JPH08138551A - カラー陰極線管の光吸収層の形成方法 - Google Patents
カラー陰極線管の光吸収層の形成方法Info
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- JPH08138551A JPH08138551A JP29374394A JP29374394A JPH08138551A JP H08138551 A JPH08138551 A JP H08138551A JP 29374394 A JP29374394 A JP 29374394A JP 29374394 A JP29374394 A JP 29374394A JP H08138551 A JPH08138551 A JP H08138551A
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- coating film
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラー陰極線管のパネル内面上に形成されて
いるブラックストライプ（光吸収層）形成用感光性塗膜
に対して色選別手段であるマスクを介して露光用光線を
照射することにより露光処理するカラー陰極線管のブラ
ックストライプの形成方法において、蛍光面に白黒むら
が生じないようにブラックストライプ形成用の感光性塗
膜に対する露光をする。 【構成】 ブラックストライプ形成用感光性塗膜上にお
ける光強度分布をＩ（ｘ）[ Ｉは光強度、ｘは水平走査
方向における位置] 、開口の配置ピッチをＰ[ｍｍ] と
したとき、コントラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂
Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−４．
８１］×１０-3以上という条件で露光を行う。
いるブラックストライプ（光吸収層）形成用感光性塗膜
に対して色選別手段であるマスクを介して露光用光線を
照射することにより露光処理するカラー陰極線管のブラ
ックストライプの形成方法において、蛍光面に白黒むら
が生じないようにブラックストライプ形成用の感光性塗
膜に対する露光をする。 【構成】 ブラックストライプ形成用感光性塗膜上にお
ける光強度分布をＩ（ｘ）[ Ｉは光強度、ｘは水平走査
方向における位置] 、開口の配置ピッチをＰ[ｍｍ] と
したとき、コントラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂
Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−４．
８１］×１０-3以上という条件で露光を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー陰極線管の光吸
収層の形成方法に関する。
収層の形成方法に関する。
【０００２】
【背景技術】通常、カラー陰極線管のパネル内面の蛍光
面、例えば赤、緑、青の各蛍光体ストライプ間に光吸収
層であるブラックストライプを形成したストライプ型の
カラー蛍光面は図７（Ａ）、（Ｂ）に示すように形成さ
れる。先ず、図７（Ａ）に示すように、パネル１１内面
に感光性塗膜１２を塗布形成し、例えば、アパーチャグ
リル（スリット状のビーム透過孔が所定ピッチで多数配
列された色選択電極）１３を露光用マスクとして用いて
紫外線により露光する。
面、例えば赤、緑、青の各蛍光体ストライプ間に光吸収
層であるブラックストライプを形成したストライプ型の
カラー蛍光面は図７（Ａ）、（Ｂ）に示すように形成さ
れる。先ず、図７（Ａ）に示すように、パネル１１内面
に感光性塗膜１２を塗布形成し、例えば、アパーチャグ
リル（スリット状のビーム透過孔が所定ピッチで多数配
列された色選択電極）１３を露光用マスクとして用いて
紫外線により露光する。
【０００３】１４はアパーチャーグリル１３の開口であ
り、Ｉ（ｘ）は感光性塗膜１２上における光強度分布で
ある。即ち、入射した紫外線はアパーチャーグリル１３
の開口１４を通りそして回折をおこし、例えば図７
（Ａ）のような光強度分布Ｉ（ｘ）をつくるのである。
Ｉｔは感光性塗膜１２の不溶化レベルで、現像したとき
パネル１１上に塗膜１２が残存するために最小限必要な
エネルギー（露光量）である。１２ｔは感光性塗膜１２
の受けた光によるエネルギーが不溶化レベルを越えると
ころである。
り、Ｉ（ｘ）は感光性塗膜１２上における光強度分布で
ある。即ち、入射した紫外線はアパーチャーグリル１３
の開口１４を通りそして回折をおこし、例えば図７
（Ａ）のような光強度分布Ｉ（ｘ）をつくるのである。
Ｉｔは感光性塗膜１２の不溶化レベルで、現像したとき
パネル１１上に塗膜１２が残存するために最小限必要な
エネルギー（露光量）である。１２ｔは感光性塗膜１２
の受けた光によるエネルギーが不溶化レベルを越えると
ころである。
【０００４】露光処理が終わると、所定の現像液により
感光性塗膜１２に対して現像処理を施す。すると、感光
