JPH08166350A

JPH08166350A - 検査指示装置

Info

Publication number: JPH08166350A
Application number: JP6333267A
Authority: JP
Inventors: Yasutarou Miyatani; 保太朗宮谷
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1994-12-14
Filing date: 1994-12-14
Publication date: 1996-06-25

Abstract

(57)【要約】【目的】光照射位置の駆動機構を簡単にして精度よく
実装基板上の不良箇所を指示できる小型の検査指示装置
を提供する。【構成】ヘッド部１５のケーシング部２２の内面に圧
電体を用いたステータ２３を固定し、球殻状のロータ２
４を複数のステータ２３によって回転可能に支持し、球
面モータ３３を構成する。ロータ２４内には色の異なる
光ビームを出射する複数の光源２５を備え、ロータ２４
の露出した部分にはコリメートレンズ２６を設ける。自
動検査装置４によって検出された不良箇所の位置情報に
基づいて球面モータを駆動し、不良内容を示す実装情報
に従って決められた色の光ビームγを不良箇所に照射す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は検査指示装置に関する。
具体的にいうと、実装基板上における電子部品等の実装
位置不良やハンダ箇所不良などの検査結果に基づき、当
該実装基板上における当該不良箇所を指示する検査指示
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＩＣチップやコンデンサ、抵抗な
どの電子部品の実装や実装後の検査は、人手に頼ること
なく装置によって自動的に行なわれている。しかしなが
ら、自動検査装置によって、実装部品が所定位置に実装
されていなかったり、ハンダ付けが適切に行なわれてい
ないなどの実装不良が検知された場合、電子部品の再実
装やハンダ付けのやり直し等は手作業で行なっている。
このとき、作業者は検査指示装置を用いて光ビームを当
該不良箇所に照射することによって不良箇所を探し出し
て、不良箇所の修正を行なっている。

【０００３】図１０に示すものは従来の検査指示装置７
１の概略構造図であるが、検査指示装置７１は、光ビー
ムを出射するヘッド部７２と実装基板７８を載置するス
テージ７３及び光ビームの出射方向を制御する制御部７
４とから構成されている。ヘッド部７２には、固定され
た光源７５と光源７５から出射された光ビームγをコリ
メートするコリメートレンズ７６及びコリメート化され
た光ビームγを実装基板７８上に照射する３つの１軸駆
動の反射ミラー７７が備えられている。また、制御部７
４には自動検査装置（図示せず）から、実装基板上の不
良箇所の位置を示す位置情報がオンラインあるいはオフ
ラインで伝えられる。

【０００４】しかして、自動検査装置によって実装基板
７８に不良箇所ｆが発見されると、実装基板７８は検査
指示装置７１のステージ７３上に運ばれ、位置決め部７
９ａによって所定の方向に挟み込まれ、位置決め部７９
ｂによって所定の位置に載置される。実装基板７８がス
テージ７３上に載置されると、制御部７４は自動検査装
置から伝えられた位置情報に基づき、３つの反射ミラー
７７を駆動して光ビームγの反射方向を変え、実装基板
７８上の不良箇所ｆに光ビームγを照射する。こうして
不良箇所ｆに光ビームγが照射されると、作業者は光ビ
ームγの照射位置を探し出して不良箇所ｆを認識し、そ
の位置の電子部品８０のハンダ付けをやり直したり、チ
ップボックス８１にある電子部品８０を実装基板７８に
実装し、完全な実装基板７８としている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この検
査指示装置においては３つの反射ミラーを駆動して光ビ
ームγの照射位置を制御していたので駆動機構が複雑と
なり、ヘッド部が大型化していた。また、反射ミラーに
よって光ビームγを反射させる構造では反射ミラーの駆
動角度の２倍の角度で光ビームγの出射方向が変化し、
さらに３つの反射ミラーの制御誤差が重複する恐れがあ
るので、反射ミラーの制御精度が悪いと光ビームγの出
射方向を精度よく制御できず、電子部品の実装密度が多
くなるにつれ不良箇所ｆを正確に指示できなくなる恐れ
があった。

【０００６】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、光照射位置
の制御機構を簡単にして精度よく実装基板上の不良箇所
を指示できる小型の検査指示装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の検査指示装置
は、検査対象物が載置されるステージと、前記検査対象
物へ光を照射する光源と、前記光源の光の照射位置を制
御する球面モータと、から構成されることを特徴として
いる。

