JPH08126954A - 超仕上加工方法ならびにこれに用いる砥石ホルダユニットおよび超仕上砥石 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 少ない超仕上砥石摩耗量および加工除去量で
転動面全面およびこれに準ずる面を比較的短時間で、か
つ良好な超仕上加工面とするのに好適な転動面およびこ
れに準ずる面の超仕上加工方法ならびにこれに用いる砥
石ホルダユニットおよび超仕上砥石を提供する。 【構成】 振動方向に複数分割された超仕上砥石２と、
この各々の超仕上砥石２を被加工物の転動面およびこれ
に準ずる面へ押し付ける方向に独立に移動可能に保持す
る砥石ホルダ３と、圧縮空気Ｆの供給によって各々の超
仕上砥石２の被加工面への押し付け力を発生する押し付
け手段および超仕上砥石２を押し付け方向に移動させる
移動手段として機能する加圧ピストン４、とから基本的
に構成される砥石ホルダユニット１とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、無段変速機（ＣＶ
Ｔ）、ベアリング、ハブホイール等における転動面を有
する部品の転動面およびこれに準ずる面の超仕上加工に
好適な超仕上加工方法ならびにこれに用いる砥石ホルダ
ユニットおよび超仕上砥石に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】超仕上加工は、回転する被加工物の被加
工面に超仕上砥石を押し付けかつこの超仕上砥石を被加
工面に沿って振動させて被加工面を加工するものであ
る。そして、無段変速機（ＣＶＴ）、ベアリング、ハブ
ホイール等における転動面を有する部品の超仕上加工に
おいて、超仕上砥石を保持しかつこれを被加工面に押し
付けるのに、従来例えば、図１１に示すような砥石ホル
ダユニット５１が用いられていた。

【０００３】図１１において、超仕上砥石５２は被加工
物の転動面の形状に対応した円弧形状を有しており、被
加工物の転動面の方向に移動可能に砥石ホルダ５３によ
り保持されるとともに、被加工物の転動面と接する面と
反対側の超仕上砥石５２の面５２ｂを押圧する加圧棒５
４が押し付け可能な位置に配置されている。

【０００４】そして、この加圧棒５４は、加圧エアシリ
ンダ５５に連結されており、加圧エアシリンダ５５が加
圧エアホース５６から供給される圧縮空気Ｆにより軸方
向に動くのにともなって、超仕上砥石５２を押圧する。

【０００５】このような構成の砥石ホルダユニット５１
を、超仕上加工装置に設置して、砥石ホルダユニット５
１（超仕上砥石５２）に被加工面に沿って矢印Ｒ1 ，Ｒ
2 の方向に振動を与えながら転動面の超仕上加工をおこ
なうものである。

【０００６】ここで、上記のような砥石ホルダユニット
５１を用いて、ベアリング等における転動面を超仕上加
工する際には、超仕上砥石５２と被加工物の転動面との
関係は、超仕上砥石５２の円弧の両端を結ぶ弦の長さと
被加工物の転動面の円弧の両端を結ぶ弦の長さは通常同
等である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、図１２に示すように、被加工物Ｗの転動面Ｓを、矢
印Ｒ1 およびＲ2 の方向に振動する超仕上砥石５２によ
り超仕上加工する場合に、転動面Ｓの円弧の両端（Ｐ1
，Ｐ2 ）を結ぶ弦の長さが超仕上砥石５２の円弧の両
端（Ｐ3 ，Ｐ4 ）を結ぶ弦の長さと同等の場合には、超
仕上砥石５２が一枚であるため、超仕上加工前の転動面
Ｓの加工精度のばらつき、例えば、超仕上加工前の被加
工物Ｗの転動面Ｓの曲率半径の中心Ｏ2 が超仕上砥石５
２の振動中心Ｏ1 と位置ずれを生じている場合には、図
１２に示すように、超仕上砥石５２が片当たりするため
に、被加工面（転動面Ｓ）の一部で超仕上砥石５２が当
たらず加工残りが生じてしまい、加工品質不良となった
り、さらに、これを防止するためには図１３に示すよう
に、超仕上砥石５２の超仕上砥石摩耗量と被加工物Ｗの
加工除去量を通常より多くとる必要があり、多大な加工
時間を要してしまうという問題点があり、この問題点を
解決することが課題であった。

