JPH08118651A - インクを発熱抵抗体としたインクジェット記録ヘッド及びインク噴射方法 - Google Patents
インクを発熱抵抗体としたインクジェット記録ヘッド及びインク噴射方法Info
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- JPH08118651A JPH08118651A JP7197092A JP19709295A JPH08118651A JP H08118651 A JPH08118651 A JP H08118651A JP 7197092 A JP7197092 A JP 7197092A JP 19709295 A JP19709295 A JP 19709295A JP H08118651 A JPH08118651 A JP H08118651A
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- insulating film
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット記録ヘッドのエネルギー効率
を上げる。 【解決手段】 インク吐出口１７付近に電極１１，１２
を設け、この電極１１，１２間の導電性インク１６に通
電して発熱させ、局所的に気泡を発生させて、その膨張
力でインク吐出口１７からインクを噴射する。
を上げる。 【解決手段】 インク吐出口１７付近に電極１１，１２
を設け、この電極１１，１２間の導電性インク１６に通
電して発熱させ、局所的に気泡を発生させて、その膨張
力でインク吐出口１７からインクを噴射する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインク噴射装置及び
インク噴射方法に関し、特にインクを発熱抵抗体として
インクを噴射させるインクジェット記録ヘッド及びイン
ク噴射方法に関する。
インク噴射方法に関し、特にインクを発熱抵抗体として
インクを噴射させるインクジェット記録ヘッド及びイン
ク噴射方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインク噴射方法は、インクの下に
保護層と発熱抵抗体を形成して、発熱抵抗体に電流を流
して熱を発生させた後、この熱を保護層を通じてインク
に伝達する。このようにして伝達された熱は、インクの
一部を沸点に到達させ、沸点に達したインクから気泡が
発生してインクが噴射される。
保護層と発熱抵抗体を形成して、発熱抵抗体に電流を流
して熱を発生させた後、この熱を保護層を通じてインク
に伝達する。このようにして伝達された熱は、インクの
一部を沸点に到達させ、沸点に達したインクから気泡が
発生してインクが噴射される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のイ
ンク噴射方法は発熱抵抗体層から発熱した熱のうち一部
のみがインク噴射に必要なエネルギーとして用いられる
のでエネルギー効率が低く、更に発熱抵抗体層、保護層
等を形成するための工程が複雑である。故に、従来のイ
ンク噴射方法を用いるインクジェット記録ヘッドにおい
ては集積度が高まると複雑な工程により生産性が低下
し、インク噴射のために多くのエネルギーを必要とする
ので、電力消耗が多くなる問題点があった。
ンク噴射方法は発熱抵抗体層から発熱した熱のうち一部
のみがインク噴射に必要なエネルギーとして用いられる
のでエネルギー効率が低く、更に発熱抵抗体層、保護層
等を形成するための工程が複雑である。故に、従来のイ
ンク噴射方法を用いるインクジェット記録ヘッドにおい
ては集積度が高まると複雑な工程により生産性が低下
し、インク噴射のために多くのエネルギーを必要とする
ので、電力消耗が多くなる問題点があった。
【０００４】従って、上記の問題点を解決するために案
出した本発明は、インクを噴射させるためのエネルギー
をインク内で直接発生させる、即ち、インクの噴射に必
要な熱をインク内で直接発生してエネルギー効率を高め
るので、低電力で動作が可能であり、保護層や発熱抵抗
体層を必要としないので、生産性が高く、製作費用が少
ないインクジェット記録ヘッド及びインク噴射方法を提
供するにその目的がある。
出した本発明は、インクを噴射させるためのエネルギー
をインク内で直接発生させる、即ち、インクの噴射に必
要な熱をインク内で直接発生してエネルギー効率を高め
るので、低電力で動作が可能であり、保護層や発熱抵抗
体層を必要としないので、生産性が高く、製作費用が少
ないインクジェット記録ヘッド及びインク噴射方法を提
供するにその目的がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘ
ッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成された絶縁
膜と；上記、絶縁膜上の所定部位に夫々分離されて形成
される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と一定の
