JPH0816608B2

JPH0816608B2 - 形状計測装置

Info

Publication number: JPH0816608B2
Application number: JP3128889A
Authority: JP
Inventors: 幸男佐藤
Original assignee: 幸男佐藤; 株式会社ネクスタ
Priority date: 1991-03-15
Filing date: 1991-03-15
Publication date: 1996-02-21
Anticipated expiration: 2011-02-21
Also published as: JPH05332737A

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明は測定対象の三次元形状を
非接触で光学的に計測する形状計測装置に関する。

【従来の技術】光を用いて測定対象の三次元形状を非接
触に計測する技術は能動的計測法と受動的計測法とに大
きく分けられる。受動的計測法はステレオ法に代表され
るように、測定機側は投光手段を持たず、環境光を利用
して計測するものであり、一方能動的計測法は測定機の
投光装置から測定対象に向けて光を照射し、その反射光
を計測するものである。能動的計測法にも様々なものが
あるが、そのうち一般的な方法である三角測量に基づく
方法には、スポット光投影法、スリット光投影法、符号
化法などがある。この符号化法をさらに分類すると、光
に色をつけて符号化する方法、投光装置のスリットの開
口幅を変えることによって符号化する方法、符号化した
複数の開口パターンを順次照射する「時系列符号化格子
法」または「空間コード化法」と呼ばれる方法、があ
る。図６には、空間コード化法を用いた計測原理が示さ
れている。図６において、測定物体Ｑを視野内にとらえ
ているビデオカメラのレンズの光学中心点１１を原点と
して、レンズ光軸をＺｃ軸とし、ビデオカメラの水平走
査方向に平行にＸｃ軸をとり、Ｘｃ軸とＺｃ軸に直交し
てＹｃ軸をとってある。ビデオカメラの撮像面１２は実
際には光学中心点１１の後ろにあるものだが、図では説
明が容易なように光学中心点１１の前に描いてある。Ｘ
ｃ軸とＹｃ軸に平行して撮像面１２内にＸ’軸とＹ’軸
をとる。光学中心点１１と撮像面１２との間の距離をｆ
とする。Ｘｃ軸上でＺｃ軸から距離ｄだけ離れた位置に
光源１０が配置してある。光源１０から所定の広がりを
もって投射されてパターンマスク１３を通過した光１０
０は、測定物体Ｑに到達し、測定物体Ｑの表面にパター
ンマスク１３に応じた明暗の縞模様を形成する。パター
ンマスク１３の縞模様の方向は、図に示すようにＹｃ軸
に平行である。パターンマスク１３を所定の規則にした
がって入れ替えることによりパターンを時系列的に変化
させ、測定物体Ｑの表面を、時系列的な明滅規則により
識別されるｎ個の領域Ｒ１、・・Ｒｉ、・・Ｒｎに分割
することができる。領域Ｒｉに属する点Ｐの座標を（Ｘ
ｐ、Ｙｐ、Ｚｐ）とし、点Ｐが撮像面上に結像した点を
点Ｐ’とし、点Ｐ’の座標を（Ｘ’ｐ、Ｙ’ｐ、ｆ）と
する。領域Ｒ１’・・Ｒｉ、・・Ｒｎの各領域を与える
光１００の部分は薄い楔状をしている。光１００のう
ち、領域Ｒｉを与える薄い楔状の部分がＸ軸となす角を
θｉとする。点Ｐの座標は次の式で得られる。Ｚｐ＝ｆ・ｄ／（ｆ．ｔａｎθｉ＋Ｘ’ｐ）・・・（第１式）Ｘｐ＝Ｘ’ｐ・Ｚｐ／ｆ・・・（第２式）Ｙｐ＝Ｙ’ｐ・Ｚｐ／ｆ・・・（第３式）従来の空間コード化法では、パターンマスクとしてパタ
ーンを開口した数種の板やフィルムを機械的に入れ替え
たり、円盤状のパターンマスクを回転させたりすること
により時系列に光パターンを生成していた。また、「液
晶レンジファインダー液晶シャッタによる高速距離画像
計測システム」（佐藤宏介、井口征士：電子情報通信学
会論文誌．８８／７Ｖｏｌ．Ｊ７１−ＤＮｏ．７およ
び特開昭６４−５４２０８に示されている方法では、パ
ターンマスクとして液晶シャッターを用いており、光源
には光プロジェクタを用いていた。

