JPH08162257A - 電力制御方法及びその装置 - Google Patents
電力制御方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH08162257A JPH08162257A JP29739294A JP29739294A JPH08162257A JP H08162257 A JPH08162257 A JP H08162257A JP 29739294 A JP29739294 A JP 29739294A JP 29739294 A JP29739294 A JP 29739294A JP H08162257 A JPH08162257 A JP H08162257A
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- Japan
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- heaters
- electric power
- switching element
- power source
- heater
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 単一の電源からの給電により複数のヒータを
動作させる場合に、各ヒータ夫々に対する給電制御を簡
単な回路で独立して行い得るようにする。 【構成】 単一の交流電源１を変圧器３を介在させて、
相互に直列接続した整流器６ａ，６ｂの中間点に接続
し、整流器６ａ，６ｂに、各ヒータＨ1 ，Ｈ2 を並列接
続すると共に、各ヒータＨ1 ，Ｈ2 と直列にスイッチン
グ素子９ａ，９ｂを設け、各スイッチング素子９ａ，９
ｂを、制御信号Ｓ1 ，Ｓ2 に基づき動作するドライブ回
路７ａ，７ｂにてオン，オフ制御する。
動作させる場合に、各ヒータ夫々に対する給電制御を簡
単な回路で独立して行い得るようにする。 【構成】 単一の交流電源１を変圧器３を介在させて、
相互に直列接続した整流器６ａ，６ｂの中間点に接続
し、整流器６ａ，６ｂに、各ヒータＨ1 ，Ｈ2 を並列接
続すると共に、各ヒータＨ1 ，Ｈ2 と直列にスイッチン
グ素子９ａ，９ｂを設け、各スイッチング素子９ａ，９
ｂを、制御信号Ｓ1 ，Ｓ2 に基づき動作するドライブ回
路７ａ，７ｂにてオン，オフ制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体の単結晶用原料を
溶融する坩堝を加熱し、また坩堝温度を制御するための
複数のヒータ等に対し、単一の電源からの給電を個々独
立に行い得るようにした電力制御方法及びその装置に関
する。
溶融する坩堝を加熱し、また坩堝温度を制御するための
複数のヒータ等に対し、単一の電源からの給電を個々独
立に行い得るようにした電力制御方法及びその装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の単結晶引上げ装置における
ヒータ及びその電力制御装置を示す電気回路図であり、
図中１は３相の交流電源、２は開閉器、３は変圧器、Ｈ
はヒータを示している。交流電源１は開閉器２を介在さ
せて変圧器３の１次側に接続されている。変圧器３の２
次側は各相において、２個の直列接続したスイッチング
素子４ａ，４ｂの中間点に接続されている。スイッチン
グ素子４ａ，４ｂはサイリスタにて構成されており、ス
イッチング素子４ａのカソード側は平滑回路５のリアク
トル５ａを介在させてヒータＨの一の端子に接続され、
またスイッチング素子４ｂのアノード側はヒータＨの他
の端子に接続されている。５ｂは平滑回路５を構成する
コンデンサである。各スイッチング素子４ａ，４ｂのゲ
ート端子にはドライブ回路７を通じて制御信号Ｓが入力
され、制御信号Ｓに対応して各スイッチング素子４ａ，
４ｂに対する位相制御が行なわれるようになっている。
ヒータ及びその電力制御装置を示す電気回路図であり、
図中１は３相の交流電源、２は開閉器、３は変圧器、Ｈ
