JPH0812048B2 - 干渉測定装置 - Google Patents
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- JPH0812048B2 JPH0812048B2 JP3269763A JP26976391A JPH0812048B2 JP H0812048 B2 JPH0812048 B2 JP H0812048B2 JP 3269763 A JP3269763 A JP 3269763A JP 26976391 A JP26976391 A JP 26976391A JP H0812048 B2 JPH0812048 B2 JP H0812048B2
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- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２つの対象物の相対位
置の測定のために、特許請求の範囲第１項の上位概念に
よる少なくとも１つの走査格子と、１つの光源と、複数
の検光子とを有しかつ測定具現体を走査する走査ユニッ
トと測定具現体との間の相対位置を測定するための干渉
測定装置に関する。
置の測定のために、特許請求の範囲第１項の上位概念に
よる少なくとも１つの走査格子と、１つの光源と、複数
の検光子とを有しかつ測定具現体を走査する走査ユニッ
トと測定具現体との間の相対位置を測定するための干渉
測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の干渉測定装置は特に工作機械で
加工されるべき工作物に対する工具の相対位置の測定の
ために使用される。
加工されるべき工作物に対する工具の相対位置の測定の
ために使用される。
【０００３】１９７８年にシュツットガルトで発表され
たフロムントホック（Ｆｒｏｍｕｎｄ Ｈｏｃｋ）の学
術論文「回折格子による長さ及び角度位置の変化の光電
的測定」にはその１１．６節に２つの測定方向の干渉測
定装置が記載されている。光源から出て平行光線にされ
た光束は両測定方向に対して対角線に向いた測定尺のク
ロス格子並びに４つの空間周波数絞りを通りかつ２つの
対物レンズによって第１の測定方向に向けられた第１の
直線格子上に結像しそして測定尺でこの第１の測定方向
に向けられた回折光は相会する。第１の測定方向の相会
した回折光は第３の対物レンズによって、第１の測定方
向の測定値の発生のための走査信号を供給する第１の検
光子上に向けられる。測定尺で第２の測定方向に向けら
れた回折光は第４の対物レンズによって第２の測定方向
に向けられている第２の直線格子上に結像されかつそれ
から第２の測定方向の測定値の発生のための走査信号を
供給する第２の検光子に達する。この即は非常にコスト
のかかる構成を有するという欠点を有する。
たフロムントホック（Ｆｒｏｍｕｎｄ Ｈｏｃｋ）の学
術論文「回折格子による長さ及び角度位置の変化の光電
的測定」にはその１１．６節に２つの測定方向の干渉測
定装置が記載されている。光源から出て平行光線にされ
た光束は両測定方向に対して対角線に向いた測定尺のク
ロス格子並びに４つの空間周波数絞りを通りかつ２つの
対物レンズによって第１の測定方向に向けられた第１の
直線格子上に結像しそして測定尺でこの第１の測定方向
に向けられた回折光は相会する。第１の測定方向の相会
した回折光は第３の対物レンズによって、第１の測定方
向の測定値の発生のための走査信号を供給する第１の検
光子上に向けられる。測定尺で第２の測定方向に向けら
れた回折光は第４の対物レンズによって第２の測定方向
に向けられている第２の直線格子上に結像されかつそれ
から第２の測定方向の測定値の発生のための走査信号を
供給する第２の検光子に達する。この即は非常にコスト
のかかる構成を有するという欠点を有する。
【０００４】ヨーロッパ特許明細書０１６３３６２から
１つの測定方向の干渉測定装置が公知であり、その際光
源から出てコリメータによって平行光線にされた光束に
よる走査格子の最初の通過の際に複数の回折光に分割さ
れ、回折光は測定尺格子で反射して再び回折される。反
射した回折光は再び走査格子による新たな回折の下に再
び干渉する。合成された０，＋１，−１次の方向におけ
る干渉する回折光はコリメータによって分離されかつ測
定値を得るための電気的走査信号の発生のための３つの
検光子上に向けられる。
１つの測定方向の干渉測定装置が公知であり、その際光
源から出てコリメータによって平行光線にされた光束に
よる走査格子の最初の通過の際に複数の回折光に分割さ
れ、回折光は測定尺格子で反射して再び回折される。反
射した回折光は再び走査格子による新たな回折の下に再
び干渉する。合成された０，＋１，−１次の方向におけ
る干渉する回折光はコリメータによって分離されかつ測
定値を得るための電気的走査信号の発生のための３つの
検光子上に向けられる。
【０００５】測定尺格子はこの測定装置では、０次の回
折光が測定尺格子で打ち消されるように構成されなけれ
ばならない。しかしこのことは３次の回折光が測定尺格
子に生ずるという欠点を有し、その結果検光子によって
得られた走査信号は走査信号の高い補間を可能にしない
高い高調波部分を有する。他の欠点として検光子上に現
れかつ変調度を低下させる走査格子の直接の反射があ
る。しかし実際には測定尺格子での０次の回折光の打ち
消しは一定の公差の範囲内でのみ可能であるので、走査
格子と測定尺格子との間の距離が小さい場合走査信号に
おいて同様に走査信号の高い補間を可能にしない阻害的
な分数周波を生ずる。
折光が測定尺格子で打ち消されるように構成されなけれ
ばならない。しかしこのことは３次の回折光が測定尺格
子に生ずるという欠点を有し、その結果検光子によって
得られた走査信号は走査信号の高い補間を可能にしない
高い高調波部分を有する。他の欠点として検光子上に現
れかつ変調度を低下させる走査格子の直接の反射があ
る。しかし実際には測定尺格子での０次の回折光の打ち
消しは一定の公差の範囲内でのみ可能であるので、走査
格子と測定尺格子との間の距離が小さい場合走査信号に
おいて同様に走査信号の高い補間を可能にしない阻害的
