JPH08119633A - Production of fine barium titanate particles - Google Patents

Production of fine barium titanate particles

Info

Publication number
JPH08119633A
JPH08119633A JP28394994A JP28394994A JPH08119633A JP H08119633 A JPH08119633 A JP H08119633A JP 28394994 A JP28394994 A JP 28394994A JP 28394994 A JP28394994 A JP 28394994A JP H08119633 A JPH08119633 A JP H08119633A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fine particles
water
batio
barium titanate
reaction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28394994A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Kamihira
暁 上平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP28394994A priority Critical patent/JPH08119633A/en
Publication of JPH08119633A publication Critical patent/JPH08119633A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

PURPOSE: To obtain fine barium titanate particles free from corrosive ions at a low cost by bringing a suspension consisting of fine TiO2 particles, a water- soluble barium compd., an alkaline compd. and water into an aq. soln. reaction in an autoclave. CONSTITUTION: Fine TiO2 particles of <=80μm particle diameter are mixed with a water-soluble barium compd., an alkaline compd. and water so that the molar ratio of Ba to Ti is regulated to 0.8-3 and the resultant suspension of >=pH 13.3 is charged into an autoclave and brought into an aq. soln. reaction at >=130 deg.C for >=1hr to obtain the objective fine barium titanate particles of 30-80μm particle diameter.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、誘電材料,圧電材料,
電歪材料として用いられるチタン酸バリウム微粒子の製
造方法に関する。
The present invention relates to a dielectric material, a piezoelectric material,
The present invention relates to a method for producing fine particles of barium titanate used as an electrostrictive material.

【0002】[0002]

【従来の技術】チタン酸バリウム(BaTiO3 )の焼
成体は、コンデンサの誘電材料の他、圧電材料,電歪材
料等、各種機能材料として用いられている。この焼成原
料となるBaTiO3 粒子は、このような用途から、さ
らなる微粒子化,粒子サイズの均一化が求められるよう
になっている。
2. Description of the Related Art A fired body of barium titanate (BaTiO 3 ) is used as various functional materials such as a dielectric material of a capacitor, a piezoelectric material and an electrostrictive material. The BaTiO 3 particles used as the firing raw material are required to be further finer and have a uniform particle size for such applications.

【0003】例えば、コンデンサにおいては、近年、大
容量化とともに他の電子部品の場合と同様に小型化,軽
量化及び低価格化も求められている。そのような要求に
応えるものとしてBaTiO3 の焼成体を誘電材料とし
て使用する積層セラミックコンデンサ(チタン酸バリウ
ム・コンデンサ)が注目されている。BaTiO3 の焼
成体は、誘電率が極めて高いため、小型で大容量のコン
デンサが実現し得ることになる。
For example, in recent years, capacitors have been required to have smaller capacities, lighter weights, and lower prices as well as other electronic parts, as well as to have larger capacities. In order to meet such a demand, a monolithic ceramic capacitor (barium titanate capacitor) using a BaTiO 3 fired body as a dielectric material has been receiving attention. Since the BaTiO 3 fired body has a very high dielectric constant, a compact and large-capacity capacitor can be realized.

【0004】ここで、このようなチタン酸バリウム・コ
ンデンサを、厚さを均一に保ちながらより一層の薄型化
を図るには、まず焼成原料となるBaTiO3 粒子が微
細であることが必要である。また、積層セラミックコン
デンサでは、焼結性や温度特性を改善するために誘電材
料層に鉛等の添加物が添加される場合がある。このと
き、誘電材料層の焼結温度が高いと添加された鉛等の一
部が蒸発し、誘電材料層の組成が不均一になる。この場
合に、原料となるBaTiO3 粒子が微粒子であれば焼
結温度が低く抑えられるので、焼結に際する鉛等の蒸発
が抑えられ、組成の均一な誘電材料層が形成されること
になる。
Here, in order to further reduce the thickness of such a barium titanate capacitor while keeping the thickness uniform, it is necessary that the BaTiO 3 particles used as the firing raw material be fine. . Further, in a monolithic ceramic capacitor, an additive such as lead may be added to the dielectric material layer in order to improve sinterability and temperature characteristics. At this time, if the sintering temperature of the dielectric material layer is high, part of the added lead or the like is evaporated, and the composition of the dielectric material layer becomes non-uniform. In this case, if the BaTiO 3 particles used as the raw material are fine particles, the sintering temperature can be kept low, so that evaporation of lead or the like during sintering can be suppressed and a dielectric material layer having a uniform composition can be formed. Become.

【0005】以上のようにBaTiO3 粒子は、コンデ
ンサの誘電材料の原料として微粒子化が望まれる他、電
歪材料や圧電材料,透明セラミック材料の原料としても
その特性を改善する目的から微粒子化が求められる。こ
の他、最近では、合成樹脂に、その特性改善を狙って、
種々の無機粉末材料が添加されることが行われている。
この無機粉末材料としてBaTiO3 粒子を用いる場合
にも、このBaTiO3 粒子が微粒子であれば成形等の
樹脂加工において表面性を良好にすることができ、極め
て都合が良い。
As described above, BaTiO 3 particles are desired to be made into fine particles as a raw material for a dielectric material of a capacitor, and also as a raw material for an electrostrictive material, a piezoelectric material, and a transparent ceramic material, for the purpose of improving their characteristics. Desired. In addition, recently, with the aim of improving the characteristics of synthetic resins,
Various inorganic powder materials have been added.
Even when BaTiO 3 particles are used as the inorganic powder material, if the BaTiO 3 particles are fine particles, the surface property can be improved in resin processing such as molding, which is extremely convenient.