はヒータを示している。交流電源１は開閉器２を介在さ
せて変圧器３の１次側に接続されている。変圧器３の２
次側は各相において、２個の直列接続したスイッチング
素子４ａ，４ｂの中間点に接続されている。スイッチン
グ素子４ａ，４ｂはサイリスタにて構成されており、ス
イッチング素子４ａのカソード側は平滑回路５のリアク
トル５ａを介在させてヒータＨの一の端子に接続され、
またスイッチング素子４ｂのアノード側はヒータＨの他
の端子に接続されている。５ｂは平滑回路５を構成する
コンデンサである。各スイッチング素子４ａ，４ｂのゲ
ート端子にはドライブ回路７を通じて制御信号Ｓが入力
され、制御信号Ｓに対応して各スイッチング素子４ａ，
４ｂに対する位相制御が行なわれるようになっている。
【０００３】而してこのような従来装置にあっては、制
御信号Ｓにてドライブ回路７を制御し、両スイッチング
素子４ａ，４ｂに対する位相制御を行って変圧器３の２
次側電圧Ｅ0 を整流し、平滑回路５の片側に制御信号Ｓ
に対応した直流電圧Ｅ1 を誘起せしめ、更に平滑回路５
にてヒータＨの両側端子に直流電圧Ｅ2 を印加し、ヒー
タＨに対し直流電流Ｉを通流せしめる。
御信号Ｓにてドライブ回路７を制御し、両スイッチング
素子４ａ，４ｂに対する位相制御を行って変圧器３の２
次側電圧Ｅ0 を整流し、平滑回路５の片側に制御信号Ｓ
に対応した直流電圧Ｅ1 を誘起せしめ、更に平滑回路５
にてヒータＨの両側端子に直流電圧Ｅ2 を印加し、ヒー
タＨに対し直流電流Ｉを通流せしめる。
【０００４】図５は単結晶引上げ装置における従来の他
の電力制御装置を示すブロック図であり、この電力制御
装置では３相交流電源１は開閉器２を介在させて並列接
続した変圧器３ａ，３ｂの各一次側に接続され、各変圧
器３ａ，３ｂの２次側に夫々２次側電圧Ｅ0 を誘起せし
めるようになっている。各変圧器３ａ，３ｂとヒータＨ
1 ，Ｈ2 との間の結線態様は図４に示す電源装置のそれ
と実質的に同じである。即ち変圧器３ａは直列接続され
たサイリスタで構成されるスイッチング素子４ａ，４ｂ
の中間点に接続され、スイッチング素子４ａのカソード
は平滑回路５を構成するリアクトル５ａを介在させてヒ
ータＨ1 の一の端子に接続され、またスイッチング素子
４ｂの各アノードはヒータＨ1 の他の端子に接続されて
いる。変圧器３ｂについても同じである。７ａ，７ｂは
前記各スイッチング素子４ａ，４ｂを位相制御するドラ
イブ回路である。
の電力制御装置を示すブロック図であり、この電力制御
装置では３相交流電源１は開閉器２を介在させて並列接
続した変圧器３ａ，３ｂの各一次側に接続され、各変圧
器３ａ，３ｂの２次側に夫々２次側電圧Ｅ0 を誘起せし
めるようになっている。各変圧器３ａ，３ｂとヒータＨ
1 ，Ｈ2 との間の結線態様は図４に示す電源装置のそれ
と実質的に同じである。即ち変圧器３ａは直列接続され
たサイリスタで構成されるスイッチング素子４ａ，４ｂ
の中間点に接続され、スイッチング素子４ａのカソード
は平滑回路５を構成するリアクトル５ａを介在させてヒ
ータＨ1 の一の端子に接続され、またスイッチング素子
４ｂの各アノードはヒータＨ1 の他の端子に接続されて
いる。変圧器３ｂについても同じである。７ａ，７ｂは
前記各スイッチング素子４ａ，４ｂを位相制御するドラ
イブ回路である。
【０００５】而してこのような従来装置にあっては制御
信号Ｓ1 ，Ｓ2 にてドライブ回路７ａ，７ｂを動作さ
せ、ドライブ回路７ａ，７ｂを通じて、スイッチング素
子４ａ，４ｂを位相制御し、変圧器３ａ，３ｂの各２次
側電圧Ｅ0 を整流し、平滑回路５，５の上流側に制御信
号Ｓ1 ，Ｓ2 に対応した直流電圧Ｅ11，Ｅ21を誘起せし
め、更に平滑回路５，５にてヒータＨ1 ，Ｈ2 の両側端
子に直流電圧Ｅ12，Ｅ22を印加し、ヒータＨ1 ，Ｈ2 に
対し、夫々直流電流Ｉ1 ，Ｉ2 を通流せしめる。
信号Ｓ1 ，Ｓ2 にてドライブ回路７ａ，７ｂを動作さ
せ、ドライブ回路７ａ，７ｂを通じて、スイッチング素
