JPH08166281A

JPH08166281A - 感振センサ

Info

Publication number: JPH08166281A
Application number: JP7972794A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Sugimoto; 聡杉本; Yoshimoto Odakawa; 良基小田川
Original assignee: TDK Corp; Tokyo Gas Co Ltd
Current assignee: TDK Corp; Tokyo Gas Co Ltd
Priority date: 1994-03-26
Filing date: 1994-03-26
Publication date: 1996-06-25

Abstract

(57)【要約】【目的】リード線が感振部の動作、特性に対して悪影響
を与えないようにする。【構成】感振部１はケース２の内部に吊り下げられ、吊
り下げられたとき底部側となる側に出力端１２５、１２
６を有している。リード線３１、３２は感振部１の出力
端１２５、１２６から導かれ、ケース２の下部側からケ
ース２の外部に導出されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感振センサに関し、更
に詳しくは、各種振動、地震波による振動またはこれら
の振動に伴う加速度を感知する感振センサに係る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、感震器または感震センサでは、
傾斜状態での特性変化を回避する手段として自動水平保
持機能を持たせることが多い。例えば、実開平３ー３０
８３３号公報は、吊り下げ軸体の下部側で、感震ケース
との間に位置して感震ケースに自動水平機能を持たせる
高粘性流体を設けたダンパー型の水平保持機構を開示し
ている。

【０００３】特開平３ー１１５１３号公報は、支持棒に
固定されたスプリングを介して感震器ケースに固定され
た支持ピンにより、感震機能部を回動自在に保持し、小
さな角度偏差に対して、鉛直を保つようにした感震器を
開示している。

【０００４】更に、特開平３ー５９４２５号公報はケー
ス本体内に環状の感震用永久磁石リングを、吊糸を介し
て水平状態に、かつ、揺動自在に吊り下げた感震センサ
を開示している。

【０００５】吊り下げ構造を採る場合、可動部分である
感震部からの感震信号を、リード線を通して外部（固定
側）に導出することが必要である。この種の感震センサ
は、地震に伴って感震部に生じた加速度を感知するもの
であるため、リード線が感震部の加速度感知動作に悪影
響を与えないような構造を採ることが重要である。前述
した先行技術文献においては、リード線に弛みを持たせ
てケースの上方に導出し、ケース上部側に設けられた端
子導体に接続する等の構造を採っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
感震センサは、リード線が比較的長い経路で引き回され
るため、感震部の加速度感知動作に対するかなりの負荷
となっている。特に、感震部の信号出力端が底部側にあ
る場合には、リード線がケースの内部を底部側から上面
側に向かって引き出される長い配線経路となるため、感
震部に対するリード線の負荷が大きくなる傾向にある。
また、ケースの内部を底部から上面側に向かって走るリ
ード線が、時として感震部の動作領域内に入り込み、感
震部に動作障害を与えることもある。

【０００７】本発明の課題は、新規なリード線引き出し
構造を有する感振センサを提供することである。

【０００８】本発明のもう一つの課題は、感振部の動作
及び特性に対して悪影響を与えない新規なリード線引き
出し構造を有する感振センサを提供することである。

【０００９】本発明のもう一つの課題は、感振部に対す
る負荷を軽減したリード線引き出し構造を有する感振セ
ンサを提供することである。

【００１０】本発明のもう一つの課題は、感振部に動作
障害を与えることのないリード線引き出し構造を有する
感振センサを提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る感振センサは、感振部と、ケースと、
リード線とを含んでおり、前記感振部は、吊り下げ手段
により前記ケースの内部に吊り下げられ、吊り下げられ
たとき底部側となる側に出力端を有しており、前記リー
ド線は、前記感振部の前記出力端から導かれ、前記ケー
スの下部側から前記ケースの外部に導出されている。

【００１２】一つの実施例では、前記ケースは、筒状部
材と、底部材とを有し、前記底部材が前記筒状部材の軸
方向の一端部に接合されて前記筒状部材の底部を構成し
ており、前記リード線は、前記筒状部材と前記底部材と
の接合境界を通って、前記ケースの外部に導出されてい
る。

【００１３】好ましくは、前記ケースは、制動流体を収
納しており、前記感振部は、一部が前記制動流体の中に
あって、前記制動流体による制動を受ける。

【００１４】別の好ましい例では、前記吊り下げ手段
は、球状体と、受け部とを有しており、前記球状体及び
受け部は前記感振部及び前記ケースに分配して取り付け
られ、前記球状体が前記受け部によって受けられて相互
間に可動接触面を形成している。

