ
スト瓶、２はレジスト瓶１のキャップ、３はキャップ２
に設けられた孔部からレジスト瓶１内に挿入される吸込
み管、４はレジスト液を吸い込むレジストポンプ、５は
レジスト液を送り出す供給管、６は供給管５に取付けら
れてレジスト液を供給・停止する空気圧作動のストップ
バルブである。
塗布するには滴下方式とかスプレー方式、ディップ方式
などがある。ここで、滴下方式によるレジスト塗布装置
について説明すると、図２に示すような構成とされる。
すなわち、図において、１はレジスト液を封入したレジ
スト瓶、２はレジスト瓶１のキャップ、３はキャップ２
に設けられた孔部からレジスト瓶１内に挿入される吸込
み管、４はレジスト液を吸い込むレジストポンプ、５は
レジスト液を送り出す供給管、６は供給管５に取付けら
れてレジスト液を供給・停止する空気圧作動のストップ
バルブである。
【０００３】また、７はダイヤフラムで構成されて管内
のレジスト液を吸い戻す機能を有する空気圧作動のサッ
クバックバルブ、８はウェーハ９上にレジスト液を滴下
するディスペンスノズル、10はウェーハ９を載置して真
空チャックする回転台で、モータ11によって回転駆動さ
れる。12は空気圧供給管、13, 14はストップバルブ６、
サックバックバルブ７に供給する空気圧をオン・オフす
る三方電磁弁、15は逆止弁、16は各バルブの作動速度を
調整する絞り弁である。17はメッシュ形フィルタであ
り、これを取付けることにより、サックバックバルブ７
の動作時に管内に滞留するレジスト液から発生するパー
ティクル成分を除去する効果がある。
のレジスト液を吸い戻す機能を有する空気圧作動のサッ
クバックバルブ、８はウェーハ９上にレジスト液を滴下
するディスペンスノズル、10はウェーハ９を載置して真
空チャックする回転台で、モータ11によって回転駆動さ
れる。12は空気圧供給管、13, 14はストップバルブ６、
サックバックバルブ７に供給する空気圧をオン・オフす
る三方電磁弁、15は逆止弁、16は各バルブの作動速度を
調整する絞り弁である。17はメッシュ形フィルタであ
り、これを取付けることにより、サックバックバルブ７
の動作時に管内に滞留するレジスト液から発生するパー
ティクル成分を除去する効果がある。
【０００４】さらに、18はシーケンス制御装置で、レジ
スト液供給・停止の設定信号に応じて供給・停止指令を
出力してレジストポンプ４を起動・停止するとともに、
ストップバルブ６およびサックバックバルブ７の開放・
閉止の操作を行う。また、回転台起動・停止の設定信号
に応じて起動・停止指令を出力してモータ11の起動・停
止を行う。
スト液供給・停止の設定信号に応じて供給・停止指令を
出力してレジストポンプ４を起動・停止するとともに、
ストップバルブ６およびサックバックバルブ７の開放・
閉止の操作を行う。また、回転台起動・停止の設定信号
に応じて起動・停止指令を出力してモータ11の起動・停
止を行う。
【０００５】そこで、レジスト液を供給する場合は、レ
ジスト液供給の設定信号に従ってシーケンス制御装置18
から出力される供給指令に基づいて三方電磁弁13, 14を
オンにし、空気圧供給管12から空気圧を供給してストッ
プバルブ６とサックバックバルブ７を開放し、同時にレ
ジストポンプ４を起動する。これによって、レジストポ
ンプ４はレジスト瓶１内のレジスト液を吸い込んで供給
管５に送り出し、停止中のウェーハ９上にディスペンス
ノズル８を介して所定量のレジスト液を滴下する。
ジスト液供給の設定信号に従ってシーケンス制御装置18
から出力される供給指令に基づいて三方電磁弁13, 14を
オンにし、空気圧供給管12から空気圧を供給してストッ
プバルブ６とサックバックバルブ７を開放し、同時にレ
ジストポンプ４を起動する。これによって、レジストポ
ンプ４はレジスト瓶１内のレジスト液を吸い込んで供給
管５に送り出し、停止中のウェーハ９上にディスペンス
ノズル８を介して所定量のレジスト液を滴下する。
【０００６】そして、ウェーハ９のレジスト液の滴下が
終了してレジスト液を停止する場合は、レジスト液停止
の設定信号に従ってシーケンス制御装置18から出力され
る停止指令に基づいてレジストポンプ４を停止するとと
もに三方電磁弁13, 14をオフにする。これにより、スト
ップバルブ６に封じ込められていた空気圧は三方電磁弁
13から排気され、ストップバルブ６はスプリング６ａの
付勢力によって閉止し、同時にサックバックバルブ７は
スプリング７ａの付勢力によってダイヤフラムが押し上
げられて、ディスペンスノズル８側のレジスト液の残液
を吸い戻す。これによって、ディスペンスノズル８から