な分数周波を生ずる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、簡単な構造で本質的に高い測定精度を可能にする
少なくとも1 つの測定方向の干渉測定装置を創造するこ
とである。
点は、簡単な構造で本質的に高い測定精度を可能にする
少なくとも1 つの測定方向の干渉測定装置を創造するこ
とである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、特許請
求の範囲第１項の特徴によって解決される。
求の範囲第１項の特徴によって解決される。
【０００８】
【実施例】図１によれば２つの測定方向の干渉測定装置
が側面図で示されており、その際走査ユニット１は反射
測定尺２を走査する。走査ユニット１は薄板４、コリメ
ータ５並びに走査板６を含む。この測定装置は図示しな
い対象物の相対位置の測定に使用される。
が側面図で示されており、その際走査ユニット１は反射
測定尺２を走査する。走査ユニット１は薄板４、コリメ
ータ５並びに走査板６を含む。この測定装置は図示しな
い対象物の相対位置の測定に使用される。
【０００９】図２は薄板４の平面図を示し、薄板４上に
は光源３の外に測定方向Ｘのための第１のグループの検
光子Ｄ１〜Ｄ６及び測定方向Ｙのための第２のグループ
の検光子Ｔ１〜Ｔ６が配設されている。
は光源３の外に測定方向Ｘのための第１のグループの検
光子Ｄ１〜Ｄ６及び測定方向Ｙのための第２のグループ
の検光子Ｔ１〜Ｔ６が配設されている。
【００１０】図３には走査板６が平面図で示されてお
り、走査板は測定方向Ｘのための第１の走査格子７と測
定方向Ｙのための例えば位相格子の形の第２の走査格子
８を有する。第１の走査格子７を介して第１の偏向プリ
ズム９がそして第２の走査格子８を介して第２の偏向プ
リズム１０が配設されており、その傾斜方向は図３から
明らかである。
り、走査板は測定方向Ｘのための第１の走査格子７と測
定方向Ｙのための例えば位相格子の形の第２の走査格子
８を有する。第１の走査格子７を介して第１の偏向プリ
ズム９がそして第２の走査格子８を介して第２の偏向プ
リズム１０が配設されており、その傾斜方向は図３から
明らかである。
【００１１】図４は図１による干渉測定装置のための展
開された光路を斜視図で示し、見通しをよくするために
測定方向Ｘの光路のみが示されている。簡単のために特
定の１つの回折光のみが示されている。光源３から出て
コリメータによって平行光線にされた光Ｌはその格子線
が測定方向Ｘに対して直角に向いておりかつ格子定数ｄ
の走査格子７を通過する際に複数の回折光に分割され、
そのうち回折光Ｂ１（＋１次）、回折光Ｂ２（２次）及
び回折光Ｂ３（−１次）が示されている。
開された光路を斜視図で示し、見通しをよくするために
測定方向Ｘの光路のみが示されている。簡単のために特
定の１つの回折光のみが示されている。光源３から出て
コリメータによって平行光線にされた光Ｌはその格子線
が測定方向Ｘに対して直角に向いておりかつ格子定数ｄ
の走査格子７を通過する際に複数の回折光に分割され、
そのうち回折光Ｂ１（＋１次）、回折光Ｂ２（２次）及
び回折光Ｂ３（−１次）が示されている。
【００１２】これらの回折光Ｂ１〜Ｂ３は測定尺２のク
ロス格子１１を通り、そのクロスした格子線は両測定方
向ＸとＹに対して対角線の方向を向いている。このクロ
ス格子１１はクロスした両格子線によって与えられる方
向（測定方向Ｘに対して対角線の方向）にそれぞれ格子
定数ｄｅ／２の平方根、従って測定方向Ｘにおいて、走
査格子７の格子定数ｄと同一である有効格子定数ｄｅを
有する。そのようなクロス格子１１は２つの対角線方向
に光束を回折させる構造として特定される。クロス格子
は例えば２つの対角線方向における単一構造の周期的構
成から成ることができる。この場合常に最小の単一構造
が得られ、単一構造からクロス格子は２つの対角線方向
における周期的配列によって形成される。これらの両方
向はここではクロス格子の格子線として表される。クロ
ス格子１１は各回折光Ｂ１〜Ｂ３を２つの回折光（＋１
次）及び２つの回折光（−１次）を有し、回折光は測定
方向Ｘにおいてもこれに対して直角の測定方向Ｙにおい
てもクロス格子１１の対角線方向の配置によって偏向さ
れる。
ロス格子１１を通り、そのクロスした格子線は両測定方
向ＸとＹに対して対角線の方向を向いている。このクロ
ス格子１１はクロスした両格子線によって与えられる方
向（測定方向Ｘに対して対角線の方向）にそれぞれ格子
定数ｄｅ／２の平方根、従って測定方向Ｘにおいて、走
査格子７の格子定数ｄと同一である有効格子定数ｄｅを
有する。そのようなクロス格子１１は２つの対角線方向
に光束を回折させる構造として特定される。クロス格子
は例えば２つの対角線方向における単一構造の周期的構
成から成ることができる。この場合常に最小の単一構造
が得られ、単一構造からクロス格子は２つの対角線方向
における周期的配列によって形成される。これらの両方
向はここではクロス格子の格子線として表される。クロ
ス格子１１は各回折光Ｂ１〜Ｂ３を２つの回折光（＋１
次）及び２つの回折光（−１次）を有し、回折光は測定
方向Ｘにおいてもこれに対して直角の測定方向Ｙにおい
てもクロス格子１１の対角線方向の配置によって偏向さ
れる。
【００１３】回折光Ｂ１は２つの回折光Ｃ１、Ｃ２（−
１次）−両回折光（＋１次）はここでは簡単のために図
示しない−、回折光Ｂ２は２つの回折光Ｃ３，Ｃ４（＋
１次）と２つの回折光Ｃ５，Ｃ６（−１次）そしてそし
て回折光Ｂ３は２つの回折光Ｃ７，Ｃ８（＋１次）−同
様に両回折光（−１次）は図示していない−に分割され
る。
１次）−両回折光（＋１次）はここでは簡単のために図
示しない−、回折光Ｂ２は２つの回折光Ｃ３，Ｃ４（＋
１次）と２つの回折光Ｃ５，Ｃ６（−１次）そしてそし
て回折光Ｂ３は２つの回折光Ｃ７，Ｃ８（＋１次）−同
様に両回折光（−１次）は図示していない−に分割され
る。
【００１４】回折光Ｃ１〜Ｃ８は続いて再び走査格子７
を通過しかつ新たな回折の下に干渉に至る。それによっ
て走査格子７の後方で干渉する回折光Ｃ１，Ｃ３から合
成された回折光Ｅ１（＋１次）が測定方向Ｘにそして合
