JPH08143377A

JPH08143377A - セラミックス基繊維複合材料

Info

Publication number: JPH08143377A
Application number: JP6287967A
Authority: JP
Inventors: Tsuneji Kameda; 常治亀田; Akiko Suyama; 章子須山; Masahiro Asayama; 雅弘浅山
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-11-22
Filing date: 1994-11-22
Publication date: 1996-06-04

Abstract

(57)【要約】【目的】破壊抵抗特性を従来よりさらに改良した信頼性
が高いセラミックス基繊維複合材料を提供する。【構成】セラミックスから成るマトリックス３中にセラ
ミックス繊維２を配置したセラミックス基繊維複合材料
１において、マトリックス３を構成するセラミックス粒
子相互の結合強度と比較してマトリックス３との結合強
度が小さい緩衝層４をマトリックス３内に形成したこと
を特徴とする。また緩衝層４は、厚さが０．２〜５μｍ
の層状物または最大部分の径が１００μｍ以下の塊状物
あるいは連続相から成る。さらに緩衝層４は、カーボン
（Ｃ），窒化ほう素（ＢＮ）およびけい素（Ｓｉ）の少
なくとも１種から構成するとよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はセラミックス基繊維複合
材料に係り、特に破壊抵抗特性を従来よりさらに改良し
た信頼性が高いセラミックス基繊維複合材料に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にセラミックス焼結体は、高温まで
強度低下が少なく、硬度，電気絶縁性，耐摩耗性，耐熱
性，耐腐食性，軽量性等の諸特性が従来の金属材と比較
して優れているため、重電設備部品，航空機部品，自動
車部品，電子機器，精密機械部品，半導体装置材料など
の電子用材料や構造用材料として広い分野において使用
されている。

【０００３】しかし、セラミックス焼結体は、圧縮応力
に比較して引張り応力に弱く、特にこの引張り応力下に
おいては破壊が一気に進行する、いわゆる脆性という欠
点を有している。このようなことから、高信頼性が要求
される部位へのセラミックス部品の適用を可能にするた
めに、セラミックス焼結体の高靭性化や破壊エネルギー
の増大を図ることが強く求められている。

【０００４】すなわちガスタービン部品，航空機部品，
自動車部品等に使用されるセラミックス構造部品には、
耐熱性および高温強度に加えて高い信頼性が要求され
る。その要求に対応するため、無機物質や金属から成る
繊維，ウィスカー，プレート，粒子等の複合素材をマト
リックス焼結体に分散複合化させて破壊靭性値や破壊エ
ネルギー値や耐熱衝撃性等を高めたセラミックス複合材
料の実用化研究が内外の研究機関等において進められて
いる。

【０００５】しかし単に上記のような長繊維などの複合
素材をマトリックス焼結体中に分散複合化させたセラミ
ックス基複合材料においては、複合素材とセラミックス
マトリックスとが界面で強固に結合し、一旦クラックが
発生した場合に、複合素材によるクラックの進展阻止が
不十分となり、複合材料の破壊が瞬時に進行する場合が
あった。

【０００６】そこで特に繊維複合材料においては、繊維
の表面に、炭素（Ｃ），窒化ほう素（ＢＮ），炭化けい
素系化合物（Ｓｉ−Ｃ−Ｏ）等から成るすべり層を形成
した複合材料も開発されている。このすべり層は、繊維
表面にカーボン（Ｃ）や窒化ほう素（ＢＮ），炭化けい
素系化合物（Ｓｉ−Ｃ−Ｏ）等をコーティングして形成
される。

【０００７】このすべり層を形成することにより、複合
繊維とセラミックスマトリックスとの間の強固な結合強
度が緩和され、材料の破壊抵抗を増大させることができ
る。すなわち複合材料に過大な応力が負荷したり、また
は、マトリックスにクラックが発生して繊維とマトリッ
クスとの間に変位が生じたりした場合においても、上記
すべり層における剥離やすべりが両者の歪差を吸収する
メカニズムが発揮されるため、クラックの進展を偏向さ
せることができ、また繊維の引抜き抵抗が寄与して結果
として破壊抵抗を増大させることができ、靭性値が高い
複合材料が得られる場合もある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら炭素やＢ
Ｎ等によってすべり層を形成した従来の複合材料では、
特に大きな応力が急激に負荷された場合等においては、
上記の変位吸収のメカニズムやクラックの進展を偏向さ
せるメカニズムが十分に作用せず、脆性的な破壊が瞬時
に進行して材料の機能が喪失してしまう問題点があっ
た。