【0006】このため、そのような微細なBaTiO3
粒子を得るべく、各種製造方法が提案されている。ま
ず、これまでBaTiO3 粉末は、おもに固相反応で製
造されている。すなわち、炭酸バリウム(BaCO3
粉末と酸化チタン粉末とを、ボールミル中で湿式混合
し、この混合物を、乾燥,プレス後、温度1000〜1
300℃で固相反応させてBaTiO3 〔正方晶(a0
=0.3994nm,b0 =0.4038nm)〕を得
る。そして、この得られたBaTiO3 を、機械的に粉
砕して微細化し、篩分け等により粗大粒子を除去する。
Therefore, such fine BaTiO 3
Various manufacturing methods have been proposed in order to obtain particles. First, the BaTiO 3 powder has been mainly manufactured by the solid phase reaction so far. That is, barium carbonate (BaCO 3 )
The powder and the titanium oxide powder are wet-mixed in a ball mill, the mixture is dried and pressed, and then the temperature is set to 1000 to 1
BaTiO 3 [tetragonal (a 0
= 0.3994 nm, b 0 = 0.4038 nm)]. Then, the obtained BaTiO 3 is mechanically pulverized into fine particles, and coarse particles are removed by sieving or the like.

【0007】しかし、このようにして固相反応と機械的
粉砕で得られたBaTiO3 粉末は、粒子サイズがかな
り大きく、不均一であり、しかも不純物の混入が避けら
れない。次に、比較的微細で粒子サイズの均一なBaT
iO3 粒子を得る方法として、蓚酸チタニル・バリウム
複合塩を合成し、これを熱分解してBaTiO3 粒子
〔正方晶(a0 =0.3994nm,b0 =0.403
8nm)〕を生成する蓚酸塩法がある。
However, the BaTiO 3 powder thus obtained by solid-phase reaction and mechanical pulverization has a considerably large particle size and is non-uniform, and contamination with impurities cannot be avoided. Next, BaT, which is relatively fine and has a uniform particle size,
As a method for obtaining iO 3 particles, a titanyl oxalate / barium complex salt was synthesized, and this was thermally decomposed to form BaTiO 3 particles [tetragonal (a 0 = 0.3994 nm, b 0 = 0.403).
8 nm)].

【0008】しかし、この方法は、工程が複雑であり、
有機物を使用するために製造コストも固相反応による方
法に比べてかなり高い。また、この方法で製造されるB
aTiO3 粉末の粒子サイズは、たかだか0.2〜0.
5μm程度であり、近年求められている微粒子化に十分
応えるとは言えない。さらに、最近では、金属アルコキ
シドを使用してBaTiO3 微粒子(立方晶)を得る方
法が提案されている。この方法によれば、粒子サイズが
20nm〜30nmと比較的微細なBaTiO3 粉末が
得られるが、蓚酸塩法の場合よりもさらに製造コストが
高く、実用化が阻まれる。
However, this method has complicated steps,
Since organic materials are used, the manufacturing cost is considerably higher than that of the solid phase reaction method. Also, B produced by this method
The particle size of the aTiO 3 powder is at most 0.2-0.
Since it is about 5 μm, it cannot be said that it can sufficiently meet the recent demand for fine particles. Furthermore, recently, a method of obtaining BaTiO 3 fine particles (cubic crystal) using a metal alkoxide has been proposed. According to this method, a relatively fine BaTiO 3 powder having a particle size of 20 nm to 30 nm can be obtained, but the production cost is higher than in the case of the oxalate method, and practical use is hindered.

【0009】この他の製造方法としては、四塩化チタ
ン,硫酸チタン等を主原料としてBaTiO3 微粒子
(立方晶)を製造する方法が特許公報 平3−3901
4号に開示されている。この公報では、この方法によれ
ば微細で粒子サイズの均一なBaTiO3 粉末が安価で
得られると記載されている。しかし、この原料となる四
塩化チタンは、反応性が高いことから、取り扱いが難し
い。一方、硫酸チタンを用いる場合には、加水分解終了
後、硫酸イオンを除去しなければならず、手間が非常に
かかる。また、いずれの場合にも、ややもすると微量の
塩素イオンあるいは硫酸イオンが得られたBaTiO3
粒子中に混入することがある。BaTiO3微粒子中に
塩素イオン等の腐食性イオンが混入していると、例え
ば、積層セラミックコンデンサでは電極の引出しに銅、
ニッケルの金属が使用される場合が多く、これが腐食す
る虞れがある。
As another manufacturing method, there is a method of manufacturing BaTiO 3 fine particles (cubic crystals) using titanium tetrachloride, titanium sulfate, etc. as main raw materials.
No. 4 is disclosed. This publication describes that, according to this method, a fine BaTiO 3 powder having a uniform particle size can be obtained at low cost. However, titanium tetrachloride as the raw material is difficult to handle because of its high reactivity. On the other hand, when titanium sulfate is used, it is necessary to remove the sulfate ion after completion of hydrolysis, which is very troublesome. In any case, a slight amount of chlorine ion or sulfate ion was obtained in some cases BaTiO 3
May be mixed in particles. When corrosive ions such as chlorine ions are mixed in the BaTiO 3 fine particles, for example, in the multilayer ceramic capacitor, copper is used for the electrode lead-out.
Nickel metal is often used and may corrode.

【0010】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、Clイオン、SO4イオ
ンのような腐食性イオンが混在しておらず、微細なチタ
ン酸バリウム粒子が安価に製造できるチタン酸バリウム
微粒子の製造方法を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and fine barium titanate particles can be obtained without containing corrosive ions such as Cl ions and SO 4 ions. It is an object of the present invention to provide a method for producing barium titanate fine particles which can be produced at low cost.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明のチタン酸バリウム微粒子の製造方法は、
酸化チタン微粒子と、水溶性バリウム化合物,アルカリ
性化合物及び水を混合して懸濁液とする工程と、この懸
濁液を加圧容器中で水溶液反応させる工程とを有し、上
記酸化チタン微粒子の粒子サイズが80nm以下、水溶
液反応に際するpHが13.3以上,反応温度が130
℃以上であることを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the method for producing fine particles of barium titanate of the present invention comprises:
The method comprises the steps of mixing titanium oxide fine particles with a water-soluble barium compound, an alkaline compound and water to form a suspension, and a step of reacting the suspension with an aqueous solution in a pressure vessel. The particle size is 80 nm or less, the pH during the aqueous solution reaction is 13.3 or more, and the reaction temperature is 130.
It is characterized in that the temperature is not lower than ° C.

