JPH08152407A - Icp発光分光分析装置 - Google Patents

Icp発光分光分析装置

Info

Publication number
JPH08152407A
JPH08152407A JP29633694A JP29633694A JPH08152407A JP H08152407 A JPH08152407 A JP H08152407A JP 29633694 A JP29633694 A JP 29633694A JP 29633694 A JP29633694 A JP 29633694A JP H08152407 A JPH08152407 A JP H08152407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
screw
adjustment
plane mirror
icp emission
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29633694A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuichiro Ikeda
雄一郎 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP29633694A priority Critical patent/JPH08152407A/ja
Publication of JPH08152407A publication Critical patent/JPH08152407A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ICP発光分光分析装置において、光軸を直
角に変更する光サンプリング部のミラーの角度調整を容
易にする。 【構成】 光サンプリング部を、裏面が凸半球形の平面
ミラー50と、その平面ミラーを全方向に揺動自在に保
持する凹半球形のミラー保持部60とで構成した。その
平面ミラーとミラー保持部は一つのネジ81で締結され
ているだけなので、ネジ81を僅かにゆるめると平面ミ
ラーの方向を自由に変えることができ、その調整後にネ
ジ81を締めれば上下左右方向の調整は終わる。その後
ミラー保持部60を回転方向に調整し、ネジ83で外筒
部70に固定すれば調整は完了する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は水溶液の元素分析に利用
されるICP発光分光分析装置に関し、特に測定光の光
軸を変更するためのミラーの保持装置に関係している。
【0002】
【従来の技術】ICP発光分光分析装置は高周波誘導プ
ラズマにより試料を発光させ、その光を分光器に導入し
て分光・検出し、水溶液試料中の元素の定性および定量
分析を行う。通常プラズマトーチは直立させて使うの
で、プラズマの中心軸は鉛直方向である。測定光はプラ
ズマの側面から水平方向に取り出し、その延長方向に分
光器を配置しているが、測定感度の向上のためにプラズ
マの中心軸方向に測定光を取り出す場合がある。そのと
きには、プラズマトーチの上方向に取り出した測定光を
平面ミラーで反射させ、光軸をほぼ直角に水平方向に変
更し、分光器に導入する必要がある。
【0003】図2はプラズマトーチの中心軸方向から測
定光を取り出すICP発光分光分析装置の従来例であ
る。プラズマトーチ4は直立しており、プラズマトーチ
の上に配置された光サンプリング部20は内部にミラー
22を有し、光軸をプラズマトーチの中心軸方向から分
光器10の方向にほぼ直角に変更している。
【0004】光軸を変更するためのミラー22の調整機
構としては、反射の方向と反射する位置を決めるために
一般的に3軸の調整軸が必要である。従来の調整機構で
は3軸を別々に調整し、しかもそれぞれの軸が互いに影
響するような関係になっているので、光軸の調整は大変
めんどうなものであった。本発明はそのミラーの調整を
簡単にする構成に関するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】光軸調整するための3
軸の調整が互いに影響すると、一つの軸の調整を終えた
としても他の軸の調整を行う課程で再び先に調整した軸
がずれてしまい、最終的な調整完了までには何回かの繰
り返し調整が必要であった。光軸の調整を簡単に一度の
調整で終わるようにすることが本発明の課題である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決するために、ICP発光分光分析装置の光サンプリ
ング部に、裏面が凸半球形の平面ミラーと、その平面ミ
ラーを全方向に揺動自在に保持する凹半球形のミラー受
け面を持つミラー保持部からなり、前記平面ミラーと前
記ミラー保持部を一つのネジで締結してなる光軸変更機
構を設けた。
【0007】
【作用】裏面が凸半球形の平面ミラーが揺動が可能な隙
間を持ちながら凹半球形のミラー受け面にはまり合うこ
とによって、平面ミラーはあらゆる方向に向くことがで
きる。したがってミラーの方向を決める調整を一度に行
うことができる。平面ミラーの向きが決められた後、そ
の平面ミラーとミラー保持部は一本のネジのみによって
固定できるので固定も簡単である。
【0008】
【実施例】図1に本発明のICP発光分光分析装置の要
部である光サンプリング部の一実施例を示す。図1
(a)は平面のミラー面53を有し、裏面が凸半球形の
平面ミラー50であり、図1(b)は凹半球形のミラー
受け面63をもつミラー保持部60であり、図1(c)
はミラー保持部を中心軸回りに回転自在に保持する外筒
部70である。図1(d)は平面ミラー50、ミラー保
持部60、外筒部70を組み立てて光サンプリング部と
したときの断面図である。平面ミラー60の裏側の凸半
球形部分には一つの止めネジ用のネジ穴51が設けられ
ている。また突起52はミラー保持部60の溝62には
まりこんでミラーの動きを規制し調整をやりやすくする
ためのものである。ミラー保持部60の凹半球形の中心
付近には止めネジの太さよりも十分に大きいネジの貫通
孔61があけられている。外筒部70にはミラー保持部
60の中心軸回りの回転を固定するための止めネジをつ
けるためのネジ穴71があけられている。また72は平
面プラズマの中心軸方向に取り出した測定光をミラー5
0に導入し分光器の方向に反射するための測定光通過孔
である。その通過孔72はプラズマの中心軸付近の光を
取り出すために直径2mm程度としてある。
【0009】図1(d)を使ってミラーの角度を調整す
る方法を説明する。外筒部70の中にミラー保持部60
は入れられ、中心軸の回りで自由に回転できるようにな
っている。その回転は止めネジ83によって、測定光を
分光器の方向に向ける適当な位置で固定しておく。平面
ミラー50はミラー保持部60の中に入れられて六角穴
つきネジ81で止められている。ネジ81とネジ貫通孔
61の間には貫通孔61よりも十分に大きなワッシャ8
2が入れられていてネジによる締結を確実なものにして
いる。ネジ81は六角レンチ84によってゆるめたり締
めたりすることができる。平面ミラー50の向きを調整
するときには、ネジ81を六角レンチで僅かにゆるめ、
ネジの頭にさしたままその六角レンチを上下左右に動か
すことによって平面ミラーを動かして目的の方向に測定
光が入射するようにし、そのままの姿勢でネジを締めて
平面ミラーを固定する。最後にミラー保持部60を外筒
部70に対して回転して調整し、ネジ83で外筒部70
に固定する。
【0010】本発明は次のような構成を含むものであ
る。プラズマトーチの中心軸方向から測定光を取り出す
ICP発光分光分析装置において、裏面が凸半球形の平
面ミラーと、その平面ミラーを全方向に揺動自在に保持
する凹半球形のミラー保持部と、このミラー保持部をそ
の中心軸を中心として回転自在に保持する外筒部からな
り、前記平面ミラーと前記ミラー保持部を一つのネジで
締結した光サンプリング部を備え、その光サンプリング
部でプラズマトーチの中心軸方向から取り出した測定光
を分光器方向に光軸変更することを特徴とするICP発
光分光分析装置。
【0011】
【発明の効果】裏面が凸半球形の平面ミラーが、揺動が
可能な隙間を持ちながら、凹半球形のミラー受け面を持
つミラー保持部にはまり合うことによって、平面ミラー
はあらゆる方向に向くことが可能である。またその平面
ミラーとミラー保持部の固定は一本のネジのみで行うこ
とができる。したがってミラーの方向を決める調整はネ
ジを僅かにゆるめた状態で平面ミラーの方向を上下左右
の方向に自由に動かし一度に行うことができる。平面ミ
ラーの向きが決められた後、その平面ミラーとミラー保
持部は前記固定ネジを締めることによって固定できるの
で固定も簡単である。
【0012】したがって、ICP発光分光分析装置にお
ける光サンプリング部の調整、メンテナンスが非常に容
易であり、コストの低減に効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の要部である光サンプリング部の一例を
示す。
【図2】従来のICP発光分光分析装置の全体構成図で
ある。
【符号の説明】
1…ICP発光分光分析装置 2…プラズマ炎
4…プラズマトーチ 10…分光器 20…光サンプリング装置
22…ミラー 50…平面ミラー 60…ミラー保持部
70…外筒部 81…止めネジ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICP発光分光分析装置の光サンプリン
    グ部に、裏面が凸半球形の平面ミラーと、その平面ミラ
    ーを全方向に揺動自在に保持する凹半球形のミラー受け
    面を持つミラー保持部からなり、前記平面ミラーと前記
    ミラー保持部を一つのネジで締結してなる光軸変更機構
    を設けたことを特徴とするICP発光分光分析装置。
JP29633694A 1994-11-30 1994-11-30 Icp発光分光分析装置 Pending JPH08152407A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29633694A JPH08152407A (ja) 1994-11-30 1994-11-30 Icp発光分光分析装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29633694A JPH08152407A (ja) 1994-11-30 1994-11-30 Icp発光分光分析装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08152407A true JPH08152407A (ja) 1996-06-11

