JPH08114487A - 光プローブ及びこれを用いた液面検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 １つの光プローブを用いて、タンク内に保持
される液体の複数の液面レベルを検出できるようにする
こと。 【構成】 石英ガラス等の透明で耐薬品性に優れた材料
で光プローブ１０を構成する。光プローブ１０の先端部
を円錐又は角錐状に形成し、第１の反射面１４を設け、
光プローブ１０の後部に第２の反射面を設ける。更に光
プローブ１０の後端面に投光用光ファイバ１２ａ，１２
ｂと、受光用ファイバ１３ａ，１３ｂを取り付ける。こ
うすれば第１，第２の反射面１４，１５を越えて液面レ
ベルが変化すると、受光量が変化するため、液面レベル
の変化が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、投光用及び受光用の光
ファイバと結合される光プローブ、及び光プローブを用
いてタンク内の液面レベルを制御する液面検出器に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】タンクに保持される薬品又は各種の液体
の液面レベルを管理するため液面検出器が用いられる。
例えば半導体及び液晶の製造工程で用いられる各種の薬
品又は液体は、酸性又はアルカリ性液体のように腐食性
を有するものが多い。腐食性を有する各種の液体を保持
するには、タンクとしてステンレス等のように不透明な
容器が用いられることが多く、液面レベルを管理するた
めに液面検出器が設けられている。

【０００３】このような目的でタンク内の液面レベルを
管理するには、例えば図１０に示すような原理の光プロ
ーブが用いられている。本図に示す光プローブ１では、
先端部に角錐状又は円錐状の反射面（境界面）が形成さ
れた透明部材２に対し、透明部材２の他の端面に投光用
光ファイバ３及び受光用光ファイバ４を取付けた構造と
なっている。透明部材２は透明なガラス又は耐薬品性を
有する樹脂等により形成され、タンク内の液体に浸され
ている。

【０００４】光プローブ１は、その先端に中心軸に対し
て例えば４５°となる反射面５が形成されている。そう
すれば投光用光ファイバ３から出射された光ビームは透
明部材２の中心軸に沿って透過し、反射面５で光ビーム
が反射又は透過する。反射面５の反射率は、透明部材２
を構成する材料の屈折率と反射面５に接触する流動性物
質の屈折率によって決定される。屈折率差が大きいと
き、反射面の反射率は増加する。又屈折率差が小さいと
き、投光用光ファイバ３の光ビームは反射面５に接触す
る物質側に透過する。

【０００５】例えば図１０（ａ）のように光プローブ１
が液体に浸されていないとき、投光用光ファイバ３から
出射された光ビームの大半が左側の反射面５で反射し、
これと対向する右側の反射面５で再び反射され、受光用
光ファイバ４に反射光が入射する。

【０００６】一方、図１０（ｂ）のように光プローブ１
が液体６に浸されている場合、投光用光ファイバ３の光
ビームは反射面５で反射される割合が小さくなり、その
大半が液体６側に透過する。このため受光用光ファイバ
４での受光量が低下する。このように液面レベルが光プ
ローブ１の先端部に達すると、受光用光ファイバ４の受
光量が変化するので、光プローブ１に対する液体６の液
面レベルを光学的に検出することができる。

【０００７】従来の光プローブでは、透明部材２として
耐薬品性の優れた透光性のフッ素樹脂が用いられること
が多かった。フッ素樹脂（テフロンともいう）といえど
も、一部の薬品に対しては耐蝕性に欠けるところがあ
り、又環境温度によって大きく伸縮するという欠点があ
る。特に半導体や液晶の製造工程の前工程では、タンク
に収納される薬品の液面レベルを高精度に管理しなけれ
ばならず、このような素材で構成された光プローブでは
液面検出の安定性と精度に問題があった。

【０００８】又従来では、タンクに保持される各種の液
体の液面レベルを複数のレベルで管理する場合、その検
出レベル数に応じて光プローブを有する液面検出器を多
数設けなければならなかった。又図１０に示すような光
プローブでは、光プローブ１の取付位置に対して受光用
光ファイバ４から液体６のオンオフ信号しか得られない
という欠点があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来の問題点に鑑みてなされたものであって、耐薬品性に
優れ、環境温度変化に対して反射面の位置が変化せず、
タンクに保持された液体のレベルを高精度に検出できる
光プローブを実現することと、この１つの光プローブを
用いて複数の液面レベルを検出して、液面レベルを一定
に制御するための液面検出器を実現することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、光ビームを出射する投光手段、及びその反射光を受
光する受光手段が後端面に取付けられた透明の棒状部材
であって、その先端部に中心軸に対してテーパ状に形成
された第１の反射面を有し、中心軸に沿って第１の反射
面から夫々異なった後方位置に設けられ第１の反射面と
平行に形成された第２〜第ｎの反射面（ｎ≧２）を有す
ることを特徴とするものである。