子４ａ，４ｂを位相制御し、変圧器３ａ，３ｂの各２次
側電圧Ｅ0 を整流し、平滑回路５，５の上流側に制御信
号Ｓ1 ，Ｓ2 に対応した直流電圧Ｅ11，Ｅ21を誘起せし
め、更に平滑回路５，５にてヒータＨ1 ，Ｈ2 の両側端
子に直流電圧Ｅ12，Ｅ22を印加し、ヒータＨ1 ，Ｈ2 に
対し、夫々直流電流Ｉ1 ，Ｉ2 を通流せしめる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来装置にあっては、各ヒータＨ1 ，Ｈ2 毎に変圧器３
ａ，３ｂを、またスイッチング素子４ａ，４ｂを夫々設
ける必要があり、広い設置スペースを必要とし、全体と
して大型で重量も重くなり、コストアップは避けられな
いという問題があった。本発明はかかる事情に鑑みなさ
れたものであって、その目的とするところは部品点数が
少なく、小型コンパクト化が可能であり、しかもサイリ
スタを使用しないため電源側に高調波歪みを発生させる
ことのない電力制御方法及びその装置を提供するにあ
る。
来装置にあっては、各ヒータＨ1 ，Ｈ2 毎に変圧器３
ａ，３ｂを、またスイッチング素子４ａ，４ｂを夫々設
ける必要があり、広い設置スペースを必要とし、全体と
して大型で重量も重くなり、コストアップは避けられな
いという問題があった。本発明はかかる事情に鑑みなさ
れたものであって、その目的とするところは部品点数が
少なく、小型コンパクト化が可能であり、しかもサイリ
スタを使用しないため電源側に高調波歪みを発生させる
ことのない電力制御方法及びその装置を提供するにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る電力制
御方法は、単一の交流電源から給電される複数のヒータ
夫々に対する電力を制御する方法において、単一の交流
電源に単一の整流装置を介在させて、前記各ヒータを並
列に接続すると共に、各ヒータ夫々に対しスイッチング
素子を直列接続し、各スイッチング素子をオン，オフ動
作させることを特徴とする。
御方法は、単一の交流電源から給電される複数のヒータ
夫々に対する電力を制御する方法において、単一の交流
電源に単一の整流装置を介在させて、前記各ヒータを並
列に接続すると共に、各ヒータ夫々に対しスイッチング
素子を直列接続し、各スイッチング素子をオン，オフ動
作させることを特徴とする。
【０００８】第２の発明に係る電力制御方法は、前記各
スイッチング素子のオン動作のタイミングをずらせるこ
とを特徴とする。
スイッチング素子のオン動作のタイミングをずらせるこ
とを特徴とする。
【０００９】第３の発明に係る電力制御装置は、単一の
交流電源から給電される複数のヒータ夫々の電力を制御
する装置において、単一の交流電源に接続された単一の
整流装置と、該整流装置に対し、夫々直列接続されたス
イッチング素子と、各スイッチング素子をオン，オフ動
作させるドライブ回路とを備えたことを特徴とする。
交流電源から給電される複数のヒータ夫々の電力を制御
する装置において、単一の交流電源に接続された単一の
整流装置と、該整流装置に対し、夫々直列接続されたス
イッチング素子と、各スイッチング素子をオン，オフ動
作させるドライブ回路とを備えたことを特徴とする。
【００１０】第４の発明に係る電力制御装置は、前記ド
ライブ回路は各スイッチング素子に対するオン動作のタ
イミングをずらせるべく構成してあることを特徴とす
る。
ライブ回路は各スイッチング素子に対するオン動作のタ
イミングをずらせるべく構成してあることを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】第１の発明にあっては、これによって単一の交
流電源に接続された単一の整流装置出力を複数のヒータ
夫々に対応して設けたスイッチング素子のオン，オフ時
間比を変更することで、複数のヒータ夫々に対し個別に
給電制御を行うことが可能となる。
流電源に接続された単一の整流装置出力を複数のヒータ
夫々に対応して設けたスイッチング素子のオン，オフ時