【０００８】

【発明の目的】本発明は、このような従来の課題に鑑み
てなされたもので、少ない超仕上砥石摩耗量および加工
除去量で転動面全面を比較的短時間で、かつ良好な超仕
上加工面とするのに好適な転動面の超仕上加工方法なら
びにこれに用いる砥石ホルダユニットおよび超仕上砥石
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る超仕上加工
方法は、請求項１として、回転する被加工物の被加工面
に超仕上砥石を押し付けかつこの超仕上砥石を被加工面
に沿って振動させて被加工面を超仕上加工する超仕上加
工方法において、振動方向に複数分割され各々独立して
押し付け方向に移動可能に保持された超仕上砥石を用い
て、各々の超仕上砥石を押し付け方向に移動調整させな
がら超仕上加工をおこなう構成とし、請求項２として、
各々独立して押し付け方向に移動可能に保持された超仕
上砥石の押し付け力を同じにして超仕上加工する構成と
し、請求項３として、各々独立して押し付け方向に移動
可能に保持された超仕上砥石のうち少なくとも１以上の
超仕上砥石の押し付け力を他の超仕上砥石の押し付け力
と異ならせて超仕上加工する構成としている。

【００１０】また、本発明に係る超仕上加工方法に用い
る砥石ホルダユニットは、請求項４として、請求項１〜
３の超仕上加工方法によって被加工物の被加工面の超仕
上加工に使用される砥石ホルダユニットであって、振動
方向に複数分割された超仕上砥石と、この各々の超仕上
砥石を押し付け方向に独立に移動可能に保持する砥石ホ
ルダと、超仕上砥石の被加工面への押し付け力を発生す
る押し付け手段と、超仕上砥石を押し付け方向に移動さ
せる移動手段と、とから基本的に構成される構成とし、
請求項５として、超仕上砥石の被加工面への押し付け力
を発生させる押し付け手段は、各々の超仕上砥石毎に押
し付け力を調整できる構成とし、請求項６として、各々
の超仕上砥石の押し付け力を加える部位に弾性率の等し
い弾性体を挿入した構成とし、請求項７として、各々の
超仕上砥石の押し付け力を加える部位に挿入した弾性体
のうち少なくとも１以上の弾性体の弾性率が他の弾性体
の弾性率と異なる構成とし、請求項８として、各々の超
仕上砥石の押し付け力を加える部位に挿入した弾性体の
うち少なくとも１以上の弾性体の押し付け方向の寸法が
他の弾性体の押し付け方向の寸法と異なる構成とし、請
求項９として、各々の超仕上砥石の被加工面への押し付
け力を発生する押し付け手段および各々の超仕上砥石を
押し付け方向に移動させる移動手段が空圧または油圧に
よる構成としており、上記の構成を課題を解決するため
の手段としている。

【００１１】

【発明の作用】本発明の請求項１に係る超仕上加工方法
では、超仕上加工前の被加工物の転動面（被加工面）の
曲率半径の中心が、超仕上砥石の振動中心に対して位置
ずれを生じていた場合には、超仕上砥石の振動振幅方向
で超仕上砥石が分割されていることにより、各々の分割
された超仕上砥石が転動面に追従して、それぞれが個別
に転動面に押し付けられて、転動面Ｓに対して超仕上砥
石が片当たりすることがなくなり、その結果、被加工面
である転動面の表面品位が均一なものとなるとともに、
砥石摩耗量および加工除去量が従来に比して減少するこ
ととなる。