【００１１】本願の請求項２の発明は、光ビームを帯状
に出射する複数の投光手段、及びその反射光を受光する
複数の受光手段が後端面に取付けられた透明の棒状部材
であって、その先端部に中心軸に対してテーパ状に形成
された反射面を有することを特徴とするものである。

【００１２】本願の請求項３の発明は、請求項１又は２
記載の光プローブを用いて、タンク内の液面レベルを検
出する液面検出器であって、光プローブの後端面に取付
けられ、光プローブの軸に平行に光ビームを出射する複
数の投光手段と、光プローブの後端面に取付けられ、投
光手段から出射して光プローブの反射面で反射された光
プローブの軸に平行な反射光を受光する複数の受光手段
と、タンクの開口部に着脱自在に取付けられ、光プロー
ブ、投光手段、及び受光手段を一体に保持するプローブ
保持手段と、を具備することを特徴とするものである。

【００１３】本願の請求項４の発明は、請求項１又は２
記載の光プローブを用いて、タンク内の液面レベルを検
出する液面検出器であって、光プローブの後端面に取付
けられ、投光手段から出射して光プローブの反射面で反
射された光プローブの軸に平行な反射光を受光する複数
の受光手段と、タンクの開口部に着脱自在に取付けら
れ、光プローブをタンク内で密閉状態に保持する締め付
けユニットと、投光手段と受光手段とを締め付けユニッ
トに連結させる連結手段と、を具備し、締め付けユニッ
トは、タンクの開口部に光ブローブを固定するプローブ
止め具と、光プローブの外周面とプローブ止め金具との
対向面に挿入され、タンク内と外気とを遮断するシール
部材と、シール部材に押し付け力を与えるシール部材止
め具と、シール部材止め具を内部に保持した状態で連結
手段を光プローブの後端面に圧接する連結止め具と、を
有することを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】このような特徴を有する請求項１の発明によれ
ば、投光手段より出射された光ビームは光プローブの中
心軸に平行に透過して第１〜第ｎの反射面に入射する。
このとき光プローブが液体に浸され、その第１〜第ｎの
反射面の何れかにまで液面が達していれば、光ビームは
液体側に透過するので各反射面での反射率が低下し、受
光手段に光ビームが入射されない。また反射面まで液面
が達していなければ、反射面での反射率が増加し、受光
手段での受光量が増加する。このように受光手段の受光
量をモニターすることにより、１つの光プローブで液面
レベルを多段階で検出できる。

【００１５】また請求項２の発明によれば、光プローブ
の後端面に複数の光ビームを平行に出射する投光手段が
設けられているので、反射面に接触する液面レベルに応
じて投光手段の光ビームの反射される量はアナログ的に
変化する。このため受光手段の入射光量をモニターする
ことにより、光プローブのテーパ面に接する液面レベル
を正確に検出できる。

【００１６】さらに請求項３，４の発明によれば、光プ
ローブがプローブ保持手段によってタンクに保持されて
いるので、タンク内に収納される液体を光学的に検出
し、その信号を受光手段により電気信号に変換できる。
この信号を液体の制御弁に与えると、タンク内の液体レ
ベルを高精度に制御できる。

【００１７】

【実施例】本発明の第１実施例における光プローブにつ
いて図１を参照しつつ説明する。図１は第１実施例の光
プローブ１０の基本構成を示す断面図である。本図にお
いて光プローブ１０は石英ガラス等の透明で、且つ耐蝕
性に優れ、膨張係数も小さい素材で構成される。光プロ
ーブ１０には第１の反射面１４，第２の反射面１５が形
成されている。