性塗膜１２の受けた光エネルギーが不溶化レベルＩｔを
越えないところが現像液により洗い流されてしまう。即
ち、不溶化レベルＩｔを越えたところだけが感光性塗膜
１２として残存し、謂わば、感光性塗膜１２が選択的に
形成された状態になる。次に、図７（Ｂ）に示すよう
に、感光性塗膜１２が選択的に形成されているパネル１
１内面にカーボンからなるブラックストライプ形成用の
膜１５を全面的に形成する。
感光性塗膜１２に対して現像処理を施す。すると、感光
性塗膜１２の受けた光エネルギーが不溶化レベルＩｔを
越えないところが現像液により洗い流されてしまう。即
ち、不溶化レベルＩｔを越えたところだけが感光性塗膜
１２として残存し、謂わば、感光性塗膜１２が選択的に
形成された状態になる。次に、図７（Ｂ）に示すよう
に、感光性塗膜１２が選択的に形成されているパネル１
１内面にカーボンからなるブラックストライプ形成用の
膜１５を全面的に形成する。
【０００５】その後、そのブラックストライプ形成用の
膜１５下に残存している先の現像によっては洗い流すこ
とのできなかった感光性塗膜１２を溶解させることので
きる反転現像液により再度現像することによりその感光
性塗膜１２をその上に存在しているカーボンからなるブ
ラックストライプ形成用の膜１５ａもろとも除去する。
すると、カーボンからなるブラックストライプ膜１５が
形成されるのである。尚、ブラックストライプはカーボ
ンからなるので、カーボンストライプと称されることも
ある。
膜１５下に残存している先の現像によっては洗い流すこ
とのできなかった感光性塗膜１２を溶解させることので
きる反転現像液により再度現像することによりその感光
性塗膜１２をその上に存在しているカーボンからなるブ
ラックストライプ形成用の膜１５ａもろとも除去する。
すると、カーボンからなるブラックストライプ膜１５が
形成されるのである。尚、ブラックストライプはカーボ
ンからなるので、カーボンストライプと称されることも
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
露光方法には、アパーチャーグリルのスリットを通過し
た露光光線のレジスト膜上における水平方向（水平走査
方向）の光強度分布Ｉ（ｘ）［Ｉは光強度、ｘは水平方
向における位置］パターンの不溶化ラインＩｔをよぎる
部分における傾きが小さく、その結果、ブラックストラ
イプのパターンがきれいな直線にならず、白黒むらが生
じるという問題があった。図８はそのような問題点を示
す露光光線の水平方向における光強度分布Ｉ（ｘ）の曲
線図である。この問題についてより詳細に説明すると次
の通りである。
露光方法には、アパーチャーグリルのスリットを通過し
た露光光線のレジスト膜上における水平方向（水平走査
方向）の光強度分布Ｉ（ｘ）［Ｉは光強度、ｘは水平方
向における位置］パターンの不溶化ラインＩｔをよぎる
部分における傾きが小さく、その結果、ブラックストラ
イプのパターンがきれいな直線にならず、白黒むらが生
じるという問題があった。図８はそのような問題点を示
す露光光線の水平方向における光強度分布Ｉ（ｘ）の曲
線図である。この問題についてより詳細に説明すると次
の通りである。
【０００７】図８（Ａ）において例えば実線で示すよう
な光強度分布曲線を有し、光強度Ｉｔがレジストの不溶
化ライン（レジスト膜が感光するか否かの境界となるラ
イン）であるとすると、光強度分布曲線のその不溶化ラ
インＩｔをよぎる部分における傾きの絶対値が小さく、
露光量（露光エネルギー）の僅かな不均一、レジストの
感光性の僅かな不均一により、そのレジスト膜の露光、
現像により形成されるブラックストライプのガードパタ
ーンがシャープな直線にならず、がたがたした例えば波
型形状になってしまう。そして、ブラックストライプの
ガードパターンががたがたすると白黒むらが生じ、画質
向上の妨げになるので問題となるのである。マクロ的に
視るとブラックストライプがむら状に見えてしまうので
ある。
な光強度分布曲線を有し、光強度Ｉｔがレジストの不溶
化ライン（レジスト膜が感光するか否かの境界となるラ
イン）であるとすると、光強度分布曲線のその不溶化ラ
インＩｔをよぎる部分における傾きの絶対値が小さく、
露光量（露光エネルギー）の僅かな不均一、レジストの
感光性の僅かな不均一により、そのレジスト膜の露光、
現像により形成されるブラックストライプのガードパタ
ーンがシャープな直線にならず、がたがたした例えば波
型形状になってしまう。そして、ブラックストライプの
ガードパターンががたがたすると白黒むらが生じ、画質
向上の妨げになるので問題となるのである。マクロ的に
視るとブラックストライプがむら状に見えてしまうので
ある。
【０００８】ところで、その露光用光線のマスク開口を
通った光の強度分布Ｉ（ｘ）の不溶化ラインＩｔをよぎ
るところにおける傾きが、ガードパターンのがたがたを
生じにくくする度合いとなり、それは、｜［１／Ｉ
（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoで表すことがで
きる。ここで、そのように表すことができる理由につい