【００１５】更に別の好ましい実施例では、前記感振部
は、可動体と、磁気感応素子と、非磁性ケースとを含ん
でおり、前記可動体は、マグネットを含み、前記マグネ
ットが前記非磁性ケース内に配置され、磁性流体によっ
て支持されて前記非磁性ケースの底部の内面上に浮上し
ており、前記磁気感応素子は、前記非磁性ケースの前記
底部の外部に配置され、前記マグネットの漏洩磁界に感
応する。

【００１６】

【作用】感振部はケースの内部に吊り下げているから、
ケースが傾斜した場合、感振部が、傾斜にかかわらず、
傾斜前の水平状態を保つ。このため、傾斜による特性変
化を回避することができる。

【００１７】感振部は、吊り下げられたとき底部側とな
る側に出力端を有しており、リード線は感振部の出力端
から導かれ、ケースの下部側からケースの外部に導出さ
れているから、ケース内におけるリード線の配線長が、
ケースの上側から外部に導出する従来の場合と比較し
て、半分以下に縮小される。このため、感振部の動作及
び特性に対して悪影響を与えない新規なリード線引き出
し構造を実現できる。具体的には、まず、リード線の配
線長が短くなるため、感振部に対するリード線の負荷が
軽減される。また、リード線の配線経路が感振部の動作
領域外に設定される。従って、リード線が感振部の動作
領域内に入り込むことがないので、感振部に動作障害を
与えることもない。

【００１８】ケースは、底部材が筒状部材の軸方向の一
端部に接合されて筒状部材の底部を構成しており、リー
ド線は筒状部材と底部材との接合境界を通って、ケース
の外部に導出されている場合は、感振部をケース内に組
み込む前に、リード線を感振部の出力端から外部に導出
しておき、次に感振部をケースの筒状部材内に組み込
み、その際、リード線を筒状部材の底部側からその外部
に出るように配置し、次にリード線を挟み込むようにし
て、筒状部材の底部に底部材を接合する工程をとること
ができる。このため、リード線の引き出し及び組立作業
が極めて容易になる。

【００１９】ケースが制動流体を収納していて、感振部
の一部が制動流体の中にあり、感振部が制動流体による
制動を受ける構造の場合は、感振部に円滑な運動性及び
適度の粘性による減衰作用を与えることができる。この
ため、検出対象外の周波数領域での振動もしくはレベル
の変動、例えば傾斜、周期の長い振動もしくは微小な振
動には感応せず、検出対象となっている周波数領域にお
ける振動、レベル変動または加速度に応答し、これを確
実に検知できる。

【００２０】球状体と、受け部とを含む吊り下げ手段を
有し、球状体及び受け部が感振部及びケースに分配して
取り付けられ、球状体が受け部によって受けられて相互
間に可動接触面を形成している構造を採用した場合、ケ
ースの傾斜に対応して、球状体及び受け部との間に形成
された可動接触面において、球状体と受け部との間に、
全方位にわたって、三次元的滑動動作を可能とし、これ
によって感振部が傾斜前の水平状態を保つ。このため、
傾斜による特性変化を、球状体と受け部との間に発生す
る三次元的滑動動作によって回避する吊り下げ手段を有
する感振センサが得られる。

【００２１】吊り下げ手段は、球状体及び受け部を、感
振部及びケースに分配して取り付け、球状体が受け部に
よって受けられて相互間に可動接触面を形成する構造で
あるから、簡素な構造になると共に、可動接触面での全
方位にわたる三次元的滑動動作により安定した水平保持
機能を確保することができる。

【００２２】感振部において、可動体は、マグネットを
含み、マグネットがケース内に配置され磁性流体によっ
て支持されてケースの底部の内面上に浮上している例で
は、地震波到来等によって加振された場合、マグネット
が磁性流体による軸受け作用を受けながら、ケースの底
部の内面上を、極めてスムーズに移動する。

【００２３】磁気感応素子は、ケースの底部の外部に配
置され、マグネットの漏洩磁界に感応するから、可動体
がケースの底部内面上を移動した場合、その移動位置に
応じた感知動作、例えばスイッチ動作をする。この磁気
感応素子の動作よって、地震等が感知される。