間隔を置いて上記複数の下部電極上方に形成され、一定
幅を有する一つの長い線状に形成される上部電極が下面
に形成されている上部基板；及び上部基板と上記絶縁膜
との間に発熱抵抗体インクが流れる長い通路が形成され
て一方向にインクが吐出されるインク吐出口を有し、複
数個に夫々分離されている下部電極が電気的に夫々絶縁
されて、一つの上記下部電極が一つの通路に位置したイ
ンクを加熱するよう絶縁体で構成されて、インクを分離
する障壁膜を含み成ることを特徴とする。
に、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘ
ッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成された絶縁
膜と；上記、絶縁膜上の所定部位に夫々分離されて形成
される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と一定の
間隔を置いて上記複数の下部電極上方に形成され、一定
幅を有する一つの長い線状に形成される上部電極が下面
に形成されている上部基板；及び上部基板と上記絶縁膜
との間に発熱抵抗体インクが流れる長い通路が形成され
て一方向にインクが吐出されるインク吐出口を有し、複
数個に夫々分離されている下部電極が電気的に夫々絶縁
されて、一つの上記下部電極が一つの通路に位置したイ
ンクを加熱するよう絶縁体で構成されて、インクを分離
する障壁膜を含み成ることを特徴とする。
【０００６】本発明の第２実施形態に係るインクジェッ
ト記録ヘッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成さ
れた絶縁膜と；上記絶縁膜上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と
一定の間隔を置いて上記複数の下部電極上方に形成され
る上部基板；及び上部基板と上記絶縁膜との間に発熱抵
抗体インクが流れる長い通路が形成されて一方向にイン
クが吐出されるインク吐出口を有し、複数個に夫々分離
されている一対の下部電極がインクにより電気的に導通
されて、インクを加熱することによりインクを上記イン
ク吐出口から吐出するよう絶縁体で構成されてインクを
分離する障壁膜を含み成ることを特徴とする。
ト記録ヘッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成さ
れた絶縁膜と；上記絶縁膜上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と
一定の間隔を置いて上記複数の下部電極上方に形成され
る上部基板；及び上部基板と上記絶縁膜との間に発熱抵
抗体インクが流れる長い通路が形成されて一方向にイン
クが吐出されるインク吐出口を有し、複数個に夫々分離
されている一対の下部電極がインクにより電気的に導通
されて、インクを加熱することによりインクを上記イン
ク吐出口から吐出するよう絶縁体で構成されてインクを
分離する障壁膜を含み成ることを特徴とする。
【０００７】本発明の第３実施形態に係るインクジェッ
ト記録ヘッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成さ
れた絶縁膜と；上記絶縁膜上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と
一定の間隔を置いて上記複数の下部電極上方に形成さ
れ、インクが吐出されるよう複数のインク吐出口を有し
ている上部基板；及び上記インク吐出口が形成されてい
ない部位の上部基板と絶縁膜との間にインクが流れ込み
所定部位にに位置できる空間を形成するとともに、そこ
に流れ込んだインクを通じて電気的に導通される一対の
上記下部電極により加熱されたインクが上記インク吐出
口を通じて吐出されるよう絶縁体で構成されて、インク
を分離する障壁膜を含み成ることを特徴とする。
ト記録ヘッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成さ
れた絶縁膜と；上記絶縁膜上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と
一定の間隔を置いて上記複数の下部電極上方に形成さ
れ、インクが吐出されるよう複数のインク吐出口を有し
ている上部基板；及び上記インク吐出口が形成されてい
ない部位の上部基板と絶縁膜との間にインクが流れ込み
所定部位にに位置できる空間を形成するとともに、そこ
に流れ込んだインクを通じて電気的に導通される一対の
上記下部電極により加熱されたインクが上記インク吐出
口を通じて吐出されるよう絶縁体で構成されて、インク
を分離する障壁膜を含み成ることを特徴とする。
【０００８】本発明の第４実施形態に係るインクジェッ
ト記録ヘッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成さ