て説明する。元来、光強度分布Ｉ（ｘ）は、パネル内面
上の局所座標ｘ以外に、光源となる超高圧水銀灯（波
長：０．３６５μｍや０．４３２μｍ等）のランプ内
径、ランプの光強度、ランプの持つ光強度分布、使用さ
れる露光台の寸法、使用されるランディング補正レンズ
系によるパネルへの紫外線の入射角、マスクの開口幅、
マスクとパネルとの相対距離、即ち、Ｇハイト（ＧＨ）
等に依存して決まることから、光強度分布Ｉ（ｘ）を局
所座標ｘでのみ微分し、他の全てのパラメータを固定す
ることとしたので∂Ｉ（ｘ）／∂ｘという偏微分式が得
られた。そして、この偏微分式により一般性を持たせる
ために、この式に１／Ｉ（ｘ）を乗じて光強度Ｉに対し
て正規化を図ると［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂
ｘ］という式が得られるのである。
通った光の強度分布Ｉ（ｘ）の不溶化ラインＩｔをよぎ
るところにおける傾きが、ガードパターンのがたがたを
生じにくくする度合いとなり、それは、｜［１／Ｉ
（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoで表すことがで
きる。ここで、そのように表すことができる理由につい
て説明する。元来、光強度分布Ｉ（ｘ）は、パネル内面
上の局所座標ｘ以外に、光源となる超高圧水銀灯（波
長：０．３６５μｍや０．４３２μｍ等）のランプ内
径、ランプの光強度、ランプの持つ光強度分布、使用さ
れる露光台の寸法、使用されるランディング補正レンズ
系によるパネルへの紫外線の入射角、マスクの開口幅、
マスクとパネルとの相対距離、即ち、Ｇハイト（ＧＨ）
等に依存して決まることから、光強度分布Ｉ（ｘ）を局
所座標ｘでのみ微分し、他の全てのパラメータを固定す
ることとしたので∂Ｉ（ｘ）／∂ｘという偏微分式が得
られた。そして、この偏微分式により一般性を持たせる
ために、この式に１／Ｉ（ｘ）を乗じて光強度Ｉに対し
て正規化を図ると［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂
ｘ］という式が得られるのである。
【０００９】更に、光強度分布Ｉ（ｘ）は中心軸（Ｙ
軸）に対して左側の部分では右上がりになり、傾きが正
の値になるのに対して、右側の部分では右下がりにな
り、傾きが負の値になる不都合があることからその式の
絶対値を求めることとしたのであり、その結果、上記式
｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜が得られ
たのである。さらに、不溶化ラインＩｔとＩ（ｘ）の交
点座標は±ｘｏであり、従って、具体的な数値としては
｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoによ
り得られる。そして、これを本明細書においてコントラ
スト係数と称することとする。言わずもがななことであ
るが、この値が大きいほど上述したブラックストライプ
のガードパターンのがたがたが生じにくくなるのであ
り、従って、このガードパターンのがたがたを生じにく
くするためにはコントラスト係数の値を大きくすること
が好ましいのである。
軸）に対して左側の部分では右上がりになり、傾きが正
の値になるのに対して、右側の部分では右下がりにな
り、傾きが負の値になる不都合があることからその式の
絶対値を求めることとしたのであり、その結果、上記式
｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜が得られ
たのである。さらに、不溶化ラインＩｔとＩ（ｘ）の交
点座標は±ｘｏであり、従って、具体的な数値としては
｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoによ
り得られる。そして、これを本明細書においてコントラ
スト係数と称することとする。言わずもがななことであ
るが、この値が大きいほど上述したブラックストライプ
のガードパターンのがたがたが生じにくくなるのであ
り、従って、このガードパターンのがたがたを生じにく
くするためにはコントラスト係数の値を大きくすること
が好ましいのである。
【００１０】ところで、コントラスト係数｜［１／Ｉ
（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x= xoは、アパーチャ
ーグリルのピッチが大きくなる程、アパーチャーグリル
の透過率が大きくなる程、白面積率が大きくなる程、ア
パーチャーグリルへのビーム入射角が小さくなる程、従
って見かけ上のスリット幅が大きくなる程、グリルハイ
トＧＨが小さくなる程、大きくなる。かかることから次
のことが言える。グリルハイトＧＨを小さくするとコン
トラスト係数を大きくできるが、しかし、これは電子銃
（ガン）とアパーチャーグリル等との関係で自ずと決定
され、コントラスト係数をよくするために徒らに小さく
することは許されない。また、一般的にアパーチャーグ
リルのスリットへの入射角が大となる左右両端部は、見