【００２４】

【実施例】図１は本発明に係る感振センサの構成を示す
図である。図示の感振センサは、感振部１と、ケース２
と、リード線３１、３２とを有する。感振部１はケース
２の内部に吊り下げられ、吊り下げられたとき底部側と
なる側に出力端１２５、１２６を有している。５は吊り
下げ機構である。リード線３１、３２は感振部１の出力
端１２５、１２６から導かれ、ケース２の下部側からケ
ース２の外部に導出されている。

【００２５】上述のように、感振部１はケース２の内部
に吊り下げているから、ケース２が傾斜した場合、感振
部１が、傾斜にかかわらず、傾斜前の水平状態を保つ。
このため、傾斜による特性変化を回避することができ
る。

【００２６】感振部１は、吊り下げられたとき底部側と
なる側に出力端１２５、１２６を有しており、リード線
３１、３２は一端が感振部１の出力端１２５、１２６に
接続され、ケース２の下部側からケース２の外部に導出
されているから、ケース２内におけるリード線３１、３
２の配線長が、ケース２の上側から外部に導出する従来
の場合と比較して、半分以下に縮小される。このため、
感振部１の動作に対して悪影響を与えない新規なリード
線引き出し構造を実現できる。具体的には、まず、リー
ド線３１、３２の配線長が短くなるため、感振部１に対
するリード線３１、３２の負荷が軽減される。また、リ
ード線３１、３２の配線経路が感振部１の動作領域外に
設定できる。従って、リード線３１、３２が感振部１の
動作領域内に入り込むことがないので、感振部１に動作
障害を与えることもない。

【００２７】図１に示す例では、リード線３１、３２は
ケース２の底部２３から外部に導出されている。ケース
２内に制動流体４を収納する構造の場合は、リード線３
１、３２の導出部２０は制動流体４の漏れ留めのための
封止構造を構成する。

【００２８】リード線３１、３２は、例えば図２に示す
ように、一つの導出部２０を共用して導出してもよい
し、或いは図３に示すように、ケース２の筒状部材２１
を通して、外部に導出してもよい。

【００２９】図４は本発明に係る感振センサの更に具体
的な実施例を示す部分断面図である。ケース２は筒状部
材２１と底部材２３とを有し、底部材２３が筒状部材２
１の軸方向の一端部に接合されて筒状部材２１の底部を
構成している。リード線３１は一端が感振部１の出力端
１２５、１２６に接続され、筒状部材２１と底部材２３
との接合境界を通って、ケース２の外部に導出されてい
る。

【００３０】上述のように、感振部１はケース２の内部
に吊り下げており、ケース２が傾斜した場合、感振部１
が、傾斜にかかわらず、傾斜前の水平状態を保つ。この
ため、傾斜による特性変化を回避することができる。

【００３１】感振部１は、吊り下げられたとき底部側と
なる側に出力端１２５、１２６を有しており、リード線
３１、３２は一端が感振部１の出力端１２５、１２６に
接続され、ケース２の筒状部材２１と底部材２３との接
合境界を通って、ケース２の外部に導出されている。こ
れにより、ケース２内におけるリード線３１、３２の配
線長が短くなる。このため、感振部１の動作に対して悪
影響を与えない新規なリード線引き出し構造を実現でき
る。具体的には、前述したように、リード線３１、３２
の配線長が短くなるため、感振部１に対するリード線３
１、３２の負荷が軽減される。また、リード線３１、３
２は一端が感振部１の出力端１２５、１２６に接続さ
れ、ケース２の筒状部材２１と底部材２３との接合境界
を通って、ケース２の外部に導出されているから、その
配線経路が感振部１の動作領域外に設定される。従っ
て、リード線３１、３２が感振部１の動作領域内に入り
込むことがないので、感振部１に動作障害を与えること
もない。

【００３２】更に、ケース２は、底部材２３が筒状部材
２１の軸方向の一端部に接合されて筒状部材２１の底部
を構成しており、リード線３１、３２は筒状部材２１と
底部材２３との接合境界を通って、ケース２の外部に導
出されているから、感振部１をケース２内に組み込む前
に、リード線３１、３２を感振部１の出力端１２５、１
２６に接続し、その後に感振部１をケース２の筒状部材
２１内に組み込み、その際、リード線３１、３２を筒状
部材２１の底部側から外部に出るように配置し、次にリ
ード線３１、３２を挟み込むようにして、筒状部材２１
の底部に底部材２３を接合する工程を採ることができ
る。このため、リード線３１、３２の引き出し及び組立
作業が極めて容易になる。