【０００８】ここで、球面モータとしては、複数のステ
ータを略球状のロータの表面に圧接させ、ステータに発
生させた微小振動をロータへ伝達させて当該ロータを回
転駆動させるようにしたものを用いることができる。

【０００９】このとき、ロータに光源を取り付けたり、
ロータにミラーを取り付けて光源からの光を反射させる
こととしてもよい。

【００１０】また、異なる色の光を出射する複数の光源
を備えることができる。

【００１１】さらに、前記光源から出射された光が、終
局的に光を照射すべき箇所よりも広い領域に照射された
後、当該照射箇所に収束するようにするのが好ましい。

【００１２】

【作用】本発明によれば、球面モータによって検査対象
物に照射する光の照射位置を制御しており、球面モータ
は任意の方向に回転することができるので、一つの球面
モータによって光の照射位置を制御することができる。
このため、従来の検査指示装置に比べて光照射位置の制
御機構を簡単にすることができ、検査指示装置を小型化
できる。

【００１３】特に、略球状のロータと微小振動を発生さ
せるステータとからなる球面モータを用いれば、検査指
示装置の構造を簡単にし、かつ小型化することができ
る。

【００１４】また、微小振動を発生させたステータによ
って、ロータを圧接駆動する構造となっているので、ス
テータの回転トルクが強く、微小振動の発生を精度よく
制御できる。このため、ロータの制御精度が非常によ
く、ロータに光源やミラー面を取り付けることにより、
光源から光を出射し、あるいは反射ミラーで光を反射さ
せて、精度よく光の照射方向を制御できる。

【００１５】このとき、光源をロータに取り付けた検査
指示装置にあっては、光源からの光を反射させるミラー
が不要になり検査指示装置をさらに小型にでき、面倒な
光軸調整が不要になる。さらに、光源の照射方向を直接
制御できるので、ミラー面を用いた場合に比べ２倍の制
御精度で出射方向を決めることができる。また、反射ミ
ラーを用いた場合でも反射ミラーは１枚で済み、制御誤
差が重複する恐れもない。

【００１６】また、光源に異なる色を光を出射する複数
の光源を備えれば、実装位置不良やハンダ付け不良など
異なる不良原因ごとに光の色を変えて指示することがで
き、多目的の指示が一台の装置で行なえる。また、色を
変えることにより作業者の誤認等が予防され、操作性の
向上につながる。

【００１７】また、終局的に光を照射する箇所よりも広
い領域に照射させた後、当該照射箇所に収束させるよう
にすれば、光の照射位置をはやく認識することができ、
また、終局的にはビームスポットが収束されるので、不
良箇所を正確に指示することができる。このため視認性
と作業性が格段と向上する。

【００１８】

【実施例】図１に示すものは、本発明の検査指示装置６
を組み込んだ実装検査システムを示す構成図である。１
はＩＣチップや抵抗、コンデンサなどの電子部品１０を
実装基板１１上の所定位置に載置する電子部品自動載置
装置、２は電子部品１０が載置された実装基板１１をハ
ンダ付けする自動ハンダ装置、３はハンダ付けされた実
装基板１１を冷却し、ハンダを固定する冷却装置、４は
電子部品１０が実装された実装基板１１の実装不良やハ
ンダ不良などを、例えば画像処理などによって検査する
自動検査装置、５は検査された実装基板１１にナンバリ
ングして識別番号を付与するラベラ、６は本発明の検査
指示装置である。ローダ７からアンローダ８に至る各装
置はベルトコンベアなどの搬送手段９によって一つのラ
インを構成しており、実装基板１１はライン上で各工程
を経て、アンローダ８から完成した実装基板１１として
取り出される。すなわち、ローダ７から実装基板１１が
電子部品自動載置装置１に供給されると、ＩＣチップな
どの電子部品１０は自動的に実装基板１１上の所定位置
に載置される。所定の電子部品１０が載置されると自動
ハンダ装置２に送り込まれ、フロー法やリフロー法、デ
ィップ法などによって電子部品１０が実装基板１１にハ
ンダ付けされた後、冷却装置３によって冷却され電子部
品１０が実装基板１１に実装される。実装が終わった実
装基板１１は自動検査装置４によって、電子部品１０の
欠落、端子未挿入、位置ずれなどの載置不良やハンダ無
し、ハンダ過多、ハンダ不足、ブリッジなどのハンダ不
良といった実装不良が検査される。実装不良が検出され
た場合には、不良箇所の位置情報と載置不良やハンダ不
良など不良内容を示す実装情報が、検査指示装置６の制
御部１７に送られる。