【００１２】本発明の請求項２に係る超仕上加工方法で
は、各々の分割された超仕上砥石の押し付け力を同じに
することにより、各々の分割された超仕上砥石が転動面
に追従すると同時に各々の分割された超仕上砥石が同じ
押し付け力で転動面に押し付けられて転動面Ｓに対する
加工圧力の分布が均一となり、その結果、被加工面であ
る転動面の表面品位が均一なものとなるとともに、砥石
摩耗量および加工除去量が従来に比して減少することと
なる。

【００１３】本発明の請求項３に係る超仕上加工方法で
は、超仕上砥石のうち少なくとも１以上の超仕上砥石の
押し付け力を他の超仕上砥石の押し付け力と異ならせる
ことにより、各々の超仕上砥石の転動面への追従性がさ
らに向上するとともに、各々の超仕上砥石毎に最適な押
し付け力を設定すれば短時間で被加工物の転動面全体が
優れた表面品位を有する面となる。

【００１４】本発明の請求項４に係る超仕上加工方法に
用いる砥石ホルダユニットでは、上記の構成としたこと
により、請求項１および２に係る超仕上加工方法を実施
するのに好適なものとなる。

【００１５】本発明の請求項５に係る超仕上加工方法に
用いる砥石ホルダユニットでは、上記の構成とすること
により、請求項３に係る超仕上加工方法を実施するのに
好適なものとなる。

【００１６】本発明の請求項６に係る超仕上加工方法に
用いる砥石ホルダユニットでは、上記構成とすることに
より、弾性体の伸縮力によって超仕上砥石の転動面への
追従が図られることになり、また、各弾性体の弾性率を
同じにすることにより各々の超仕上砥石の転動面Ｓに対
する加工圧力の分布が均一となる。

【００１７】本発明の請求項７に係る超仕上加工方法に
用いる砥石ホルダユニットでは、上記構成とすることに
より、弾性体の伸縮力によって超仕上砥石の転動面への
追従が図られることになり、また、各々の超仕上砥石毎
に最適な押し付け力を発生する弾性率の弾性体とすれば
短時間で被加工物の転動面全体が優れた表面品位を有す
る面となる。

【００１８】本発明の請求項８に係る超仕上加工方法に
用いる砥石ホルダユニットでは、上記の構成とすること
により、弾性体の押し付け方向の寸法を適当な長さとす
れば、請求項５に係る転動面の超仕上加工方法に用いる
砥石ホルダユニットと同様の作用を奏することとなる。

【００１９】本発明の請求項９に係る超仕上加工方法に
用いる砥石ホルダユニットでは、上記構成とすることに
より、本発明の実施が容易なものとなる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明に係る超仕上加工方法およびこ
れに用いる砥石ホルダユニットの実施例を図面に基づい
て説明する。

【００２１】図１は、本発明に係る超仕上加工方法に用
いる砥石ホルダユニットの一実施例を示す断面説明図で
あって、図１における砥石ホルダユニット１において、
超仕上砥石は振動振幅する方向（矢印Ｒ1 ，Ｒ2 の方
向）で２分割され、かつ分割されたそれぞれの超仕上砥
石２が個別に被加工物の転動面側に移動可能に砥石ホル
ダ３に保持されている。

【００２２】この超仕上砥石２の被加工物の転動面と接
する側と反対の面２ｂに、それぞれ分割された各超仕上
砥石２を被加工物の転動面に押し付け、かつ、超仕上砥
石２を転動面方向に移動させるための加圧ピストン４が
砥石ホルダ３に配設されている。

【００２３】各加圧ピストン４を加圧する際、１本の加
圧エアホース５からの圧縮空気Ｆを２本の空気路５ａに
分岐させて各加圧ピストン４を押圧しており、そのた
め、分割された各超仕上砥石２に同一の加工圧力が与え
られるようになっている。

【００２４】つまり、加圧ピストン４は、圧縮空気Ｆの
供給によって各々の超仕上砥石２の被加工面への押し付
け力を発生する押し付け手段および超仕上砥石２を押し
付け方向に移動させる移動手段として機能する。