【０００９】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、特に破壊抵抗特性を従来よりさらに
改良した信頼性が高いセラミックス基繊維複合材料を提
供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明者らは、種々の繊維およびセラミックス焼
結体を用いて繊維複合材料を調製し、繊維およびセラミ
ックスマトリックスの形態が、材料の密度，マトリック
スの初期破壊強度，材料の破壊抵抗，歪み量および靭性
に及ぼす影響を比較調査した。その結果、特にカーボン
（Ｃ），窒化ほう素（ＢＮ），けい素（Ｓｉ）などを、
セラミックスマトリックス中に層状または塊状に析出さ
せてマトリックスとの結合力が弱い緩衝層を形成したと
きに、この緩衝層によってクラックの進展が効果的に鈍
化して破壊抵抗が増加し、破壊抵抗特性に優れた繊維複
合材料が初めて得られるという知見を得た。本発明は上
記知見に基づいて完成されたものである。

【００１１】すなわち本発明に係るセラミックス基繊維
複合材料は、セラミックスから成るマトリックス中にセ
ラミックス繊維を配置したセラミックス基繊維複合材料
において、マトリックスを構成するセラミックス粒子相
互の結合強度と比較してマトリックスとの結合強度が小
さい緩衝層をマトリックス内に形成したことを特徴とす
る。また緩衝層は、厚さが０．２〜５μｍの層状物から
構成するとよい。または緩衝層は、最大部分の径が１０
０μｍ以下の塊状物あるいは連続相から構成することも
できる。さらに緩衝層は、カーボン（Ｃ），窒化ほう素
（ＢＮ）およびけい素（Ｓｉ）の少なくとも１種から構
成するとよい。

【００１２】ここで上記セラミックス基繊維複合材料の
マトリックスを構成するセラミックスとしては、種々の
セラミックスを用いることができ、例えば炭化けい素
（ＳｉＣ），窒化アルミニウム（ＡｌＮ），窒化けい素
（Ｓｉ₃Ｎ₄），窒化ほう素（ＢＮ），サイアロン（Ｓ
ｉ−Ａ−Ｏ−Ｎ）等の非酸化物系のセラミックスやアル
ミナ（Ａｌ₂Ｏ₃），ジルコニア（ＺｒＯ₂），チタニ
ア（ＴｉＯ₂），ムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃・２Ｓｉ
Ｏ₂），ベリリア（ＢｅＯ），コージェライト，ジルコ
ン，スピネル（ＭｇＡｌ₂Ｏ₄）などの酸化物系のセラ
ミックス、けい化モリブデン等のけい化物系のセラミッ
クスが１種または２種以上混合して使用さる。また、上
記マトリックスを形成するためのセラミックス原料粉末
には、必要に応じて酸化イットリウム，酸化アルミニウ
ム，酸化セリウム，炭酸マグネシウム，炭酸カルシウム
もしくは珪酸等の焼結助剤や添加剤が添加される。さら
にマトリックスを反応焼結過程で形成することも可能で
ある。

【００１３】またマトリックス中に配置されるセラミッ
クス繊維は複合材料の靭性を高めるために所定量複合化
される。上記セラミックス繊維は、直径１０μｍ前後の
微細なセラミックス長繊維（モノフィラメント）をその
まま使用してもよいが、このモノフィラメントを１００
〜３０００本程度束ねて直径０．１〜１．５mm程度の長
繊維束とした後に、この長繊維束を直径の１〜３０倍の
長さに切断して形成したものを使用することもできる。
さらに上記モノフィラメントまたは繊維束を二次元方向
または三次元方向に織って繊維織物として使用すること
もできる。