【００１８】図２（ａ），（ｂ）は光プローブの異なっ
た例を示す斜視図である。図２（ａ）に示す光プローブ
１０ａは段付円柱状の構造を有しており、その先端部に
円錐状の第１の反射面１４ａが形成され、この後方に円
錐台形状の第２の反射面１５ａが形成されている。一
方、図２（ｂ）に示す光プローブ１０ｂは、段付角柱状
の構造を有しており、その先端部は正四角錐となってい
る。この正四角錐の４側面が第１の反射面１４ｂとな
り、正四角錐の後方に位置する四角錐台形部に第２の反
射面１５ｂが形成されている。図１に示すように反射面
１４，１５の間隔は、管理すべき液体の第１の液面レベ
ル及び第２の液面レベルの差に等しくなるように決定さ
れる。

【００１９】次に光プローブ１０の後端面１６に第１及
び第２の投光用光ファイバ１２ａ，１２ｂが投光手段と
して取付けられ、又第１及び第２の受光用光ファイバ１
３ａ，１３ｂが受光手段として取付けられている。投光
用光ファイバ１２ａはその出射光がテーパ状の反射面１
５で反射し、その反射光を受光用光ファイバ１３ａが受
光するようにっている。同様に投光用光ファイバ１２ｂ
から出射した光ビームは反射面１４で反射し、その反射
光を受光用光ファイバ１３ｂが受光するようになってい
る。

【００２０】以上の光プローブ１０は２段式であるが、
図３に示すように３段式の光プローブ１７も考えられ
る。光プローブ１７ではテーパ状の第１の反射面１４ｃ
及び第２の反射面１５ｃを設けると共に、反射面１５ｃ
とこれを保持する円筒部の一部を切欠き、図示のような
切欠部１８を設ける。そしてこの切欠部１８の後端部
に、反射面１５ｃと同様の傾斜角を有する第３の反射面
１９を形成する。このように第１〜第３の反射面を設け
ることにより、図３に示す光プローブ１７では第１，第
２，第３の液面レベルを管理することができる。この場
合３組の投受光用光ファイバを必要とする。

【００２１】次にアナログ式の光プローブについて図４
を参照しつつ説明する。図４はアナログ式の光プローブ
２０の基本構造を示す断面図である。光プローブ２０
は、柱状又は板状の透光性部材で形成され、その先端部
がテーパ状に加工されたものである。テーパ状に形成さ
れた部分は反射面２２となり、その後端面２３には投光
用光ファイバユニット２４及び受光用光ファイバユニッ
ト２５が取付けられている。反射面２２は光プローブ１
０の場合と同様、その中心軸に対して約４５°に形成さ
れ、タンク内の液体に浸される。

【００２２】ここで投光用光ファイバユニット２４は複
数の光ファイバを束状又はライン状にまとめたもので、
光ビームの出射範囲は光プローブ２０の半径又は半円部
と等しい。受光用光ファイバユニット２５も投光用光フ
ァイバユニット２４と同様の構造を有し、反射面２２の
いずれの部分で反射された光ビームを捕捉し、図示しな
い位置に設けられた受光素子に反射光を案内するよう構
成されている。

【００２３】図４に示すように液体の液面レベルがＬ１
の場合、投光用光ファイバユニット２４から出射された
１１本の光束のうち７本が反射面２２で反射し、残り４
本が液体側に透過する。この場合、受光用光ファイバユ
ニット２５に入射される光束は７本となり、この反射光
量を計測することにより液面レベルの変化を検出するこ
とができる。光プローブ２０の中心軸に沿った反射面２
２の高さをｈとすると、反射面２２が液体に浸される限
り、ｈに相当する液面レベルの変化をアナログ的に検出
することができる。しかし液面レベルの検出範囲を広げ
るためには、光プローブ２０の外径が２ｈとなるので、
少なくとも図４の紙面に沿った面内の外径を大きくした
ものを用いなければばならない。

【００２４】次に、このような光プローブを用いた液面
検出器について図面を参照しつつ説明する。図５は液面
検出器の取付状態を示す説明図である。本図に示すよう
に光プローブ３１はタンク３０に対し、プローブ保持手
段である締付ユニット３２及びプローブ止め具３３を介
して取付けられている。図６はプローブ止め具３３、締
付ユニット３２及び光プローブ３１との取付関係を示す
分解斜視図である。