【００２５】なお、本実施例では、超仕上砥石２の被加
工物の転動面への押し付け手段、および転動面方向への
移動手段は空圧によったが、油圧によっても可能であ
り、以下に示す実施例においても同様である。

【００２６】ところで、先に説明した従来技術は、ベア
リングの加工に用いられており、転動面の両端を結ぶ弦
の長さが超仕上砥石の弦の長さに比べて短い（小さな
面）ため、弦の長さが長い場合と比べて超仕上砥石２の
振動中心と被加工物の転動面の曲率半径の中心の位置ず
れ量が同じであっても、加工品質不良となる等の問題は
発生しないが、例えば、図２に示すような、被加工物Ｗ
の転動面Ｓの両端Ｐ1 ，Ｐ2 を結ぶ弦の長さが分割しな
い一枚の超仕上砥石の弦の長さと同等のような場合、つ
まり、弦の大きな転動面Ｓの超仕上加工を行なう場合
に、上記の問題が生じる。

【００２７】そこで、図２に示すように、上記のような
砥石ホルダユニット１を用いて超仕上加工を行なう。

【００２８】超仕上加工前の被加工物Ｗの転動面Ｓの曲
率半径の中心Ｏ2 が、超仕上砥石２の振動中心Ｏ1 に対
してずれを生じていても、超仕上砥石２の振動振幅方向
（矢印Ｒ1 ，Ｒ2 の方向）で超仕上砥石２が分割されて
いることにより、分割された各超仕上砥石２が転動面Ｓ
に追従し、各超仕上砥石２は個別に加圧ピストン３によ
り同じ押し付け力で転動面Ｓに押し付けられる。

【００２９】その結果、転動面Ｓに対する加工圧力が均
一な分布となり、表面品位の均一化が図れるとともに、
図３に示すように、上記した従来例（図１３）に比較し
て少ない超仕上砥石摩耗量および加工除去量とすること
ができる。

【００３０】また、本実施例をベアリングの転動面の超
仕上加工に用いた場合、転動面の超仕上加工前の加工精
度を従来よりも緩和することができるため、安価な加工
工程とすることが可能となる。

【００３１】次に、図４は、本発明に係る超仕上加工方
法に用いる砥石ホルダユニット１の他の実施例を示す断
面説明図であって、図１に示した実施例と異なり、超仕
上砥石２は振動振幅する方向（矢印Ｒ1 ，Ｒ2 の方向）
で３分割されている。

【００３２】このような構成としたのは、超仕上砥石２
の被加工物Ｗの転動面Ｓへの追従性をさらに向上させる
ことができるため、図５に示すように、さらに少ない超
仕上砥石摩耗量で良好な超仕上面が得られるためであ
る。

【００３３】ここで、図５は超仕上砥石の分割数と超仕
上砥石摩耗量の関係を示す説明図であるが、図５より超
仕上砥石の分割数を２とした場合には、従来の超仕上砥
石を分割しない場合に比べて大幅に超仕上砥石摩耗量が
減少し、超仕上砥石の分割数をさらに増やしていくと超
仕上砥石摩耗量を一層減少させることができるのがわか
る。

【００３４】したがって、図４に示す実施例では、超仕
上砥石２の分割数を３としているが、これ以上の分割数
でも同様の効果が得られる。

【００３５】また、このとき分割された超仕上砥石２の
仕様は同一でよいが、超仕上砥石の仕様を適切に異なら
せることにより転動面全面を均一な表面品位にすること
ができる。

【００３６】なお、分割した超仕上砥石２の仕様につい
ては、以下のいずれの実施例においても同様である。

【００３７】次に、図６は、本発明に係る超仕上加工方
法に用いる砥石ホルダユニットのさらに他の実施例を示
す断面説明図であって、図６に示す実施例は分割した超
仕上砥石２毎に独立した圧縮空気Ｆを供給する構造とす
ることにより、超仕上砥石２の被加工物の転動面への追
従性を向上させるとともに分割した超仕上砥石２毎に適
切な押し付け力を設定できるため、短時間で転動面全体
を優れた表面品位とすることができる。