レジスト液が垂れることはない。
終了してレジスト液を停止する場合は、レジスト液停止
の設定信号に従ってシーケンス制御装置18から出力され
る停止指令に基づいてレジストポンプ４を停止するとと
もに三方電磁弁13, 14をオフにする。これにより、スト
ップバルブ６に封じ込められていた空気圧は三方電磁弁
13から排気され、ストップバルブ６はスプリング６ａの
付勢力によって閉止し、同時にサックバックバルブ７は
スプリング７ａの付勢力によってダイヤフラムが押し上
げられて、ディスペンスノズル８側のレジスト液の残液
を吸い戻す。これによって、ディスペンスノズル８から
レジスト液が垂れることはない。
【０００７】つづいて、回転台起動設定信号に従ってシ
ーケンス制御装置18から出力される起動指令に基づいて
モータ11を起動して、所定の回転速度で回転することに
よって、ウェーハ９上に滴下されたレジスト液を均一に
塗布する。そして、所定時間経過後、回転台起動設定信
号に従ってシーケンス制御装置18から出力される停止指
令に応じてモータ11を停止する。
ーケンス制御装置18から出力される起動指令に基づいて
モータ11を起動して、所定の回転速度で回転することに
よって、ウェーハ９上に滴下されたレジスト液を均一に
塗布する。そして、所定時間経過後、回転台起動設定信
号に従ってシーケンス制御装置18から出力される停止指
令に応じてモータ11を停止する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなレジスト塗布装置において、レジスト瓶１が空に
なった場合、レジスト液が充満した新しいレジスト瓶と
交換するのであるが、空のレジスト瓶１のキャップ２を
取り外してレジスト瓶１から吸込み管３を引き抜いて、
新しいレジスト瓶に吸込み管３を挿入してキャップ２を
取付ける際に、吸込み管３内の残液が垂れて周辺を汚す
から、衛生上好ましくなく、非能率的であるという問題
がある。
ようなレジスト塗布装置において、レジスト瓶１が空に
なった場合、レジスト液が充満した新しいレジスト瓶と
交換するのであるが、空のレジスト瓶１のキャップ２を
取り外してレジスト瓶１から吸込み管３を引き抜いて、
新しいレジスト瓶に吸込み管３を挿入してキャップ２を
取付ける際に、吸込み管３内の残液が垂れて周辺を汚す
から、衛生上好ましくなく、非能率的であるという問題
がある。
【０００９】本発明は、上記のような従来技術の有する
課題を解決すべくなされたものであって、空になったレ
ジスト瓶を新しいレジスト瓶に交換する際に、吸込み管
内の残液が垂れることなく、容易かつ迅速に交換可能と
したレジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法を提供する
ことを目的とする。
課題を解決すべくなされたものであって、空になったレ
ジスト瓶を新しいレジスト瓶に交換する際に、吸込み管
内の残液が垂れることなく、容易かつ迅速に交換可能と
したレジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、レジスト瓶に
封入されたレジスト液をストップバルブおよびサックバ
ックバルブを介してディスペンスノズルに供給してウェ
ーハ上にレジスト膜を塗布する際に、空になったレジス
ト瓶を交換する方法であって、前記レジスト瓶内にレジ
スト液のレベルを検知するレベルセンサを取付けるとと
もに、前記サックバックバルブの下流側に空気圧作動の
ストップバルブを取付けて、前記レベルセンサの空信号
に基づいて前記下流側のストップバルブを閉止してから
前記サックバックバルブを作動させ、その後新しいレジ
スト瓶と交換することを特徴とするレジスト塗布装置の
レジスト瓶交換方法である。
封入されたレジスト液をストップバルブおよびサックバ
ックバルブを介してディスペンスノズルに供給してウェ
ーハ上にレジスト膜を塗布する際に、空になったレジス
ト瓶を交換する方法であって、前記レジスト瓶内にレジ
スト液のレベルを検知するレベルセンサを取付けるとと
もに、前記サックバックバルブの下流側に空気圧作動の
ストップバルブを取付けて、前記レベルセンサの空信号
に基づいて前記下流側のストップバルブを閉止してから
前記サックバックバルブを作動させ、その後新しいレジ
スト瓶と交換することを特徴とするレジスト塗布装置の
レジスト瓶交換方法である。
【００１１】
【作 用】本発明によれば、レジスト瓶内にレベルセン
サを取付けてレジスト液が空になるのを検知するように
し、サックバックバルブの下流側にもストップバルブを