【0012】また、酸化チタン微粒子と水溶性バリウム
化合物におけるBa/Ti(モル比が、0.8〜3であ
ることを特徴とするものである。まず、本発明の製造方
法でチタン酸バリウム(BaTiO3)微粒子を製造す
るには、原料となる酸化チタン微粒子と水溶性バリウム
塩を用意する。酸化チタン(TiO2)微粒子として
は、ルチル型TiO2 ,アナターゼ型TiO2 のいずれ
でも良く、またこれらの混合物であっても良い。
The titanium oxide fine particles and the water-soluble barium compound are characterized in that Ba / Ti (molar ratio is 0.8 to 3. First, barium titanate ( In order to produce the BaTiO 3 ) fine particles, titanium oxide fine particles as a raw material and a water-soluble barium salt are prepared.The titanium oxide (TiO 2 ) fine particles may be either rutile type TiO 2 or anatase type TiO 2. It may be a mixture of these.

【0013】但し、TiO2微粒子の粒子サイズは最終
的に得られるBaTiO3微粒子の粒子サイズに反映さ
れるので、粒子サイズが80nm以下、より好ましくは
50nm以下のものを用いる。水溶性バリウム塩として
は、硝酸バリウムBa(NO3 2 ,酢酸バリウムBa
(CH3 COO)2 ,水酸化バリウムBa(OH)2
この水和塩Ba(OH)2 ・8H2 O,塩化バリウムB
aCl2 等を用いることができる。
However, since the particle size of the TiO 2 fine particles is reflected in the particle size of the finally obtained BaTiO 3 fine particles, a particle size of 80 nm or less, more preferably 50 nm or less is used. Examples of the water-soluble barium salt include barium nitrate Ba (NO 3 ) 2 and barium acetate Ba.
(CH 3 COO) 2 , barium hydroxide Ba (OH) 2 ,
The hydrated salt Ba (OH) 2 · 8H 2 O, barium chloride B
aCl 2 or the like can be used.

【0014】なお、十分量のBaTiO3微粒子を生成
するには、TiO2微粒子と水溶性バリウム塩におけ
る,BaとTiのモル比(Ba/Ti)が適正範囲であ
ることが重要である。図1にBa/Ti(モル比)とB
aTiO3微粒子生成量の関係を示すが、このようにB
a/Ti(モル比)は、0.8〜3が適当であり、好ま
しくは0.8〜2、さらに好ましくは0.95〜2.0
である。Ba/Ti(モル比)がこの範囲を外れる場合
には、BaTiO3微粒子の生成量が少なくなる。
In order to produce a sufficient amount of BaTiO 3 fine particles, it is important that the molar ratio of Ba and Ti (Ba / Ti) in the TiO 2 fine particles and the water-soluble barium salt is within an appropriate range. Figure 1 shows Ba / Ti (molar ratio) and B
The relationship between the amount of aTiO 3 particles produced is shown below.
0.8 to 3 is suitable for a / Ti (molar ratio), preferably 0.8 to 2, and more preferably 0.95 to 2.0.
Is. When Ba / Ti (molar ratio) is out of this range, the amount of BaTiO 3 particles produced is small.

【0015】次に、このTiO2微粒子と水溶性バリウ
ム塩を、強アルカリ性水溶液中に投入し、オートクレー
ブ中で撹拌しながら反応させる。強アルカリ水溶液のア
ルカリ化合物としては、LiOH,NaOH,KOH,
NH4 OHが挙げられる。反応条件は、反応溶液のpH
が13.5以上、好ましくは13.7〜14.7さらに
好ましくは13.8以上であり、反応温度が130℃以
上,好ましくは140〜250℃であり、反応時間が1
時間以上,好ましくは3時間以上である。例えば、図2
に反応溶液のpHとチタン酸バリウム微粒子の生成量の
関係を示すが、このようにpHや反応温度が上記範囲を
外れる場合には十分量のBaTiO3微粒子が生成され
ない。
Next, the TiO 2 fine particles and the water-soluble barium salt are put into a strong alkaline aqueous solution and reacted with stirring in an autoclave. The alkaline compound of the strong alkaline aqueous solution includes LiOH, NaOH, KOH,
NH 4 OH, and the like. The reaction conditions are the pH of the reaction solution
Is 13.5 or more, preferably 13.7 to 14.7, more preferably 13.8 or more, the reaction temperature is 130 ° C. or more, preferably 140 to 250 ° C., and the reaction time is 1
It is at least 3 hours, preferably at least 3 hours. For example, FIG.
Shows the relationship between the pH of the reaction solution and the production amount of barium titanate fine particles. When the pH and the reaction temperature are out of the above ranges, a sufficient amount of BaTiO 3 fine particles is not produced.

【0016】以上のような条件の水溶液反応を経て生成
されたチタン酸バリウム微粒子は例えばペロブスカイト
型、立方晶系(a0 =0.4025nm前後)であり、
この後濾別、水洗浄,乾燥されて各種用途に供される。
ここで、このようにして生成されたBaTiO3微粒子
は、原料のTiO2微粒子の粒子サイズを反映して粒子
サイズが30nm〜80nmと微細であるとともに粗大
粒子,不純物粒子を含んでおらず均一である。また、塩
化物や硫酸化合物等、腐食性イオンを生成する原料を用
いていないので、腐食性イオンが混在していることもな
い。また、有機化合物を用いずに生成されるので、製造
コストが低く抑えられる。
The barium titanate particles produced through the aqueous solution reaction under the above conditions are, for example, perovskite type, cubic system (a 0 = 0.4025 nm or so),
After that, it is filtered, washed with water and dried to be used for various purposes.
Here, the BaTiO 3 fine particles thus produced have a fine particle size of 30 nm to 80 nm, reflecting the particle size of the TiO 2 fine particles as the raw material, and are uniform without containing coarse particles and impurity particles. is there. Further, since a raw material that produces corrosive ions such as chlorides and sulfuric acid compounds is not used, corrosive ions are not mixed. Further, since it is produced without using an organic compound, the manufacturing cost can be kept low.