間比を変更することで、複数のヒータ夫々に対し個別に
給電制御を行うことが可能となる。
【００１２】第２，第４の発明にあっては、スイッチン
グ素子のオン，オフ制御に際し、オン動作が相互に重な
らないようにすることで、電源側の負荷を軽減し得る。
グ素子のオン，オフ制御に際し、オン動作が相互に重な
らないようにすることで、電源側の負荷を軽減し得る。
【００１３】第３の発明にあっては、これによって単一
の交流電源に接続された単一の整流装置出力を複数のヒ
ータ夫々に対応して設けたスイッチング素子のオン，オ
フ時間比をドライブ回路を用いて変更することで、複数
のヒータ夫々に対し個別に、正確な電力制御を行うこと
が可能となる。
の交流電源に接続された単一の整流装置出力を複数のヒ
ータ夫々に対応して設けたスイッチング素子のオン，オ
フ時間比をドライブ回路を用いて変更することで、複数
のヒータ夫々に対し個別に、正確な電力制御を行うこと
が可能となる。
【００１４】
【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づき
具体的に説明する。図１は本発明に係る電力制御方法及
び電力制御装置の回路図であり、図中１は３相の交流電
源、２は開閉器、３は変圧器、Ｈ1 ，Ｈ2 は単結晶引上
げ装置における坩堝の周囲に配設された坩堝加熱用のヒ
ータを示している。交流電源１は、開閉器２を介在させ
て変圧器３の１次側に接続され、変圧器３の２次側に２
次電圧Ｅ0 を誘起せしめるようになっている。変圧器３
の２次側は、ダイオードで構成され、直列接続された整
流器６ａ，６ｂの中間点に接続され、整流器６ａのカソ
ード側、整流器６ｂのアノード側には前記２次電圧Ｅ0
に基づく直流電圧Ｅ1 が誘起されるようになっている。
具体的に説明する。図１は本発明に係る電力制御方法及
び電力制御装置の回路図であり、図中１は３相の交流電
源、２は開閉器、３は変圧器、Ｈ1 ，Ｈ2 は単結晶引上
げ装置における坩堝の周囲に配設された坩堝加熱用のヒ
ータを示している。交流電源１は、開閉器２を介在させ
て変圧器３の１次側に接続され、変圧器３の２次側に２
次電圧Ｅ0 を誘起せしめるようになっている。変圧器３
の２次側は、ダイオードで構成され、直列接続された整
流器６ａ，６ｂの中間点に接続され、整流器６ａのカソ
ード側、整流器６ｂのアノード側には前記２次電圧Ｅ0
に基づく直流電圧Ｅ1 が誘起されるようになっている。
【００１５】整流器６ａのカソード側、整流器６ｂのア
ノード側は夫々２分岐され、各分岐線は夫々サイリスタ
で構成されたスイッチング素子９ａ，９ｂ夫々のアノー
ドに接続され、またそのカソードは平滑回路５を構成す
るリアクトル５ａ，５ａを介在させてヒータＨ1 ，Ｈ2
の各一方の端子に接続されている。また整流器６ｂのア
ノード側の２分岐された各分岐線は、夫々ヒータＨ1 ，
Ｈ 2 の他方の端子に接続されている。５ｂは平滑回路５
を構成するコンデンサである。
ノード側は夫々２分岐され、各分岐線は夫々サイリスタ
で構成されたスイッチング素子９ａ，９ｂ夫々のアノー
ドに接続され、またそのカソードは平滑回路５を構成す
るリアクトル５ａ，５ａを介在させてヒータＨ1 ，Ｈ2
の各一方の端子に接続されている。また整流器６ｂのア
ノード側の２分岐された各分岐線は、夫々ヒータＨ1 ，
Ｈ 2 の他方の端子に接続されている。５ｂは平滑回路５
を構成するコンデンサである。
【００１６】スイッチング素子９ａ，９ｂの各ゲート端
子にはドライブ回路７ａ，７ｂが接続され、また各ドラ
イブ回路７ａ，７ｂには分周回路８を介在させて制御信
号Ｓ 1 ，Ｓ2 が入力されるようにしてある。
子にはドライブ回路７ａ，７ｂが接続され、また各ドラ
イブ回路７ａ，７ｂには分周回路８を介在させて制御信
号Ｓ 1 ，Ｓ2 が入力されるようにしてある。
【００１７】而してこのような実施例にあっては、変圧
器３の２次側に誘起された２次電圧Ｅ0 は整流器６ａ，
６ｂにて整流され、整流器６ａのカソードと整流器６ｂ
のアノードとの間に直流電圧Ｅ1 を誘起させる。スイッ