かけ上のスリット幅が小さくなる関係上センター部より
コントラスト係数が小さくなるので、図９に示すよう
に、画面のコーナー部において黒っぽくもやもやしたむ
ら状の部分ができる。
（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x= xoは、アパーチャ
ーグリルのピッチが大きくなる程、アパーチャーグリル
の透過率が大きくなる程、白面積率が大きくなる程、ア
パーチャーグリルへのビーム入射角が小さくなる程、従
って見かけ上のスリット幅が大きくなる程、グリルハイ
トＧＨが小さくなる程、大きくなる。かかることから次
のことが言える。グリルハイトＧＨを小さくするとコン
トラスト係数を大きくできるが、しかし、これは電子銃
（ガン）とアパーチャーグリル等との関係で自ずと決定
され、コントラスト係数をよくするために徒らに小さく
することは許されない。また、一般的にアパーチャーグ
リルのスリットへの入射角が大となる左右両端部は、見
かけ上のスリット幅が小さくなる関係上センター部より
コントラスト係数が小さくなるので、図９に示すよう
に、画面のコーナー部において黒っぽくもやもやしたむ
ら状の部分ができる。
【００１１】尚、従来においては白黒むらをなくす為の
技術開発は行われ、その成果の一部が例えば特公平４−
５１９２８号公報により紹介されている。しかし、その
技術の開発時と現在とではカラー陰極線管に要求される
画質のレベルが相当に異なり、現在の方が要求される画
質のレベルが相当に高く、その公報により提案された技
術ではその要求に応えることが難しい。
技術開発は行われ、その成果の一部が例えば特公平４−
５１９２８号公報により紹介されている。しかし、その
技術の開発時と現在とではカラー陰極線管に要求される
画質のレベルが相当に異なり、現在の方が要求される画
質のレベルが相当に高く、その公報により提案された技
術ではその要求に応えることが難しい。
【００１２】本発明はそのような問題点を解決すべくな
されたもので、蛍光面に白黒むらが生じないように光吸
収層形成用の感光性塗膜に対する露光をすることを目的
とする。
されたもので、蛍光面に白黒むらが生じないように光吸
収層形成用の感光性塗膜に対する露光をすることを目的
とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１のカラー陰極線
管の光吸収層の形成方法は、コントラスト係数｜［１／
Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが［（８．６
０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3以上であるという条件
で露光をすることを特徴とする。
管の光吸収層の形成方法は、コントラスト係数｜［１／
Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが［（８．６
０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3以上であるという条件
で露光をすることを特徴とする。
【００１４】
【作用】請求項１のカラー陰極線管の光吸収層の形成方
法によれば、コントラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・
［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−
４．８１］×１０-3以上なので、白黒ムラをより完全に
なくすことができる。というのは、５種類のピッチＰ
（マスクの開口のピッチ）のアパーチャーグリルについ
てブラックストライプ形成のための露光に関する実験を
行い、白黒むらの発生状況と、コントラスト係数の関係
を調べて得たところ、ピッチＰが０．２５ｍｍの場合の
限界コントラスト係数（これ以下だと白黒ムラが発生す
るコントラスト係数の値）が０．０３、ピッチＰが０．
３ｍｍの場合の限界コントラスト係数が０．０２４、ピ
ッチＰが０．６ｍｍの場合の限界コントラスト係数が
０．０１０５、ピッチＰが０．７３ｍｍの場合の限界コ
ントラスト係数が０．００６、ピッチＰが０．９ｍｍの
場合の限界コントラスト係数が０．００３６となるとい
う結果が得られ、その結果に基づいて、その限界コント
ラスト係数とピッチとの関係を求めたところ、限界コン
トラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂
ｘ］｜x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０
-3で表されたからである。ちなみに、マスクピッチと、
限界コントラスト係数との関係を示すと図５に示すよう
になる。
法によれば、コントラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・
［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−
４．８１］×１０-3以上なので、白黒ムラをより完全に