【0017】このように微細で且つ高純度なBaTiO
3微粒子を焼成してコンデンサの誘電材料層を形成すれ
ば、誘電材料層を薄く且つ均一な厚さで形成することが
できるとともに、焼成温度が低く抑えられるので鉛等の
添加物が均一に含有せしめられる。したがって、小型,
大容量であり特性に優れたコンデンサが獲得できる。し
かも、腐食性イオンが混入していないことから、それに
起因する引出し線の腐食も回避されることになる。
Thus, fine and highly pure BaTiO 3
If 3 form fine particles for firing the dielectric material layer of the capacitor, it is possible to form in thin and uniform thickness of the dielectric material layer, additives uniformly contained lead such because the firing temperature is kept low Be punished. Therefore, small,
Capacitors with large capacity and excellent characteristics can be obtained. Moreover, since the corrosive ions are not mixed, the corrosion of the leader line caused by it is also avoided.

【0018】さらに、このこのようなBaTiO3微粒
子は、電歪材料,圧電材料の原料ても最適であり、また
合成樹脂に添加させる無機粉末材料として用いた場合に
は良好な成形性が得られる。
Further, such BaTiO 3 fine particles are optimal as a raw material for electrostrictive materials and piezoelectric materials, and when used as an inorganic powder material added to a synthetic resin, good moldability is obtained. .

【0019】[0019]

【作用】粒子サイズが80nm以下のTiO2微粒子
と、水溶性バリウム化合物,アルカリ性化合物及び水を
混合して所定のpHの懸濁液とし、この懸濁液を加圧容
器中、所定の反応温度で水溶液反応させると、原料のT
iO2微粒子の粒子サイズを反映した微細なBaTiO3
微粒子が腐食性イオンを含むことなく高い純度で製造さ
れる。
[Function] A TiO 2 fine particle having a particle size of 80 nm or less is mixed with a water-soluble barium compound, an alkaline compound and water to form a suspension having a predetermined pH, and this suspension is placed in a pressure vessel at a predetermined reaction temperature. When the aqueous solution is reacted with
Fine BaTiO 3 reflecting the particle size of iO 2 fine particles
The fine particles are produced in high purity without containing corrosive ions.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について実験
結果に基づいて説明する。実施例1 粒子サイズ40nmのルチル型TiO2 16gと、硝酸
バリウムBa(NO3268gとを、1.5N・NaO
H溶液300mlに投入して懸濁液とし、温度150℃
のオートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応させた。
なお、懸濁液のpHは、14.0であった。次に、この
反応によって生成された粉末をデカンティションにより
水洗,濾別、さらに水洗を施し、温度150℃で一昼夜
乾燥させた。
EXAMPLES Specific examples of the present invention will be described below based on experimental results. Example 1 16 g of rutile type TiO 2 having a particle size of 40 nm and 68 g of barium nitrate Ba (NO 3 ) 2 were mixed with 1.5 N · NaO.
Pour into 300 ml of H solution to make a suspension, temperature 150 ° C
The reaction was carried out in the autoclave of 5 for 5 hours with stirring.
The pH of the suspension was 14.0. Next, the powder produced by this reaction was washed with water by decantation, filtered, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day.

【0021】以上のようにして得られた生成粉末につい
て、X線回折スペクトルを観測し、JCPDSカードと
比較した。X線回折スペクトルの測定結果を図3に示
す。なお、X線回折は、銅ターゲット,ニッケルフィル
ターを用い、タイムコンスタント1の条件で行った。そ
の結果、この生成粉末は立方晶BaTiO3 (a0
0.4025nm)であると判断された。
The X-ray diffraction spectrum of the resulting powder obtained as described above was observed and compared with that of the JCPDS card. The measurement result of the X-ray diffraction spectrum is shown in FIG. The X-ray diffraction was performed under the conditions of time constant 1 using a copper target and a nickel filter. As a result, the resulting powder was cubic BaTiO 3 (a 0 =
It was determined to be 0.4025 nm).

【0022】また、図4に、得られたBaTiO3 粉末
の電子顕微鏡写真を示す。この写真から、BaTiO3
粒子サイズは40nmであり、均一な粒子サイズである
ことがわかる。さらに、図5,図6に、得られたBaT
iO3 微粒子の熱分析結果を示すが、このBaTiO3
微粒子には吸発熱のピークも重量減もほとんどない。こ
のことから不純物等が少なく純度が高いことが示唆され
る。実施例2 本実施例では、先ずTiO2 粒子を生成し、その生成さ
れたTiO2 を用いてBaTiO3 粒子を生成した。
In addition, FIG. 4 shows an electron micrograph of the obtained BaTiO 3 powder. From this photo, BaTiO 3
The particle size is 40 nm, which shows that the particle size is uniform. Furthermore, the obtained BaT is shown in FIGS.
iO 3 shows the thermal analysis results of the fine particles, the BaTiO 3
The fine particles have almost no peak of exothermic heat and no weight loss. This suggests that the amount of impurities is small and the purity is high. Example 2 In this example, first, TiO 2 particles were produced, and BaTiO 3 particles were produced using the produced TiO 2 .

【0023】四塩化チタン51gを100mlの氷水中
に滴下し、これに5N・NaOHを100ml加え、さ
らに水を加えて全量を400mlにした。この溶液をマ
グネチックスターラーで撹拌しながら、温度100℃で
5時間反応させた。次に、この反応生成物を濾過,水洗
し、温度150℃で一昼夜乾燥させることでTiO2
得た。なお得られたTiO2 は、粒子サイズが30nm
のルチル構造のものであった。
51 g of titanium tetrachloride was dropped into 100 ml of ice water, 100 ml of 5N NaOH was added thereto, and water was further added to bring the total amount to 400 ml. This solution was reacted at a temperature of 100 ° C. for 5 hours while stirring with a magnetic stirrer. Next, this reaction product was filtered, washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day to obtain TiO 2 . The obtained TiO 2 had a particle size of 30 nm.
It had a rutile structure.