成された回折光Ｅ４ａ（０次）が測定方向Ｘに、干渉す
る回折光Ｃ１，Ｃ４から合成される回折光Ｅ２（＋１
次）が測定方向Ｘにそして合成される回折光Ｅ４ａ（０
次）が測定方向Ｘに、干渉する回折光Ｃ５，Ｃ７から合
成される回折光Ｅ３ａ（０次）が測定方向Ｘにそして合
成される回折光Ｅ５（−１次）が測定方向Ｘにそして干
渉する回折光Ｃ６，Ｃ８から合成される回折光Ｅ４ａ
（０次）が測定方向Ｘにそして合成される回折光Ｅ６
（−１次）が測定方向Ｘに生ずる。これらの合成される
回折光（Ｅ１〜Ｅ６は偏向プリズム９及びコンデンサ５
を通って測定方向Ｘのための検光子Ｄ１〜Ｄ６の第１の
グループ上に入射する（合成される回折光Ｅ３ａ，Ｅ３
ｂ又はＥ４ａ，Ｅ４ｂは共に検光子Ｄ３又はＤ４上に入
射する）。検光子Ｄ１〜Ｄ６は測定方向Ｘのための位置
測定値Ｗの取得のためのホモダイン作動する評価ユニッ
トＡＥに供給される電気的走査信号を発生する。
を通過しかつ新たな回折の下に干渉に至る。それによっ
て走査格子７の後方で干渉する回折光Ｃ１，Ｃ３から合
成された回折光Ｅ１（＋１次）が測定方向Ｘにそして合
成された回折光Ｅ４ａ（０次）が測定方向Ｘに、干渉す
る回折光Ｃ１，Ｃ４から合成される回折光Ｅ２（＋１
次）が測定方向Ｘにそして合成される回折光Ｅ４ａ（０
次）が測定方向Ｘに、干渉する回折光Ｃ５，Ｃ７から合
成される回折光Ｅ３ａ（０次）が測定方向Ｘにそして合
成される回折光Ｅ５（−１次）が測定方向Ｘにそして干
渉する回折光Ｃ６，Ｃ８から合成される回折光Ｅ４ａ
（０次）が測定方向Ｘにそして合成される回折光Ｅ６
（−１次）が測定方向Ｘに生ずる。これらの合成される
回折光（Ｅ１〜Ｅ６は偏向プリズム９及びコンデンサ５
を通って測定方向Ｘのための検光子Ｄ１〜Ｄ６の第１の
グループ上に入射する（合成される回折光Ｅ３ａ，Ｅ３
ｂ又はＥ４ａ，Ｅ４ｂは共に検光子Ｄ３又はＤ４上に入
射する）。検光子Ｄ１〜Ｄ６は測定方向Ｘのための位置
測定値Ｗの取得のためのホモダイン作動する評価ユニッ
トＡＥに供給される電気的走査信号を発生する。
【００１５】図示しない同種の光路は測定方向Ｙについ
ても存在し、その結果検光子Ｔ１〜Ｔ６の第２のグルー
プは同様に電気的走査信号を発生し、この走査信号から
同様に測定方向Ｙの位置測定値Ｗがホモダイン作動する
評価ユニットＡＥによって取得される。
ても存在し、その結果検光子Ｔ１〜Ｔ６の第２のグルー
プは同様に電気的走査信号を発生し、この走査信号から
同様に測定方向Ｙの位置測定値Ｗがホモダイン作動する
評価ユニットＡＥによって取得される。
【００１６】偏向プリズム９、１０の形の両分離要素は
１つの光源のみが設けられている場合に両測定方向Ｘ，
Ｙのための回折光（Ｅ１〜Ｅ６）の分離に使用される。
図示しない方法で分離要素として格子又は偏光要素が使
用されることができる。光源の代わりに複数の光源が設
けられることができ、両測定方向Ｘ，Ｙに属する回折光
グループは単一の検光子グループのみによって時間差を
もって検出される。
１つの光源のみが設けられている場合に両測定方向Ｘ，
Ｙのための回折光（Ｅ１〜Ｅ６）の分離に使用される。
図示しない方法で分離要素として格子又は偏光要素が使
用されることができる。光源の代わりに複数の光源が設
けられることができ、両測定方向Ｘ，Ｙに属する回折光
グループは単一の検光子グループのみによって時間差を
もって検出される。
【００１７】高調波率従って測定装置の走査信号の品質
は使用された少なくとも1 つの光源３に依存する。例え
ば少なくとも1 つのの光源３がその周波数成分が相互に
干渉することができる光を発する場合、走査信号に信号
部分が生じ、信号部分は周波数成分の周波数差によって
振動する。そのような振動信号はヘテロダイン干渉計か
ら公知である。しかし本発明の測定装置ではヘテロダイ
ン干渉計とは異なりホモダイン作動する測定装置として
特徴づけられることができ、これらの振動信号を阻害す
る。従って少なくとも1 つのの光源３がその周波数成分
が相互に干渉性を有しないない光を発しなければならな
い。少なくとも1 つの光源３として例えば１つ又は複数
のレーザが使用され、レーザはそれによって１つの周波
数成分しか有しない光を発する。個々の周波数成分の周
波数間隔が検光子Ｄ１〜Ｄ６，Ｔ１〜Ｔ６が振動周波数
をもって振動する信号部分を検出することができない、
即ち相異なる周波数成分が相互に干渉性を有しない程大
きい場合に、複数の相異なる周波数成分を有する光を発
する１つ又は複数のレーザも設けられることができる。
例えば少なくとも1 つの発光ダイオードのような広帯域
発光スペクトルを有する少なくとも1 つの光源３が設け
られることができる。好ましくは広い帯域幅の発光スペ
クトルを有する光源３が使用される、そのわけはこの場
合走査信号の高調波率が少ないからである。少なくとも
1 つの光源３の空間的伸長も走査信号の高調波率を小さ
くする。従って例えば発光ダイオードのような少なくと
も1 つの広い帯域幅かつ空間的に広がった光源３が使用
されるのは特に好適である。
は使用された少なくとも1 つの光源３に依存する。例え
ば少なくとも1 つのの光源３がその周波数成分が相互に
干渉することができる光を発する場合、走査信号に信号
部分が生じ、信号部分は周波数成分の周波数差によって
振動する。そのような振動信号はヘテロダイン干渉計か
ら公知である。しかし本発明の測定装置ではヘテロダイ
ン干渉計とは異なりホモダイン作動する測定装置として
特徴づけられることができ、これらの振動信号を阻害す
る。従って少なくとも1 つのの光源３がその周波数成分
が相互に干渉性を有しないない光を発しなければならな
い。少なくとも1 つの光源３として例えば１つ又は複数
のレーザが使用され、レーザはそれによって１つの周波
数成分しか有しない光を発する。個々の周波数成分の周
波数間隔が検光子Ｄ１〜Ｄ６，Ｔ１〜Ｔ６が振動周波数
をもって振動する信号部分を検出することができない、
即ち相異なる周波数成分が相互に干渉性を有しない程大
きい場合に、複数の相異なる周波数成分を有する光を発
する１つ又は複数のレーザも設けられることができる。
例えば少なくとも1 つの発光ダイオードのような広帯域
発光スペクトルを有する少なくとも1 つの光源３が設け