れた絶縁膜と；上記絶縁膜上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と
一定な間隔を置いて上記の複数の下部電極上方に形成さ
れ、インクが吐出されるよう複数のインク吐出口を有し
ている上部基板；及び上記インク吐出口が形成されてい
ない部位の上部基板と絶縁膜との間にインクが流れ込み
所定部位に位置できる空間を形成するとともに、そこに
流れ込んだインクが一つの上記下部電極により加熱され
ている上記インク吐出口を通じて吐出口されるよう絶縁
体で構成されてインクを分離する障壁膜を含み成ること
を特徴とする。
ト記録ヘッドは、下部基板と；上記下部基板上に形成さ
れた絶縁膜と；上記絶縁膜上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極と；上記複数の下部電極と
一定な間隔を置いて上記の複数の下部電極上方に形成さ
れ、インクが吐出されるよう複数のインク吐出口を有し
ている上部基板；及び上記インク吐出口が形成されてい
ない部位の上部基板と絶縁膜との間にインクが流れ込み
所定部位に位置できる空間を形成するとともに、そこに
流れ込んだインクが一つの上記下部電極により加熱され
ている上記インク吐出口を通じて吐出口されるよう絶縁
体で構成されてインクを分離する障壁膜を含み成ること
を特徴とする。
【０００９】更に、本発明に係るインク噴射方法は、イ
ンクを発熱抵抗体としてインク自体の抵抗によりインク
が加熱されるようにしてインクに気泡を発生することに
より、インク吐出口からインクを噴射することを特徴と
する。
ンクを発熱抵抗体としてインク自体の抵抗によりインク
が加熱されるようにしてインクに気泡を発生することに
より、インク吐出口からインクを噴射することを特徴と
する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して本
発明を詳細に説明すると次の通りである。先ず、導電性
を有するインクに電圧を印加すると、印加した電圧の自
乗に比例してインクに熱が発生するようになるが、この
熱がインクの沸点に達するに必要な熱以上になると、イ
ンクが沸点に達してインクに気泡が発生し、この気泡に
よりインクが押し出されてインクが噴射する物理的な現
象を利用することを本発明の技術要旨としている。これ
を具現する具体的なインクジェット記録ヘッドを以下詳
細に説明する。
発明を詳細に説明すると次の通りである。先ず、導電性
を有するインクに電圧を印加すると、印加した電圧の自
乗に比例してインクに熱が発生するようになるが、この
熱がインクの沸点に達するに必要な熱以上になると、イ
ンクが沸点に達してインクに気泡が発生し、この気泡に
よりインクが押し出されてインクが噴射する物理的な現
象を利用することを本発明の技術要旨としている。これ
を具現する具体的なインクジェット記録ヘッドを以下詳
細に説明する。
【００１１】先ず、図１および図２を参照して本発明に
係る第１実施形態を詳細に説明すると次の通りである。
図１の（ａ）は発熱抵抗体インクを用いてインクを噴射
させる本発明の１実施形態に係るインクジェット記録ヘ
ッドの断面図であって、シリコン又はガラスで構成され
た下部基板１５上に絶縁酸化膜（絶縁膜）１８が形成さ
れており、酸化膜１８上に夫々に分離されている複数の
下部電極１１が配列され、複数の下部電極１１の一定高
さには上部基板１４が位置して上部基板１４下面に下部
電極１２が形成されている。そして、夫々に分離された
下部電極１１間の間隔を覆う障壁膜１３を酸化膜１８及
び下部電極１１の一部上に形成して、上部基板１４と上
記絶縁膜１８との間にインクが流れる長い通路が形成さ
れるようにして、この通路を通じて発熱抵抗体インク１
６が流れるようにする。
係る第１実施形態を詳細に説明すると次の通りである。
図１の（ａ）は発熱抵抗体インクを用いてインクを噴射
させる本発明の１実施形態に係るインクジェット記録ヘ
ッドの断面図であって、シリコン又はガラスで構成され
た下部基板１５上に絶縁酸化膜（絶縁膜）１８が形成さ
れており、酸化膜１８上に夫々に分離されている複数の
下部電極１１が配列され、複数の下部電極１１の一定高
さには上部基板１４が位置して上部基板１４下面に下部
電極１２が形成されている。そして、夫々に分離された
下部電極１１間の間隔を覆う障壁膜１３を酸化膜１８及
び下部電極１１の一部上に形成して、上部基板１４と上
記絶縁膜１８との間にインクが流れる長い通路が形成さ
れるようにして、この通路を通じて発熱抵抗体インク１
６が流れるようにする。
【００１２】図１の（ｂ）は上記図１の（ａ）のＸ−Ｙ
方向の断面図を示し、上部電極１２及び下部電極１１が
インク１６の流れる通路の全領域に位置するのではな
く、通路の一部領域に位置していることを示している。
方向の断面図を示し、上部電極１２及び下部電極１１が
インク１６の流れる通路の全領域に位置するのではな
く、通路の一部領域に位置していることを示している。
【００１３】次いで、図２（ａ）〜（ｅ）を参照して本