【００１４】また上記セラミックス繊維の材質は、特に
限定されるものではなく、マトリックスの構成材料と同
様な組成のセラミックス繊維を用いることができる。こ
のようなセラミックス繊維の具体例としては、炭化けい
素系繊維（ＳｉＣ，Ｓｉ−Ｃ−Ｏ，Ｓｉ−Ｔｉ−Ｃ−Ｏ
等），ＳｉＣ被覆繊維（芯線は例えばＣ），アルミナ繊
維，ジルコニア繊維，炭素繊維，ボロン繊維，窒化けい
素系繊維，Ｓｉ₃Ｎ₄被覆繊維（芯線は例えばＣ）およ
びムライト（３Ａｌ₂Ｏ₃・２ＳｉＯ₂〜２Ａｌ₂Ｏ₃
・ＳｉＯ₂）繊維等があり、これらから選択された少な
くとも一種を使用するとよい。

【００１５】上記セラミックス繊維は、複合材料全体に
対して繊維体積率（Ｖｆ）で２％以上の割合となるよう
にマトリックス中に分散配置される。しかしながら繊維
体積率が５５％を超える過量となると、各セラミックス
繊維周囲にマトリックスを均一に配置することが困難に
なり、空隙など欠陥の発生に伴い複合材料の強度特性が
急激に低下してしまう。したがって繊維複合効果が有効
に現れる好ましい添加量は２０〜４０体積％の範囲であ
る。

【００１６】繊維の径および長さは、マトリックス中に
おける繊維の分散性および配向性さらには複合材料の強
度特性およびマクロの破壊特性に大きく影響を及ぼすも
のであり、本発明では直径が３〜１５０μｍ、長さが
０．１mm以上の短繊維または連続繊維を使用する。繊維
の長さが０．１mm未満の場合あるいは繊維の直径が３μ
ｍ未満の場合には、繊維による靭性向上効果が少ない一
方、繊維の直径が１５０μｍを超える太い繊維では、目
的とする微視的なレンジでのクラック進展に対する阻止
効果が期待できず、かつ繊維の高い剛性により形状付与
がしにくくなる。

【００１７】すなわち、直径が３〜１５０μｍで、かつ
長さが０．１mm以上の繊維を用いることによって、良好
な形状付与性能を維持しつつ、繊維による靭性改良効果
を充分に確保することが可能となる。但し、このような
繊維の体積率が２％未満であると、繊維による靭性改良
効果が低下するため、繊維の体積率は２％以上とするこ
とが好ましい。

【００１８】またマトリックス内に形成される緩衝層
は、マトリックスにおいて発生したクラックの進展を鈍
化せしめるために形成される。上記緩衝層は、カーボン
（Ｃ），窒化ほう素（ＢＮ），けい素（Ｓｉ）の少なく
とも１種をマトリックス中に層状（フィルム状）または
塊状にあるいは連続相として析出させて形成する。緩衝
層を層状物として形成する場合の厚さは０．２〜５μｍ
の範囲に設定される一方、塊状物あるいは連続相として
形成する場合における塊状物等の最大部分の径は１００
μｍ以下に設定される。

【００１９】上記層状の緩衝層の厚さが０．２μｍ未満
の場合は、クラックの進展を鈍化させる効果が少ない一
方、厚さが５μｍを超えるように過大となると、緩衝層
における剥離が生じ易くなり、複合材料の強度および耐
久性が低下してしまう。また塊状に形成した緩衝層の塊
状物あるいは連続相の最大部分の径が１００μｍを超え
ると、同様に複合材料の強度が低下してしまう。したが
って緩衝層の層状物の厚さおよび塊状物あるいは連続相
の最大部分の径は上記範囲に設定される。

【００２０】上記のような層状または塊状あるいは連続
相の緩衝層をマトリックス内にＳｉで形成すると、高温
で複合材料を使用する場合に緩衝層が軟化する。そして
マトリックスと緩衝層との結合強度は、マトリックスを
構成するセラミックス粒子相互の結合強度より小さくな
り、界面に弱い結合部が形成される。この状態でマトリ
ックスに初期破壊が発生しても、クラックの先端部が緩
衝層に達した段階で、クラックの進展方向が上記弱い結
合部方向に偏向されると同時にクラックによって生じた
マトリックスの歪が緩衝層によって吸収されるため、以
後のクラックの進展が効果的に阻止される結果、破壊進
展抵抗が大きい高靭性の複合材料が得られる。