なくすことができる。というのは、５種類のピッチＰ
（マスクの開口のピッチ）のアパーチャーグリルについ
てブラックストライプ形成のための露光に関する実験を
行い、白黒むらの発生状況と、コントラスト係数の関係
を調べて得たところ、ピッチＰが０．２５ｍｍの場合の
限界コントラスト係数（これ以下だと白黒ムラが発生す
るコントラスト係数の値）が０．０３、ピッチＰが０．
３ｍｍの場合の限界コントラスト係数が０．０２４、ピ
ッチＰが０．６ｍｍの場合の限界コントラスト係数が
０．０１０５、ピッチＰが０．７３ｍｍの場合の限界コ
ントラスト係数が０．００６、ピッチＰが０．９ｍｍの
場合の限界コントラスト係数が０．００３６となるとい
う結果が得られ、その結果に基づいて、その限界コント
ラスト係数とピッチとの関係を求めたところ、限界コン
トラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂
ｘ］｜x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０
-3で表されたからである。ちなみに、マスクピッチと、
限界コントラスト係数との関係を示すと図５に示すよう
になる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明カラー陰極線管の光吸収層形成
用感光剤塗膜の露光方法を図示実施例に従って詳細に説
明する。図１（Ａ）、（Ｂ）は本発明をトリニトロン型
カラー陰極線管の光吸収層であるブラックストライプの
形成に適用した一つの実施例を示すものである。先ず、
図１（Ａ）に示すように、パネル１１内面に感光性塗膜
１２を塗布形成し、例えば、アパーチャグリル（スリッ
ト状のビーム透過孔が所定ピッチで多数配列された色選
択電極）１３を露光用マスクとして用いて紫外線により
露光する。
用感光剤塗膜の露光方法を図示実施例に従って詳細に説
明する。図１（Ａ）、（Ｂ）は本発明をトリニトロン型
カラー陰極線管の光吸収層であるブラックストライプの
形成に適用した一つの実施例を示すものである。先ず、
図１（Ａ）に示すように、パネル１１内面に感光性塗膜
１２を塗布形成し、例えば、アパーチャグリル（スリッ
ト状のビーム透過孔が所定ピッチで多数配列された色選
択電極）１３を露光用マスクとして用いて紫外線により
露光する。
【００１６】１４はアパーチャーグリル１３の開口であ
り、Ｉ（ｘ）は感光性塗膜１２上における光強度分布で
ある。即ち、入射した紫外線はアパーチャーグリル１３
の開口１４を通りそして回折をおこし、例えば図１
（Ａ）のような光強度分布Ｉ（ｘ）をつくるのである。
Ｉｔは感光性塗膜１２の不溶化レベルで、現像したとき
マスクとして残存するために最小限必要なエネルギー
（露光量）である。１２ｔは感光性塗膜１２の受けた光
によるエネルギーが不溶化レベルＩｔを越えるところで
ある。
り、Ｉ（ｘ）は感光性塗膜１２上における光強度分布で
ある。即ち、入射した紫外線はアパーチャーグリル１３
の開口１４を通りそして回折をおこし、例えば図１
（Ａ）のような光強度分布Ｉ（ｘ）をつくるのである。
Ｉｔは感光性塗膜１２の不溶化レベルで、現像したとき
マスクとして残存するために最小限必要なエネルギー
（露光量）である。１２ｔは感光性塗膜１２の受けた光
によるエネルギーが不溶化レベルＩｔを越えるところで
ある。
【００１７】図２は露光時の状態を示す断面図である。
同図において、１６は露光台で、この上にカラー陰極線
管のパネル１１が置かれる。１７は露光用の光源で、超
高圧水銀ランプからなる。図３はその超高圧水銀ランプ
の発光特性を示すもので、横軸が光線の波長[ ｎｍ] 、
縦軸が相対強度である。この図から明らかなように、波
長３３４ｎｍ、３６５ｎｍ、４０５ｎｍ、４３５ｎｍの
ところがピークになるスペクトルを有する。尤も、それ
以外のところにもピークが存在するが、それは次に述べ
るレンズ系（１８）の特性、感光性塗膜１２の吸収特性
との関係から露光にはほとんど寄与しない。１８はレン
ズ系で、光源（超高圧水銀ランプ）１７からの光線はこ
のレンズ系１８を透過し、更に、アパーチャーグリル１
３の開口１４を通過してパネル１１内面の感光性塗膜１
２に達する。
同図において、１６は露光台で、この上にカラー陰極線
管のパネル１１が置かれる。１７は露光用の光源で、超
高圧水銀ランプからなる。図３はその超高圧水銀ランプ
の発光特性を示すもので、横軸が光線の波長[ ｎｍ] 、
縦軸が相対強度である。この図から明らかなように、波
長３３４ｎｍ、３６５ｎｍ、４０５ｎｍ、４３５ｎｍの
ところがピークになるスペクトルを有する。尤も、それ
以外のところにもピークが存在するが、それは次に述べ
るレンズ系（１８）の特性、感光性塗膜１２の吸収特性
との関係から露光にはほとんど寄与しない。１８はレン
ズ系で、光源（超高圧水銀ランプ）１７からの光線はこ
のレンズ系１８を透過し、更に、アパーチャーグリル１
３の開口１４を通過してパネル１１内面の感光性塗膜１
２に達する。
【００１８】図４は感光性塗膜の吸収特性及びレンズ系
の透過特性を示すものであり、横軸は光の波長[ ｎｍ]