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のよ
うに光源と測定対象との間にパターンマスク等の物理的
な装置を配置する方法では、装置全体の小型化が困難で
あった。しかもパターンマスクを時系列に変化させるた
めの機械機構や液晶シャッターの駆動装置を必要とする
ため、装置が複雑になる欠点があった。また、機械機構
あるいは液晶の動作速度の限界のために、パターンマス
クを時系列に変化させる速度を高速化することに困難が
あった。さらに、光源が光プロジェクタ等の白色光源で
あったため、バックグラウンド光の影響をなくすために
は、測定環境を暗室にしたり、特別な操作や演算をする
などの手間が必要であった。また、光源に用いられてい
た白熱燈やハロゲンランプは小型のものにすると充分な
光量が得られないため、測定装置の小型化が困難であっ
た。さらに、入り組んだ場所にある物体を測定するのは
困難であった。本発明は上記従来の課題に鑑みなされた
ものであり、その目的は、空間コード化法を用いた非接
触形状計測において、物理的なパターンマスクを用いる
ことなく、高速に測定でき、かつ小型で簡易な構成の形
状計測装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、レーザ光を発生させるレーザ光源と、前
記レーザ光をスリット光に整形するレンズ系と、前記ス
リット光を所定の走査制御下で被測定物体の表面に向け
て偏向走査する偏向照射装置と、前記スリット光を所定
の規則に従って点滅させる点滅装置と、前記スリット光
により前記被測定物体の表面に生じる光学像を撮像する
ＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラから出力される画像
情報を蓄える記憶装置と、前記画像情報の複数フレーム
を通じて各画素の明暗情報を調べることにより、各画素
に対応する前記被測定物体上の点が前記スリット光に照
射されたときの、前記スリット光の偏向角情報を得る偏
向角識別部と、各画素の前記偏向角情報を用いて被測定
物体の形状を求める演算処理部と、を有することを特徴
とする。また、本発明は、前記記憶装置が、１フレーム
分の２値画像を蓄える１ビットの深さを持つメモリを並
列に複数枚接続して構成され、各フレームごとに１枚の
前記メモリを割当てて各フレームごとの２値画像を蓄
え、読み出し時には前記各メモリに並列にアドレスを指
定し並列に値を読み出すこと、を特徴とする。また、本
発明は、前記スリット光を前記偏向照射装置から伝送す
る光ファイバー束と、前記光ファイバー束の被測定物体
側の端面から出る光を前記被測定物体上に結像させる投
射レンズ系と、を設けたことを特徴とする。

【作用】上記構成によれば、ＣＣＤカメラのＣＣＤ素子
のデータ蓄積時間内に、点滅装置を用いてスリット光を
所定の規則に従って点滅させながら被測定物体上に照射
し走査することにより、従来のようにパターンマスクを
用いて光パターンを被測定物体表面に形成した場合と同
様な画像データを、ＣＣＤ素子に蓄積することができ
る。このようにしてＣＣＤ素子に蓄えられた画像データ
は、記憶装置へ転送され蓄えられる。静止している被測
定物体に対して、さらに、スリット光の点滅規則をスリ
ット光の走査毎に所定の規則に従って変更しながら、こ
れらの操作を複数回繰り返すことにより、記憶装置には
複数枚の画像データが蓄えられる。スリット光の各走査
における点滅規則を適切に設定することにより、記憶装
置に蓄えられた複数枚の画像データと、スリット光の走
査速度と、スリット光の点滅のタイミングとを用いて、
ＣＣＤ素子の各画素に対応する被測定物体上の点がスリ
ット光に照射されたときのスリット光の偏向角情報を、
偏向角識別部において得ることができる。さらに、演算
処理部において、各画素の偏向角情報と、各画素の位置
とを用いて、三角測量の原理に基づき、各画素に対応す
る被測定物体上の点の座標を得ることにより、被測定物
体の形状を測定することが可能となる。また、前述の構
成によれば、記憶装置に複数フレーム分の１ビットのメ
モリを並列に接続することにより、画像データの明暗情
報を効率良く記憶することができ、記憶した各フレーム
の同位置の画素の明暗情報を並列に読み出しデコードす
ることにより、効率良く偏向角情報を得ることが可能と
なる。また、前述の構成によれば、スリット光を偏向照
射装置で偏向し、光ファイバー束の端面上に照射し走査
することにより、光ファイバー束によってスリット光を
光ファイバー束の被測定物体側の端面まで伝送すること
ができ、光ファイバー束の被測定物体側の端面から出る
光の像を、投射レンズ系を用いて被測定物体上に結像さ
せることにより、偏向照射装置で偏向したスリット光を
直接照射することのできない位置にある被測定物体に対
してもスリット光を照射し走査することが可能となる。