【００１９】自動検査装置４によって検査された実装基
板１１はすべてラベラ５によって一連の識別番号が付与
され、ラベラ５から制御部１７へ識別番号が送出され、
制御部１７で識別番号と当該実装基板１１の位置情報及
び実装情報とが一致される。その後、「実装不良なし」
と判定された実装基板１１はそのまま検査指示装置６を
通過して、アンローダ８から取り出される。また、「実
装不良あり」と判定された実装基板１１が検査指示装置
６に送られると、光ビームγが不良箇所に照射され、不
良箇所や不良内容が指示される。待機している作業者は
検査指示装置６によって指示された実装不良を修正し、
実装不良がなくなった実装基板１１はアンローダ８から
取り出される。このようにして、電子部品１０の載置か
ら実装検査、ラベリング（識別番号付与）まで一貫して
自動で行なうことができ、検査指示装置６を用いること
によりインラインでの修正作業を容易に行なうことがで
きる。

【００２０】次に本発明の検査指示装置６について説明
する。図２に示すものは、検査指示装置６を示す概略斜
視図であって、検査指示装置６は光ビームγを出射する
ヘッド部１５と検査された実装基板１１を載置するステ
ージ１６及び光ビームγの出射方向を制御する制御部１
７及び操作ターミナル１８とから構成されている。ヘッ
ド部１５は、ステージ１６上方に位置するように装置本
体１９から延びた支柱２０の先端部分に取り付けられて
おり、図３及び図４に示すようにヘッド部１５のケーシ
ング部２２の内面には圧電体を用いたステータ２３が固
定されており、球殻状をしたロータ２４が複数のステー
タ２３によって回転可能に支持され、球面モータ３３が
構成されている。すなわち、ロータ２４はステータ２３
の非駆動時にはステータ２３との摩擦によって回転でき
ないが、ステータ２３を駆動してステータ２３表面にい
わゆる超音波振動（圧電体表面でのたわみ進行波）を発
生させると、それによってロータ２４が回転する。ま
た、駆動するステータ２３を切り替えたり、ステータ２
３の振動モードを変化させたりすると異なった方向にロ
ータ２４が回転する。

【００２１】また、ロータ２４の内部には、例えば赤
色、青色、白色といった異なる色の光ビームγを出射す
るＬＥＤや半導体レーザー、ハロゲンランプなどの光源
２５が複数配置されている。ロータ２４の一部分はケー
シング部２２から露出しており、この部分には光源２５
から出射された光をステージ１６に載置した実装基板１
１上にコリメートさせるためのコリメートレンズ２６が
備えられている。

【００２２】制御部１７には、自動検査装置４によって
実装不良が検出された実装基板１１の識別番号や不良箇
所ｆの位置情報や不良内容を示す実装情報などを記録す
るハードディスクなどの記憶装置、ヘッド部１５の球面
モータ３３を制御する制御回路などが備えられている。
自動検査装置４から送信されてきた位置情報や実装情報
は実装基板１１の識別番号とともに記憶装置に蓄積さ
れ、必要に応じて実装不良の発生率や不良内容ごとの集
計結果をまとめて、操作ターミナル１８上のディスプレ
イ２１に表示させたり、プリントアウトさせたりするこ
とができる。また、操作ターミナル１８からの指示によ
って、修正を要する実装基板１１の識別番号や不良内容
をディスプレイ２１上に表示したり、制御部１７によっ
て球面モータ３３を駆動して、ステージ１６上に搬送さ
れた実装基板１１上の不良箇所ｆに光ビームγを照射さ
せることができる。また、光ビームγは、例えば、電子
部品１０の欠落の場合には赤色、ハンダ不良の場合には
青色、電子部品１０の位置ずれには白色といったように
実装不良の内容に応じて変えられるようになっている。
すなわち、この検査支持装置６にあっては、自動検査装
置４によって得られた不良箇所ｆの位置情報に基づい
て、制御部１７は球面モータ３３を駆動させ、不良内容
に応じた色の光ビームγを不良箇所ｆに照射させること
ができるようになっている。