、縦軸は透過率[ ％] である。この図から明らかなよ
うに、概ね３２０ｎｍ以下の波長の光線はレンズ系１８
によりカットされる。また、感光性塗膜１２は波長３５
０ｎｍ近傍の光線に対して吸収のピークを持つ。従っ
て、概ね３２０〜４５０ｎｍの帯域の光線が露光に寄与
すると考えられる。
の透過特性を示すものであり、横軸は光の波長[ ｎｍ]
、縦軸は透過率[ ％] である。この図から明らかなよ
うに、概ね３２０ｎｍ以下の波長の光線はレンズ系１８
によりカットされる。また、感光性塗膜１２は波長３５
０ｎｍ近傍の光線に対して吸収のピークを持つ。従っ
て、概ね３２０〜４５０ｎｍの帯域の光線が露光に寄与
すると考えられる。
【００１９】ところで、ここで重要なのは、上記コント
ラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］
｜x=xoが画面のコーナー部においても［（８．６０４／
Ｐ）−４．８１］×１０-3以上になるように露光するこ
とである。というのは、５種類のピッチＰ（マスクの開
口のピッチ）のアパーチャーグリルについてブラックス
トライプ形成のための露光に関する実験を行い、白黒む
らの発生状況と、コントラスト係数の関係を調べて得た
ところ、ピッチＰが０．２５ｍｍの場合の限界コントラ
スト係数（これ以下だと白黒ムラが発生するコントラス
ト係数の値）が０．０３、ピッチＰが０．３ｍｍの場合
の限界コントラスト係数が０．０２４、ピッチＰが０．
６ｍｍの場合の限界コントラスト係数が０．０１０５、
ピッチＰが０．７３ｍｍの場合の限界コントラスト係数
が０．００６、ピッチＰが０．９ｍｍの場合の限界コン
トラスト係数が０．００３６となるという結果が得ら
れ、その結果に基づいて、その限界コントラスト係数と
ピッチとの関係を求めたところ、限界コントラスト係数
｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが
［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3で表された
からである。図５はそのマスクピッチと、限界コントラ
スト係数との関係を示すものである。
ラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］
｜x=xoが画面のコーナー部においても［（８．６０４／
Ｐ）−４．８１］×１０-3以上になるように露光するこ
とである。というのは、５種類のピッチＰ（マスクの開
口のピッチ）のアパーチャーグリルについてブラックス
トライプ形成のための露光に関する実験を行い、白黒む
らの発生状況と、コントラスト係数の関係を調べて得た
ところ、ピッチＰが０．２５ｍｍの場合の限界コントラ
スト係数（これ以下だと白黒ムラが発生するコントラス
ト係数の値）が０．０３、ピッチＰが０．３ｍｍの場合
の限界コントラスト係数が０．０２４、ピッチＰが０．
６ｍｍの場合の限界コントラスト係数が０．０１０５、
ピッチＰが０．７３ｍｍの場合の限界コントラスト係数
が０．００６、ピッチＰが０．９ｍｍの場合の限界コン
トラスト係数が０．００３６となるという結果が得ら
れ、その結果に基づいて、その限界コントラスト係数と
ピッチとの関係を求めたところ、限界コントラスト係数
｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが
［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3で表された
からである。図５はそのマスクピッチと、限界コントラ
スト係数との関係を示すものである。
【００２０】かかる露光処理が終わると、所定の現像液
により感光性塗膜１２に対して現像処理を施す。する
と、感光性塗膜１２の受けた光エネルギーが不溶化レベ
ルを越えないところが現像液により洗い流されてしま
う。即ち、不溶化レベルＩｔを越えたところだけが感光
性塗膜１２として残存し、謂わば、感光性塗膜１２が選
択的に形成された状態になる。次に、図１（Ｂ）に示す
ように、感光性塗膜１２が選択的に形成されているパネ
ル１１内面にカーボンからなるブラックストライプ形成
用の膜１５を全面的に形成する。その後、そのブラック
ストライプ形成用の膜１５下に残存している先の現像に
よっては洗い流すことのできなかった感光性塗膜１２を
溶解させることのできる反転現像液で再度現像すること
によりその感光性塗膜１２をその上に存在しているカー
ボンからなるブラックストライプ形成用の膜１５ａもろ
とも除去する。すると、カーボンからなるブラックスト
ライプ膜１５が形成される。
により感光性塗膜１２に対して現像処理を施す。する
と、感光性塗膜１２の受けた光エネルギーが不溶化レベ
ルを越えないところが現像液により洗い流されてしま
う。即ち、不溶化レベルＩｔを越えたところだけが感光
性塗膜１２として残存し、謂わば、感光性塗膜１２が選
択的に形成された状態になる。次に、図１（Ｂ）に示す
ように、感光性塗膜１２が選択的に形成されているパネ
ル１１内面にカーボンからなるブラックストライプ形成