【００３３】筒状部材２１と底部材２３との組み合わせ
構造及びリード線３１、３２の引き出し構造は、図４の
他に、図５にも図示されている。底部材２３は外面の中
央部に凹部２３１を有すると共に、凹部２３１の左右に
底部材２３の肉厚部を貫通する貫通孔２３２、２３２を
設けてある。この貫通孔２３２、２３２の内部を、それ
ぞれ矢印ａ１またはａ２の如く貫通するようにして、凹
部２１３の内部に端子導体３３、３４を差し込む。そし
て、端子導体３３、３４の先端部にリード線３１、３２
を半田付け等の手段によって接続してある。筒状部材２
１及び底部材２３は、リード線３１、３２を接続する端
子導体３３、３４の先端部に対応する位置に凹部２３
３、２３４を有しており、リード線３１、３２はこの凹
部２３３、２３４によって形成されたスペースを利用し
て、端子導体３３、３４の先端部に接続されている。

【００３４】リード線３１、３２は、細く軽い線材、例
えば０．０８ｍｍφのウレタン被覆線等を用い、弛みを
もって配線する。実施例では、感振部１の出力端１２
５、１２６を金属板等の導体板として形成し、リード線
３１、３２をこの出力端１２５、１２６に半田付け等の
手段によって接続した構成となっているが、このような
出力端１２５、１２６を有することなく、リード線３
１、３２を感振部１から直接に引き出す構造であっても
よい。ケース２は底部と対向する上面側が蓋部材２２に
よって閉じられている。筒状部材２１と底部材２３及び
蓋部材２２の接合境界は、超音波溶着等によって密封す
る。

【００３５】実施例において、ケース２は、制動流体４
を収納しており、感振部１は一部が制動流体４の中にあ
って、制動流体４による制動を受ける。この構造の場合
は、感振部１に円滑な運動性及び適度の粘性減衰作用を
与え、地震波を確実に検知できる。制動流体４は、好ま
しくは５００〜１５０００Ｃ．Ｐ．、更に好ましくは１
０００〜１００００Ｃ．Ｐ．の粘度を有する液体、例え
ばシリコンオイルである。その他、水、油等を用いるこ
ともできる。

【００３６】更に、実施例に示す感振センサは、吊り下
げ機構となる吊り下げ手段５とを有する。吊り下げ手段
５は、球状体５１と、受け部５２とを有しており、球状
体５１及び受け部５２は感振部１及びケース２に分配し
て取り付けられ、球状体５１が受け部５２によって受け
られて相互間に可動接触面を形成し、感振部１をケース
２を吊り下げている。実施例において、球状体５１は、
連結部５３を通して、蓋部材１８と一体化されている。

【００３７】感振部１はケース２の内部に収納されてお
り、吊り下げ手段５は感振部１をケース２に吊り下げて
いるから、ケース２が傾斜した場合、吊り下げ手段５の
水平保持機能により、感振部１が、傾斜にかかわらず、
傾斜前の水平状態を保つ。このため、傾斜による特性変
化を回避することができる。

【００３８】吊り下げ手段５は、球状体５１と、受け部
５２とを有しており、球状体５１及び受け部５２は感振
部１及びケース２に分配して取り付けられ、球状体５１
が前記受け部５２によって受けられて相互間に可動接触
面を形成しているから、ケース２が傾斜した場合、球状
体５１及び受け部５２との間に形成された可動接触面に
おいて、球状体５１と受け部５２との間に、全方位にわ
たる三次元的滑動動作を可能とし、これによって感振部
１が傾斜前の水平状態を保つ。このため、傾斜による特
性変化を球状体５１と受け部５２との間に発生する三次
元的滑動動作によって回避する吊り下げ手段５を有する
感振センサが得られる。

【００３９】吊り下げ手段５は、球状体５１及び受け部
５２を、感振部１及びケース２に分配して取り付け、球
状体５１が受け部５２によって受けられて相互間に可動
接触面を形成してあるから、簡素な構造になると共に、
可動接触面での三次元的滑動動作により安定した水平保
持機能を確保することができる。