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。図１には、本発明に係る形状計測装置の全
体構成が示されている。図１において、レーザ光源３７
から出射されたレーザ光は、レンズ系３８でスリット光
に整形され、偏向照射装置３９で偏向された後、被測定
物体Ｑに向けて照射される。偏向照射装置３９は、例え
ばポリゴンミラーやガルバノミラーの光反射面を回転ま
たは振動させることによって、被測定物体Ｑに向けてス
リット光１１０を照射走査することができる。レーザ光
源３７は、所定の規則に従って点滅するように点滅装置
３６により制御され、さらに、点滅装置３６は計測コン
トロール部３５からの点滅同期信号２５３により制御さ
れている。ＣＣＤカメラ３１の１フレーム分の蓄積時間
内に、偏向照射装置３９によるスリット光１１０の１回
の走査が行なわれるように、ＣＣＤカメラ３１に対して
計測コントロール部から撮像同期信号２５２が与えら
れ、偏向照射装置３９に対して計測コントロール部から
偏向同期信号２５４が与えられている。スリット光１１
０は、被測定物体Ｑを照射し走査する間に所定の規則に
したがって点滅するため、被測定物体Ｑの表面には、ス
リット光１１０が照射された部分と照射されなかった部
分とが縞模様状に生じる。スリット光１１０の１回の走
査はＣＣＤカメラ３１の１フレーム分の蓄積時間内に行
なわれるため、の画像データ１フレーム内には、上記被
測定物体Ｑの表面がスリット光１１０にて照射された部
分は明るく、照射されなかった部分は暗い縞模様状の画
像が蓄積される。この画像データ２０２は記憶装置３２
へと送られ蓄えられる。このようにして、複数回の走査
にわたって所定の規則にしたがってスリット光点滅規則
を変化させながら撮像した画像データを、複数フレーム
分記憶装置３２に蓄える。記憶装置３２に蓄えた複数フ
レーム分の画像データを用いて、偏向角識別部３３にお
いて、各画素に対応するスリット光偏向角情報２５１を
検出する。この部分の詳細については後述する。演算処
理部では、各画素の撮像面内の位置とスリット光偏向角
情報２５１とを用いて、対応する被測定物体Ｑ上の点Ｒ
の座標（Ｘｒ、Ｙｒ、Ｚｒ）を算出することができる。
この算出原理については後述する。さて、スリット光１
１０は、被計測物体Ｑを照射し走査する間に、所定の規
則に従って点滅し、その走査はＣＣＤカメラ３１の１フ
レーム分の蓄積時間内に行なわれるため、被測定物体Ｑ
の表面にスリット光１１０が照射された部分と照射され
なかった部分とにより、ＣＣＤカメラ３１の画像データ
１フレーム分には縞模様を生じる。これを第２図を用い
て説明する。図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、
レーザ光源３７の点滅規則の例を示すものである。した
がって、スリット光１１０もこれにしたがって同じ点滅
をすることになる。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の
点滅規則は各々第１回、第２回、第３回、第４回のスリ
ット光走査に対応している。図２において、第１回のス
リット光走査の際に（ａ）のようにレーザ光源を点滅さ
せながらＣＣＤカメラ１フレーム蓄積時間内に被測定物
体表面を走査すると、ＣＣＤカメラの１フレームには
（ａ’）で示されるような明暗のパターンが得られる。
このパターンは被測定物体Ｑの表面形状により歪むが、
図２では図示の簡略化のため、被測定物体表面が平面で
ある場合を例にとっている。ＣＣＤカメラ３１に蓄積さ
れた図２（ａ’）に示すフレームデータは記憶装置３２
ヘと送られ記憶される。次に、第２回のスリット光走査
の際に、図２（ｂ）に示すようにレーザ光源３７を点滅