発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの
製造工程を考察してみると次の通りである。先ず、図２
（ａ）に示すように、シリコンやガラスで構成される下
部基板１５上に絶縁層である酸化膜１８を形成し、図２
（ｂ）に示すように、酸化膜１８上に夫々分離された下
部電極１１を複数個形成する。更に、図２（ｃ）に示す
ように、障壁膜１３が夫々分離された下部電極１１の一
部領域と下部電極１１との間で露出された酸化膜１８上
に配置され、長い線を形成しながら下部基板１５上の一
定領域を割当てるようにする。そして、図２（ｄ）のよ
うに、もう一つの基板、即ち、上部基板１４上に電極
（上部電極）１２を形成して、図２（ｅ）のように、イ
ンクジェット記録ヘッドを形成する。すなわち、図２
（ｄ）における上部電極１２を下にして、図２（ｃ）の
障壁膜１３の上に置き、上部及び下部基板１４，１５間
に発熱抵抗体であるインク１６が流れる通路を形成し
て、この通路で発生した気泡によりインクが図１（ｂ）
に示すインク吐出口１７に沿って用紙に印刷するように
なる。
発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの
製造工程を考察してみると次の通りである。先ず、図２
（ａ）に示すように、シリコンやガラスで構成される下
部基板１５上に絶縁層である酸化膜１８を形成し、図２
（ｂ）に示すように、酸化膜１８上に夫々分離された下
部電極１１を複数個形成する。更に、図２（ｃ）に示す
ように、障壁膜１３が夫々分離された下部電極１１の一
部領域と下部電極１１との間で露出された酸化膜１８上
に配置され、長い線を形成しながら下部基板１５上の一
定領域を割当てるようにする。そして、図２（ｄ）のよ
うに、もう一つの基板、即ち、上部基板１４上に電極
（上部電極）１２を形成して、図２（ｅ）のように、イ
ンクジェット記録ヘッドを形成する。すなわち、図２
（ｄ）における上部電極１２を下にして、図２（ｃ）の
障壁膜１３の上に置き、上部及び下部基板１４，１５間
に発熱抵抗体であるインク１６が流れる通路を形成し
て、この通路で発生した気泡によりインクが図１（ｂ）
に示すインク吐出口１７に沿って用紙に印刷するように
なる。
【００１４】次いで、上記本発明の動作状態を考察して
みる。図１（ｂ）において、インクが満ちている領域の
上部及び下部電極１２，１１に電圧を加えると、インク
を通じて電流が流れるようになり、インク自体の抵抗に
よりインクが加熱される。加熱されたインクの温度が沸
点以上になると気泡が発生するようになり、この気泡に
よりインクがインク吐出口１７から噴射される。
みる。図１（ｂ）において、インクが満ちている領域の
上部及び下部電極１２，１１に電圧を加えると、インク
を通じて電流が流れるようになり、インク自体の抵抗に
よりインクが加熱される。加熱されたインクの温度が沸
点以上になると気泡が発生するようになり、この気泡に
よりインクがインク吐出口１７から噴射される。
【００１５】次に、図３を参照して本発明に係る第２実
施形態を詳細に説明すると、図面において２１，２２は
下部電極、２３は障壁膜、２４，２５はシリコン又はガ
ラス基板、２６はインク、２７はインク吐出口、２８は
酸化膜を夫々に示す。図３（ａ）は図１（ａ）において
上部電極１２が形成されていないもので、複数個に分離
されて形成される下部電極２１，２２間の間隔が小さく
形成されている。そして、下部電極２１，２２間の間隔
を調節することにより、インク噴射量を変化させずに電
極間の抵抗を容易に調節できるが、本例においては下部
電極２１，２２間の間隔を短く形成することにより、電
極間の抵抗が減って、上記第１実施形態におけるより低
い電圧でもインク吐出口の方向へインク噴射が起こるよ
うに形成したのである。
施形態を詳細に説明すると、図面において２１，２２は
下部電極、２３は障壁膜、２４，２５はシリコン又はガ
ラス基板、２６はインク、２７はインク吐出口、２８は
酸化膜を夫々に示す。図３（ａ）は図１（ａ）において
上部電極１２が形成されていないもので、複数個に分離
されて形成される下部電極２１，２２間の間隔が小さく
形成されている。そして、下部電極２１，２２間の間隔
を調節することにより、インク噴射量を変化させずに電
極間の抵抗を容易に調節できるが、本例においては下部
電極２１，２２間の間隔を短く形成することにより、電
極間の抵抗が減って、上記第１実施形態におけるより低
い電圧でもインク吐出口の方向へインク噴射が起こるよ
うに形成したのである。
【００１６】本発明に係る第３実施形態を図４（ａ）及
び図４（ｂ）を参照して詳細に考察してみると、図面に
おいて３１，３２は電極、３３は障壁膜、３４，３５は
シリコン又はガラス基板、３６はインク、３７はインク
吐出口、３８は酸化膜を夫々示す。図４（ａ）は上記図
１（ａ）及び図３（ａ）に夫々示す第１及び第２実施形
態におけるインク吐出方向とは異なる方向のインク吐出
口を形成したのである。即ち、インク噴射方向を図１