【００２１】また上記繊維とマトリックスとの界面に
は、初期破壊後の繊維の引抜けを有効に発現させるた
め、および両者の反応を防止し界面におけるすべり抵抗
を適正値にする目的でセラミックス繊維表面に厚さ５μ
ｍ以下の界面層を形成するとよい。この界面層は繊維表
面にカーボン（Ｃ）や窒化ほう素（ＢＮ）をコーティン
グして形成される。

【００２２】上記界面層によりセラミックス繊維と、マ
トリックスとの間の強固な結合強度が緩和され、応力負
荷時に界面での剥離が生じ、靭性向上に不可欠の繊維の
引抜けが生じ、靭性値が高い複合材料が得られる。

【００２３】また複合材料の全表面にマトリックスのみ
から成る厚さ５００μｍ以下のマトリックス層を形成
し、繊維とマトリックスとの界面部が複合材料表面に露
出しないように構成することにより、繊維の露出による
熱劣化，酸化劣化および強度低下を防止することができ
る。さらに繊維表面に形成した界面層を構成するＣやＢ
Ｎ成分の酸化によるすべり機能の低下が防止でき、複合
材料の高温強度の低下を効果的に防止することができ
る。上記マトリックス層を厚さ５００μｍ以下に形成す
ることにより、上記強度低下防止機能を十分に発現でき
る。

【００２４】上記マトリックス中に複数の繊維層を積層
配置した平板状のセラミックス基繊維複合材料は、例え
ば以下のように製造される。すなわちセラミックス繊維
の束（ヤーン）を織って形成した各繊維織布層の上下
に、焼結助剤や添加剤を配合したセラミックス原料粉末
およびカーボン，窒化ほう素，けい素の少なくとも１種
の粉末を所定割合にて積層配置した上で成形し、得られ
た成形体を非酸化性雰囲気中でホットプレス法，常圧焼
結法または反応焼結法によって焼結して製造される。

【００２５】一方、平板状ではなく、例えばタービン動
翼などの複雑な形状を有するセラミックス基繊維複合材
料は、例えば以下のような方法で製造される。すなわ
ち、繊維を編んで所定の部品形状に近似した予備成形体
（プリフォーム）を形成し、この予備成形体中にＣ，Ｂ
Ｎ，Ｓｉの少なくとも１種を含有したセラミックススラ
リーを含浸せしめて成形体とし、得られた成形体を乾燥
し脱脂した後に、得られた成形体を非酸化性雰囲気中で
ホットプレス法または常圧焼結法によって焼結して製造
される。

【００２６】

【作用】上記構成に係るセラミックス基繊維複合材料に
よれば、層状または塊状あるいは連続相の緩衝層をマト
リックス内に形成することにより、複合材料の使用温度
においてマトリックスと緩衝層との結合強度は、マトリ
ックスを構成するセラミックス粒子相互の結合強度より
小さくなり、界面に弱い結合部が形成される。この状態
でマトリックスに初期破壊が発生しても、クラックの先
端部が緩衝層に達した段階で、クラックの進展方向が上
記弱い結合部方向に偏向されると同時にクラックによっ
て生じたマトリックスの歪が緩衝層によって吸収される
ため、以後のクラックの進展が効果的に阻止される結
果、繊維を複合したことによる靭性向上分に加えて破壊
進展抵抗がさらに大きい高靭性の複合材料が得られる。

【００２７】

【実施例】以下本発明の実施例について添付図面を参照
して説明する。

【００２８】実施例１〜３厚さ０．０３μｍのカーボンを被覆した直径１５μｍの
Ｃ被覆ＳｉＣ連続繊維を５００本束ねて直径約５００μ
ｍの長繊維束（ヤーン）を形成し、この長繊維束を二次
元方向に織って平織りクロス状の繊維織物を多数調製し
た。一方、平均粒径０．８μｍのＳｉ₃Ｎ₄粉末に、焼
結助剤として５重量％のＹ₂Ｏ₃粉末と２重量％のＡｌ
₂Ｏ₃粉末とを配合して均一なマトリックス用混合体を
調製した。そして上記繊維織物とマトリックス用混合体
とを成形型内に交互に充填積層するとともに各マトリッ
クス用混合体の厚さ方向の中間部に平均粒径０．２μｍ
のＢＮ粉末を部分的に配置して実施例１〜３用の成形体
を形成した。なお各繊維織物とマトリックス用混合体と
の配合比は、表１に示すように複合材料中に含有される
各繊維織物の繊維体積率Ｖｆが２０〜４０vol%の範囲で
変化するように設定した。