【0024】この粒子サイズ30nmのルチル型TiO
2 16gと、塩化バリウムBaCl2 ・2H2 O50g
とを、1N・NaOH溶液250mlに投入し、さらに
水を加えて全量を300mlにした。なお、この懸濁液
のpHは13.8であった。この懸濁液を、温度130
℃のオートクレーブ中で5時間反応させ、得られた反応
生成物をデカンティションにより水洗,濾別、さらに水
洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させた。
This rutile TiO having a particle size of 30 nm
And 2 16g, barium chloride BaCl 2 · 2H 2 O50g
Were added to 250 ml of 1N NaOH solution, and water was further added to make the total amount 300 ml. The pH of this suspension was 13.8. This suspension is heated to a temperature of 130
The reaction product was reacted in an autoclave at ℃ for 5 hours, and the obtained reaction product was washed with water by decantation, separated by filtration, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C for one day.

【0025】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、図3と同様の回折パターンが得られた。そ
して、この回折パターンをJCPDSカードと比較する
ことにより、得られた生成粉末は立方晶BaTiO
3 (a0 =0.4072nm)であると判断された。ま
た、BaTiO3 粉末の電子顕微鏡写真から、粒子サイ
ズは30nmであり均一であることがわかった。実施例3 粒子サイズ50nmのアナターゼ型TiO2 16gと、
水酸化バリウムBa(OH)2 35gとを、1N・KO
H溶液300mlに投入して懸濁液とし、温度170℃
のオートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応させた。
なお、懸濁液のpHは、14.2であった。次に、この
反応生成物をデカンティションにより水洗,濾別、さら
に水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させた。
The X-ray diffraction spectrum of the powder thus obtained was observed under the same conditions as in Example 1, and the same diffraction pattern as that shown in FIG. 3 was obtained. Then, by comparing this diffraction pattern with a JCPDS card, the obtained powder was cubic BaTiO 3.
It was determined to be 3 (a 0 = 0.4072 nm). Further, it was found from the electron micrograph of the BaTiO 3 powder that the particle size was 30 nm and that the particles were uniform. Example 3 16 g of anatase type TiO 2 having a particle size of 50 nm,
35g of barium hydroxide Ba (OH) 2 and 1N ・ KO
It is put into 300 ml of H solution to make a suspension, and the temperature is 170 ° C.
The reaction was carried out in the autoclave of 5 for 5 hours with stirring.
The pH of the suspension was 14.2. Next, the reaction product was washed with water by decantation, separated by filtration, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day.

【0026】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、図3と同様の回折パターンが得られた。そ
して、この回折パターンをJCPDSカードと比較する
ことにより、得られた生成粉末は立方晶BaTiO
3 (a0 =0.4025nm)であると判断された。ま
た、BaTiO3 粉末の電子顕微鏡写真から、粒子サイ
ズは50nmで均一であることがわかった。実施例4 粒子サイズ40nmのルチル型TiO2 16gと、硝酸
バリウムBa(NO3253gとを、1N・LiOH溶
液300mlに投入して懸濁液とし、温度180℃のオ
ートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応させた。な
お、懸濁液のpHは、13.9であった。次に、この反
応生成物をデカンティションにより水洗,濾別、さらに
水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させた。
With respect to the powder thus obtained, an X-ray diffraction spectrum was observed under the same conditions as in Example 1, and as a result, the same diffraction pattern as in FIG. 3 was obtained. Then, by comparing this diffraction pattern with a JCPDS card, the obtained powder was cubic BaTiO 3.
It was determined to be 3 (a 0 = 0.4025 nm). Moreover, it was found from the electron micrograph of the BaTiO 3 powder that the particle size was uniform at 50 nm. Example 4 16 g of rutile type TiO 2 having a particle size of 40 nm and 53 g of barium nitrate Ba (NO 3 ) 2 were added to 300 ml of a 1N LiOH solution to prepare a suspension, which was stirred in an autoclave at a temperature of 180 ° C. for 5 hours. While reacting. The pH of the suspension was 13.9. Next, the reaction product was washed with water by decantation, separated by filtration, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day.

【0027】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、図3と同様な回折パターンが得られた。そ
して、この回折パターンをJCPDSカードと比較する
ことにより、得られた生成粉末は立方晶BaTiO
3 (a0 =0.4024nm)であると判断された。ま
た、BaTiO3 粉末の電子顕微鏡写真から、粒子サイ
ズは40nmで均一であることがわかった。実施例5 粒子サイズ80nmのアナターゼ型TiO2 16gと、
水酸化バリウムBa(OH)2 35gとを、1N・Na
OH溶液300mlに投入して懸濁液とし、温度220
℃のオートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応させ
た。なお、懸濁液のpHは、14.2であった。次に、
この反応生成物をデカンティションにより水洗,濾別、
さらに水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させた。
The X-ray diffraction spectrum of the produced powder thus obtained was observed under the same conditions as in Example 1, and as a result, the same diffraction pattern as in FIG. 3 was obtained. Then, by comparing this diffraction pattern with a JCPDS card, the obtained powder was cubic BaTiO 3.
It was determined to be 3 (a 0 = 0.4024 nm). Further, it was found from the electron micrograph of the BaTiO 3 powder that the particle size was uniform at 40 nm. Example 5 16 g of anatase type TiO 2 having a particle size of 80 nm,
35g of barium hydroxide Ba (OH) 2 and 1N ・ Na
It is put into 300 ml of OH solution to make a suspension, and the temperature is 220.
The reaction was carried out in an autoclave at ℃ for 5 hours with stirring. The pH of the suspension was 14.2. next,
The reaction product was washed with water by decantation, filtered,
Further, it was washed with water and dried at a temperature of 150 ° C. for 24 hours.

