JPH08110204A - 耐振動型干渉計 - Google Patents
耐振動型干渉計Info
- Publication number
- JPH08110204A JPH08110204A JP6246308A JP24630894A JPH08110204A JP H08110204 A JPH08110204 A JP H08110204A JP 6246308 A JP6246308 A JP 6246308A JP 24630894 A JP24630894 A JP 24630894A JP H08110204 A JPH08110204 A JP H08110204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- inspected
- amount
- interference fringe
- inclination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02075—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration of particular errors
- G01B9/02076—Caused by motion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02032—Interferometers characterised by the beam path configuration generating a spatial carrier frequency, e.g. by creating lateral or angular offset between reference and object beam
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02061—Reduction or prevention of effects of tilts or misalignment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
- G01B9/02067—Active error reduction, i.e. varying with time by electronic control systems, i.e. using feedback acting on optics or light
- G01B9/02068—Auto-alignment of optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐振動型干渉計において、撮像手段によって
得られた干渉縞画像を解析し、その解析結果に基づき参
照光と物体光の光路差を所定の値に維持することによ
り、光学系の構成を簡単なものとし、その調整を容易な
ものとし、さらに製造コストやメンテナンスコストも安
価なものとする。 【構成】 フィゾー型の干渉計と、干渉縞を観察するた
めのＣＣＤカメラ14と、ＣＣＤカメラ14により得られた
干渉縞画像情報を解析して被検面の表面形状、振動量あ
るいは傾き量を算出するコンピュータ19と、この算出結
果に基づき上記ＰＺＴ15ａ，15ｂに所定の駆動信号を送
出するＰＺＴ駆動回路20を備えている。
得られた干渉縞画像を解析し、その解析結果に基づき参
照光と物体光の光路差を所定の値に維持することによ
り、光学系の構成を簡単なものとし、その調整を容易な
ものとし、さらに製造コストやメンテナンスコストも安
価なものとする。 【構成】 フィゾー型の干渉計と、干渉縞を観察するた
めのＣＣＤカメラ14と、ＣＣＤカメラ14により得られた
干渉縞画像情報を解析して被検面の表面形状、振動量あ
るいは傾き量を算出するコンピュータ19と、この算出結
果に基づき上記ＰＺＴ15ａ，15ｂに所定の駆動信号を送
出するＰＺＴ駆動回路20を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部からの振動や被検
体付近の空気のじょう乱の影響を受け難い耐振動型干渉
計に関し、特に高精度の測定結果が要求される光学部材
等の製作現場において、その表面形状の測定に好適な耐
振動型干渉計に関するものである。
体付近の空気のじょう乱の影響を受け難い耐振動型干渉
計に関し、特に高精度の測定結果が要求される光学部材
等の製作現場において、その表面形状の測定に好適な耐
振動型干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光干渉によって形成された干