させることにより、図２（ｂ’）に示すような明暗のパ
ターンがＣＣＤカメラ３１に蓄積される。このフレーム
データは記憶装置３２へと送られる。このようにして、
第４回までのスリット光走査が終了した後には、記憶装
置３２内には（ａ’）、（ｂ’）、（ｃ’）、（ｄ’）
に示すフレームデータが記憶されている。上記（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は必ずしもこの順序どうりでな
くてもよく、例えば（ｄ）、（ｃ）、（ｂ）、（ａ）の
順でもよい。また、ここでは図から分かるように
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の点滅が純２進符号を
生成するようにした例を示してあるが、点滅規則として
は、この他に、グレイコードを生成するような点滅規則
を用いてもよい。さらに、図２では、説明が簡易になる
ように、走査回数を４回としているが、実際に使用する
場合には走査回数を８回程度にして、より高い解像度を
得られるようにしてもよい。（ａ’）、（ｂ’）、
（ｃ’）、（ｄ’）を通じてのフレーム内の画素の明暗
情報２５０は偏向角識別部へと送られる。偏向角識別部
においては、以下のようにしてスリット光１１０が照射
走査された空間は薄い楔形の空間に分割され識別される
ことになる。図２（ｄ’）に示すような縞模様ｓ’１、
・・・ｓ’１６の中のある１点Ｒについて考える。この
被測定物体上の点Ｒが図２のフレームデータ（ａ’）内
の点４１に対応するとすると、（ａ’）では点４１はス
リット光に照射されていず暗である。フレームデータ
（ｂ’）内で点Ｒに対応する点を点４２とすると、点４
２は明である。同様に（ｃ’）で点Ｒに対応する点を点
４３とし、（ｄ’）で点Ｒに対応する点を点４４とする
と、点４１から点４４までの明暗状態は順に暗明暗暗で
あることが分かり、したがって、この点Ｒは縞模様Ｓ’
１２を含む楔形空間内に存在することが分かる。このよ
うにして、偏向角識別部３３では、空間コード化された
画像データをデコードすることによって、各画素がどの
楔型空間に属するのかを識別し、各楔型空間に対応した
偏向角情報２５１を出力することができる。次に、図３
を用いて、演算処理部において点Ｒの座標（Ｘｒ、Ｙ
ｒ、Ｚｒ）を算出する原理を説明する。ＣＣＤカメラの
レンズ中心点１１の座標を（０、０、０）とし、撮像面
１２の中心点６０の座標を（０、０、ｆ）とする。偏向
照射装置３９の回転中心軸Ｍは座標（Ｍ、０、Ｍ）を通
りＹｃ軸に平行に配置されている。被測定物体Ｑ上の点
Ｒが属する楔形空間１２０の偏向角情報を用いて楔形空
間１２０がＺｃ軸となす角φを求めることができる。楔
形空間１２０は厚みを持つので、この厚み分の角度δφ
は測定誤差となる。すなわち、スリット光の範囲がＺｃ
軸に対してφ０度からφｍ度であるようにあらかじめ設
定しておいたとき、偏向角情報２５１より、着目してい
る楔型空間の中心線がＺｃ軸となす角度φを得ることが
できる。点Ｒが撮像面１２上に結像した点を点Ｒ’と
し、その座標を（ｘｉ、ｙｉ、ｆ）とする。幾何学的に
点Ｒの座標は次の式で得ることができる。Ｚｒ＝ｆ・（Ｍｘ＋Ｍｚ・ｔａｎφ）／（ｘｉ＋ｆ・ｔ
ａｎφ）・・・・・（第４式）Ｘｒ＝Ｚｒ・ｘｉ／ｆ・・・・・（第５式）Ｙｒ＝Ｚｒ・ｙｉ／ｆ・・・・・（第６式）以上のように、本実施例の装置によれば、機械的なパタ
ーンマスクを使用しないため、装置全体を極めて小型に
することが可能であり、さらに高速な測定が可能である
という利点を有する。また、光源に半導体レーザを用い
ることにより、さらに小型化が容易になるという特徴も
ある。レーザ光源３７としては半導体レーザが最も適し
ているが、気体レーザを用いてもよい。また、バックグ
ラウンド光の影響をなくすために、フィルター４０をＣ