チング素子９ａ，９ｂは、分周回路８にて分周された制
御信号Ｓ1 ，Ｓ 2 にて夫々ドライブ回路７ａ，７ｂを動
作させ、スイッチング素子９ａ，９ｂをオン，オフ制御
する。このスイッチング素子９ａ，９ｂのオン，オフ制
御、並びに平滑回路５を経ることで、ヒータＨ1 ，Ｈ2
の両側端子に夫々Ｅ2 ，Ｅ3 の直流電圧を印加し、各ヒ
ータＨ1 ，Ｈ2 に直流電流Ｉ1 ，Ｉ2 を通電せしめる。
器３の２次側に誘起された２次電圧Ｅ0 は整流器６ａ，
６ｂにて整流され、整流器６ａのカソードと整流器６ｂ
のアノードとの間に直流電圧Ｅ1 を誘起させる。スイッ
チング素子９ａ，９ｂは、分周回路８にて分周された制
御信号Ｓ1 ，Ｓ 2 にて夫々ドライブ回路７ａ，７ｂを動
作させ、スイッチング素子９ａ，９ｂをオン，オフ制御
する。このスイッチング素子９ａ，９ｂのオン，オフ制
御、並びに平滑回路５を経ることで、ヒータＨ1 ，Ｈ2
の両側端子に夫々Ｅ2 ，Ｅ3 の直流電圧を印加し、各ヒ
ータＨ1 ，Ｈ2 に直流電流Ｉ1 ，Ｉ2 を通電せしめる。
【００１８】図２はスイッチング素子９ａ，９ｂ夫々の
オン，オフ時間比とヒータＨ1 ，Ｈ 2 に印加される直流
電圧Ｅ2 ，Ｅ3 との関係を示す説明図である。図２
（ａ）はスイッチング素子９ａのオン，オフ時間比α1
を、また図２（ｂ）はこれによる直流電圧Ｅ2 の変化を
示しており、また図２（ｃ）はスイッチング素子９ｂの
オン，オフ時間比α2 を、更に図２（ｄ）はこれによる
直流電圧Ｅ 3 の変化を示している。
オン，オフ時間比とヒータＨ1 ，Ｈ 2 に印加される直流
電圧Ｅ2 ，Ｅ3 との関係を示す説明図である。図２
（ａ）はスイッチング素子９ａのオン，オフ時間比α1
を、また図２（ｂ）はこれによる直流電圧Ｅ2 の変化を
示しており、また図２（ｃ）はスイッチング素子９ｂの
オン，オフ時間比α2 を、更に図２（ｄ）はこれによる
直流電圧Ｅ 3 の変化を示している。
【００１９】図２（ａ）に示す如くスイッチング素子９
ａのオン，オフ比をｔA1：ｔB1（ｔ A1＞ｔB1）から
ｔA2：ｔB2（ｔA2＜ｔB2）に変化させると、図２（ｂ）
に示す如く直流電圧Ｅ2 はＥ21からＥ22（Ｅ21＞Ｅ22）
に変化する。
ａのオン，オフ比をｔA1：ｔB1（ｔ A1＞ｔB1）から
ｔA2：ｔB2（ｔA2＜ｔB2）に変化させると、図２（ｂ）
に示す如く直流電圧Ｅ2 はＥ21からＥ22（Ｅ21＞Ｅ22）
に変化する。
【００２０】一方スイッチング素子９ｂのオン，オフ時
間比を図２（ｃ）に示す如くｔA3：ｔB3（ｔA3＞ｔB3）
からｔA4：ｔB4（ｔA4＜ｔB4）に変化させると図２
（ｄ）に示す如く直流電圧Ｅ3 はＥ31からＥ32（Ｅ31＞
Ｅ32）へ変化する。つまりオン時間ｔA1，ｔA3を短く、
オフ時間ｔB1，ｔB3を大きくするに従って、直流電圧Ｅ
2 ，Ｅ3 は小さくなる。スイッチング素子９ａ，９ｂの
オン，オフのタイミングは、変圧器３の１次側の負荷を
軽減すべくスイッチング素子９ａの立下がりに対応して
スイッチング素子９ｂが立上がるように設定し、両者の
オン動作が重さならないようにするのが望ましい。
間比を図２（ｃ）に示す如くｔA3：ｔB3（ｔA3＞ｔB3）
からｔA4：ｔB4（ｔA4＜ｔB4）に変化させると図２
（ｄ）に示す如く直流電圧Ｅ3 はＥ31からＥ32（Ｅ31＞
Ｅ32）へ変化する。つまりオン時間ｔA1，ｔA3を短く、
オフ時間ｔB1，ｔB3を大きくするに従って、直流電圧Ｅ
2 ，Ｅ3 は小さくなる。スイッチング素子９ａ，９ｂの
オン，オフのタイミングは、変圧器３の１次側の負荷を
軽減すべくスイッチング素子９ａの立下がりに対応して
スイッチング素子９ｂが立上がるように設定し、両者の
オン動作が重さならないようにするのが望ましい。
【００２１】また、オン，オフ時間の和の逆数、即ちｔ
A1＋ｔB1，ｔA2＋ｔB2の逆数である周波数ｆ1 ＝１／
（ｔA1＋ｔB1），ｆ2 ＝１／（ｔA2＋ｔB2）はヒータＨ
1 ，Ｈ 2 へ供給される電圧波形（リップル含有量）、電