【００２９】次に、得られた各成形体を自然乾燥後、温
度８００℃で１時間脱脂し、得られた脱脂成形体をカー
ボンモールド中に充填し、さらにＮ₂ガス雰囲気下で温
度１５５０℃で０．５時間加熱すると同時に圧力４０Ｍ
Ｐａで加圧しながらホットプレス焼結することにより、
縦５０mm×横５０mm×厚さ５mmの平板状の実施例１〜３
に係るセラミックス基繊維複合材料をそれぞれ製造し
た。

【００３０】図１に示すように、各実施例１〜３に係る
セラミックス基繊維複合材料１は、複数のセラミックス
繊維層（ＳｉＣ繊維織物）２をセラミックスマトリック
ス（Ｓｉ₃Ｎ₄マトリックス）３中に積層配置した構造
を有する。また各セラミックスマトリックス３の厚さ方
向の中間部には部分的に層状に析出したＢＮから成る緩
衝層４が形成されている。

【００３１】実施例４〜６実施例１〜３においてＢＮ粉末を層状に配置せずに、Ｂ
Ｎ粉末を１０重量％の配合比率でマトリックス用混合体
中に予め均一に配合した点を除き、以下実施例１〜３と
同様に成形焼結処理して、それぞれ実施例１〜３と同一
の繊維体積率Ｖｆを有する実施例４〜６に係るセラミッ
クス基繊維複合材料をそれぞれ調製した。

【００３２】各実施例４〜６に係るセラミックス基繊維
複合材料は、図２に示すように、複数のセラミックス繊
維層（ＳｉＣ繊維織物）２ａをセラミックスマトリック
ス（Ｓｉ₃Ｎ₄マトリックス）３ａ中に積層配置した構
造を有する。また各セラミックスマトリックス３ａの中
間部には塊状に析出したＢＮから成る緩衝層４ａが形成
されている。

【００３３】実施例７〜９実施例１〜３において調製した繊維織物を複数枚積層し
て予備成形体（繊維積層プリフォーム）を調製した。一
方、骨材としてのＳｉＣ粉末（粒径３２μｍ以下）と炭
素源としてのカーボンブラックとを溶媒に分散せしめて
低粘度のマトリックス用スラリーを調製した。

【００３４】次に圧力鋳込み成形法を使用して、上記予
備成形体中にマトリックス用スラリーを加圧含浸充填し
た。成形圧力は５ＭＰａ，成形時間は１０分とした。な
おマトリックス用スラリーの含浸量は、表１に示すよう
に、複合材料中の繊維体積率Ｖｆが２０〜４０体積％と
なるように設定した。さらにマトリックス用スラリーを
含浸した予備成形体を自然乾燥した後に、Ｎ₂ガス雰囲
気中で温度６００℃で２時間脱脂することにより、スラ
リーに成形助剤として添加した有機成分を除去した。次
に得られた脱脂成形体に対して溶融したＳｉを真空中で
含浸させながら温度１４２０℃で２時間加熱して反応焼
結を実施し、成形体内部にＳｉＣから成る反応焼結Ｓｉ
Ｃマトリックスを形成すると同時に、マトリックス中に
過剰のＳｉを連続相状に析出せしめて緩衝層を形成し、
実施例７〜９に係るセラミックス基繊維複合材料をそれ
ぞれ調製した。

【００３５】実施例１０〜１２実施例１〜３において使用したＣ被覆ＳｉＣ連続繊維織
物に代えて、厚さ０．３μｍのＢＮを被覆した直径８５
μｍで長さが３００μｍのＳｉＣ系短繊維（モノフィラ
メント）を使用した点，および実施例１〜３において使
用したＳｉ₃Ｎ₄粉末を主体とするマトリックス用混合
体に代えて、平均粒径０．３μｍのＳｉＣ粉末に１０重
量％のカーボンブラックと２重量％のＢ₄Ｃ粉末とを配
合したマトリックス用混合体を使用した点，および常圧
焼結法にて焼成した点以外は実施例１〜３と同様に成形
焼成することにより、平板状に析出したカーボン（最大
径８μｍ，厚さ０．７μｍ）から成る緩衝層を有する実
施例１０〜１２に係るセラミックス基繊維複合材料をそ
れぞれ製造した。