取付けて、レベルセンサの空信号に基づいてこの下流側
のストップバルブを閉止した後、サックバックバルブを
作動させて吸込み管側のレジスト液の残液を吸い込むよ
うにしてから新しいレジスト瓶と交換するようにしたの
で、レジスト瓶交換時における吸込み管からの液垂れを
防止することができる。
サを取付けてレジスト液が空になるのを検知するように
し、サックバックバルブの下流側にもストップバルブを
取付けて、レベルセンサの空信号に基づいてこの下流側
のストップバルブを閉止した後、サックバックバルブを
作動させて吸込み管側のレジスト液の残液を吸い込むよ
うにしてから新しいレジスト瓶と交換するようにしたの
で、レジスト瓶交換時における吸込み管からの液垂れを
防止することができる。
【００１２】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。図１は本発明に係るレジスト塗布装置の
実施例を示す概要図であり、図中において従来例と同一
部材には同一符号を付して説明を省略する。図におい
て、19はレジスト瓶１内に取付けられたレベルセンサで
あり、その検出信号はシーケンス制御装置18に入力され
る。20はサックバックバルブ７の下流側に取付けられた
空気圧作動のストップバルブである。21は空気圧供給管
12に取付けられた三方電磁弁で、逆止弁15と絞り弁16を
介して下流側のストップバルブ20に接続される。
して説明する。図１は本発明に係るレジスト塗布装置の
実施例を示す概要図であり、図中において従来例と同一
部材には同一符号を付して説明を省略する。図におい
て、19はレジスト瓶１内に取付けられたレベルセンサで
あり、その検出信号はシーケンス制御装置18に入力され
る。20はサックバックバルブ７の下流側に取付けられた
空気圧作動のストップバルブである。21は空気圧供給管
12に取付けられた三方電磁弁で、逆止弁15と絞り弁16を
介して下流側のストップバルブ20に接続される。
【００１３】つぎに、このように構成された本発明装置
によるレジスト瓶１の交換時の動作について説明する。
なお、レジスト液供給・停止時の動作は前記した従来例
の動作と同様であるので説明を省略するが、このとき下
流側のストップバルブ20はレジスト液供給・停止の間は
常に開放状態にしておく必要がある。 レジスト瓶１内が空になると、レベルセンサ19が作動
してその空の検出信号をシーケンス制御装置18に入力す
る。 シーケンス制御装置18はただちに停止指令を出力して
レジストポンプ４を停止するとともに三方電磁弁21をオ
フにし、スプリング20ａの付勢力によって下流側のスト
ップバルブ20を閉止する。 続いて、三方電磁弁14をオフにして、サックバックバ
ルブ７を作動させ、吸込み管３側のレジスト液の残液を
吸い込ませる。 キャップ２を取り外して空のレジスト瓶１から吸込み
管３とレベルセンサ19を引き抜く。 レジスト液が充満した新しいレジスト瓶と交換し、吸
込み管３とレベルセンサ19を挿入してキャップ２を締め
付ける。 シーケンス制御装置18から供給指令を出力してレジス
トポンプ４を起動するとともにサックバックバルブ７と
下流側のストップバルブ20を開放し、新たなレジスト液
をディスペンスノズル８に供給し、ウェーハ９上に所定
量のレジスト液を滴下する。
によるレジスト瓶１の交換時の動作について説明する。
なお、レジスト液供給・停止時の動作は前記した従来例
の動作と同様であるので説明を省略するが、このとき下
流側のストップバルブ20はレジスト液供給・停止の間は
常に開放状態にしておく必要がある。 レジスト瓶１内が空になると、レベルセンサ19が作動
してその空の検出信号をシーケンス制御装置18に入力す
る。 シーケンス制御装置18はただちに停止指令を出力して
レジストポンプ４を停止するとともに三方電磁弁21をオ
フにし、スプリング20ａの付勢力によって下流側のスト
ップバルブ20を閉止する。 続いて、三方電磁弁14をオフにして、サックバックバ
ルブ７を作動させ、吸込み管３側のレジスト液の残液を
吸い込ませる。 キャップ２を取り外して空のレジスト瓶１から吸込み
管３とレベルセンサ19を引き抜く。 レジスト液が充満した新しいレジスト瓶と交換し、吸
込み管３とレベルセンサ19を挿入してキャップ２を締め
付ける。 シーケンス制御装置18から供給指令を出力してレジス
トポンプ４を起動するとともにサックバックバルブ７と
下流側のストップバルブ20を開放し、新たなレジスト液
をディスペンスノズル８に供給し、ウェーハ９上に所定