【００２５】さて、図５においてタンク３０は例えばス
テンレス製の薬品等の液体を保持するタンクである。タ
ンク３０の上面は一部が切欠かれ、プローブ止め具３３
が溶接により固着されている。図６に示すようにプロー
ブ止め具３３はステンレス製の棒状部材で、中ぐりされ
ると共に一方の端部がねじ切りされている。又タンク３
０には図示しない部分に液体の電磁弁を含む注入口及び
取出口が設けられている。

【００２６】次に締付ユニット３２について図６〜図８
を用いて説明する。締付ユニット３２は、光プローブ３
１、投光用光ファイバ３４，受光用光ファイバ３５を結
合し、光プローブ３１をタンク３０に取付けるようにし
た締付ユニットである。図６に示すように締付ユニット
３２はＯリング３２ａ，Ｏリング止め具３２ｂ，フィッ
テング３２ｃ，ファイバ止め具３２ｄ，中間止め具３２
ｅ，締付止め具３２ｆ，ファイバクランプ３２ｇにより
構成される。

【００２７】Ｏリング３２ａは図５に示すようにプロー
ブ止め具３３とＯリング止め具３２ｂの対面位置に設け
られ、光プローブ３１の背面からの液体又はガス漏れを
防止するシール部材である。Ｏリング止め具３２ｂはフ
ァイバ止め具３２ｄの中ぐり部に保持される止め具で、
ファイバ止め具３２ｄがプローブ止め具３３の雄ねじと
嵌合して回転により締付けられたとき、圧接状態にある
Ｏリング３２ａの回転を防止する部材である。フィッテ
ィング３２ｃはＯリング止め具３２ｂをファイバ止め具
３２ｄ内で回転自在に保持するＣリングである。ファイ
バ止め具（連結止め具）３２ｄは段付円筒状部材で、耐
薬品性の樹脂で形成される。ファイバ止め具３２ｄの外
周部にはローレット部とねじ部が形成されている。

【００２８】中間止め具３２ｅはファイバ止め具３２ｄ
の中ぐり部に挿入されるもので、ファイバコンタクト３
６を保持した状態で、光プローブ３１の端面に当接させ
る部材である。締付止め具３２ｆはファイバコンタクト
３６が中間止め具３２ｅを介してファイバ止め具３２ｄ
の中ぐり部に保持されたとき、中間止め具３２ｅを介し
てファイバコンタクト３６に締付力を与え、ファイバコ
ンタクト３６の脱落を防止する部材である。ファイバコ
ンタクト３６は投光用光ファイバ３４及び受光用光ファ
イバ３５の端面を保持して締付けユニットに連結する連
結手段であり、その外周部には段付き状の雄ねじが形成
されている。

【００２９】図８（ａ），（ｂ）はファイバコンタクト
３６の構造を示す正面図及び側面図である。図８（ａ）
の正面図に示すように、ファイバコンタクト３６の端部
には光ファイバ芯を挿入保持するためのコア孔が４箇所
設けられている。図１に示す光プローブ１０の場合、コ
ア孔３６ａ，３６ｂが第２の反射面１５に対応する光フ
ァイバ用の取付孔であり、コア孔３６ｃ，３６ｄは第１
の反射面１４に対応する光ファイバの取付孔である。

【００３０】以上のような構成部材を有する締付ユニッ
ト３２の外観形状を図７に示す。光プローブ３１をタン
ク３０に固定して、締付ユニット３２を図５のように取
付ける場合の組立順序について簡単に説明する。まずタ
ンク３０に溶接されたプローブ止め具３３に対して、光
プローブ３１を挿入する。この場合光プローブ３１の外
径とプローブ止め具３３の内径は硬い嵌め合い精度とな
るよう加工されているものとする。次に光プローブ３１
の後端面からＯリング３２ａを挿入し、Ｏリング止め具
３２ｂも挿入する。