渉縞を観察して光学部材等の表面の微妙な凹凸形状を判
別するための手段として干渉計が知られている。
渉縞を観察して光学部材等の表面の微妙な凹凸形状を判
別するための手段として干渉計が知られている。
【０００３】ところで、近年の高精度加工技術の発達に
伴ない、加工現場で加工機械等に搭載して被加工面を高
精度で測定し得る干渉計が要求されている。
伴ない、加工現場で加工機械等に搭載して被加工面を高
精度で測定し得る干渉計が要求されている。
【０００４】加工現場で加工機械等に搭載される干渉計
は外部から光学系が受ける振動や被加工面付近の空気の
じょう乱等の影響を受けやすく、原理的には高精度で測
定し得るものであってもこれらの振動や空気のじょう乱
の影響を排除して、干渉縞の乱れを少なくし得るもので
なければ実際に高精度の測定結果を得ることは難しい。
は外部から光学系が受ける振動や被加工面付近の空気の
じょう乱等の影響を受けやすく、原理的には高精度で測
定し得るものであってもこれらの振動や空気のじょう乱
の影響を排除して、干渉縞の乱れを少なくし得るもので
なければ実際に高精度の測定結果を得ることは難しい。
【０００５】そこで、このような振動や空気のじょう乱
の影響を排除し得る干渉計として、参照光束と物体光束
が略同様な系路を進むようにして、上記影響を同様に受
けるようにし、これら両光束の相対的な位相変化を略キ
ャンセルするようにした、いわゆるコモンパス干渉計が
注目されている。
の影響を排除し得る干渉計として、参照光束と物体光束
が略同様な系路を進むようにして、上記影響を同様に受
けるようにし、これら両光束の相対的な位相変化を略キ
ャンセルするようにした、いわゆるコモンパス干渉計が
注目されている。
【０００６】図６はコモンパス干渉計の代表例であるゾ
ーンプレート干渉計を示すものである。すなわち、この
干渉計はレーザ光ビーム１をレンズ２，３によって被検
体４の被検面4aである凹面上に収束せしめるように、か
つこの収束光束の光路中にゾーンプレート５を配設する
ようにしたものである。レーザ光ビーム１がゾーンプレ
ート５に入射すると、被検面4aの曲率中心から発散され
る第１の光束と被検体表面の中心に向かう第２の光束に
分割され、この後各々の光束は被検面4aで反射されてゾ
ーンプレート５に再入射し、第１の光束はこのゾーンプ
レート５を透過して直進するように、また第２の光束は
このゾーンプレート５で回折するようにして相重なり、
この後ミラー７，８を介してカメラ９のフイルム面に達
し、このフイルム面上に被検面4aの凹凸形状に応じた干
渉縞を形成する。
ーンプレート干渉計を示すものである。すなわち、この
干渉計はレーザ光ビーム１をレンズ２，３によって被検
体４の被検面4aである凹面上に収束せしめるように、か
つこの収束光束の光路中にゾーンプレート５を配設する
ようにしたものである。レーザ光ビーム１がゾーンプレ
ート５に入射すると、被検面4aの曲率中心から発散され
る第１の光束と被検体表面の中心に向かう第２の光束に
分割され、この後各々の光束は被検面4aで反射されてゾ
ーンプレート５に再入射し、第１の光束はこのゾーンプ
レート５を透過して直進するように、また第２の光束は
このゾーンプレート５で回折するようにして相重なり、
この後ミラー７，８を介してカメラ９のフイルム面に達
し、このフイルム面上に被検面4aの凹凸形状に応じた干
渉縞を形成する。
【０００７】ここで、上記第１の光束の被検面4aからの
反射光は物体光として、また上記第２の光束の被検面4a
からの反射光は参照光として各々機能する。これら２つ
の光束は同じ被検面4aで反射され、しかも略同様の位置
を通過することとなるので外部からの振動や被検面付近
の空気のじょう乱等が生じても、各光束の位相差の変化
が互いにキャンセルされることとなり、これら２つの光
束の干渉により得られた干渉縞画像から精度の高い測定
結果を得ることができる。
反射光は物体光として、また上記第２の光束の被検面4a
からの反射光は参照光として各々機能する。これら２つ
の光束は同じ被検面4aで反射され、しかも略同様の位置
を通過することとなるので外部からの振動や被検面付近
の空気のじょう乱等が生じても、各光束の位相差の変化
が互いにキャンセルされることとなり、これら２つの光
束の干渉により得られた干渉縞画像から精度の高い測定
結果を得ることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ゾ
ーンプレート（フレネルゾーンプレート）干渉計等のコ
モンパス干渉計においては、このゾーンプレートや他の
光学系を配設する位置調整が面倒で光学系の構成がどう