流値等に基づき経済性を加味して決める。図３はスイッ
チング素子９ａ，９ｂのオン，オフ時間比α1 ，α
2 と、制御信号Ｓ1 ，Ｓ2 との関係を示すグラフであ
り、横軸に制御信号Ｓ1 （又はＳ2 ）を、また縦軸にオ
ン，オフ時間比α1 （又はα2 ）をとって示してある。
A1＋ｔB1，ｔA2＋ｔB2の逆数である周波数ｆ1 ＝１／
（ｔA1＋ｔB1），ｆ2 ＝１／（ｔA2＋ｔB2）はヒータＨ
1 ，Ｈ 2 へ供給される電圧波形（リップル含有量）、電
流値等に基づき経済性を加味して決める。図３はスイッ
チング素子９ａ，９ｂのオン，オフ時間比α1 ，α
2 と、制御信号Ｓ1 ，Ｓ2 との関係を示すグラフであ
り、横軸に制御信号Ｓ1 （又はＳ2 ）を、また縦軸にオ
ン，オフ時間比α1 （又はα2 ）をとって示してある。
【００２２】このグラフから明らかな如く電圧Ｅ2 ，Ｅ
3 の最大出力電圧比を１：１として、制御信号Ｓ1 ，Ｓ
2 の値が大きくなるに従ってオン，オフ時間比α1 ，α
2 は１．０に近づき、従って電圧Ｅ2 ，Ｅ3 も大きくな
る。逆に制御信号Ｓ1 ，Ｓ2が小さくなるに従って
α1 ，α2 は零に近づき、従って電圧Ｅ2 ，Ｅ3 も小さ
くなる。ｔA1＝０、ｔA3＝０では当然直流電圧Ｅ21＝
０、Ｅ31＝０となる。なお、上述の実施例では単一の電
源１を２分割してヒータＨ1 ，Ｈ2 へ供給する場合を説
明したが、３分割又はそれ以上に分割してもよく、この
場合も夫々独立した制御が行える。また、上述の実施例
では坩堝の加熱用ヒータについて説明したが、特にこれ
に限るものではなく各種の電動機器の電力制御に適用し
うることは勿論である。
3 の最大出力電圧比を１：１として、制御信号Ｓ1 ，Ｓ
2 の値が大きくなるに従ってオン，オフ時間比α1 ，α
2 は１．０に近づき、従って電圧Ｅ2 ，Ｅ3 も大きくな
る。逆に制御信号Ｓ1 ，Ｓ2が小さくなるに従って
α1 ，α2 は零に近づき、従って電圧Ｅ2 ，Ｅ3 も小さ
くなる。ｔA1＝０、ｔA3＝０では当然直流電圧Ｅ21＝
０、Ｅ31＝０となる。なお、上述の実施例では単一の電
源１を２分割してヒータＨ1 ，Ｈ2 へ供給する場合を説
明したが、３分割又はそれ以上に分割してもよく、この
場合も夫々独立した制御が行える。また、上述の実施例
では坩堝の加熱用ヒータについて説明したが、特にこれ
に限るものではなく各種の電動機器の電力制御に適用し
うることは勿論である。
【００２３】
【発明の効果】以上の如く第１の発明にあっては単一の
交流電源から給電される複数のヒータ夫々に対する電力
を制御する方法において、単一の交流電源に単一の整流
装置を介在させて、前記各ヒータを並列に接続すると共
に、各ヒータ夫々に対しスイッチング素子を直列接続
し、各スイッチング素子をオン，オフ動作時間比を異な
らせることで、各ヒータ夫々に対する分配，給電制御を
行い得る。
交流電源から給電される複数のヒータ夫々に対する電力
を制御する方法において、単一の交流電源に単一の整流
装置を介在させて、前記各ヒータを並列に接続すると共
に、各ヒータ夫々に対しスイッチング素子を直列接続
し、各スイッチング素子をオン，オフ動作時間比を異な
らせることで、各ヒータ夫々に対する分配，給電制御を
行い得る。
【００２４】また第２の発明にあっては、各スイッチン
グ素子のオンタイミングをずらせることで、電源側機器
の負荷を軽減出来、長寿命化が図れる。
グ素子のオンタイミングをずらせることで、電源側機器
の負荷を軽減出来、長寿命化が図れる。
【００２５】第３の発明にあっては単一の交流電源から
給電される複数のヒータ夫々の電力を制御する装置にお
いて、単一の交流電源に接続された単一の整流装置と、
該整流装置に対し、夫々直列接続されたスイッチング素
子と、各スイッチング素子をオン，オフ動作させるドラ
イブ回路とを備え、スイッチング素子夫々のオン，オフ
時間比を異ならせることで、各ヒータ夫々に対する分
配，給電制御を行い得、また回路構成が簡略化され、小
型化が容易となり、軽量化、低コスト化が図れる。