用の膜１５を全面的に形成する。その後、そのブラック
ストライプ形成用の膜１５下に残存している先の現像に
よっては洗い流すことのできなかった感光性塗膜１２を
溶解させることのできる反転現像液で再度現像すること
によりその感光性塗膜１２をその上に存在しているカー
ボンからなるブラックストライプ形成用の膜１５ａもろ
とも除去する。すると、カーボンからなるブラックスト
ライプ膜１５が形成される。
【００２１】本カラー陰極線管のブラックストライプの
形成方法によれば、ブラックストライプ形成のためのレ
ジスト露光において、前述のように画面のコーナー部に
おけるコントラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ
（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが限界コントラスト係数の
［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3よりも大き
くしたので、図６（Ｂ）に示すように白黒むらができな
いのである。尚、図６（Ａ）、（Ｂ）は本実施例による
効果を説明するためのもので、（Ａ）はマスク開口を通
過した露光用光線の光強度分布曲線図、（Ｂ）はブラッ
クストライプの平面図であり、ブラックストライプのエ
ッジが真っ直ぐになることを示している。
形成方法によれば、ブラックストライプ形成のためのレ
ジスト露光において、前述のように画面のコーナー部に
おけるコントラスト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ
（ｘ）／∂ｘ］｜x=xoが限界コントラスト係数の
［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3よりも大き
くしたので、図６（Ｂ）に示すように白黒むらができな
いのである。尚、図６（Ａ）、（Ｂ）は本実施例による
効果を説明するためのもので、（Ａ）はマスク開口を通
過した露光用光線の光強度分布曲線図、（Ｂ）はブラッ
クストライプの平面図であり、ブラックストライプのエ
ッジが真っ直ぐになることを示している。
【００２２】即ち、光強度分布曲線の不溶化レベルＩｔ
との交点における傾きの絶対値が大きいので、露光量の
僅かな不均一、感光性塗膜１２の感光特性の僅かな不均
一によってブラックストライプのガードパターンががた
がたした波型形状になるということがなくなり、スリッ
ト状の開口通りの形状になる。尚、本発明はアパーチャ
ーグリルの如きスリットマスクを用いたカラー陰極線管
に限らずドットマスクあるいはスロットルマスクを用い
たカラー陰極線管にも適用することができる。即ち、所
望トリニトロン型カラー陰極線管の光吸収層であるブラ
ックストライプの形成のみならず、ドットマスク型ある
いはスロットルマスク型のカラー陰極線管の光吸収層の
形成にも本発明は適用することができるのである。
との交点における傾きの絶対値が大きいので、露光量の
僅かな不均一、感光性塗膜１２の感光特性の僅かな不均
一によってブラックストライプのガードパターンががた
がたした波型形状になるということがなくなり、スリッ
ト状の開口通りの形状になる。尚、本発明はアパーチャ
ーグリルの如きスリットマスクを用いたカラー陰極線管
に限らずドットマスクあるいはスロットルマスクを用い
たカラー陰極線管にも適用することができる。即ち、所
望トリニトロン型カラー陰極線管の光吸収層であるブラ
ックストライプの形成のみならず、ドットマスク型ある
いはスロットルマスク型のカラー陰極線管の光吸収層の
形成にも本発明は適用することができるのである。
【００２３】
【発明の効果】以上に述べたように、請求項１のカラー
陰極線管の光吸収層の形成方法によれば、コントラスト
係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xo
が［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3以上なの
で、白黒ムラをより完全になくすことができる。
陰極線管の光吸収層の形成方法によれば、コントラスト
係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜x=xo
が［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3以上なの
で、白黒ムラをより完全になくすことができる。
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は本発明カラー陰極線管の光吸
収層の形成方法の一つの実施例を説明するもので、
（Ａ）は露光の説明を、（Ｂ）は現像の説明をする。
収層の形成方法の一つの実施例を説明するもので、
（Ａ）は露光の説明を、（Ｂ）は現像の説明をする。
【図２】上記実施例における露光時の状態を示す断面図
である。
である。
【図３】上記実施例において露光用の光源として用いら
れる超高圧水銀ランプの発光特性図である。
れる超高圧水銀ランプの発光特性図である。