【００３８】次に、図７は、本発明に係る超仕上加工方
法に用いる砥石ホルダユニットのさらに他の実施例を示
す断面説明図であって、図７に示す実施例は、前述まで
の実施例とは異なり、各々の超仕上砥石２の押し付け力
を加える部位、すなわち超仕上砥石２と加圧プレート７
との間に弾性体６を挿入したものであり、弾性体６の伸
縮力によって超仕上砥石２の転動面への追従を図ること
により、前述までの実施例と同様の効果を得ることがで
きる。

【００３９】このときの各分割した超仕上砥石に配した
弾性体６の弾性率が同一である場合は、図４に示した実
施例と同様の効果が得られることになり、また、少なく
とも１つ以上の弾性体６の弾性率を異ならせた場合には
図６に示した実施例と同様の効果が得られることにな
る。

【００４０】さらに、弾性体６を超仕上砥石２の一部、
すなわち弾性体６と超仕上砥石２とが一体になった状態
に設けるものとすると、砥石ホルダユニット１の改造を
必要としないためたいへん安価に実施することができ
る。

【００４１】また、弾性体６を砥石ホルダ３に配設する
ものとすることもでき、具体的に弾性体６としては、例
えば、図８に示すようにばね１０を用いることができ
る。

【００４２】この際、各ばねのばね定数やばねの長さを
適宜変更することにより、図７に示した実施例および後
述する図９に示す実施例と同様の効果が得られる。

【００４３】次に、図９は、本発明に係る超仕上加工方
法に用いる砥石ホルダユニットのさらに他の実施例を示
す断面説明図であって、図９に示す実施例は、図７に示
した実施例における各弾性体６のうち少なくとも１つ以
上の弾性体６の加圧方向の長さを異ならせたものであ
る。

【００４４】これにより、前述の図６に示した実施例と
ほぼ同等の効果を得ることができる。なお、このときの
各弾性体６の弾性率は前述の図７に示した実施例と同じ
である。

【００４５】次に、図１０は、本発明に係る超仕上加工
方法に用いる砥石ホルダユニットのさらに他の実施例を
示す断面説明図であって、図１０に示す実施例は図４に
示した実施例の分割した単一の超仕上砥石２の代わり
に、超仕上砥石２と加圧プレート７の間に弾性体６を挿
入したものを用いたものである。

【００４６】これにより、図４に示した実施例より超仕
上砥石２の追従性が向上し、被加工物Ｗの転動面Ｓの表
面品位がさらに向上することとなる。

【００４７】なお、この場合にも、上記したように各弾
性体６の弾性率を同じにするか、あるいは異ならせるこ
とができる。

【００４８】ところで、上記した実施例は曲面の転動面
について説明したが、本発明は以下のようなテーパ面に
も適用可能である。

【００４９】例えば、図１４に示すように、被加工物Ｗ
の超仕上前加工精度バラツキにより、テーパ面が砥石５
２の傾きと異なる場合（α≠β）、砥石５２と被加工物
Ｗは片当たりとなり、削り残りを生じてしまう。そのた
め、削り残りを生じさせないためには、図１５に示すよ
うに、通常より多くの砥石摩耗量、加工除去量を必要と
し、多大な加工時間を要してしまう。

【００５０】しかし、図１６に示すように、本発明の適
用により転動面と同様に少ない砥石減耗量、加工除去量
でテーパ面を良好にかつ短時間で超仕上加工することが
できる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の請求
項１に係る超仕上加工方法によれば、超仕上加工前の被
加工物の転動面の曲率半径の中心が、超仕上砥石の振動
中心に対してずれを生じていた場合には、超仕上砥石の
振動振幅方向で超仕上砥石を分割したことにより、各々
の分割された超仕上砥石を転動面に追従させることがで
きて、転動面Ｓに対して超仕上砥石が片当たりするのを
防止でき、その結果、被加工面である転動面の表面品位
を均一なものとすることができるとともに、砥石摩耗量
および加工除去量を従来と比べて減少させることができ
るため加工時間の短縮が可能になるという優れた効果が
得られる。