られることができる。好ましくは広い帯域幅の発光スペ
クトルを有する光源３が使用される、そのわけはこの場
合走査信号の高調波率が少ないからである。少なくとも
1 つの光源３の空間的伸長も走査信号の高調波率を小さ
くする。従って例えば発光ダイオードのような少なくと
も1 つの広い帯域幅かつ空間的に広がった光源３が使用
されるのは特に好適である。
【００１８】図５には後接続されたホモダイン作動する
評価ユニットを備えた検光子Ｄ１〜Ｄ６のグループが示
されている。検光子Ｄ１＋Ｄ２，Ｄ３＋Ｄ４及びＤ５＋
Ｄ６は対に接続されかつ走査格子７の構成に依存する位
相差、特に１２０°の位相差を有する組合された正弦曲
線の走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を供給する。
評価ユニットを備えた検光子Ｄ１〜Ｄ６のグループが示
されている。検光子Ｄ１＋Ｄ２，Ｄ３＋Ｄ４及びＤ５＋
Ｄ６は対に接続されかつ走査格子７の構成に依存する位
相差、特に１２０°の位相差を有する組合された正弦曲
線の走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を供給する。
【００１９】図６には、測定方向Ｘに依存して測定方向
Ｘに相互に１２０°の位相差を有する３つの組合された
走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の信号ダイヤグラムが示され
ている。
Ｘに相互に１２０°の位相差を有する３つの組合された
走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の信号ダイヤグラムが示され
ている。
【００２０】これら３つの組合された走査信号Ｓ１，Ｓ
２，Ｓ３は図５による評価ユニットＡＥに供給され、走
査ユニットは走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の瞬間値（振幅
値又は信号高さ）から両対象物の任意の相対位置Ｘ0 の
ための位置測定信Ｗを導く。ヘテロダイン干渉計から公
知のように、この評価ユニットＡＥは時間的に振動する
振動信号の位相状態をこの相対位置Ｘ0 の決定のために
使用されるのではなく、むしろ3 つの走査信号走査信号
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の瞬間値が使用されるので、これはホ
モダイン作動する評価ユニットＡＥと称される。評価ユ
ニットは公知の方法で走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の個々
の信号周期の計数のためのカウンタ及び又は位置測定値
Ｗの精度を向上のための少なくとも1 つの補間ユニット
を含む。最も簡単な場合、ホモダイン作動する評価ユニ
ットＡＥは相対位置の直接値としての走査信号の瞬間値
を両対象物の相対位置の限られた範囲内に発生すること
ができる。
２，Ｓ３は図５による評価ユニットＡＥに供給され、走
査ユニットは走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の瞬間値（振幅
値又は信号高さ）から両対象物の任意の相対位置Ｘ0 の
ための位置測定信Ｗを導く。ヘテロダイン干渉計から公
知のように、この評価ユニットＡＥは時間的に振動する
振動信号の位相状態をこの相対位置Ｘ0 の決定のために
使用されるのではなく、むしろ3 つの走査信号走査信号
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の瞬間値が使用されるので、これはホ
モダイン作動する評価ユニットＡＥと称される。評価ユ
ニットは公知の方法で走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の個々
の信号周期の計数のためのカウンタ及び又は位置測定値
Ｗの精度を向上のための少なくとも1 つの補間ユニット
を含む。最も簡単な場合、ホモダイン作動する評価ユニ
ットＡＥは相対位置の直接値としての走査信号の瞬間値
を両対象物の相対位置の限られた範囲内に発生すること
ができる。
【００２１】前記措置は測定方向Ｙに所属する検光子Ｔ
１〜Ｔ６の第２のグループにも通用する。図示しない方
法で各グループのための検光子が上記以外の個数、例え
ば３個使用されることもできる。
１〜Ｔ６の第２のグループにも通用する。図示しない方
法で各グループのための検光子が上記以外の個数、例え
ば３個使用されることもできる。
【００２２】図７によれば特別に有利な方法で測定具現
体２の回折構造１１は位相格子として形成されかつその
縁がそれによってクロス格子の格子線に対して平行でそ
の間隔が縁の長さと等しい矩形の周期的構成から成る。
この測定具現体２は得られた走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３
では特別に小さい高調波部分の利点を有する。
体２の回折構造１１は位相格子として形成されかつその
縁がそれによってクロス格子の格子線に対して平行でそ
の間隔が縁の長さと等しい矩形の周期的構成から成る。
この測定具現体２は得られた走査信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３
では特別に小さい高調波部分の利点を有する。
【００２３】図７によれば測定具現体２には少なくとも
1 つの参照信号の取得のための参照マークＲ１，Ｒ２が
付設されている。図７には測定方向Ｘに第１の参照マー
クＲ１がそして測定方向Ｙには第２の参照マークＲ２が
付設されている。これらの参照マークＲ１，Ｒ２は所属
の測定方向Ｘ，Ｙに対して垂直の測定方向Ｙ，Ｘの全長
に渡って延在し、その結果参照マークＲ１，Ｒ２は測定
具現体２に対する走査ユニット１の各任意の位置で必要
な場合に所属の測定方向Ｘ，Ｙにおける走査ユニット１
の移動によってのみ走査されることができる。
1 つの参照信号の取得のための参照マークＲ１，Ｒ２が
付設されている。図７には測定方向Ｘに第１の参照マー
クＲ１がそして測定方向Ｙには第２の参照マークＲ２が