（ａ）及び図３（ａ）とは異り、一対の下部電極３１，
３２を用いて基板と垂直方向へインクを吐出するのであ
る。
び図４（ｂ）を参照して詳細に考察してみると、図面に
おいて３１，３２は電極、３３は障壁膜、３４，３５は
シリコン又はガラス基板、３６はインク、３７はインク
吐出口、３８は酸化膜を夫々示す。図４（ａ）は上記図
１（ａ）及び図３（ａ）に夫々示す第１及び第２実施形
態におけるインク吐出方向とは異なる方向のインク吐出
口を形成したのである。即ち、インク噴射方向を図１
（ａ）及び図３（ａ）とは異り、一対の下部電極３１，
３２を用いて基板と垂直方向へインクを吐出するのであ
る。
【００１７】下部基板３５上に形成されている絶縁酸化
膜３８上に電圧が印加される下部電極３１，３２が図４
（ａ）の通り短い間隔で夫々分離されており、障壁膜３
３は長い通路を作らない。即ち、図４（ａ）においてイ
ンク吐出口として用いられた下方の一通路が障壁膜３３
で塞がれており、上側の上部基板３４には、インクの通
路の終端付近上方に位置して、インクが吐出されるイン
ク吐出口３７が形成されている。図４（ｂ）は図４
（ａ）のＸ−Ｙ断面図で、ここに詳細に示されている。
電圧が印加される一対の下部電極３１，３２に電圧を印
加してインクが沸点近くに到達すると、気泡の発生によ
りインク３６を上部基板３４間に形成されたインク吐出
口３７から噴射されるようになる。インクが満ちている
領域は障壁膜３３により三面が塞がれており、インク注
入のための一面と吐出口３７だけが開けられている。
膜３８上に電圧が印加される下部電極３１，３２が図４
（ａ）の通り短い間隔で夫々分離されており、障壁膜３
３は長い通路を作らない。即ち、図４（ａ）においてイ
ンク吐出口として用いられた下方の一通路が障壁膜３３
で塞がれており、上側の上部基板３４には、インクの通
路の終端付近上方に位置して、インクが吐出されるイン
ク吐出口３７が形成されている。図４（ｂ）は図４
（ａ）のＸ−Ｙ断面図で、ここに詳細に示されている。
電圧が印加される一対の下部電極３１，３２に電圧を印
加してインクが沸点近くに到達すると、気泡の発生によ
りインク３６を上部基板３４間に形成されたインク吐出
口３７から噴射されるようになる。インクが満ちている
領域は障壁膜３３により三面が塞がれており、インク注
入のための一面と吐出口３７だけが開けられている。
【００１８】最後に、本発明に係る第４実施形態を図５
（ａ）及び図５（ｂ）を参照して詳細に考察してみる
と、図面において４１は下部電極、４３は障壁膜、４
４，４５は夫々シリコン又はガラスで成った上・下部基
板、４６はインク、４７はインク吐出口、４８は酸化膜
を夫々示す。図５（ａ）は図４（ａ）及び図４（ｂ）に
夫々示された第３実施形態におけるインク吐出方法と同
一の方法でインクを吐出するもので、下部電極とインク
の位置を異にしたのである。即ち、図４（ａ）は二つの
下部電極３１，３２を用いてインクを吐出させるもので
あるのに対し、本実施形態においては一つの電極がイン
クを吐出できるようインクが位置する領域に一つの下部
電極４１の一部が位置して電圧が印加されるよう構成さ
れている。
（ａ）及び図５（ｂ）を参照して詳細に考察してみる
と、図面において４１は下部電極、４３は障壁膜、４
４，４５は夫々シリコン又はガラスで成った上・下部基
板、４６はインク、４７はインク吐出口、４８は酸化膜
を夫々示す。図５（ａ）は図４（ａ）及び図４（ｂ）に
夫々示された第３実施形態におけるインク吐出方法と同
一の方法でインクを吐出するもので、下部電極とインク
の位置を異にしたのである。即ち、図４（ａ）は二つの
下部電極３１，３２を用いてインクを吐出させるもので
あるのに対し、本実施形態においては一つの電極がイン
クを吐出できるようインクが位置する領域に一つの下部
電極４１の一部が位置して電圧が印加されるよう構成さ
れている。
【００１９】
【発明の効果】上記の通りに成る本発明は、第一、イン
ク噴射に必要な熱をインク内で直接発生させるのでエネ
ルギー効率が高く、従って低い電圧における駆動が可能
である。第二、保護層や発熱抵抗層が不要であるため、
製作工程が簡単であり、製作費用が少なく、生産性が増
加する。従って、従来よりずっと経済的であって、しか
も、性能が優れたインクジェットヘッドの供給が可能で
ある。
ク噴射に必要な熱をインク内で直接発生させるのでエネ
ルギー効率が高く、従って低い電圧における駆動が可能
である。第二、保護層や発熱抵抗層が不要であるため、
製作工程が簡単であり、製作費用が少なく、生産性が増
加する。従って、従来よりずっと経済的であって、しか
も、性能が優れたインクジェットヘッドの供給が可能で
ある。
【図１】（ａ）は発熱抵抗体インクを用いてインクを噴
射させる本発明の第１実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図である。また、（ｂ）は（ａ）のＸ−
Ｙ断面図である。
射させる本発明の第１実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図である。また、（ｂ）は（ａ）のＸ−