ＣＤカメラ３１の前に配置してもよい。次に図４を用い
て、本発明に係る記憶装置の実施例を説明する。図４に
は、メモリを４個用いた場合の例が示されている。ＣＣ
Ｄカメラ３１内のＣＣＤ撮像素子５０からの画像信号２
０１は、２値化回路５２へと送られる。２値化された画
像データ２０２は各々１ビットの深さを持つ第１メモリ
から第４メモリへ並列に供給されている。ＣＣＤ駆動回
路５１からの垂直同期信号２０５を得てセレクタ５４は
画像データのフレームごとにメモリをセレクトする。す
なわち、第１フレームの画像データが画像信号２０２と
して記憶装置３２に供給されているときには、セレクタ
５４は第１メモリ５５をセレクトしており、したがって
第１フレームの画像データは第１メモリ５５のみに蓄え
られる。次に、第２フレームの画像データが画像信号２
０２として記憶装置３２に供給されているときには、セ
レクタ５４は第２メモリ５６をセレクトしており、した
がって第２フレームの画像データは第２メモリ５６のみ
に蓄えられる。同様にして、第３、第４フレームの画像
データは各々第３メモリ５７と第４メモリ５８に蓄えら
れる。各メモリにデータを蓄える際のアドレスの指定
は、ＣＣＤ駆動回路５１からのＣＣＤ駆動パルス２１５
をカウンタ５３でカウントすることによりアドレス信号
２０３を作成して各メモリに並列に供給することにより
なされる。各メモリに蓄えられたデータの読み出しは次
のように行なわれるまず、計測コントロール部からアド
レス信号２０３が各メモリに並列に送られる。図では省
略してあるが、このとき計測コントロール部からのセレ
クト信号で全てのメモリは読み出し可能となっている。
次に、アドレス信号２０３で指定された各メモリ内の
値、すなわち各フレームの画像データにおけるアドレス
信号２０３で指定される特定の画素の持つ画像データ２
１１〜２１４、を偏向角識別部３３へと送られる。偏向
角識別部３３において画像データ２１１〜２１４を用い
てデコーディングが行なわれる。以上のように、本実施
例の装置によれば、各フレームごとに１枚の前記メモリ
を割当てて各フレームごとの２値画像を蓄え、読み出し
時には前記各メモリに並列にアドレスを指定し並列に値
を読み出すことによって、空間コード化法における画像
データの蓄積とデコーディングを簡易に行なうことがで
きる。次に図５を用いて、本発明に係る形状計測装置の
うち光ファイバー束を用いた実施例を説明する。図５に
おいて、レーザ光源３７から出射されたレーザ光は、レ
ンズ系３８でスリット光に整形され、偏向照射装置３９
で偏向された後、光ファイバー束７１の偏向照射装置３
９側の端面に照射される。光ファイバー束７１は光ファ
イバーを整列させて束ねたものであり、したがって、ス
リット光が照射された端面の反対側の端面、すなわち光
ファイバー束７１の被測定物体側の端面には、照射され
たスリット光が形を変えずに現われる。この光ファイバ
ー束７１の被測定物体側の端面と被測定物体Ｑとの間に
投射レンズ系７０が設けてあり、光ファイバー束７１の
被測定物体側の端面から出る光１３１を前記被測定物体
上に結像させる働きをする。偏向照射装置３９によっ
て、スリット光は光ファイバー束７１の偏向照射装置３
９側の端面上を走査してゆくが、これに応じて被測定物
体Ｑ上のスリット光像も移動してゆく。光ファイバー束
７１をこのように用いることにより、レーザ光源３７と
レンズ系３８と偏向照射装置３９とを、被測定物体Ｑか
ら離れた位置に任意の方向を向けて置くことができる。
以上のように、本実施例の装置によれば、レーザ光源と
偏向照射装置を離れた位置に任意の方向に向けて配置す
ることが可能なため、測定機のヘッド部分の小型化がし
やすくなり、入り組んだ場所や管状の空間の奥にある物
体などの測定も容易になる。