付設されている。これらの参照マークＲ１，Ｒ２は所属
の測定方向Ｘ，Ｙに対して垂直の測定方向Ｙ，Ｘの全長
に渡って延在し、その結果参照マークＲ１，Ｒ２は測定
具現体２に対する走査ユニット１の各任意の位置で必要
な場合に所属の測定方向Ｘ，Ｙにおける走査ユニット１
の移動によってのみ走査されることができる。
【００２４】図８によれば測定方向Ｘのための唯１つの
参照マークＲ１が延在されることができ、一方他の参照
マークＲ２は延在していない。
参照マークＲ１が延在されることができ、一方他の参照
マークＲ２は延在していない。
【００２５】図４によれば測定装置は光軸Ａを有し、光
軸は走査格子７の法線方向及びこれに対して平行に配設
されているクロス格子１１の法線方向によって与えられ
る。光源３は光軸Ａに配設されておりかつ光源３から出
てコリメータによって平行光線にされた光束は光軸Ａに
おいて走査格子７上に現れるので、それぞれ合成された
回折光（Ｅ１〜Ｅ６）が形成されるための各対Ｃ１，Ｃ
３；Ｃ２，Ｃ４；Ｃ５，Ｃ７及びＣ６，Ｃ８の個々の干
渉する回折光の間にクロス格子１１によって制限された
回折光Ｃ１〜Ｃ８の横方向の偏向（測定方向Ｙ）によっ
て生ずる小さい光学的路程差が存在する。その場合例え
ば回折光Ｂ１＋Ｃ２の光学的路程が回折光Ｂ２＋Ｃ４の
光学的路程と等しくない。これらの光学的路程差は測定
精度に影響し得る、所属の検光子Ｄ１〜Ｄ６の周期的走
査信号での位相差に繋がる。光学的路程差は走査格子７
とクロス格子１１との間の距離並びに走査格子７及びク
ロス格子１１の格子定数ｄ、ｄｅの逆１／４％に依存す
る。
軸は走査格子７の法線方向及びこれに対して平行に配設
されているクロス格子１１の法線方向によって与えられ
る。光源３は光軸Ａに配設されておりかつ光源３から出
てコリメータによって平行光線にされた光束は光軸Ａに
おいて走査格子７上に現れるので、それぞれ合成された
回折光（Ｅ１〜Ｅ６）が形成されるための各対Ｃ１，Ｃ
３；Ｃ２，Ｃ４；Ｃ５，Ｃ７及びＣ６，Ｃ８の個々の干
渉する回折光の間にクロス格子１１によって制限された
回折光Ｃ１〜Ｃ８の横方向の偏向（測定方向Ｙ）によっ
て生ずる小さい光学的路程差が存在する。その場合例え
ば回折光Ｂ１＋Ｃ２の光学的路程が回折光Ｂ２＋Ｃ４の
光学的路程と等しくない。これらの光学的路程差は測定
精度に影響し得る、所属の検光子Ｄ１〜Ｄ６の周期的走
査信号での位相差に繋がる。光学的路程差は走査格子７
とクロス格子１１との間の距離並びに走査格子７及びク
ロス格子１１の格子定数ｄ、ｄｅの逆１／４％に依存す
る。
【００２６】図９には周期的走査信号の位相差のためそ
のような測定精度の回避のための測定方向Ｘのための図
１による測定装置の他の展開された光路が示されてい
る。
のような測定精度の回避のための測定方向Ｘのための図
１による測定装置の他の展開された光路が示されてい
る。
【００２７】本発明によれば光源３はコリメータ５によ
って平行光線にされる光を発し、この光は測定方向（方
向Ｙ）に対して垂直の光軸Ａに対して所定の角α傾いて
いる。この光源３から出てコリメータ９によって平行光
線にされた光束はこの角αで走査格子７を通りかつ複数
の回折光に分割され、そのうち回折光Ｂ１（＋１次）、
Ｂ２（０次）及び回折光Ｂ３（−１次）が図示されてい
る。
って平行光線にされる光を発し、この光は測定方向（方
向Ｙ）に対して垂直の光軸Ａに対して所定の角α傾いて
いる。この光源３から出てコリメータ９によって平行光
線にされた光束はこの角αで走査格子７を通りかつ複数
の回折光に分割され、そのうち回折光Ｂ１（＋１次）、
Ｂ２（０次）及び回折光Ｂ３（−１次）が図示されてい
る。
【００２８】これらの回折光Ｂ１〜Ｂ３は測定具現体の
クロス格子１１を通る。クロス格子１１は角回折光Ｂ１
〜Ｂ３を２つの回折光（＋１次）と２つの回折光（−１
次）に分割し、これらは測定方向Ｘにもこれと垂直の方
向Ｙにもクロス格子１１の対角線方向の配列によって偏
向される。
クロス格子１１を通る。クロス格子１１は角回折光Ｂ１
〜Ｂ３を２つの回折光（＋１次）と２つの回折光（−１
次）に分割し、これらは測定方向Ｘにもこれと垂直の方
向Ｙにもクロス格子１１の対角線方向の配列によって偏
向される。
【００２９】それによって回折光Ｂ１は回折光Ｃ１（−
１次）に、回折光Ｂ２は回折光Ｃ４（＋１次）及び回折
光Ｃ６（−１次）に並びに回折光Ｂ３は回折光Ｃ８（＋
１次）に分割され、残りの不必要な回折光は見通しを良
くするために図示しない。
１次）に、回折光Ｂ２は回折光Ｃ４（＋１次）及び回折
光Ｃ６（−１次）に並びに回折光Ｂ３は回折光Ｃ８（＋
１次）に分割され、残りの不必要な回折光は見通しを良
くするために図示しない。
【００３０】回折光Ｃ２，Ｃ４，Ｃ６，Ｃ８は続いて再
び走査格子７を通りかつ新たに回折して干渉を起こす。
それによって干渉する回折光Ｃ２，Ｃ４から合成される
回折光（Ｅ２（＋１次）が測定方向Ｘにそして合成され
る回折光Ｅ４ａ（０次）が測定方向Ｘに並びに干渉する
回折光Ｃ６，Ｃ８から合成される回折光（Ｅ４ｂ（０
次）が測定方向Ｘにそして合成される回折光Ｅ６（−１
次）が測定方向Ｘに生ずる。これらの合成される回折光
Ｅ２，Ｅ４ａ，Ｅ４ｂ，Ｅ６はコリメータ５によって測
定方向Ｘのための３つの検光子Ｄ２，Ｄ４，Ｄ６のグル
ープ上に入射する（合成される回折光Ｅ４ａ，Ｅ４ｂは
共に検光子Ｄ４上に入射する）。３つの検光子Ｄ２，Ｄ
４，Ｄ６は１２０°の位相差の周期的走査信号を発生
し、これから公知の方法で測定方向Ｘの位置測定値が得
られる。
び走査格子７を通りかつ新たに回折して干渉を起こす。
それによって干渉する回折光Ｃ２，Ｃ４から合成される
回折光（Ｅ２（＋１次）が測定方向Ｘにそして合成され
る回折光Ｅ４ａ（０次）が測定方向Ｘに並びに干渉する
回折光Ｃ６，Ｃ８から合成される回折光（Ｅ４ｂ（０
次）が測定方向Ｘにそして合成される回折光Ｅ６（−１
次）が測定方向Ｘに生ずる。これらの合成される回折光
Ｅ２，Ｅ４ａ，Ｅ４ｂ，Ｅ６はコリメータ５によって測
定方向Ｘのための３つの検光子Ｄ２，Ｄ４，Ｄ６のグル
ープ上に入射する（合成される回折光Ｅ４ａ，Ｅ４ｂは
共に検光子Ｄ４上に入射する）。３つの検光子Ｄ２，Ｄ
４，Ｄ６は１２０°の位相差の周期的走査信号を発生