Ｙ断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの製作工程を示す断面図である。
録ヘッドの製作工程を示す断面図である。
【図３】（ａ）は発熱抵抗体インクを用いてインクを噴
射させる本発明の第２実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｙ断面図であ
る。
射させる本発明の第２実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｙ断面図であ
る。
【図４】（ａ）は発熱抵抗体インクを用いてインクを噴
射させる本発明の第３実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｙ断面図であ
る。
射させる本発明の第３実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｙ断面図であ
る。
【図５】（ａ）は発熱抵抗体インクを用いてインクを噴
射させる本発明の第４実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｙ断面図であ
る。
射させる本発明の第４実施形態に係るインクジェット記
録ヘッドの断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｙ断面図であ
る。
【符号の説明】 １１，１２，２１，２２，３１，３２，４１ 電極 １３，２３，３３，４３ 障壁膜 １４，１５，２４，２５，３４，３５，４５ 基板 １６，２６，３６，４６ インク １７，２７，３７，４７ インク吐出口 １８，２８，３８，４８ 酸化膜
フロントページの続き (72)発明者 リ ヒ トク 大韓民国デジョン市ユーソン区 クーソ ン・ドン，373−１ (72)発明者 リ チェ ト 大韓民国デジョン市ユーソン区 クーソ ン・ドン，373−１ (72)発明者 ユン チュン ボ 大韓民国デジョン市ユーソン区 クーソ ン・ドン，373−１ (72)発明者 キム チョン キ 大韓民国デジョン市ユーソン区 ケジョ ン・ドン，236−２，キットジュース ア パート 15−202 (72)発明者 スォ ドゥ ウァン 大韓民国ソウル市ソンパー区 チャムシル ボン・ドン，301−15
Claims (8)
- 【請求項１】 インクを発熱抵抗体としたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、 下部基板１５と；上記下部基板１５上に形成された絶縁
膜１８と；上記絶縁膜１８上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極１１と；上記複数の下部電
極１１と一定の間隔を置いて上記複数の下部電極１１上
方に形成され、一定の幅を有する一つの長い線状に形成
される上部電極１２が下面に形成されている上部基板１
４；及び上部基板１４と上記絶縁膜１８との間に発熱抵
抗体インクが流れる長い通路が形成されて一方向へイン
クが吐出されるインク吐出口１７を有し、複数個に夫々
分離されている下部電極１１が電気的に夫々絶縁され
て、一つの上記下部電極１１が一つの通路に位置したイ
ンクを加熱するよう絶縁体で構成されてインクを分離す
る障壁膜１３；を含み成ることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド。 - 【請求項２】 インクを発熱抵抗体としてインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、 下部基板２５と；上記下部基板２５上に形成された絶縁
膜２８と；上記絶縁膜２８上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極２１，２２と；上記複数の
下部電極２１と一定の間隔を置いて上記複数の下部電極
２１上方に形成される上部基板２４；及び上部基板２４
と上記絶縁膜２８との間に発熱抵抗体インクが流れる長
い通路が形成されて一方向へインクが吐出されるインク
吐出口２７を有し、複数個に夫々分離されている一対の
下部電極２１，２２がインクにより電気的に導通され
て、インクを加熱することによりインクを上記インク吐
出口２７から吐出するよう絶縁体で構成されてインクを
分離する障壁膜２３；を含み成ることを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 インクを発熱抵抗体としたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、 下部基板３５と；上記下部基板３５上に形成された絶縁
膜３８と；上記絶縁膜３８上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極３１，３２と；上記複数の
下部電極３１と一定の間隔を置いて上複複数の下部電極