【００２３】しかして、ステージ１６上には実装基板１
１の挿入方向と実装基板１１の位置を決める位置決め部
２７が設けられており、自動検査装置４から実装不良と
判定された実装基板１１が所定の基板方向を向けて送ら
れてくると、位置決め部２７に基づいてステージ１６上
に所定の位置に載置される。位置決め部２７には例えば
爪状のものを突設し、爪に基板の端部を押し当てるよう
にすればよく、またピン状の位置決め部２７に、実装基
板１１に設けた位置決め用の穴を挿通させるようにして
もよい。ディスプレイ２１には実装基板１１の識別番号
が表示されるとともに不良内容が表示され、不良内容に
応じた色の光ビームγが不良箇所ｆに照射される。光ビ
ームγが照射されると、作業者はディスプレイ２１に表
示された不良内容と指示された不良箇所ｆを目視確認し
たのち、欠落した電子部品１０を実装したりハンダ付け
をやり直して実装不良を修正し、修正が終わればスター
トボタン２８を押下する。一箇所の修正が終わりスター
トボタン２８が押下されると、制御部１７はさらに別な
実装不良があれば次の不良内容をディスプレイ２１に表
示し、不良内容に応じた色の光ビームγを次の不良箇所
ｆに照射する。光ビームγが照射されると作業者はその
箇所の修正を行ない、スタートボタン２８を押下する。
このようにして、全ての実装不良の修正が終わりスター
トボタン２８が押下されると、制御部１７はすべての実
装不良が修正されたかどうかを確認して実装基板１１を
アンローダ８へ送り出し、次の実装基板１１の修正に移
る。

【００２４】この検査指示装置６にあっては、光源２５
がロータ２４内に備えられているため、球面モータ３３
を駆動することによって直接光ビームγの照射方向を制
御することができる。したがって、ヘッド部１５の構成
が簡単な構成になって小型化することができ、故障が少
なくなる。また、球面モータ３３の制御は精度よく行な
え、光ビームγの照射方向を直接制御するようになって
いるので、反射ミラーを用いた場合に比べ２倍以上の精
度で制御でき、分解能を高めることができる。このた
め、高密度で実装された実装基板１１にあっても正しく
不良箇所を指示することができる。

【００２５】例えば、ヘッド部１５に用いられる球面モ
ータ３３としては、例えば特願平５−２５２２７３号と
して特許出願されているものを用いることができる。こ
の球面モータ３３は、図５（ａ）に示すように、４個の
ステータ２３を球面状をしたロータ２４の最大円周（赤
道）に沿って９０度の角度をおいて配置し、複数個のス
テータ２３によってロータ２４を支持したものである。
各ステータ２３は図５（ｂ）（ｃ）に示すような回転型
表面波振動子からなる。すなわち、金属等の弾性材料に
よって形成された弾性体２９は略皿状をしており、その
外周部表面には一定ピッチ毎に接触片３０をロータ２４
と接触させるようにしてロータ２４を支持するようにな
っており、そのため接触片３０の上面にはロータ２４の
表面の曲率と同一の曲率を有する凹状のアール面３２が
施されている。

【００２６】このステータ２３は超音波モータの原理に
よってロータ２４を駆動するものであって、圧電素子３
１を振動させることによって弾性体２９の接触片３０の
表面にたわみ振動や伸縮振動等の表面波振動を発生させ
るものである。しかして、この圧電素子３１を所定の駆
動モードで駆動すると、弾性体２９の表面を円周方向に
進む進行波（たわみ進行波）により接触片３０の表面の
粒子が楕円軌道を描いて運動し、ロータ２４の表面がス
テータ２３の円周方向にそって移動する。この結果、ロ
ータ２４は駆動されているステータ２３の軸心の回りに
回転し、光源２４から出射された光ビームγをステージ
１６上で２次元的に走査させることができる。この球面
モータ３３にあっては、非常に小型で精度よくロータ２
４の回転を制御することができるので、特にヘッド部１
５の小型化や高精度化には好都合である。

【００２７】このとき、不良箇所ｆを示す光ビームγの
スポットは非常に小さく、目視で探し出すには非常に困
難を伴う。そこで、４つのステータ２３を駆動させてロ
ータ２４を２次元的に回転させ、光ビームγを様々なパ
ターンに走査させながら不良箇所ｆに照射させるように
すると、光ビームγを容易に捉えることができ、迅速に
作業を行なうことができる。このためには、光ビームγ
を例えば図６（ａ）に示すようにうず状に走査させなが
ら不良箇所ｆに収束させたり、図６（ｂ）に示すように
走査幅が次第に短くなるようにクロス状に走査させなが
ら収束させたり、また図６（ｃ）に示すように大きな円
から小さな円となるように同心円状に光ビームγを走査
させながら収束させることにすればよい。このように、
照射直後にあっては広い範囲で光ビームγが走査される
ので直ちに光ビームγを認識することができ、最後には
光ビームγは収束されるので、不良箇所ｆを正確に認識
することが可能になる。もちろん、これ以外のパターン
で走査させながら不良箇所ｆに収束させるようにしても
よい。