し、これから公知の方法で測定方向Ｘの位置測定値が得
られる。
【００３１】光源３がコリメータ５によって平行光線に
された光を最適の角α＝ｓｉｎ-1( λ/ 2d)(λ =光束L
の波長) で測定方向( 方向Y)に対して垂直の光軸A に対
して傾けられた方向に送られる場合、各対Ｃ２，Ｃ４及
びＣ６，Ｃ８の個々の干渉する回折光の間の光学的路程
差を生じ、これから合成された回折光（Ｅ２，Ｅ４，Ｅ
６が形成される。即ち両Ｂ１＋Ｃ２の光学的路程長の合
計が両回折光Ｂ２＋Ｃ４の光学的路程長の合計とが等し
い。両回折光Ｂ２＋Ｃ６の光学的路程長が両回折光Ｂ３
＋Ｃ８の光学的路程長さの合計と等しい。それによっ
て走査格子７とクロス格子１１の小さい格子定数ｄ，ｄ
ｅでも測定精度低下に繋がり得る距離に依存した位相差
は周期的走査信号では生じ得ない。
された光を最適の角α＝ｓｉｎ-1( λ/ 2d)(λ =光束L
の波長) で測定方向( 方向Y)に対して垂直の光軸A に対
して傾けられた方向に送られる場合、各対Ｃ２，Ｃ４及
びＣ６，Ｃ８の個々の干渉する回折光の間の光学的路程
差を生じ、これから合成された回折光（Ｅ２，Ｅ４，Ｅ
６が形成される。即ち両Ｂ１＋Ｃ２の光学的路程長の合
計が両回折光Ｂ２＋Ｃ４の光学的路程長の合計とが等し
い。両回折光Ｂ２＋Ｃ６の光学的路程長が両回折光Ｂ３
＋Ｃ８の光学的路程長さの合計と等しい。それによっ
て走査格子７とクロス格子１１の小さい格子定数ｄ，ｄ
ｅでも測定精度低下に繋がり得る距離に依存した位相差
は周期的走査信号では生じ得ない。
【００３２】１つの光源の代わりに複数の光源が設けら
れることもできる。
れることもできる。
【００３３】測定装置は反射式にも透過光測定原理によ
っても構成されることができる。反射光による測定原理
による測定装置では最適の照明角度α＝ｓｉｎ-1( λ/
2d)(λ =光束L の波長) では合成される回折光Ｅ４ａ，
Ｅ４ｂが光源３に戻される。従ってこの場合各αは理想
的角α＝ｓｉｎ-1( λ/ 2d)(から偏し、それによってコ
リメータによって平行光線にされた光束Ｌと合成される
回折光Ｅ４ａ，Ｅ４ｂの分離が保証される。
っても構成されることができる。反射光による測定原理
による測定装置では最適の照明角度α＝ｓｉｎ-1( λ/
2d)(λ =光束L の波長) では合成される回折光Ｅ４ａ，
Ｅ４ｂが光源３に戻される。従ってこの場合各αは理想
的角α＝ｓｉｎ-1( λ/ 2d)(から偏し、それによってコ
リメータによって平行光線にされた光束Ｌと合成される
回折光Ｅ４ａ，Ｅ４ｂの分離が保証される。
【００３４】
【発明の効果】本発明によって得られる効果は特にクロ
ス格子の使用によってクロス格子で１つの測定方向並び
にこの測定方向と直角の方向に向けられる回折光のみが
検光されることにある。それによってクロス格子の０次
の回折光は走査格子から直接反射された光と同様に検光
子には達しない。従ってクロス格子は３次の回折光がク
ロス格子で打ち消されそれによって得られた走査信号は
高い変調度と極端に低い高調波を有するように構成され
る。その上ヨーロッパ特許明細書０１６３３６２Ｂ１の
測定装置において測定尺格子の不完全な構成で生ずるよ
うな測定尺の次数が偶数の回折光は本発明による測定装
置では検光子上に生じない。それによって改良された正
弦曲線が走査信号の高い補間を可能にする。更に走査格
子とクロス格子との間の小さい距離では走査信号におけ
る阻害的な分数周波は生じない。
ス格子の使用によってクロス格子で１つの測定方向並び
にこの測定方向と直角の方向に向けられる回折光のみが
検光されることにある。それによってクロス格子の０次
の回折光は走査格子から直接反射された光と同様に検光
子には達しない。従ってクロス格子は３次の回折光がク
ロス格子で打ち消されそれによって得られた走査信号は
高い変調度と極端に低い高調波を有するように構成され
る。その上ヨーロッパ特許明細書０１６３３６２Ｂ１の
測定装置において測定尺格子の不完全な構成で生ずるよ
うな測定尺の次数が偶数の回折光は本発明による測定装
置では検光子上に生じない。それによって改良された正
弦曲線が走査信号の高い補間を可能にする。更に走査格
子とクロス格子との間の小さい距離では走査信号におけ
る阻害的な分数周波は生じない。
【図１】２つの測定方向の干渉測定装置の側面図であ
る。
る。
【図２】１つの光源と２つのグループの検光子を備えた
プレートの平面図である。
プレートの平面図である。
【図３】２つのクロスした走査格子を備えた走査板の平
面図である。
面図である。
【図４】図１による１つの測定方向の測定装置のための
展開された光路を示す図である。
展開された光路を示す図である。
【図５】評価ユニットを備えた１つのグループの検光子
を示す図である。
を示す図である。
【図６】走査信号による信号ダイヤグラムを示す図であ
る。
る。
【図７】参照マークを備えた測定具現体を示す図であ
る。
る。
【図８】他の参照マークを備えた測定具現体を示す図で
ある。
ある。
【図９】図１による１つの測定方向の測定装置のための
他の展開された光路を示す図である。
他の展開された光路を示す図である。
２ 測定具現体 ３ 光源 ７ 走査格子 ８ 走査格子 １１ 回折構造 Ｃ１〜Ｃ８ 回折光 Ｄ１〜Ｄ６ 検光子 Ｅ１〜Ｅ６ 回折光 Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３ 走査信号 Ｔ１〜Ｔ６ 検光子 Ｘ，Ｙ 測定方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウオルフガング・ホルツアプフエル ドイツ連邦共和国、オビング、ブルメンス トラーセ、24 (72)発明者 ハンスールドルフ・コーバー ドイツ連邦共和国、キルヒヴァイダッハ、 フィンケンシュトラーセ、23 (56)参考文献 特開 昭60−260813（ＪＰ，Ａ)
Claims (18)
- 【請求項１】 少なくとも１つの走査格子と、１つの光
源と、複数の検光子とを有しかつ測定具現体を走査する
走査ユニットと測定具現体との間の相対位置を測定する
ための干渉測定装置において、 ａ）光源（３）が測定具現体（２）上に光を放射し、そ