【0028】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、図3と同様な回折パターンが得られた。実施例6 粒子サイズ70nmのルチル型TiO2 16gと、塩化
バリウムBaCl2 ・2H2 O50gとを、2N・Na
OH溶液300mlに投入して懸濁液とし、温度250
℃のオートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応させ
た。なお、懸濁液のpHは、14.2であった。次に、
この反応生成物をデカンティションによる水洗,濾別、
さらに水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させた。
The X-ray diffraction spectrum of the powder thus obtained was observed under the same conditions as in Example 1, and as a result, the same diffraction pattern as in FIG. 3 was obtained. Example 6 16 g of rutile TiO 2 having a particle size of 70 nm and 50 g of barium chloride BaCl 2 .2H 2 O were mixed with 2N.Na.
Add to 300 ml of OH solution to make a suspension, and set the temperature to 250.
The reaction was carried out in an autoclave at ℃ for 5 hours with stirring. The pH of the suspension was 14.2. next,
The reaction product is washed with water by decantation, filtered,
Further, it was washed with water and dried at a temperature of 150 ° C. for 24 hours.

【0029】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、図3と同様な回折パターンが得られた。こ
のパターンはJCPDSカードと比較することにより、
立方晶BaTiO3 (a0=0。4023nm)である
と判断された。また、BaTiO3 粉末の電子顕微鏡写
真から、粒子サイズは60nmで均一であることがわか
った。比較例1 粒子サイズ40nmのルチル型TiO2 16gと、硝酸
バリウムBa(NO3253gとを、1N・NaOH溶
液300mlに投入して懸濁液とし、マグネチックスタ
ーラーで撹拌しながら、沸騰状態で5時間反応させた。
なお、懸濁液のpHは、13.9であった。次に、この
反応生成物をデカンティションにより水洗,濾別、さら
に水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させた。
The X-ray diffraction spectrum of the produced powder thus obtained was observed under the same conditions as in Example 1, and as a result, the same diffraction pattern as in FIG. 3 was obtained. By comparing this pattern with the JCPDS card,
It was determined to be cubic BaTiO 3 (a 0 = 0.4023 nm). In addition, it was found from the electron micrograph of the BaTiO 3 powder that the particle size was uniform at 60 nm. Comparative Example 1 16 g of rutile TiO 2 having a particle size of 40 nm and 53 g of barium nitrate Ba (NO 3 ) 2 were added to 300 ml of a 1N NaOH solution to give a suspension, which was in a boiling state while stirring with a magnetic stirrer. And reacted for 5 hours.
The pH of the suspension was 13.9. Next, the reaction product was washed with water by decantation, separated by filtration, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day.

【0030】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、原料のルチル型TiO2に対応する回折ピ
ークは観測されるもののBaTiO3 の回折ピークはわ
ずかに確認できる程度であった。比較例2 粒子サイズ50nmのアナターゼ型TiO2 16gと、
塩化バリウムBaCl2 ・H2 O50gとを、0.1N
・NaOH溶液300mlに投入して懸濁液とし、温度
150℃のオートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応
させた。なお、懸濁液のpHは、12.8であった。次
に、この反応生成物をデカンティションにより水洗,濾
別、さらに水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させ
た。
As a result of observing the X-ray diffraction spectrum of the powder thus obtained under the same conditions as in Example 1, BaTiO 3 was obtained although a diffraction peak corresponding to the rutile TiO 2 as a raw material was observed. The diffraction peak of was only slightly visible. And anatase TiO 2 16g of Comparative Example 2 particle size 50 nm,
Barium chloride BaCl 2 · H 2 O 50 g and 0.1N
-Adding to 300 ml of NaOH solution to make a suspension, the mixture was reacted in an autoclave at a temperature of 150 ° C for 5 hours with stirring. The pH of the suspension was 12.8. Next, the reaction product was washed with water by decantation, separated by filtration, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day.

【0031】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、原料のアナターゼ型TiO2に対応する回
折ピークは観測されるもののBaTiO3 の回折ピーク
はわずかに確認できる程度であった。比較例3 粒子サイズが0.2μmのルチル型TiO2 16gと、
塩化バリウムBaCl2 ・2H2 O49gとを、1N・
NaOH溶液300mlに投入して懸濁液とし、温度1
40℃のオートクレーブ中で5時間撹拌しながら反応さ
せた。なお、懸濁液のpHは、13.9であった。次
に、この反応生成物をデカンティションにより水洗,濾
別、さらに水洗を施し、温度150℃で一昼夜乾燥させ
た。
X-ray diffraction spectrum of the powder thus obtained was observed under the same conditions as in Example 1. As a result, a diffraction peak corresponding to the anatase-type TiO 2 as a raw material was observed, but BaTiO 3 The diffraction peak of was only slightly visible. Comparative Example 3 16 g of rutile TiO 2 having a particle size of 0.2 μm,
Barium chloride BaCl 2 · 2H 2 O 49g and 1N ·
Pour into 300 ml of NaOH solution to make a suspension, temperature 1
The reaction was carried out in an autoclave at 40 ° C with stirring for 5 hours. The pH of the suspension was 13.9. Next, the reaction product was washed with water by decantation, separated by filtration, further washed with water, and dried at a temperature of 150 ° C. for one day.

【0032】このようにして得られた生成粉末につい
て、実施例1と同様の条件にてX線回折スペクトルを観
測した結果、原料のルチル型TiO2に対応する回折ピ
ークは観測されるもののBaTiO3 の回折ピークはわ
ずかに確認できる程度であった。次に、実施例1〜実施
例6で生成されたチタン酸バリウム粒子についてClイ
オン、SO4イオンの混在量を測定した。その結果を表
1に示す。また、比較として四塩化チタンを原料として
水溶液反応により生成されたチタン酸バリウム粒子(比
較例4)についても同様にしてClイオン、SO4イオ
ンの混在量を測定した。その結果も併せて表1に示す。
X-ray diffraction spectrum of the powder thus obtained was observed under the same conditions as in Example 1. As a result, a diffraction peak corresponding to the starting material rutile TiO 2 was observed, but BaTiO 3 The diffraction peak of was only slightly visible. Next, the amount of Cl ions and SO 4 ions mixed in the barium titanate particles produced in Examples 1 to 6 was measured. Table 1 shows the results. For comparison, barium titanate particles (comparative example 4) produced by an aqueous solution reaction using titanium tetrachloride as a raw material were similarly measured for the mixed amounts of Cl ions and SO 4 ions. The results are also shown in Table 1.