給電される複数のヒータ夫々の電力を制御する装置にお
いて、単一の交流電源に接続された単一の整流装置と、
該整流装置に対し、夫々直列接続されたスイッチング素
子と、各スイッチング素子をオン，オフ動作させるドラ
イブ回路とを備え、スイッチング素子夫々のオン，オフ
時間比を異ならせることで、各ヒータ夫々に対する分
配，給電制御を行い得、また回路構成が簡略化され、小
型化が容易となり、軽量化、低コスト化が図れる。
【００２６】第４の発明にあっては、各スイッチング素
子のオンタイミングをずらせることで、電源側機器の負
荷を軽減出来、長寿命化が図れる。
子のオンタイミングをずらせることで、電源側機器の負
荷を軽減出来、長寿命化が図れる。
【図１】本発明の実施例である単結晶引上げ装置におけ
るヒータの電力制御装置の電気回路図である。
るヒータの電力制御装置の電気回路図である。
【図２】スイッチング素子のオン，オフ時間比とヒータ
に付加される直流電圧との関係を示す波形図である。
に付加される直流電圧との関係を示す波形図である。
【図３】スイッチング素子のオン，オフ時間比と制御信
号Ｓ1 ，Ｓ2 との関係を示す説明図である。
号Ｓ1 ，Ｓ2 との関係を示す説明図である。
【図４】従来の単結晶引上げ装置におけるヒータの電力
制御装置の電気回路図である。
制御装置の電気回路図である。
【図５】従来の単結晶引上げ装置におけるヒータの他の
電力制御装置の電気回路図である。
電力制御装置の電気回路図である。
１ 交流電源 ３ａ，３ｂ 変圧器 ５ 平滑回路 ５ａ リアクトル ５ｂ コンデンサ ６ａ，６ｂ 整流器 ７ａ，７ｂ ドライブ回路 ８ 分周回路 Ｈ1 ，Ｈ2 ヒータ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/208 Ｐ (72)発明者 中川 進寛 大阪府箕面市牧落５丁目５番７号 株式会 社小島電機製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】 単一の交流電源から給電される複数のヒ
ータ夫々に対する電力を制御する方法において、単一の
交流電源に単一の整流装置を介在させて、前記各ヒータ
を並列に接続すると共に、各ヒータ夫々に対しスイッチ
ング素子を直列接続し、各スイッチング素子をオン，オ
フ動作させることを特徴とする電力制御方法。 - 【請求項２】 前記各スイッチング素子のオン動作のタ
イミングをずらせることを特徴とする請求項１記載の電
力制御方法。 - 【請求項３】 単一の交流電源から給電される複数のヒ
ータ夫々の電力を制御する装置において、単一の交流電
源に接続された単一の整流装置と、該整流装置に対し、
夫々直列接続されたスイッチング素子と、各スイッチン
グ素子をオン，オフ動作させるドライブ回路とを備えた
ことを特徴とする電力制御装置。 - 【請求項４】 前記ドライブ回路は各スイッチング素子
に対するオン動作のタイミングをずらせるべく構成して
あることを特徴とする請求項３記載の電力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29739294A JP2840924B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 電力制御方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29739294A JP2840924B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 電力制御方法及びその装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08162257A true JPH08162257A (ja) | 1996-06-21 |
| JP2840924B2 JP2840924B2 (ja) | 1998-12-24 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29739294A Expired - Fee Related JP2840924B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 電力制御方法及びその装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2840924B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000019777A1 (fr) * | 1998-09-28 | 2000-04-06 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Dispositif permettant de faire fonctionner une lampe a incandescence |
| EP1091622A2 (en) * | 1999-10-07 | 2001-04-11 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Control apparatus for a light radiation-type rapid heating and processing device |
| JP2010055530A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Fujitsu Ltd | 恒温槽用温度制御装置 |
| WO2011102190A1 (en) * | 2010-02-19 | 2011-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Demodulation circuit and rfid tag including the demodulation circuit |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP29739294A patent/JP2840924B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| EP1091622A3 (en) * | 1999-10-07 | 2001-05-16 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Control apparatus for a light radiation-type rapid heating and processing device |
| US6580059B1 (en) | 1999-10-07 | 2003-06-17 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Control apparatus for a light radiation-type rapid heating and processing device |
| JP2010055530A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Fujitsu Ltd | 恒温槽用温度制御装置 |
| WO2011102190A1 (en) * | 2010-02-19 | 2011-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Demodulation circuit and rfid tag including the demodulation circuit |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2840924B2 (ja) | 1998-12-24 |
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