【００２８】また、不良内容によって光ビームγの色が
変えられるので、作業者は光ビームγの色を識別するこ
とによって不良内容を直ちに理解できる。したがって、
即座にどんな作業をすればよいかを判断することがで
き、ディスプレイ２１によって確認することなく作業を
行なえ、よりスピーディに作業内容を把握することがで
きる。

【００２９】図７に示すものは、本発明の別な実施例で
ある検査指示装置６の球面モータ３３を一部破断した断
面図であって、ロータ２４には発光素子３９から出射さ
れた光の集光位置が調整可能な光源３５が備えられてい
る。光源３５は、光を透過させるガラス基板３６の一方
の面にシリコン基板３７が張り合わされており、ガラス
基板３６の他方の面にはフレネルレンズのような回折型
の結像素子４４が設けられている。シリコン基板３７に
はウェットエッチングが施されて角錐台状若しくは円錐
台状の凹部３８が形成されており、凹部３８の底面には
ＬＥＤや半導体レーザーのような発光素子３９と対向し
て可動ミラー部４０が構成されている。可動ミラー部４
０はシリコン基板３７に凹部３８を形成してできた薄膜
部４１と、薄膜部４１を厚さ方向に変位させることので
きる駆動部４２とから構成されており、駆動部４２は例
えば横歪みを発生させて起歪する強誘電体膜が２枚の金
属薄膜に挟まれた構造となっている。この薄膜部４１の
内面は鏡面加工が施されてミラー面４３となっており、
発光素子３９から出射された光を反射させることができ
る。

【００３０】この光源３５は、駆動部４２をオンして強
誘電体膜に電界を印加することにより、強誘電体膜が横
方向に歪み、薄膜部４１が座屈する。したがって、印加
する電圧を調整することによって発光素子３９からミラ
ー面４３までの距離が変化し（あるいはミラー面４３の
曲率が変化し）、発光素子３９から出射された光ビーム
γの集光位置を容易に変化させることができる。したが
って、この光源３５を用いて光ビームγの集光位置を調
整し、実装基板１１上における光ビームγのスポットの
大きさを次第に小さくして照射領域を次第に不良箇所ｆ
に収束させるようにすれば、容易に不良箇所ｆを肉眼で
捉えることができる。

【００３１】図８に示すものは、本発明のさらに別な実
施例である検査指示装置６のヘッド部１５を一部破断し
た構造図である。ステージ１６上に配置されたヘッド部
１５の球面モータ３３のロータ２４表面には反射ミラー
４５が固定されており、ヘッド部１５の先端部にはＬＥ
Ｄや半導体レーザー、ハロゲンランプなどの発光素子４
６とコリメートレンズ４７とからなる光源が備えられて
いる。このヘッド部１５は、ステータ２３を駆動するこ
とによりロータ２４を回動させ、光源からの光ビームγ
の入射角を変化させることができる。しかして、制御部
１７によって球面モータ３３を駆動すると反射ミラー４
５が回動して光ビームγの入射角が変化する。したがっ
て、光ビームγの照射方向を変化させることができ、実
装基板１１上の不良箇所ｆに光ビームγを照射すること
ができる。このように、球面モータ３３のロータ２４表
面に反射ミラー４５を設け、光ビームγを反射ミラー４
５で反射させて不良箇所ｆを指示することもできる。こ
の場合にも、球面モータ３３と一枚の反射ミラー４５と
によって駆動機構を構成することができるので、その構
成が非常に簡単になる。また、光ビームγは反射ミラー
４５で一度反射されるだけであるので、従来の検査指示
装置７１のように反射による誤差が重複する恐れもな
く、光ビームγの制御精度も向上する。