しても複雑となり、また製作コストやメンテナンスコス
トもより高価なものとなる。
ーンプレート（フレネルゾーンプレート）干渉計等のコ
モンパス干渉計においては、このゾーンプレートや他の
光学系を配設する位置調整が面倒で光学系の構成がどう
しても複雑となり、また製作コストやメンテナンスコス
トもより高価なものとなる。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みなされたも
ので、装置光学系の構成が簡単でその調整も容易であ
り、該光学系の製作コストおよびメンテナンスコストの
安価な耐振動型干渉計を提供することを目的とするもの
である。
ので、装置光学系の構成が簡単でその調整も容易であ
り、該光学系の製作コストおよびメンテナンスコストの
安価な耐振動型干渉計を提供することを目的とするもの
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願発明の第１の耐振動
型干渉計は、可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の
被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面から
の物体光とによる干渉縞を形成する干渉縞形成手段と、
該干渉縞形成手段により形成された干渉縞を撮像する撮
像手段と、該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に
基づき前記被検面の振動量を算出する振動量算出手段
と、前記干渉縞形成手段の光路中のいずれかの部材に所
定の振動を付与する振動付与手段と、前記振動量算出手
段により算出された振動量に基づき、この振動量を打ち
消して前記参照光と前記物体光との光路差が所定の値と
なるように前記振動付与手段を駆動する駆動手段とを備
えてなることを特徴とするものである。
型干渉計は、可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の
被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面から
の物体光とによる干渉縞を形成する干渉縞形成手段と、
該干渉縞形成手段により形成された干渉縞を撮像する撮
像手段と、該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に
基づき前記被検面の振動量を算出する振動量算出手段
と、前記干渉縞形成手段の光路中のいずれかの部材に所
定の振動を付与する振動付与手段と、前記振動量算出手
段により算出された振動量に基づき、この振動量を打ち
消して前記参照光と前記物体光との光路差が所定の値と
なるように前記振動付与手段を駆動する駆動手段とを備
えてなることを特徴とするものである。
【００１１】また、本願発明の第２の耐振動型干渉計
は、可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の被検面に
照射し、該基準面からの参照光と該被検面からの物体光
による干渉縞を形成する干渉縞形成手段と、該干渉縞形
成手段により形成された干渉縞を撮像する撮像手段と、
該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に基づき前記
被検面の振動による、該被検面の前記基準面に対する傾
き量を算出する傾き量算出手段と、前記基準面と前記被
検面の相対的な傾きを補正する傾き補正手段と、前記傾
き量算出手段により算出された傾き量に基づき、この傾
き量を補正して前記基準面と前記被検面が互いに略平行
な所定の傾きを維持するように前記傾き補正手段を駆動
する駆動手段とを備えてなることを特徴とするものであ
る。
は、可干渉光を基準板上の基準面と被検体上の被検面に
照射し、該基準面からの参照光と該被検面からの物体光
による干渉縞を形成する干渉縞形成手段と、該干渉縞形
成手段により形成された干渉縞を撮像する撮像手段と、
該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に基づき前記
被検面の振動による、該被検面の前記基準面に対する傾
き量を算出する傾き量算出手段と、前記基準面と前記被
検面の相対的な傾きを補正する傾き補正手段と、前記傾
き量算出手段により算出された傾き量に基づき、この傾
き量を補正して前記基準面と前記被検面が互いに略平行
な所定の傾きを維持するように前記傾き補正手段を駆動
する駆動手段とを備えてなることを特徴とするものであ
る。
【００１２】さらに、前記振動量算出手段もしくは前記
傾き量算出手段により、前記撮像手段から出力される干