【図４】上記実施例において用いられる感光性塗膜の吸
収特性及び露光台用レンズ系の透過特性を示す図であ
る。
収特性及び露光台用レンズ系の透過特性を示す図であ
る。
【図５】マスクピッチＰ・限界コントラスト係数関係図
である。
である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）は効果を説明するためのもの
で、（Ａ）はマスク開口を通過した露光用光線の光強度
分布曲線図、（Ｂ）は露光等の処理を経て形成されたブ
ラックストライプ（光吸収層）の平面図である。
で、（Ａ）はマスク開口を通過した露光用光線の光強度
分布曲線図、（Ｂ）は露光等の処理を経て形成されたブ
ラックストライプ（光吸収層）の平面図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）は背景技術の理解のためのブラ
ックストライプ（光吸収層）の形成方法の説明図で、
（Ａ）は露光の説明を、（Ｂ）は現像の説明をする。
ックストライプ（光吸収層）の形成方法の説明図で、
（Ａ）は露光の説明を、（Ｂ）は現像の説明をする。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）は発明が解決しようとする問題
点を説明するためのもので、（Ａ）はマスク開口を通過
した露光用光線の光強度分布曲線図、（Ｂ）は露光等の
処理を経て形成されたブラックストライプ（光吸収層）
の平面図である。
点を説明するためのもので、（Ａ）はマスク開口を通過
した露光用光線の光強度分布曲線図、（Ｂ）は露光等の
処理を経て形成されたブラックストライプ（光吸収層）
の平面図である。
【図９】画面の白黒むらのできる部分を示す画面図であ
る。
る。
１１ パネル １２ 感光性塗膜 １３ アパーチャーグリル（マスク） １４ スリット（開口） １５ ブラックストライプ（カーボンストライプ）膜
（光吸収層）
（光吸収層）
Claims (1)
- 【請求項１】 カラー陰極線管のパネル内面上に形成さ
れている光吸収層形成用感光性塗膜に対して色選別手段
であるマスクを介して露光用光線を照射することにより
露光処理するカラー陰極線管の光吸収層の形成方法にお
いて、 上記露光用光線が上記マスクの開口を通過したときの上
記感光性塗膜上での水平方向における光強度分布をＩ
（ｘ）[ Ｉは光強度、ｘは水平走査方向における位置]
、開口の配置ピッチをＰ[ ｍｍ] としたときコントラ
スト係数｜［１／Ｉ（ｘ）］・［∂Ｉ（ｘ）／∂ｘ］｜
x=xoが［（８．６０４／Ｐ）−４．８１］×１０-3以上
という条件で行うことを特徴とするカラー陰極線管の光
吸収層の形成方法
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29374394A JPH08138551A (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | カラー陰極線管の光吸収層の形成方法 |
| CN 95120383 CN1144971A (zh) | 1994-11-01 | 1995-10-31 | 制造彩色阴极射线管的光吸收层的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29374394A JPH08138551A (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | カラー陰極線管の光吸収層の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08138551A true JPH08138551A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17798670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29374394A Abandoned JPH08138551A (ja) | 1994-11-01 | 1994-11-01 | カラー陰極線管の光吸収層の形成方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08138551A (ja) |
| CN (1) | CN1144971A (ja) |
-
1994
- 1994-11-01 JP JP29374394A patent/JPH08138551A/ja not_active Abandoned
-
1995
- 1995-10-31 CN CN 95120383 patent/CN1144971A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1144971A (zh) | 1997-03-12 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
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