【００３１】図８に示すように投光用光ファイバ３４及
び受光用光ファイバ３５がファイバコンタクト３６に対
し固着されていれば、ファイバコンタクト３６を図６の
中間止め具３２ｅに対してねじ締めにより挿入する。そ
してファイバコンタクト３６と一体となった中間止め具
３２ｅを、ファイバ止め具３２ｄの中ぐり部に挿入す
る。次に締付止め具３２ｆをファイバ止め具３２ｄの外
周雄ねじ部に嵌合させ、ファイバコンタクト３６をファ
イバ止め具３２ｄの所定位置にクランプする。次にフィ
ッティング３２ｃをファイバ止め具３２ｄの取付溝に挿
入し、プローブ止め具３３に対してねじ締めを行う。こ
のときファイバ止め具３２ｄのローレット部を回転させ
ながら締付けを行うが、ファイバ止め具３２ｄの中ぐり
部とＯリング止め具３２ｂの外周部には一定のクリアラ
ンスが設けられているため、Ｏリング止め具３２ｂが回
転することなくＯリング３２ａを所定圧まで締付けるこ
ととなる。こうするとＯリング３２ａは光プローブ３１
とプローブ止め具３３に圧接されので、タンク３０内の
気化ガスは密閉状態に保持される。

【００３２】以上のように構成された液面検出器を使用
するには、光プローブ１０が図１に示すような構造の場
合、投光用光ファイバ１２ａ，１２ｂに接続された発光
素子を同時又は一定の時間を置いて順次発光させ、光プ
ローブ１０に光ビームを入射させる。タンク内の液面レ
ベルが第１の反射面１４に達しない場合、投光用光ファ
イバ１２ａ，１２ｂの光ビームは反射面１４及び１５で
反射され、受光用光ファイバ１３ａ，１３ｂを介し受光
素子に入射する。この場合２つの受光用光ファイバ１３
ａ，１３ｂから共に受光レベルの大きな信号が出力さ
れ、タンク内の液面レベルが第１の反射面１４以下であ
ることが検出される。

【００３３】同様にして液面レベルが反射面１５と１４
の間にある場合、受光用光ファイバ１３ａから光ビーム
が検出され、受光用光ファイバ１３ｂからは検出されな
い。更に液面レベルが第２の反射面１５以上の場合に
は、受光用光ファイバ１３ａ，１３ｂから共に光ビーム
が検出されない。なお、以上のような複数の光ビームを
用いる場合、一方の光ビームが他方の受光用光ファイバ
１３に入射する恐れがある。この場合は複数の発光素子
を順次点灯させ、相互干渉を防止することができる。

【００３４】図４に示すようなアナログ式の光プローブ
２１を用いた場合の液面検出器の外観図を図９に示す。
本図に示すようにタンクの液面レベルが光プローブの反
射面にある場合に、光ファイバを介してコントローラか
ら液体の深さＤに比例した信号が検出される。この信号
に基づいて電磁弁を制御することによって、タンク内の
液面レベルを連続的に制御することができる。

【００３５】以上のような液面検出器によれば、光プロ
ーブが石英ガラス等の耐薬品性が高く、膨張係数も小さ
い透明部材で構成されている。従って光プローブがタン
クに安定に取付けられる限り、環境温度の変化によって
光プローブの反射面の位置が変化しなくなる。このため
温度特性に優れた液面検出器が得られる。

【００３６】又図４に示すようなアナログ型の光プロー
ブを用いることにより、一定範囲内で変化する液面レベ
ルをアナログ的に検出することができ、タンク内の液体
を連続制御することができる。更に図５に示すようにプ
ローブ止め具３３を介し光プローブ３１を安定に保持す
ると共に、Ｏリングを用いて光プローブ３１とプローブ
止め具３３間の隙間を密閉しているので、タンクの内部
と外気との気密性を向上することができる。更に光プロ
ーブと光ファイバとは締付ユニットを介し分離された構
造となっているので、光ファイバを含む光学系及び電気
系の保守点検、及び取外しが容易となる長所がある。な
お光プローブの後端面に投光手段として投光用光ファイ
バを設けたが、直接発光素子を設けてもよい。又受光手
段として受光用光ファイバを設けたが、直接受光素子を
設けてもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上のように本願の請求項１の発明によ
れば、光プローブに複数の反射面が形成されているの
で、１つの光プローブを用いて複数の液面レベルを検出
することができる。

【００３８】また本願の請求項２の発明によれば、光プ
ローブに反射面が形成され、投光手段により複数の光ビ
ームが反射面に平行に入射されるため、反射面に接触す
る液体の液面レベルの変化をアナログ的に検出すること
ができる。

【００３９】さらに本願の請求項３，４の発明によれ
ば、光プローブをプローブ保持手段によりタンクに強固
に保持することができる。そして反射面での反射光量を
受光手段で検出し、この信号をタンクに接続した電磁弁
に与えることにより、タンク内の液体を高精度にレベル
制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による光プローブの構成及
び動作原理を示す説明図である。