【００４０】球状体５１及び受け部５２の相互間に形成
される可動接触面は、球面状であってもよいし、受け部
５２の形成する平面と球状体５１の球状外周面との接触
による点状または線状接触面であってもよい。

【００４１】図示実施例では、ケース２はプラスチック
等の電気絶縁材料で構成されている。ケース２は、更に
蓋部材２２を有し、蓋部材２２に受け部５２が取り付け
られている。蓋部材２２と筒状部材２１との接触面は、
信頼性向上のために、超音波溶着等の手段によって封止
するのが望ましい。

【００４２】また、球状体５１が感振部１に取り付けら
れ、受け部５２がケース２の蓋部材２２の下面に取り付
けられているが、これとは逆に球状体５１がケース２の
蓋部材２２の下面に取り付けられ、受け部５２が感振部
１に取り付けられていてもよい。

【００４３】感振部１は、可動体１１と、磁気感応素子
１２と、非磁性ケース１３とを含んでいる。可動体１１
はマグネット１１１を含んでいる。マグネット１１１は
非磁性ケース１３内に配置され、磁性流体１１２によっ
て支持されて、非磁性ケース１３の底部１３１の内面１
３２上に浮上している。磁気感応素子１２は非磁性ケー
ス１３の底部１３１の外部に配置され、マグネット１１
１の漏洩磁界に感応する。

【００４４】上述のように、可動体１１は、マグネット
１１１が非磁性ケース１３内に配置され磁性流体１１２
によって支持されて非磁性ケース１３の底部１３１の内
面１３２上に浮上しているから、地震波が到来した場
合、マグネット１１１が磁性流体１１２による軸受け作
用を受けながら、非磁性ケース１３の底部１３１の内面
１３２上を、極めてスムーズに移動する。

【００４５】磁気感応素子１２は、非磁性ケース１３の
底部１３１の外部に配置され、マグネット１１１の漏洩
磁界に感応するから、可動体１１が加振作用によって非
磁性ケース１３の底部１３１の内面１３２上を移動した
場合、その移動位置に応じた検知動作をする。この磁気
感応素子１２の動作によって、地震等に起因する振動ま
たは加速度が感知される。

【００４６】磁気感応素子１２は、非磁性ケース１３の
底部１３１の外部において、非磁性ケース１３に対し
て、所望の動作特性が得られる固定した関係となるよう
に配置され、非磁性ケース１３が傾斜していないとき、
マグネット１１１の直下に位置するように配置されてい
る。

【００４７】磁気感応素子１２としては、リードスイッ
チ、ＭＲ素子またはホール素子等を用いることができ
る。非磁性ケース１３を構成する底部１３１の内面１３
２の形状は、磁気感応素子１２の種類に応じて選択す
る。実施例は、磁気感応素子１２としてリードスイッチ
を用いた場合を示し、非磁性ケース１３の底部１３１の
内面１３２はほぼ平面または大きな半径を持つ凹面とな
っている。磁気感応素子１２がリードスイッチでなる場
合、リードスイッチとマグネット１１１との間で磁気的
吸引力Ｆを生じる。このため、非磁性ケース１３を構成
する底部１３１の内面１３２の形状を平面状または半径
の大きな凹面状とした場合、加振作用を受けない定常状
態で、磁気感応素子１２とマグネット１１１との間に働
く磁気的吸引力Ｆによって、可動体１１を非磁性ケース
１３の底部１３１の内面上のほぼ中央に静止させること
ができる。かかる構造の下では、地震波の振動周波数−
加速度特性に適合する動作特性を十分に満たすことがで
きる。マグネット１１１の着磁方向は、上下方向または
水平方向のいずれでも良い。

【００４８】磁気感応素子１２として、ＭＲ素子または
ホール素子等を用いた場合は、非磁性ケース１３を構成
する底部１３１の内面１３２の形状を、磁気感応素子１
２としてリードスイッチを用いた場合よりも小さな半径
の凹面状とすることにより、加振作用を受けない定常状
態で、可動体１１を非磁性ケース１３の底部１３１の内
面上のほぼ中央に静止させることができる。

【００４９】磁性流体１１２は、コバルト、鉄、ニッケ
ル等の微粒子磁性粉を比較的粘性の低い液体、例えばケ
ロシン、水等に分散させたものであって、一般には界面
活性剤を微粒子に吸着させ、安定分散させてある。非磁
性ケース１３はアルミニュウム、銅またはプラスチック
等の非磁性材料を用いて構成する。