渉縞画像情報に基づいて前記被検面の形状が算出される
ように構成し、この被検面形状の算出に比べて前記被検
面の振動量もしくは傾き量の算出に供される前記干渉縞
画像情報の情報量が少なくなるように構成するとも可能
である。
傾き量算出手段により、前記撮像手段から出力される干
渉縞画像情報に基づいて前記被検面の形状が算出される
ように構成し、この被検面形状の算出に比べて前記被検
面の振動量もしくは傾き量の算出に供される前記干渉縞
画像情報の情報量が少なくなるように構成するとも可能
である。
【００１３】
【作用および発明の効果】本願発明の第１の耐振動型干
渉計によれば、撮像手段によって得られた、被検面の表
面形状を表わす干渉縞画像情報に基づき振動量算出手段
において被検面の振動量を算出し、この算出結果に基づ
き基準面からの参照光と被検面からの物体光との光路差
が所定の値となるように光路中のいずれかの部材に所定
の振動を与えて上記被検面の振動を打ち消すようにして
いる。これにより、基準面と被検面の距離、すなわち参
照光と物体光との光路差が所定の値となるように制御さ
れ、観察される干渉縞は振動の影響を小さくすることが
できる。
渉計によれば、撮像手段によって得られた、被検面の表
面形状を表わす干渉縞画像情報に基づき振動量算出手段
において被検面の振動量を算出し、この算出結果に基づ
き基準面からの参照光と被検面からの物体光との光路差
が所定の値となるように光路中のいずれかの部材に所定
の振動を与えて上記被検面の振動を打ち消すようにして
いる。これにより、基準面と被検面の距離、すなわち参
照光と物体光との光路差が所定の値となるように制御さ
れ、観察される干渉縞は振動の影響を小さくすることが
できる。
【００１４】また、上記第１の耐振動型干渉計では被検
面の振動量そのものを問題としているのに対し、本願発
明の第２の耐振動型干渉計によれば、被検面の振動によ
る該被検面の傾きを問題としている。すなわち、撮像手
段によって得られた、被検面の表面形状を表わす干渉縞
画像情報に基づき傾き量算出手段において被検面の振動
量による該被検面の傾きを算出し、この算出結果に基づ
き基準面と被検面が互いに略平行な所定の角度となるよ
うに基準面と被検面のうちいずれかの面の傾きを補正す
るようにしている。これにより、基準面と被検面の角度
が略平行な所定の角度となるように制御されて参照光と
物体光の光路差が所定の値に維持され、観察される干渉
縞は振動の影響を小さくすることができる。
面の振動量そのものを問題としているのに対し、本願発
明の第２の耐振動型干渉計によれば、被検面の振動によ
る該被検面の傾きを問題としている。すなわち、撮像手
段によって得られた、被検面の表面形状を表わす干渉縞
画像情報に基づき傾き量算出手段において被検面の振動
量による該被検面の傾きを算出し、この算出結果に基づ
き基準面と被検面が互いに略平行な所定の角度となるよ
うに基準面と被検面のうちいずれかの面の傾きを補正す
るようにしている。これにより、基準面と被検面の角度
が略平行な所定の角度となるように制御されて参照光と
物体光の光路差が所定の値に維持され、観察される干渉
縞は振動の影響を小さくすることができる。
【００１５】上記の如く構成された本願発明装置によれ
ば前述したコモンパス干渉計等のように光学系の構成が
複雑とならず、したがって光学系の位置調整が容易であ
り、製作コストおよびメンテナンスコストを安価なもの
とすることができる。
ば前述したコモンパス干渉計等のように光学系の構成が
複雑とならず、したがって光学系の位置調整が容易であ
り、製作コストおよびメンテナンスコストを安価なもの
とすることができる。
【００１６】また、上記振動量算出手段あるいは傾き量
算出手段はハード的もしくはコンピュータを用いてソフ
ト的に構成してもよく、コンピュータを用いてソフト的
に構成した場合には振動量の算出条件あるいは傾き量の
算出条件の設定変更が特に容易で、振動の周波数、振幅
あるいは応答性等を考慮してその状況に応じた適切な条
件設定を行なうことができる。
算出手段はハード的もしくはコンピュータを用いてソフ
ト的に構成してもよく、コンピュータを用いてソフト的
に構成した場合には振動量の算出条件あるいは傾き量の
算出条件の設定変更が特に容易で、振動の周波数、振幅
あるいは応答性等を考慮してその状況に応じた適切な条
件設定を行なうことができる。
【００１７】また、上記振動量算出手段もしくは上記傾
き量算出手段は撮像手段により得られた干渉縞画像情報
を解析するものであり、この点において、干渉縞画像情
報に基づき被検面の形状測定を行なう本来の測定の処理
操作と共通する。
き量算出手段は撮像手段により得られた干渉縞画像情報