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】表1に示すように、比較例4で生成された
チタン酸バリウム粒子はClイオンが243ppmも混
在しているのに対して、実施例1〜実施例6で生成され
たチタン酸バリウム粒子はClイオン、SO4イオンが
ほとんど混在していない。以上の結果から、粒子サイズ
80nm以下の微粒子酸化チタンと水溶性バリウム塩を
所定pH、反応温度で水溶液反応させると、原料として
使用した酸化チタンの粒子サイズを反映した微細なチタ
ン酸バリウム微粒子が腐食性イオンを含むことなく高純
度で得られることがわかった。
As shown in Table 1, the barium titanate particles produced in Comparative Example 4 contained 243 ppm of Cl ions, while the barium titanate particles produced in Examples 1 to 6 were mixed. Almost no Cl ions and SO 4 ions are mixed in the particles. From the above results, when fine particle titanium oxide having a particle size of 80 nm or less and a water-soluble barium salt are reacted in an aqueous solution at a predetermined pH and a reaction temperature, fine barium titanate fine particles reflecting the particle size of titanium oxide used as a raw material are corroded. It was found that the product can be obtained in a high purity without containing a sex ion.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように本発明
のBaTiO3微粒子の製造方法では、TiO2微粒子
と、水溶性バリウム化合物,アルカリ性化合物及び水を
混合して懸濁液とする工程と、この懸濁液を加圧容器中
で水溶液反応させる工程とを有し、上記TiO2微粒子
の粒子サイズが80nm以下、水溶液反応に際するpH
が13.3以上,反応温度が130℃以上であるので、
原料として使用したTiO2微粒子の粒子サイズを反映
した微細なBaTiO3微粒子が腐食性イオンを含むこ
となく高い純度で製造できる。
As is apparent from the above description, in the method for producing BaTiO 3 fine particles of the present invention, a step of mixing TiO 2 fine particles with a water-soluble barium compound, an alkaline compound and water to form a suspension is provided. And a step of reacting the suspension with an aqueous solution in a pressure vessel, wherein the particle size of the TiO 2 fine particles is 80 nm or less, and the pH during the aqueous solution reaction.
Is 13.3 or higher and the reaction temperature is 130 ° C or higher,
Fine BaTiO 3 fine particles reflecting the particle size of the TiO 2 fine particles used as a raw material can be produced with high purity without containing corrosive ions.

【0036】このようなBaTiO3微粒子の焼成体を
例えば誘電材料として用いれば、小型で容量が大きく且
つ信頼性の高いコンデンサを得ることが可能である。ま
た、このBaTiO3の焼成体は、圧電材料、電歪材料
としても優れた特性を発揮し、各種電子機器の性能の向
上に大いに貢献できる。
If such a sintered body of BaTiO 3 fine particles is used as a dielectric material, for example, it is possible to obtain a compact capacitor having a large capacity and high reliability. The BaTiO 3 sintered body also exhibits excellent characteristics as a piezoelectric material and an electrostrictive material, and can greatly contribute to the improvement of the performance of various electronic devices.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】TiO2微粒子と水溶性バリウム化合物を水溶
液反応させる際のBa/Ti(モル比)の関係を示す特
性図である。
FIG. 1 is a characteristic diagram showing a relationship of Ba / Ti (molar ratio) when an aqueous solution reaction of TiO 2 fine particles and a water-soluble barium compound is carried out.

【図2】TiO2微粒子と水溶性バリウム化合物を水溶
液反応させる際の反応溶液のpHとチタン酸バリウム微
粒の生成量の関係を示す特性図である。
FIG. 2 is a characteristic diagram showing the relationship between the pH of the reaction solution and the production amount of barium titanate fine particles when the TiO 2 fine particles and the water-soluble barium compound are reacted in an aqueous solution.

【図3】本発明の製造方法で生成されたチタン酸バリウ
ム微粒子のX線回折スペクトルを示す特性図である。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing an X-ray diffraction spectrum of barium titanate fine particles produced by the production method of the present invention.

【図4】上記チタン酸バリウム微粒子の粒子構造を示す
電子顕微鏡写真である。
FIG. 4 is an electron micrograph showing a particle structure of the barium titanate fine particles.

【図5】上記チタン酸バリウム微粒子の温度と重量の関
係を示す特性図である。
FIG. 5 is a characteristic diagram showing a relationship between temperature and weight of the barium titanate fine particles.

【図6】上記チタン酸バリウム微粒子の温度と吸熱量、
発熱量の関係を示す特性図である。
FIG. 6 shows the temperature and endothermic amount of the barium titanate fine particles,
It is a characteristic view which shows the relationship of a calorific value.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 酸化チタン微粒子と、水溶性バリウム化
合物,アルカリ性化合物及び水を混合して懸濁液とする
工程と、この懸濁液を加圧容器中で水溶液反応させる工
程とを有し、 上記酸化チタン微粒子の粒子サイズが80nm以下、水
溶液反応に際するpHが13.3以上,反応温度が13
0℃以上であることを特徴とするチタン酸バリウム微粒
子の製造方法。
1. A method comprising: mixing titanium oxide fine particles, a water-soluble barium compound, an alkaline compound and water into a suspension, and reacting the suspension with an aqueous solution in a pressure vessel. The titanium oxide fine particles have a particle size of 80 nm or less, a pH of 13.3 or more upon reaction with an aqueous solution, and a reaction temperature of 13
A method for producing fine particles of barium titanate, which is 0 ° C. or higher.
【請求項2】 酸化チタン微粒子が、ルチル型酸化チタ
ン、アナターゼ型酸化チタンまたはルチル型酸化チタン
とアナターゼ型酸化チタンの混合物であることを特徴と
する請求項1記載のチタン酸バリウム微粒子の製造方
法。
2. The method for producing fine particles of barium titanate according to claim 1, wherein the titanium oxide fine particles are rutile type titanium oxide, anatase type titanium oxide or a mixture of rutile type titanium oxide and anatase type titanium oxide. .
【請求項3】 酸化チタンと水溶性バリウム化合物にお
けるBa/Ti(モル比が、0.8〜3であることを特
徴とするチタン酸バリウム微粒子の製造方法。
3. A method for producing fine particles of barium titanate, characterized in that titanium oxide and a water-soluble barium compound have a Ba / Ti (molar ratio of 0.8 to 3).
【請求項4】 水溶液反応に際するpHが、13.7以
上14.7以下であることを特徴とする請求項2記載の
チタン酸バリウムの製造方法。
4. The method for producing barium titanate according to claim 2, wherein the pH in the reaction with the aqueous solution is 13.7 or more and 14.7 or less.
【請求項5】 水溶液反応に際する反応温度が、140
〜250℃であることを特徴とする請求項1記載のチタ
ン酸バリウムの製造方法。
5. The reaction temperature for the aqueous solution reaction is 140.
It is -250 degreeC, The manufacturing method of the barium titanate of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
JP28394994A 1994-10-25 1994-10-25 Production of fine barium titanate particles Pending JPH08119633A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28394994A JPH08119633A (en) 1994-10-25 1994-10-25 Production of fine barium titanate particles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28394994A JPH08119633A (en) 1994-10-25 1994-10-25 Production of fine barium titanate particles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08119633A true JPH08119633A (en) 1996-05-14