【図２】本実施例の２段式の光プローブの外観を示す斜
視図である。

【図３】本実施例の３段式の光プローブの構成を示す斜
視図である。

【図４】本発明の第２実施例によるアナログ式の光プロ
ーブの構成及び動作原理を示す説明図である。

【図５】本発明の一実施例による液面検出器の取付状態
を示す説明図である。

【図６】本実施例の液面検出器の構成部品の位置関係を
示す分解斜視図である。

【図７】本実施例の液面検出器の主要部の組立状態を示
す側面図及び端面図である。

【図８】本実施例の液面検出器に用いられるファイバコ
ンタクトの端面図及び側面図である。

【図９】アナログ式の光プローブを用いた液面検出器の
使用状態を示す説明図である。

【図１０】光プローブの構造及び液面検出器の動作原理
を示す説明図である。

【符号の説明】

１，１０，１０ａ，１０ｂ，１７，２０，３１ 光プロ
ーブ ２ 透明部材 ５，２２ 反射面 ６ 液体 １２ａ，１２ｂ，２４，３４ 投光用光ファイバ １３ａ，１３ｂ，２５，３５ 受光用光ファイバ １４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ 第１の反射面 １５，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ 第２の反射面 １６ 後端面 １８ 切欠部 １９ 第３の反射面 ３０ タンク ３２ 締付ユニット ３２ａ Ｏリング ３２ｂ Ｏリング止め具 ３２ｃ フィッティング ３２ｄ ファイバ止め具 ３２ｅ 中間止め具 ３２ｆ 締付止め具 ３２ｇ ファイバクランプ ３３ プローブ止め具 ３６ ファイバコンタクト ３６ａ〜３６ｄ コア孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮本 潔 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビームを出射する投光手段、及びその
   反射光を受光する受光手段が後端面に取付けられた透明
   の棒状部材であって、その先端部に中心軸に対してテー
   パ状に形成された第１の反射面を有し、前記中心軸に沿
   って前記第１の反射面から夫々異なった後方位置に設け
   られ前記第１の反射面と平行に形成された第２〜第ｎの
   反射面（ｎ≧２）を有することを特徴とする光プロー
   ブ。
2. 【請求項２】 光ビームを帯状に出射する複数の投光手
   段、及びその反射光を受光する複数の受光手段が後端面
   に取付けられた透明の棒状部材であって、その先端部に
   中心軸に対してテーパ状に形成された反射面を有するこ
   とを特徴とする光プローブ。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の光プローブを用い
   て、タンク内の液面レベルを検出する液面検出器であっ
   て、 前記光プローブの後端面に取付けられ、前記光プローブ
   の軸に平行に光ビームを出射する複数の投光手段と、 前記光プローブの後端面に取付けられ、前記投光手段か
   ら出射して前記光プローブの反射面で反射された前記光
   プローブの軸に平行な反射光を受光する複数の受光手段
   と、 前記タンクの開口部に着脱自在に取付けられ、前記光プ
   ローブ、前記投光手段、及び前記受光手段を一体に保持
   するプローブ保持手段と、を具備することを特徴とする
   液面検出器。
4. 【請求項４】 請求項１又は２記載の光プローブを用い
   て、タンク内の液面レベルを検出する液面検出器であっ
   て、 前記光プローブの後端面に取付けられ、前記投光手段か
   ら出射して前記光プローブの反射面で反射された前記光
   プローブの軸に平行な反射光を受光する複数の受光手段
   と、 前記タンクの開口部に着脱自在に取付けられ、前記光プ
   ローブを前記タンク内で密閉状態に保持する締め付けユ
   ニットと、 前記投光手段と前記受光手段とを前記締め付けユニット
   に連結させる連結手段と、を具備し、 前記締め付けユニットは、 前記タンクの開口部に前記光ブローブを固定するプロー
   ブ止め具と、 前記光プローブの外周面と前記プローブ止め金具との対
   向面に挿入され、前記タンク内と外気とを遮断するシー
   ル部材と、 前記シール部材に押し付け力を与えるシール部材止め具
   と、 前記シール部材止め具を内部に保持した状態で前記連結
   手段を前記光プローブの後端面に圧接する連結止め具
   と、を有するものであることを特徴とする液面検出器。