を解析するものであり、この点において、干渉縞画像情
報に基づき被検面の形状測定を行なう本来の測定の処理
操作と共通する。
【００１８】そこで、上述したように、上記振動量算出
手段もしくは傾き量算出手段によって、本来の被検面の
形状測定を行なう場合の処理操作を行なわせるようにす
ることで干渉計の装置構成の効率化を図ることができ
る。
手段もしくは傾き量算出手段によって、本来の被検面の
形状測定を行なう場合の処理操作を行なわせるようにす
ることで干渉計の装置構成の効率化を図ることができ
る。
【００１９】そして、この算出された振動量もしくは傾
き量は干渉縞を安定させるための制御情報として用いる
ものであり、本来の被検面測定において要求される精度
までは必要とされないことから、振動量もしくは傾き量
の算出に供される干渉縞画像の情報量を、本来の被検面
形状算出に供される干渉縞画像の情報量に比べて少なく
することにより被検面形状の算出に費やす期間等の割合
を増やすことができ、効率よく干渉縞の安定化を図りつ
つ被検面形状を高精度で測定することができる。
き量は干渉縞を安定させるための制御情報として用いる
ものであり、本来の被検面測定において要求される精度
までは必要とされないことから、振動量もしくは傾き量
の算出に供される干渉縞画像の情報量を、本来の被検面
形状算出に供される干渉縞画像の情報量に比べて少なく
することにより被検面形状の算出に費やす期間等の割合
を増やすことができ、効率よく干渉縞の安定化を図りつ
つ被検面形状を高精度で測定することができる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【００２１】図１は本発明の実施例に係る耐振動型干渉
計を説明するための概略構成図である。この耐振動型干
渉計は、レーザ光源１と、レーザビーム２を発散光５に
変換する発散レンズ３と、アパーチャ４と、ビームスプ
リッタ６と、拡大された平行光８を生成するコリメータ
レンズ７と、この平行光８をこの平行光に対して垂直に
配された、半透鏡基準平面９ａにより一部反射せしめる
とともにその残りの平行光８を透過せしめて被検体10の
被検面10ａに照射せしめる基準板９と、この基準板９を
上下方向に移動させたり、この基準板９を傾けたりする
ためのピエゾ素子（以下単にＰＺＴと称する；ＰＺＴ
１，ＰＺＴ２，ＰＺＴ３）15ａ，15ｂと、基準面９ａか
ら反射された参照光と被検面10ａから反射された物体光
との干渉により形成される干渉縞を観察するための，レ
ンズ13およびＣＣＤカメラ14を備えている。
計を説明するための概略構成図である。この耐振動型干
渉計は、レーザ光源１と、レーザビーム２を発散光５に
変換する発散レンズ３と、アパーチャ４と、ビームスプ
リッタ６と、拡大された平行光８を生成するコリメータ
レンズ７と、この平行光８をこの平行光に対して垂直に
配された、半透鏡基準平面９ａにより一部反射せしめる
とともにその残りの平行光８を透過せしめて被検体10の
被検面10ａに照射せしめる基準板９と、この基準板９を
上下方向に移動させたり、この基準板９を傾けたりする
ためのピエゾ素子（以下単にＰＺＴと称する；ＰＺＴ
１，ＰＺＴ２，ＰＺＴ３）15ａ，15ｂと、基準面９ａか
ら反射された参照光と被検面10ａから反射された物体光
との干渉により形成される干渉縞を観察するための，レ
ンズ13およびＣＣＤカメラ14を備えている。
【００２２】さらに、ＣＣＤカメラ14により得られた干
渉縞画像情報を解析して被検面の表面形状、振動量ある
いは傾き量を算出するコンピュータ19と、この算出結果
に基づき上記ＰＺＴ15ａ，15ｂに所定の駆動信号を送出
するＰＺＴ駆動回路20を備えている。
渉縞画像情報を解析して被検面の表面形状、振動量ある
いは傾き量を算出するコンピュータ19と、この算出結果
に基づき上記ＰＺＴ15ａ，15ｂに所定の駆動信号を送出
するＰＺＴ駆動回路20を備えている。
【００２３】なお、上述したように基準板９は図示され
ている２つのＰＺＴ15ａ，15ｂの他に図示されない１つ
のＰＺＴを有しており、これら３つのＰＺＴ15ａ，15ｂ
（以下、ＰＺＴ15ａ，15ｂとした場合には図示されない
ＰＺＴも含むものとする）が円形の基準板９の周囲に略
等間隔で配され、これら３つのＰＺＴ15ａ，15ｂを介し
て基準板９が固定保持枠16に保持されている。
ている２つのＰＺＴ15ａ，15ｂの他に図示されない１つ
のＰＺＴを有しており、これら３つのＰＺＴ15ａ，15ｂ
（以下、ＰＺＴ15ａ，15ｂとした場合には図示されない
ＰＺＴも含むものとする）が円形の基準板９の周囲に略
等間隔で配され、これら３つのＰＺＴ15ａ，15ｂを介し
て基準板９が固定保持枠16に保持されている。