【００３２】上記の実装検査システムにあってはインラ
インでの使用について説明したが、もちろん、オフライ
ンでの使用とすることも可能である。例えば、図９に示
すように自動検査装置４と一台以上の検査指示装置６と
を用いて、実装検査システムを構成することもできる。
自動検査装置４は検査端末（コンピューター）５１によ
って制御されており、自動検査装置４により検出された
実装基板１１の実装情報や位置情報は実装基板１１の識
別番号とともに、検査端末５１からサーバコンピュータ
５３に送信され、サーバコンピュータ５３に記憶されて
いる。各検査指示装置６では、作業者は実装基板１１を
所定の基板方向となるようにステージ１６上の所定位置
に載置し、実装基板１１に付された識別番号を検査指示
端末５２のキーボード５４やバーコードリーダから入力
する。識別番号が入力されると、検査指示装置６の検査
指示端末５２はサーバコンピュータ５３に記憶された該
当する実装基板１１の位置情報や実装情報を読み出し、
不良内容を検査指示端末５２のディスプレイ５５に表示
するとともに、位置情報に基づいてヘッド部１５の球面
モータ３３を駆動して、不良箇所に光ビームγを照射す
ることができる。作業者はこうして指示された実装不良
を修正し一枚の実装基板１１の全ての修正が済むと、次
の実装基板１１をステージ１６上に載置して実装不良を
修正することができる。このように検査指示装置６はオ
フラインでの使用とすることもできる。また、自動検査
装置４によって得られた実装基板１１の画像をディスプ
レイ５５に表示すれば、表示画面を見ながら不良箇所の
確認がさらに容易にでき、速くて確実な修正作業を行な
うことができる。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、球面モータを用いて光
の照射制御を行なっているので、用いる球面モータは一
つで済み、検査指示装置を小型化することができる。

【００３４】特に、ロータと微小振動を発生させるステ
ータとからなる球面モータにあっては、検査指示装置を
さらに小型化することができる。また、ロータは圧接駆
動されるので制御精度がよく、ロータに光源やミラーを
取り付けることにより精度よく光の照射方向を制御でき
る。

【００３５】このとき光源をロータに取り付けた検査指
示装置にあっては、光を反射するミラーが不要になり、
構造が簡単でさらに装置の小型化が図れる。しかも、光
源とミラーとの光軸調整が不要になり、製造工程やメン
テナンスを簡略化できる。また、光の出射方向を直接制
御できるので、位置決め精度は格段に向上する。

【００３６】また、色の異なる複数の光源を備えると、
適宜色を使いわけ一台の検査指示装置により複数の目的
に使うことができ、作業者の誤認等の予防など操作性を
向上できる。

【００３７】さらに、終局的に光を照射すべき箇所より
も広い領域に照射させた後、当該照射箇所に収束させる
ようにすれば、光の照射位置をはやく認識することがで
き、また、終局的にはビームスポットが収束されるの
で、不良箇所を正確に指示することができる。このため
視認性と作業性がより一層よくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査指示装置を備えた実装検査システ
ムを示す全体構成図である。

【図２】同上の検査指示装置を示す概略斜視図である。

【図３】同上の検査指示装置のヘッド部の拡大斜視図で
ある。

【図４】同上の検査指示装置のヘッド部の構造を示す一
部破断した断面図である。

【図５】（ａ）は球面モータを示す一部破断した平面
図、（ｂ）（ｃ）は同上のステータを示す正面図及び断
面図である。

【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ、同上の検査指
示装置によって得られる光のビームパターンを示す図で
ある。

【図７】本発明の別な実施例であるヘッド部の一部破断
した断面図である。

【図８】本発明のさらに別な実施例のヘッド部の一部破
断した概略構造図である。

【図９】本発明の検査指示装置を備えた別な実装検査シ
ステムを示す構成図である。

【図１０】従来例の検査指示装置を示す概略構造図であ
る。

【符号の説明】

１電子部品自動載置装置２自動ハンダ装置４自動検査装置６検査指示装置１５ヘッド部２３ステータ２４ロータ２５光源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象物が載置されるステージと、前
記検査対象物へ光を照射する光源と、前記光源の光の照
射位置を制御する球面モータと、から構成される検査指
示装置。
【請求項２】前記球面モータは、複数のステータを略
球状のロータの表面に圧接させ、ステータに発生させた
微小振動をロータへ伝達させて当該ロータを回転駆動さ
せるようにしたものであることを特徴とする請求項１に
記載の検査指示装置。
【請求項３】前記ロータに、前記光源を取り付けたこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載の検査指示装置。
【請求項４】前記ロータにミラーを取り付け、前記光
源から出射された光を当該ミラーで反射させることを特
徴とする請求項１又は２に記載の検査指示装置。
【請求項５】異なる色の光を出射する複数の光源を備
えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査
指示装置。
【請求項６】前記光源から出射された光が、終局的に
光を照射すべき箇所よりも広い領域に照射された後、当
該照射箇所に収束することを特徴とする請求項１又は２
に記載の検査指示装置。