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る形状
計測装置によれば、スリット光を点滅させながら照射し
走査することによって、機械的なパターンマスクを使用
することなしに、空間コード化の原理を用いた物体形状
測定が可能となる。スリット光の点滅により照射パター
ンを生成するので、機械的なパターンマスクや液晶シャ
ッターを用いるよりも迅速にパターンを生成することが
できる。また、構造も機械的動作部分としては偏向照射
装置のみとなり、より簡便で、小型化に適するものであ
る。また、並列に配置した１ビットのメモリに、各パタ
ーン照射時の明暗情報の画像データを蓄えることによ
り、全フレームについて同位置の画素の明暗情報を並列
に読み出しデコードすることにより、効率良く偏向角情
報を得ることが可能となり、簡便な構成にして高速なデ
ータ処理が可能となる。また、偏向照射装置から被測定
物体ヘ光ファイバーを用いてスリット光を伝送すること
により、偏向照射装置で偏向したスリット光を直接照射
することのできない入り組んだ場所にある被測定物体の
計測も容易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は本発明に係る形状計測装置の全体構成を示す
ブロック図。

【図２】本発明に係る空間コード化手法の原理を示す説
明図。

【図３】本発明に係る形状計測原理を示す説明図。

【図４】本発明に係る記憶装置の構成を示すブロック
図。

【図５】本発明に係る光ファイバーを用いた形状計測装
置の構成を示す説明図、

【図６】従来の空間コード化法による形状計測原理を示
す説明図。

【符号の説明】

１０・・・光源１１・・・ＣＣＤカメラレンズ中心点１２・・・撮像面１３・・・パターンマスク３１・・・ＣＣＤカメラ３７・・・レーザ光源３８・・・レンズ系３９・・・偏向照射装置４０・・・フィルター６０・・・撮像面の中心点７０・・・投射レンズ系７１・・・光ファイバー束１００・・・パターンマスクを通過した光１１０・・・スリット光１２０・・・楔形空間１３１・・・光ファイバー束の端面から出る光２０１・・・画像信号２０２・・・画像データ２０３・・・アドレス信号２０５・・・垂直同期信号２５０・・・明暗情報２５１・・・スリット光偏向角情報２５２・・・撮像同期信号２５３・・・点滅同期信号２５４・・・偏向同期信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ光を発生させるレーザ光源と、前記レーザ光をスリット光に整形するレンズ系と、前記スリット光を所定の走査制御下で被測定物体の表面
に向けて偏向走査する偏向照射装置と、前記スリット光を所定の規則に従って点滅させる点滅装
置と、前記スリット光により前記被測定物体の表面に生じる光
学像を撮像するＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラから出力される画像情報を蓄える記憶
装置と、前記画像情報の複数フレームを通じて各画素の明暗情報
を調べることにより、各画素に対応する前記被測定物体
上の点が前記スリット光に照射されたときの、前記スリ
ット光の偏向角情報を得る偏向角識別部と、各画素の前
記偏向角情報を用いて被測定物体の形状を求める演算処
理部と、を有することを特徴とする形状計測装置。
【請求項２】請求項１に記載の形状計測装置において、
前記記憶装置が、１フレーム分の２値画像を蓄える１ビ
ットの深さを持つメモリを並列に複数枚接続して構成さ
れ、各フレームごとに１枚の前記メモリを割当てて各フレー
ムごとの２値画像を蓄え、読み出し時には前記各メモリ
に並列にアドレスを指定し並列に値を読み出すこと、を特徴とする形状計測装置。
【請求項３】請求項１に記載の形状計測装置において、前記スリット光を前記偏向照射装置から伝送する光ファ
イバー束と、前記光ファイバー束の被測定物体側の端面
から出る光を前記被測定物体上に結像させる投射レンズ
系と、を設けたことを特徴とする形状計測装置。