【００２４】また、ＣＣＤカメラ14により得られた干渉
縞画像情報はモニタ21に送出されて映出されるようにな
っており、その干渉縞画像をオペレータが目視により判
断することができるようになっている。
縞画像情報はモニタ21に送出されて映出されるようにな
っており、その干渉縞画像をオペレータが目視により判
断することができるようになっている。
【００２５】次に、本実施例装置の作用について説明す
る。
る。
【００２６】すなわち、レーザ光源１はビームスプリッ
タ６の反射面において基準板９方向に反射され、コリメ
ータレンズ７で平行光８とされ、基準面９ａと被検面10
ａにおける反射により各々参照光と物体光が生成され
る。
タ６の反射面において基準板９方向に反射され、コリメ
ータレンズ７で平行光８とされ、基準面９ａと被検面10
ａにおける反射により各々参照光と物体光が生成され
る。
【００２７】この後、参照光と物体光は互いに重なりあ
ってビームスプリッタ６の反射面を透過し、ＣＣＤカメ
ラ14のＣＣＤ受像面上に干渉縞画像を形成する。
ってビームスプリッタ６の反射面を透過し、ＣＣＤカメ
ラ14のＣＣＤ受像面上に干渉縞画像を形成する。
【００２８】このＣＣＤ受像面上の干渉縞画像は映像信
号に光電変換されてモニタ21およびコンピュータ19に送
出される。
号に光電変換されてモニタ21およびコンピュータ19に送
出される。
【００２９】コンピュータ19ではこの映像信号に担持さ
れた干渉縞画像情報を解析して被検面10ａの表面形状を
算出し、この算出結果を出力する。
れた干渉縞画像情報を解析して被検面10ａの表面形状を
算出し、この算出結果を出力する。
【００３０】なお、本実施例装置においては基準面９ａ
と被検面10ａとの相対距離を変化させ、これに伴なう所
定位置の濃度変化に基づき干渉縞の解析を行なう、いわ
ゆるフリンジスキャニング法を用いており、該表面形状
の凹凸が良好に判別できるようになっている。
と被検面10ａとの相対距離を変化させ、これに伴なう所
定位置の濃度変化に基づき干渉縞の解析を行なう、いわ
ゆるフリンジスキャニング法を用いており、該表面形状
の凹凸が良好に判別できるようになっている。
【００３１】ところで、本実施例装置においては、装置
に与えられる振動の影響を排除するために、この振動に
よる被検面10ａの傾きを算出し、この傾きに応じて基準
面９ａも傾けるようにしている。すなわち、３つのＰＺ
Ｔ15ａ，15ｂの駆動量を互いに変化せしめてこの基準面
９ａが被検面10ａと平行となるようにしている。
に与えられる振動の影響を排除するために、この振動に
よる被検面10ａの傾きを算出し、この傾きに応じて基準
面９ａも傾けるようにしている。すなわち、３つのＰＺ
Ｔ15ａ，15ｂの駆動量を互いに変化せしめてこの基準面
９ａが被検面10ａと平行となるようにしている。
【００３２】上記３つのＰＺＴ15ａ，15ｂの各駆動量は
コンピュータ19に入力された干渉縞画像情報に基づき算
出される。この算出結果はコンピュータ19からＰＺＴ駆
動回路20に送出され、これに基づきＰＺＴ駆動回路20か
ら各ＰＺＴ（ＰＺＴ１，ＰＺＴ２，ＰＺＴ３）15ａ，15
ｂに所定の駆動電圧が送出される。
コンピュータ19に入力された干渉縞画像情報に基づき算
出される。この算出結果はコンピュータ19からＰＺＴ駆
動回路20に送出され、これに基づきＰＺＴ駆動回路20か
ら各ＰＺＴ（ＰＺＴ１，ＰＺＴ２，ＰＺＴ３）15ａ，15
ｂに所定の駆動電圧が送出される。
【００３３】次に、コンピュータ19における演算プログ
ラムの一例を図２〜５のフローチャートを用いて説明す
る。
ラムの一例を図２〜５のフローチャートを用いて説明す
る。
【００３４】まず、この演算プログラムのメインルーチ
ンを図２により説明する。
ンを図２により説明する。
【００３５】このメインルーチンがスタートすると、ま
ず初期化サブルーチンが実行される（Ｓ１）。この初期
化サブルーチンは傾き補正のために、その後の比較のた
めの基準データを算出するルーチンである。
ず初期化サブルーチンが実行される（Ｓ１）。この初期
化サブルーチンは傾き補正のために、その後の比較のた
めの基準データを算出するルーチンである。
【００３６】この初期化サブルーチンの実行（Ｓ１）が
終了すると、被検面10ａを測定するための指示信号が入
力されたか否かが判断され（Ｓ２）、入力されていなけ
れば傾き補正サブルーチンを実行し（Ｓ３）、被検面10
ａの傾きを補正するための駆動すべき各ＰＺＴ15ａ，15
ｂの駆動量を算出する。一方、上記指示信号が入力され
ていれば測定サブルーチンを実行し（Ｓ４）、被検面10
ａの表面形状を測定する。
終了すると、被検面10ａを測定するための指示信号が入