量のレジスト液を滴下する。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レジスト瓶にレベルセンサを取付けるとともにサックバ
ックバルブの下流側にもストップバルブを取付けて、レ
ジスト瓶の交換時に吸込み管側の残液を吸い込むように
したので、吸込み管側からの液垂れを防止することがで
き、これによって衛生的でかつ迅速なレジスト瓶の交換
を行うことができる。
レジスト瓶にレベルセンサを取付けるとともにサックバ
ックバルブの下流側にもストップバルブを取付けて、レ
ジスト瓶の交換時に吸込み管側の残液を吸い込むように
したので、吸込み管側からの液垂れを防止することがで
き、これによって衛生的でかつ迅速なレジスト瓶の交換
を行うことができる。
【図１】本発明に係るレジスト塗布装置の実施例を示す
概要図である。
概要図である。
【図２】レジスト塗布装置の従来例を示す概要図であ
る。
る。
１ レジスト瓶 ２ キャップ ３ 吸込み管 ４ レジストポンプ ６ ストップバルブ（上流側） ７ サックバックバルブ ８ ディスペンスノズル ９ ウェーハ 12 空気圧供給管 13, 14，21 三方電磁弁 15 逆止弁 16 絞り弁 17 メッシュ形フィルタ 18 シーケンス制御装置 19 レベルセンサ 20 ストップバルブ（下流側）
Claims (1)
- 【請求項１】 レジスト瓶に封入されたレジスト液を
ストップバルブおよびサックバックバルブを介してディ
スペンスノズルに供給してウェーハ上にレジスト膜を塗
布する際に、空になったレジスト瓶を交換する方法であ
って、 前記レジスト瓶内にレジスト液のレベルを検知するレベ
ルセンサを取付けるとともに、前記サックバックバルブ
の下流側に空気圧作動のストップバルブを取付けて、前
記レベルセンサの空信号に基づいて前記下流側のストッ
プバルブを閉止してから前記サックバックバルブを作動
させ、その後新しいレジスト瓶と交換することを特徴と
するレジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31013294A JPH08167552A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | レジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31013294A JPH08167552A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | レジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08167552A true JPH08167552A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=18001558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31013294A Pending JPH08167552A (ja) | 1994-12-14 | 1994-12-14 | レジスト塗布装置のレジスト瓶交換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08167552A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100330483B1 (ko) * | 1999-12-30 | 2002-04-01 | 황인길 | 포토 레지스트 자동 인식 방법 및 이를 위한 시스템 |
| JP2008270255A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | レジスト配管およびレジスト塗布装置 |
-
1994
- 1994-12-14 JP JP31013294A patent/JPH08167552A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100330483B1 (ko) * | 1999-12-30 | 2002-04-01 | 황인길 | 포토 레지스트 자동 인식 방법 및 이를 위한 시스템 |
| JP2008270255A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | レジスト配管およびレジスト塗布装置 |
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