【００５０】１４は支持部材、１５はプラスチック等の
非磁性電気絶縁物によって構成されたホルダ、１６はバ
イアス用マグネット、１７はシールド部材、１８は蓋で
ある。

【００５１】支持部材１４は非磁性ケース１３と同様の
材料を用いて、有底筒状に形成され、底部が非磁性ケー
ス１３の底部１３１の外面に取り付けられている。ホル
ダ１５は支持部材１４の内部に取り付けられ、磁気感応
素子１２及びバイアス用マグネット１６を支持してい
る。支持部材１４及びホルダ１５は互いの相対位置を可
変調整できるように組み立てるのが望ましい。これによ
って、可動体１１を内蔵する非磁性ケース１３と磁気感
応素子１２との間の距離が可変調整され、それによって
動作特性が調整される。支持部材１４とホルダ１５との
間の結合調整手段の具体例はカシメ結合または接着固定
手段である。磁気感応素子１２の上下位置の調整が不要
である場合は、支持部材１４及びホルダ１５は一体化で
きる。ホルダ１５の下部には受部１５１が形成されてお
り、この受部１５１の内部に磁気感応素子１２が取り付
けられている。磁気感応素子１２のリード導体１２１、
１２２はホルダ１５に埋設された端子導体でなる出力端
１２５、１２６に接続されている。出力端１２５、１２
６は、リード線３１、３２によって端子導体３３、３４
に接続されている。

【００５２】バイアス用マグネット１６はリング状であ
って、ホルダ１５に接着剤などを用いて固定されてい
る。シールド部材１７は、筒状であって、ケース２の内
面を覆うように密着して取り付けられている。

【００５３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。（ａ）新規なリード線引き出し構造を有する感振センサ
を提供できる。（ｂ）感振部の動作及び特性に対して悪影響を与えない
新規なリード線引き出し構造を有する感振センサを提供
できる。（ｃ）感振部に対する負荷を軽減したリード線引き出し
構造を有する感振センサを提供できる。（ｄ）感振部に動作障害を与えることのないリード線引
き出し構造を有する感振センサを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る感振センサの構成を概略的に示す
図である。

【図２】本発明に係る感振センサの別の例を概略的に示
す図である。

【図３】本発明に係る感振センサの別の例を概略的に示
す図である。

【図４】本発明に係る感振センサの正面部分断面図であ
る。

【図５】図４に示した感振センサの部分分解斜視図であ
る。

【符号の説明】

１感振部２ケース３１、３２リード線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感振部と、ケースと、リード線とを含む
感振センサであって、前記感振部は、吊り下げ手段により前記ケースの内部に
吊り下げられ、吊り下げられたとき底部側となる側に出
力端を有しており、前記リード線は、前記感振部の前記出力端から導かれ、
前記ケースの下部側から前記ケースの外部に導出されて
いる感振センサ。
【請求項２】前記ケースは、筒状部材と、底部材とを
有し、前記底部材が前記筒状部材の軸方向の一端部に接
合されて前記筒状部材の底部を構成しており、前記リード線は、前記筒状部材と前記底部材との接合境
界を通って、前記ケースの外部に導出されている請求項
１に記載の感振センサ。
【請求項３】前記ケースは、制動流体を収納してお
り、前記感振部は、一部が前記制動流体の中にあって、前記
制動流体による制動を受ける請求項１または２に記載の
感振センサ。
【請求項４】前記吊り下げ手段は、球状体と、受け部
とを有しており、前記球状体及び受け部は前記感振部及
び前記ケースの間に取り付けられ、前記球状体が前記受
け部によって受けられて相互間に可動接触面を形成し、
前記感振部を前記ケースに吊り下げている請求項１、２
または３に記載の感振センサ。
【請求項５】前記感振部は、可動体と、磁気感応素子
と、非磁性ケースとを含んでおり、前記可動体は、マグネットを含み、前記マグネットが前
記非磁性ケース内に配置され、磁性流体によって支持さ
れて前記非磁性ケースの底部の内面上に浮上しており、前記磁気感応素子は、前記非磁性ケースの前記底部の外
部に配置され、前記マグネットの漏洩磁界に感応する請
求項１、２、３または４に記載の感振センサ。