３１上方に形成され、インクが吐出されるよう複数のイ
ンク吐出口３７を有している上部基板３４；及び上記イ
ンク吐出口３７が形成されていない部位の上部基板３４
と絶縁膜３８との間にインクが流れ込み所定部位に位置
できる空間を形成するとともに、そこに流れ込んだイン
クを通じて電気的に導通される一対の上記下部電極３
１，３２により加熱されたインクが上記インク吐出口３
７を通じて吐出されるよう絶縁体で構成されてインクを
分離する障壁膜３３；を含み成ることを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 インクを発熱抵抗体としたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、 下部基板４５と；上記下部基板４５上に形成された絶縁
膜４８と；上記絶縁膜４８上の所定部位に夫々分離され
て形成される複数の下部電極４１と；上記複数の下部電
極４１と一定の間隔を置いて上記複数の下部電極４１の
上方に形成され、インクが吐出されるよう複数のインク
吐出口４７を有している上部基板４４；及び上記インク
吐出口４７が形成されていない部位の上部基板４４と絶
縁膜４８との間にインクが流れ込み所定部位に位置でき
る空間を形成するとともに、そこに流れ込んだインクが
一つの上記下部電極４１により加熱されている上記イン
ク吐出口４７を通じて吐出されるよう絶縁体で構成され
てインクを分離する障壁膜４３；を含み成ることを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４において、 上記上・下部基板はシリコン膜で成ることを特徴とする
インクジェット記録ヘッド。 - 【請求項６】 請求項１，２，３または４において、 上記上・下部基板はガラス膜で成ることを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項７】 請求項１，２，３または４において、 上記絶縁膜は酸化膜で成ることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド。 - 【請求項８】 インクを発熱抵抗体としたインク噴射方
法において、 インクを発熱抵抗体としてインク自体の抵抗によりイン
クが加熱されるようにして、インクに気泡を発生するこ
とにより、インク吐出口からインクを噴射することを特
徴とするインク噴射方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940025845A KR960013665A (ko) | 1994-10-10 | 1994-10-10 | 잉크를 발열 저항체로한 잉크젯 기록 헤드 및 잉크 분사 방법 |
| KR1994-25845 | 1994-10-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08118651A true JPH08118651A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=19394750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7197092A Pending JPH08118651A (ja) | 1994-10-10 | 1995-07-10 | インクを発熱抵抗体としたインクジェット記録ヘッド及びインク噴射方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08118651A (ja) |
| KR (1) | KR960013665A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114834156A (zh) * | 2021-02-01 | 2022-08-02 | 船井电机株式会社 | 形成打印头的方法 |
-
1994
- 1994-10-10 KR KR1019940025845A patent/KR960013665A/ko not_active Application Discontinuation
-
1995
- 1995-07-10 JP JP7197092A patent/JPH08118651A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114834156A (zh) * | 2021-02-01 | 2022-08-02 | 船井电机株式会社 | 形成打印头的方法 |
| CN114834156B (zh) * | 2021-02-01 | 2024-03-08 | 船井电机株式会社 | 形成打印头的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960013665A (ko) | 1996-05-22 |
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