の光の振動数成分は相互に干渉性を有さず、 ｂ）測定具現体（２）が測定方向（Ｘ、Ｙ）及びこれに
対して垂直の方向（Ｙ、Ｘ）において回折光（Ｃ１〜Ｃ
８）の発生のための回折構造（１１）を有し、 ｃ）走査格子（７、８）の格子線は前記測定方向（Ｘ、
Ｙ）に対して垂直に向いており、 ｄ）位置に依存する走査信号（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の発
生のために検光子（Ｄ１〜Ｄ６、Ｔ１〜Ｔ６）の１つの
グループは、測定具現体（２）の回折構造（１１）で前
記測定方向（Ｘ、Ｙ）にもこれに対して垂直の方向
（Ｙ、Ｘ）にも偏向される回折光（Ｅ１〜Ｅ６）のみが
検出されるように配設されていることを特徴とする前記
測定装置。 - 【請求項２】 検光子（Ｄ１〜Ｄ６、Ｔ１〜Ｔ６）の走
査信号（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）が位置測定値（Ｗ）の形成
のためのホモダイン作用する評価ユニット（ＡＥ）に供
給される請求項１記載の測定装置。 - 【請求項３】 測定具現体（２）の回折構造（１１）が
クロス格子から成り、その格子線が測定方向（Ｘ、Ｙ）
に対して対角線の方向に向いている、請求項１記載の測
定装置。 - 【請求項４】 走査格子（７，８）の格子定数ｄが測定
方向（Ｘ，Ｙ）におけるクロス格子（１１）の有効な格
子定数ｄｅに等しい、請求項１又は３記載の測定装置。 - 【請求項５】 １つの測定方向（Ｘ、Ｙ）のための走査
信号（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の発生のために、６つの検光
子（Ｄ１〜Ｄ６、Ｔ１〜Ｔ６）から成る１つのグループ
が設けられており、その際測定方向（Ｘ、Ｙ）において
同一の傾きを有する回折光線（Ｅ１〜Ｅ６）を検出する
前記検光子が対状に接続されている、請求項１記載の測
定装置。 - 【請求項６】 各測定方向（Ｘ，Ｙ）において＋１．，
０．及び−１．次に偏向される合成された回折光（Ｅ
２，Ｅ４，Ｅ６又はＥ１，Ｅ３，Ｅ５）のみが検出さ
れ、検光子（Ｄ１〜Ｄ６、Ｔ１〜Ｔ６）のグループから
供給される走査信号（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）が走査格子
（７，８）の特定された特性によって特に１２０°の相
互の位相位置を有する、請求項１記載の測定装置。 - 【請求項７】 ホモダイン作動する評価ユニット（Ａ
Ｅ）が補間ユニットを有する、請求項１記載の測定装
置。 - 【請求項８】 光源（３）がスペクトル幅の広い光を放
射する、請求項１記載の測定装置。 - 【請求項９】 光源（３）が空間的に広がっている、請
求項１記載の測定装置。 - 【請求項１０】 光源（３）から出てコリメータ（５）
によって平行光線にされた光束（Ｌ）が、光軸（Ａ）と
０°ではない角αをなしている請求項１記載の測定装
置。 - 【請求項１１】 角αが理想値ｓｉｎ−１（λ／２ｄ）
に等しいか又は殆ど等しい（λは光源３の波長、ｄは走
査格子７、８の格子定数）、請求項１０記載の測定装
置。 - 【請求項１２】 測定装置は２つの対角線測定方向
（Ｘ，Ｙ）における測定のために構成され、走査格子
（６）は２つのクロスした走査格子（７，８）を備え、
その格子線は相互に垂直になっている、請求項３記載の
測定装置。 - 【請求項１３】 ２つの対角線測定方向（Ｘ、Ｙ）のた
めに検光子（Ｄ１〜Ｄ６又はＴ１〜Ｔ６）の１つの共通
の群が設けられ又は検光子（Ｄ１〜Ｄ６又はＴ１〜Ｔ
６）の別の２つの群が設けられている請求項１２記載の
測定装置。 - 【請求項１４】 両測定方向（Ｘ，Ｙ）の回折光（Ｅ〜
Ｅ６）の分離のために分離要素（９，１０）が設けられ
ている、請求項１２記載の測定装置。 - 【請求項１５】 分離要素（９，１０）少なくとも１つ
の偏向プリズム、回折格子又は偏光光学的要素から成
る、請求項１４記載の測定装置。 - 【請求項１６】 対象物の相対位置の測定のための２つ
の測定方向の測定装置にして、測定具現体は走査ユニッ
トによって走査されるものにおいて、 測定具現体（２）に少なくとも１つの参照信号（Ｒ１、
Ｒ２）の取得のための少なくとも１つの参照マーク（Ｒ
１、Ｒ２）が付設されておりそして少なくとも１つの参
照マーク（Ｒ１、Ｒ２）がその所属の測定方向（Ｘ，
Ｙ）に対して垂直の測定方向（Ｙ，Ｘ）に延在すること
を特徴とする測定装置。 - 【請求項１７】 少なくとも１つの参照マーク（Ｒ１，
Ｒ２）が所属の測定方向（Ｘ，Ｙ）に対して垂直の測定
方向（Ｙ，Ｘ）の全測定長さに渡って延在する、請求項
１６記載の測定装置。 - 【請求項１８】 測定具現体（２）が位相格子から成
る、請求項１から１７までのうちのいずれか一記載の測
定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP90120177A EP0482224B1 (de) | 1990-10-20 | 1990-10-20 | Interferentielle Messeinrichtung für wenigstens eine Messrichtung |
| DE901201772 | 1990-10-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259817A JPH04259817A (ja) | 1992-09-16 |
| JPH0812048B2 true JPH0812048B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=8204637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3269763A Expired - Fee Related JPH0812048B2 (ja) | 1990-10-20 | 1991-10-17 | 干渉測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5264915A (ja) |