力されたか否かが判断され（Ｓ２）、入力されていなけ
れば傾き補正サブルーチンを実行し（Ｓ３）、被検面10
ａの傾きを補正するための駆動すべき各ＰＺＴ15ａ，15
ｂの駆動量を算出する。一方、上記指示信号が入力され
ていれば測定サブルーチンを実行し（Ｓ４）、被検面10
ａの表面形状を測定する。
【００３７】なお、上記傾き補正サブルーチンおよび上
記測定サブルーチンの実行（Ｓ３，Ｓ４）が終了すると
ステップ２（Ｓ２）に戻り、再び測定指示信号が入力さ
れたか否かが判断される。換言すれば測定指示信号が入
力されない限り、繰り返し傾き補正サブルーチンが実行
され（Ｓ３）、測定指示信号が入力された場合にのみ測
定サブルーチンが実行される（Ｓ４）こととなる。
記測定サブルーチンの実行（Ｓ３，Ｓ４）が終了すると
ステップ２（Ｓ２）に戻り、再び測定指示信号が入力さ
れたか否かが判断される。換言すれば測定指示信号が入
力されない限り、繰り返し傾き補正サブルーチンが実行
され（Ｓ３）、測定指示信号が入力された場合にのみ測
定サブルーチンが実行される（Ｓ４）こととなる。
【００３８】なお、測定指示信号はオペレータによる外
部キー操作に応じて入力される。
部キー操作に応じて入力される。
【００３９】次に、図３を用いて初期化サブルーチンに
ついて説明する。
ついて説明する。
【００４０】この初期化サブルーチンは、前述したよう
にメインルーチンのスタート直後において、そのときの
干渉縞の状態を傾き補正のための初期値としてコンピュ
ータ19に取り込むルーチンで、干渉縞が観察される状態
でこのルーチンを１回だけ実行する。
にメインルーチンのスタート直後において、そのときの
干渉縞の状態を傾き補正のための初期値としてコンピュ
ータ19に取り込むルーチンで、干渉縞が観察される状態
でこのルーチンを１回だけ実行する。
【００４１】具体的には、まずピエゾ出力値保持変数を
０にリセットしてピエゾ駆動量の初期設定を行なう（Ｓ
11）。次にフリンジスキャン信号を発生させて各ＰＺＴ
15ａ，15ｂを互いに等しい量だけ駆動させる。すなわ
ち、干渉縞の縞が１つ分程度移動するように基準面９ａ
と被検面10ａの相対距離が変化するよう３つのＰＺＴ15
ａ，15ｂに各々等しい駆動電圧を印加する。
０にリセットしてピエゾ駆動量の初期設定を行なう（Ｓ
11）。次にフリンジスキャン信号を発生させて各ＰＺＴ
15ａ，15ｂを互いに等しい量だけ駆動させる。すなわ
ち、干渉縞の縞が１つ分程度移動するように基準面９ａ
と被検面10ａの相対距離が変化するよう３つのＰＺＴ15
ａ，15ｂに各々等しい駆動電圧を印加する。
【００４２】なお、この際のフリンジスキャンは傾き補
正用であるから、被検面10ａの形状を算出する場合に比
べて高精度でなくてもよく、したがって時間を短縮する
ために高速スキャン（５位相法等）を行なう。
正用であるから、被検面10ａの形状を算出する場合に比
べて高精度でなくてもよく、したがって時間を短縮する
ために高速スキャン（５位相法等）を行なう。
【００４３】次に、ステップ13（Ｓ13）において画像取
込み枚数ｎを５に設定する。この後、５枚の画像取込み
操作を行なう（Ｓ14，Ｓ15，Ｓ16）。なお、画像の取込
みは５枚分の干渉縞画像が一縞分動く間に略等しい位相
間隔で取り込まれるようになっている。
込み枚数ｎを５に設定する。この後、５枚の画像取込み
操作を行なう（Ｓ14，Ｓ15，Ｓ16）。なお、画像の取込
みは５枚分の干渉縞画像が一縞分動く間に略等しい位相
間隔で取り込まれるようになっている。
【００４４】次に、取り込まれた干渉縞画像の波面の解
析が行なわれ（Ｓ17）、波面の初期状態がコンピュータ
19のメモリ内に記憶され（Ｓ18）、以後実行される傾き
補正サブルーチンではそのときに得られた波面の状態を
この波面の初期状態に一致させるような補正がなされ
る。
析が行なわれ（Ｓ17）、波面の初期状態がコンピュータ
19のメモリ内に記憶され（Ｓ18）、以後実行される傾き
補正サブルーチンではそのときに得られた波面の状態を
この波面の初期状態に一致させるような補正がなされ
る。
【００４５】なお、上記波面の解析（Ｓ17）において
は、必ずしも全画像データについて解析せずともよく、
被検面10ａの傾きを補正するために必要なデータのみを
解析すればよい。
は、必ずしも全画像データについて解析せずともよく、
被検面10ａの傾きを補正するために必要なデータのみを
解析すればよい。
【００４６】次に、図４を用いて傾き補正サブルーチン
について説明する。
について説明する。
【００４７】この傾き補正サブルーチンにおけるステッ
プ21（Ｓ21）〜ステップ26（Ｓ26）の処理は、初期化サ