【００５２】本発明の請求項２に記載の構成とすれば、
各々の超仕上砥石の押し付け力を同じにすることによ
り、各々の分割された超仕上砥石を転動面に追従させる
ことができると同時に、各々の超仕上砥石を同じ押し付
け力で転動面に押し付けることができるため、転動面Ｓ
に対する加工圧力の分布を均一にすることができ、その
結果、被加工面である転動面の表面品位を均一なものと
することができるとともに、砥石摩耗量および加工除去
量を従来に比して減少させることができるという優れた
効果が得られる。

【００５３】本発明の請求項３に記載の構成とすれば、
超仕上砥石のうち少なくとも１以上の超仕上砥石の押し
付け力を他の超仕上砥石の押し付け力と異ならせること
により、各々の超仕上砥石の転動面への追従性をさらに
向上させることができるとともに、各々の超仕上砥石毎
に最適な押し付け力を設定すれば短時間で被加工物の転
動面全体を優れた表面品位を有する面とできるという効
果が得られる。

【００５４】また、本発明の請求項４に係る超仕上加工
方法に用いる砥石ホルダユニットによれば、上記構成と
したことにより、請求項１および２に係る転動面の超仕
上加工方法を実施するのに好適な砥石ホルダユニットが
得られる。

【００５５】本発明の請求項５に記載の構成とすれば、
請求項３に係る超仕上加工方法を実施するのに好適な砥
石ホルダユニットが得られる。

【００５６】本発明の請求項６に記載の構成とすれば、
弾性体の伸縮力によって超仕上砥石を転動面へ追従させ
ることができ、また、各弾性体の弾性率を同じにするこ
とにより各々の超仕上砥石の転動面Ｓに対する加工圧力
の分布を均一にできるという効果が得られる。

【００５７】本発明の請求項７に記載の構成とすれば、
弾性体の伸縮力によって超仕上砥石を転動面へ追従させ
ることができるとともに、各々の超仕上砥石毎に最適な
押し付け力を発生する弾性率の弾性体とすれば短時間で
被加工物の転動面全体を優れた表面品位を有する面とで
きるという効果が得られる。

【００５８】本発明の請求項８に記載の構成とすれば、
弾性体の押し付け方向の寸法を適当な長さとすることに
より、請求項７に係る転動面の超仕上加工方法に用いる
砥石ホルダユニットと同様の効果が得られる。

【００５９】本発明の請求項９に記載の構成とすれば、
本発明の実施をより容易なものとすることができるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る砥石ホルダユニットの一実施例を
示す断面説明図である。