【００３６】比較例１ＢＮ粉末を全く添加しない点以外は実施例２，５と同様
に成形焼結処理して比較例１に係るセラミックス基繊維
複合材料を製造した。

【００３７】比較例２過剰のＳｉを含浸させず、連続相状のＳｉから成る緩衝
層を形成しない点以外は、実施例８と同様に処理して比
較例２に係るセラミックス基繊維複合材料を製造した。

【００３８】比較例３実施例１１においてカーボンブラックを過剰に添加しな
いマトリックス用混合体を使用した点以外は、実施例１
１と同様に成形焼結して比較例３に係るセラミックス基
繊維複合材料を製造した。

【００３９】こうして調製した実施例および比較例に係
る各セラミックス基繊維複合材料の特性を評価するた
め、各複合材料から試験片を切り出し、各試験片につい
て、密度を測定した後に温度１２００℃で３点曲げ強度
試験を実施して初期破壊応力および破壊エネルギーを測
定し、下記表１に示す結果を得た。なお破壊エネルギー
は１２００℃で試験片を３点曲げ強度試験に供して得ら
れた応力−歪曲線から算出し、比較例１の場合を基準値
１として相対的に表示した。

【００４０】

【表１】

【００４１】上記表１に示す結果から明らかなように、
ＢＮ，Ｃ，Ｓｉをマトリックス中に層状または塊状ある
いは連続相として部分的に析出させて緩衝層を形成した
各実施例の複合材料は、いずれも密度が高く緻密な組織
構造を有し、初期破壊応力も高く、さらにカタストロフ
ィックな破壊を起こすことがなく、優れた破壊抵抗特性
を示した。すなわち、マトリックス中を進展してきたク
ラックの先端が、緩衝層に到達した以降においては、ク
ラックの進展が阻止される効果が発現されるため、複合
材料全体の破壊抵抗が増大したものと考えられる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明の通り本発明に係るセラミック
ス基繊維複合材料によれば、層状または塊状あるいは連
続相として緩衝層をマトリックス中に形成することによ
り、複合材料の使用温度においてマトリックスと緩衝層
との結合強度は、マトリックスを構成するセラミックス
粒子相互の結合強度より小さくなり、界面に弱い結合部
が形成される。この状態でマトリックスに初期破壊が発
生しても、クラックの先端部が緩衝層に達した段階で、
クラックの進展方向が上記弱い結合部方向に偏向される
と同時にクラックによって生じたマトリックスの歪が緩
衝層によって吸収されるため、以後のクラックの進展が
効果的に阻止される結果、破壊進展抵抗が大きい高靭性
の複合材料が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るセラミックス基繊維複
合材料の構造を示す部分断面図。

【図２】本発明の他の実施例に係るセラミックス基繊維
複合材料の構造を示す部分断面図。

【符号の説明】

１，１ａセラミックス基繊維複合材料２，２ａＳｉＣ繊維織物（セラミックス繊維織物）３，３ａセラミックスマトリックス（Ｓｉ₃Ｎ₄，Ｓ
ｉＣ）４，４ａ緩衝層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミックスから成るマトリックス中に
セラミックス繊維を配置したセラミックス基繊維複合材
料において、マトリックスを構成するセラミックス粒子
相互の結合強度と比較してマトリックスとの結合強度が
小さい緩衝層をマトリックス内に形成したことを特徴と
するセラミックス基繊維複合材料。
【請求項２】緩衝層は、厚さが０．２〜５μｍの層状
物から成ることを特徴とする請求項１記載のセラミック
ス基繊維複合材料。
【請求項３】緩衝層は、最大部分で径が１００μｍ以
下の塊状物あるいは連続相から成ることを特徴とする請
求項１記載のセラミックス基繊維複合材料。
【請求項４】緩衝層が、カーボン（Ｃ），窒化ほう素
（ＢＮ）およびけい素（Ｓｉ）の少なくとも１種から成
ることを特徴とする請求項２または３記載のセラミック
ス基繊維複合材料。