| EP (1) | EP0482224B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0812048B2 (ja) |
| AT (1) | ATE100194T1 (ja) |
| DE (3) | DE59004252D1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0575641B1 (de) * | 1992-06-17 | 1996-08-28 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Messeinrichtung |
| US5519492A (en) * | 1992-06-27 | 1996-05-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optical arrangement for detecting the intensity modulation of partial ray beams |
| AT404637B (de) * | 1993-01-21 | 1999-01-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Photoelektrische positionsmesseinrichtung |
| DE4302313C2 (de) * | 1993-01-28 | 1996-12-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Meßeinrichtung |
| DE4316250C2 (de) * | 1993-05-14 | 1997-06-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| JP3082516B2 (ja) * | 1993-05-31 | 2000-08-28 | キヤノン株式会社 | 光学式変位センサおよび該光学式変位センサを用いた駆動システム |
| DE4318741C2 (de) | 1993-06-05 | 1995-04-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| DE4323712C2 (de) * | 1993-07-15 | 1997-12-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE19511068A1 (de) * | 1995-03-25 | 1996-09-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
| DE19527287C2 (de) * | 1995-07-26 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrisches Weg- und Winkelmeßsystem zum Messen der Verschiebung zweier Objekte zueinander |
| GB9603426D0 (en) | 1996-02-19 | 1996-04-17 | Western Atlas Uk Ltd | Improved monitoring system for workpiece and tool carriage movement |
| DE19652562C2 (de) * | 1996-12-17 | 1999-07-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19815241A1 (de) * | 1998-04-04 | 1999-10-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19918101A1 (de) | 1999-04-22 | 2000-10-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische Positionsmeßeinrichtung |
| JP2006010645A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Tohoku Univ | 検出装置及びステージ装置 |
| JP2005315649A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 検出装置及びステージ装置 |
| KR100854265B1 (ko) * | 2004-04-27 | 2008-08-26 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 검출장치 및 스테이지장치 |
| JP6838954B2 (ja) * | 2016-12-13 | 2021-03-03 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
| CN115993088A (zh) * | 2021-10-20 | 2023-04-21 | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 | 光学位置测量设备 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL6801683A (ja) * | 1968-02-06 | 1969-08-08 | ||
| DE2316248A1 (de) * | 1973-03-31 | 1974-10-10 | Leitz Ernst Gmbh | Fotoelektrischer schrittgeber |
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| CH626169A5 (ja) * | 1976-11-25 | 1981-10-30 | Leitz Ernst Gmbh | |
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