Family

ID=17832229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29633694A Pending JPH08152407A (ja) 1994-11-30 1994-11-30 Icp発光分光分析装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08152407A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103411940A (zh) * 2013-08-08 2013-11-27 哈尔滨工业大学 基于发射光谱的防热材料催化特性检测方法与测试装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103411940A (zh) * 2013-08-08 2013-11-27 哈尔滨工业大学 基于发射光谱的防热材料催化特性检测方法与测试装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2002079760A3 (en) Polarimetric scatterometer for critical dimension measurements of periodic structures
US6982792B1 (en) Spectrophotometer, ellipsometer, polarimeter and the like systems
US20180286643A1 (en) Advanced optical sensor, system, and methodologies for etch processing monitoring
US4575252A (en) Apparatus for measuring absolute reflectance
US6348964B1 (en) Viewer for gemstones
JPH08152407A (ja) Icp発光分光分析装置
CA2460129A1 (en) Simultaneous multi-beam planar array ir (pair) spectroscopy
US7327456B1 (en) Spectrophotometer, ellipsometer, polarimeter and the like systems
EP2092296B1 (en) Measurement head and method for optical spectroscopic measurements
CN207636487U (zh) 一种全角度偏振相函数测量系统
JP3075243B2 (ja) 光学特性測定ユニット、透過特性測定装置、反射特性測定装置、エリプソメータ、透過特性測定方法および反射特性測定方法
JP3446120B2 (ja) 試料横置式ゴニオフォトメータ装置
US8857779B2 (en) Holder for a holographic grating
US7265835B1 (en) System for implementing variable retarder capability in ellipsometer, polarimeter or the like systems
CN220542774U (zh) 一种电镀加工用分光光度计
An et al. Development of multichannel ellipsometry with synchronously rotating polarizer and analyzer
JP2002243644A (ja) 誘導結合プラズマ分光分析装置
JPH03152449A (ja) X線分光装置
JPH0611449A (ja) ダイヤモンドの輝き度の判定方法及び装置
US8013996B1 (en) Spatial filter in sample investigation system
JPH0521039Y2 (ja)
SU1366878A1 (ru) Эллипсометрический способ контрол качества полировани деталей
JPH0136330Y2 (ja)
JPH10339800A (ja) 蛍光x線分析装置
US7301631B1 (en) Control of uncertain angle of incidence of beam from Arc lamp