SU1366878A1 - Эллипсометрический способ контрол качества полировани деталей - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измери тельной технике, в частности к области оптического приборостроени . Цель изобретени  - повьшение производительности - достигаетс  путем экспрессного определени  качества полировани . Дл  образцов определенного материала определ ют на эллипсометре угол падени  и азимут пол ризации, при котором отраженное излучение будет пол ризовано по кругу, что соответствует достижению главного угла . падени  и главного азимута пол ризатора . Замен   эталон контролируемым образцом дл  найденных углов падени  и азимута пол ризации, определ ют отклонение состо ни  пол ризации отраженного пол ризационного света от круговой пол ризации,, по которому суд т о качестве полировани .

Description

00

0д 9д

00

00

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к оптическому приборостроению.

пока его главный угол и эллиптичность не станут равными главному углу и эллиптичности эталонного образца.

Цель изобретени  - увеличение про- g Определение круговой пол ризации может быть осуществлено либо по равенст ву интенсивности If, 1 Iqo , либо анализатором, вращающимс  с посто нной угловой частотой.

изводительности контрол .

Поставленна  цель достигаетс  пу- тем экспрессного определени  качества полировани  поверхностей.

Способ осуществл ют следующим об- разом.

Предварительно на столик эллипсо- Метра устанавливают эталонную деталь и определ ют угол падени  и азимут пол ризатора, при котором отраженное излучение будет пол ризованным по кругу. Это регистрируетс  по равенст

ву интенсивностей

о

40

при

трех азимутах анализатора, что соответствует достижениюглавного угла па- 2о ключающийс  в том, что устанавливают дени  ( Л 90 ) и главного азимута

угол падени  света и азимут пол ризатора и анализатора эллипсометра и по состо нию пол ризации света, от раженного от детали, суд т о качестпол ризатора ( у if) ,

Эту операцию производ т однократно дл  образцов определенного материала ,- , .

Затем, располага  на столик эллип- сометра контролируемый образец, устанавливают угол падени  света и азимут пол ризации пол ризатора и анализатора эллипсометра в соответствии с определенными значени ми углов дл  эталона.

Измер ют соответствующие интенсивности Отраженного света.

Равенство I,, 145 90 отраженного от контролируемого образца пол ризованного света позвол ет заключить, что качество полировани  соответствует эталону, так как отраженный свет будет эллиптически пол ризован

Определение круговой пол ризации мо

жет быть осуществлено либо по равенству интенсивности If, 1 Iqo , либо анализатором, вращающимс  с посто нной угловой частотой.

По величине отклонени  состо ни  пол ризации отраженного пол ризованного света от круговой пол ризации суд т о качестве полировани  контролируемого образца.

Claims (1)

1. Формула из.обретени 

   Эллипсометрический способ контрол  качества полировани  деталей, заключающийс  в том, что устанавливают

   угол падени  света и азимут пол ризатора и анализатора эллипсометра и по состо нию пол ризации света, отраженного от детали, суд т о качестве полировани , отличающий- с   тем, что, с целью увеличени  производительности контрол , предварительно дл  эталона определ ют угол падени  света и.азимут пол ризации

   пол ризатора зллипсометра,.при котором отраженное излучение будет пол ризовано по кругу, устанавливают . угол падени  света и азимут пол ризации пол ризатора и анализатора эллипсометра в соответствии с определенным значением углов дл  эталона , а о качестве полировани  суд т по величине отклонени  состо ни  по

   40

   л ризации отраженного пол ризируе- мого света от круговой пол ризации.