Family

ID=17672316

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28394994A Pending JPH08119633A (en) 1994-10-25 1994-10-25 Production of fine barium titanate particles

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08119633A (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6728094B2 (en) 2001-03-12 2004-04-27 Murata Manufacturing Co. Ltd. Titanium oxide powder, methods of manufacturing the same and barium titanate powder, dielectric ceramic, and multilayer ceramic capacitor
JP2005306728A (en) * 2004-03-25 2005-11-04 Showa Denko Kk Titanium-containing perovskite-type compound and manufacturing method therefor
JP2006027971A (en) * 2004-07-20 2006-02-02 Tdk Corp Method of producing barium titanate powder, its powder and laminated ceramic electronic parts using same
JP2006298677A (en) * 2005-04-18 2006-11-02 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Method for synthesizing ceramic powder
JP2007191366A (en) * 2006-01-20 2007-08-02 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Manufacturing method of ceramic powder, and manufacturing unit of ceramic powder
JP2008504199A (en) * 2004-06-25 2008-02-14 ザ ベリー スモール パーティクル コンパニー ピーティーワイ リミテッド Method for producing fine particles
US7556792B2 (en) 2001-12-28 2009-07-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for preparing perovskite complex oxide powder of formula ABO3
JP2009269791A (en) * 2008-05-07 2009-11-19 Ishihara Chem Co Ltd Method for producing metal titanate particles
JP2010215435A (en) * 2009-03-13 2010-09-30 Nec Tokin Corp Piezoelectric ceramic and method for producing the same

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6728094B2 (en) 2001-03-12 2004-04-27 Murata Manufacturing Co. Ltd. Titanium oxide powder, methods of manufacturing the same and barium titanate powder, dielectric ceramic, and multilayer ceramic capacitor
US7381398B2 (en) 2001-03-12 2008-06-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Titanium oxide powder, methods of manufacturing the same and barium titanate powder, dielectric ceramic, and multilayer ceramic capacitor
US7556792B2 (en) 2001-12-28 2009-07-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for preparing perovskite complex oxide powder of formula ABO3
JP2005306728A (en) * 2004-03-25 2005-11-04 Showa Denko Kk Titanium-containing perovskite-type compound and manufacturing method therefor
JP2008504199A (en) * 2004-06-25 2008-02-14 ザ ベリー スモール パーティクル コンパニー ピーティーワイ リミテッド Method for producing fine particles
JP2006027971A (en) * 2004-07-20 2006-02-02 Tdk Corp Method of producing barium titanate powder, its powder and laminated ceramic electronic parts using same
JP2006298677A (en) * 2005-04-18 2006-11-02 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Method for synthesizing ceramic powder
JP2007191366A (en) * 2006-01-20 2007-08-02 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Manufacturing method of ceramic powder, and manufacturing unit of ceramic powder
JP2009269791A (en) * 2008-05-07 2009-11-19 Ishihara Chem Co Ltd Method for producing metal titanate particles
JP2010215435A (en) * 2009-03-13 2010-09-30 Nec Tokin Corp Piezoelectric ceramic and method for producing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5900223A (en) Process for the synthesis of crystalline powders of perovskite compounds
JP5361190B2 (en) Fine powder lead zirconate titanate, titanium zirconate hydrate, zirconium titanate and process for producing the same
KR101442835B1 (en) Fine-particled alkaline-earth titanates and method for the production thereof using titan oxide particles
JP3780405B2 (en) Fine barium titanate powder, calcium-modified fine barium titanate powder, and method for producing the same
KR20070050973A (en) Barium titanate, production process thereof and capacitor
JP5089870B2 (en) Barium calcium titanate, method for producing the same, and capacitor
EP1441985A1 (en) Method for preparing barium-titanate based powder
JP5270528B2 (en) Amorphous fine particle powder, method for producing the same, and perovskite-type barium titanate powder using the same
US5783165A (en) Method of making barium titanate
JP2726439B2 (en) Method for producing ceramic powder having perovskite structure
JPH08119633A (en) Production of fine barium titanate particles
US4810484A (en) Method for manufacturing fine lead titanate powders
US7001585B2 (en) Method of making barium titanate
US8431109B2 (en) Process for production of composition
JP3319807B2 (en) Perovskite-type compound fine particle powder and method for producing the same
JPH0339014B2 (en)
JPH0246531B2 (en)
JPH08119745A (en) Production of ceramic powder
EP0163739A1 (en) Process for preparing fine particles of ba (zrx ti 1-x)o3-solid solution
JPH0873219A (en) Production of powdery ceramic
KR100647247B1 (en) Method for Synthesizing Barium Titanate Powder by solvothermal technique
JPS61174116A (en) Production of perovskite type oxide
JPS61251516A (en) Production of perovskite type oxide
KR100531137B1 (en) Method for Preparation of Piezoelectric Ceramics by Coprecipitation
JPH062585B2 (en) Method for producing lead titanate microcrystals

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040330