【図２】本発明に係る超仕上加工方法による転動面の超
仕上加工の様子を示す説明図である。

【図３】本発明に係る超仕上加工方法による転動面の超
仕上加工の際の超仕上砥石摩耗部分および加工除去部分
を示す説明図である。

【図４】本発明に係る砥石ホルダユニットの他の実施例
を示す断面説明図である。

【図５】超仕上砥石の分割数と超仕上砥石摩耗量の関係
を示す説明図である。

【図６】本発明に係る砥石ホルダユニットのさらに他の
実施例を示す断面説明図である。

【図７】本発明に係る砥石ホルダユニットのさらに他の
実施例を示す断面説明図である。

【図８】本発明に係る砥石ホルダユニットのさらに他の
実施例を示す断面説明図である。

【図９】本発明に係る砥石ホルダユニットのさらに他の
実施例を示す断面説明図である。の

【図１０】本発明に係る砥石ホルダユニットのさらに他
の実施例を示す断面説明図である。

【図１１】従来の砥石ホルダユニットの一例を示す断面
説明図である。

【図１２】従来例における転動面の超仕上加工の様子を
示す説明図である。

【図１３】従来例における転動面の超仕上加工の際の超
仕上砥石摩耗部分および加工除去部分を示す説明図であ
る。

【図１４】従来例におけるワークのテーパ面の超仕上加
工の様子を示す説明図である。

【図１５】従来例におけるワークのテーパ面の超仕上加
工の際の超仕上砥石摩耗部分および加工除去部分を示す
説明図である。

【図１６】本発明に係る超仕上加工方法によるワークの
テーパ面の超仕上加工の様子を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 砥石ホルダユニット ２ 超仕上砥石 ３ 砥石ホルダ ４ 加圧ピストン ５ 加圧エアホース ５ａ 空気路 ６ 弾性体 ７ 加圧プレート ８ 加圧棒 ９ エアシリンダ １０ ばね Ｗ 被加工物 Ｓ 転動面（被加工面） Ｆ 圧縮空気

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転する被加工物の被加工面に超仕上砥
   石を押し付けかつこの超仕上砥石を被加工面に沿って振
   動させて被加工面を超仕上加工する超仕上加工方法にお
   いて、振動方向に複数分割され各々独立して押し付け方
   向に移動可能に保持された超仕上砥石を用いて、各々の
   超仕上砥石を押し付け方向に移動調整させながら超仕上
   加工をおこなうことを特徴とする超仕上加工方法。
2. 【請求項２】 各々独立して押し付け方向に移動可能に
   保持された超仕上砥石の押し付け力を同じにして超仕上
   加工することを特徴とする請求項１に記載の超仕上加工
   方法。
3. 【請求項３】 各々独立して押し付け方向に移動可能に
   保持された超仕上砥石のうち少なくとも１以上の超仕上
   砥石の押し付け力を他の超仕上砥石の押し付け力と異な
   らせて超仕上加工することを特徴とする請求項１に記載
   の超仕上加工方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３の超仕上加工方法によって
   被加工物の被加工面の超仕上加工に使用される砥石ホル
   ダユニットであって、振動方向に複数分割された超仕上
   砥石と、この各々の超仕上砥石を押し付け方向に独立に
   移動可能に保持する砥石ホルダと、超仕上砥石の被加工
   面への押し付け力を発生する押し付け手段と、超仕上砥
   石を押し付け方向に移動させる移動手段と、とから基本
   的に構成されることを特徴とする超仕上加工に用いる砥
   石ホルダユニット。
5. 【請求項５】 超仕上砥石の被加工面への押し付け力を
   発生させる押し付け手段は、各々の超仕上砥石毎に押し
   付け力を調整できることを特徴とする請求項４に記載の
   超仕上加工に用いる砥石ホルダユニット。
6. 【請求項６】 各々の超仕上砥石の押し付け力を加える
   部位に弾性率の等しい弾性体を挿入したことを特徴とす
   る請求項４に記載の超仕上加工に用いる砥石ホルダユニ
   ットおよび超仕上砥石。
7. 【請求項７】 各々の超仕上砥石の押し付け力を加える
   部位に挿入した弾性体のうち少なくとも１以上の弾性体
   の弾性率が他の弾性体の弾性率と異なることを特徴とす
   る請求項４に記載の超仕上加工に用いる砥石ホルダユニ
   ットおよび超仕上砥石。
8. 【請求項８】 各々の超仕上砥石の押し付け力を加える
   部位に挿入した弾性体のうち少なくとも１以上の弾性体
   の押し付け方向の寸法が他の弾性体の押し付け方向の寸
   法と異なることを特徴とする請求項６または７に記載の
   転動面の超仕上加工に用いる砥石ホルダユニットおよび
   超仕上砥石。
9. 【請求項９】 各々の超仕上砥石の被加工面への押し付
   け力を発生する押し付け手段および各々の超仕上砥石を
   押し付け方向に移動させる移動手段が空圧または油圧に
   よることを特徴とする請求項４ないし８に記載の超仕上
   加工に用いる砥石ホルダユニット。