ブルーチンにおけるステップ12（Ｓ12）〜ステップ17
（Ｓ17）の処理と同じであるから説明は省略する。
プ21（Ｓ21）〜ステップ26（Ｓ26）の処理は、初期化サ
ブルーチンにおけるステップ12（Ｓ12）〜ステップ17
（Ｓ17）の処理と同じであるから説明は省略する。
【００４８】ステップ27（Ｓ27）においては、初期化サ
ブルーチンで記憶された波面と比較し、傾きを検出す
る。
ブルーチンで記憶された波面と比較し、傾きを検出す
る。
【００４９】この傾きを補正するためのピエゾ制御信号
（各ＰＺＴ15ａ，15ｂの駆動信号）の値を計算し（Ｓ2
8）、ピエゾ出力値保持変数にステップ28（Ｓ28）で計
算された制御信号値を加算する（Ｓ29）。
（各ＰＺＴ15ａ，15ｂの駆動信号）の値を計算し（Ｓ2
8）、ピエゾ出力値保持変数にステップ28（Ｓ28）で計
算された制御信号値を加算する（Ｓ29）。
【００５０】この後、ステップ29（Ｓ29）で設定された
ピエゾ出力値保持変数に基づきピエゾ制御信号を各ＰＺ
Ｔ15ａ，15ｂに対し出力する（Ｓ30）。
ピエゾ出力値保持変数に基づきピエゾ制御信号を各ＰＺ
Ｔ15ａ，15ｂに対し出力する（Ｓ30）。
【００５１】次に図５を用いて上記測定サブルーチンに
ついて説明する。この測定サブルーチンにおけるステッ
プ31（Ｓ31）〜ステップ36（Ｓ36）の処理は、初期化サ
ブルーチンにおけるステップ12（Ｓ12）〜ステップ17
（Ｓ17）の処理や傾き補正用サブルーチンにおけるステ
ップ21（Ｓ21）〜ステップ26（Ｓ26）の処理と略同様で
ある。
ついて説明する。この測定サブルーチンにおけるステッ
プ31（Ｓ31）〜ステップ36（Ｓ36）の処理は、初期化サ
ブルーチンにおけるステップ12（Ｓ12）〜ステップ17
（Ｓ17）の処理や傾き補正用サブルーチンにおけるステ
ップ21（Ｓ21）〜ステップ26（Ｓ26）の処理と略同様で
ある。
【００５２】ただし、ステップ31（Ｓ31）におけるフリ
ンジスキャン信号の発生はステップ12（Ｓ12）およびス
テップ21（Ｓ21）におけるフリンジスキャン信号の発生
と異なり、発生信号が低速であり、これによって測定用
の精度の高い干渉縞画像情報を得ることができる。ま
た、ステップ17（Ｓ17）およびステップ26（Ｓ26）にお
ける波面の解析処理は傾き補正用の情報を得るためであ
るからデータの一部の解析のみでもよいが、ステップ36
（Ｓ36）における波面の解析処理は被検面10ａ全体の形
状を検出するものであるから、干渉縞画像情報全体の処
理が必要となる。
ンジスキャン信号の発生はステップ12（Ｓ12）およびス
テップ21（Ｓ21）におけるフリンジスキャン信号の発生
と異なり、発生信号が低速であり、これによって測定用
の精度の高い干渉縞画像情報を得ることができる。ま
た、ステップ17（Ｓ17）およびステップ26（Ｓ26）にお
ける波面の解析処理は傾き補正用の情報を得るためであ
るからデータの一部の解析のみでもよいが、ステップ36
（Ｓ36）における波面の解析処理は被検面10ａ全体の形
状を検出するものであるから、干渉縞画像情報全体の処
理が必要となる。
【００５３】なお、本発明の耐振動型干渉計としては上
記実施例のものに限られるものではなく、種々の態様の
変更が可能である。
記実施例のものに限られるものではなく、種々の態様の
変更が可能である。
【００５４】例えば、被検面の形状を測定している間に
おける振動の影響に伴なう被検面の傾きをより高精度で
補正するために、測定サブルーチンにより１つの干渉縞
画像を得る度に傾き補正サブルーチンを実行することも
可能である。
おける振動の影響に伴なう被検面の傾きをより高精度で
補正するために、測定サブルーチンにより１つの干渉縞
画像を得る度に傾き補正サブルーチンを実行することも
可能である。
【００５５】また、上記各サブルーチンにおいて１回の
波面の解析処理に対して取り込む干渉縞画像の数は５以
外の複数の数を設定し得る。
波面の解析処理に対して取り込む干渉縞画像の数は５以
外の複数の数を設定し得る。
【００５６】さらに、傾き補正用の波面の解析処理とし
ては１つの干渉縞画像のみを用いることも可能である。
すなわち、例えば(1) 干渉縞に適当にティルトを与える
ことで１つの干渉縞画像から波面位相を高速で検出し得
る、いわゆる空間キャリア法を適用する手法や、(2) １
つの干渉縞画像の縞パターンを認識してこれを固定し得
るようなピエゾ駆動信号を生成、出力する手法を採用し
得る。
ては１つの干渉縞画像のみを用いることも可能である。
すなわち、例えば(1) 干渉縞に適当にティルトを与える
ことで１つの干渉縞画像から波面位相を高速で検出し得
る、いわゆる空間キャリア法を適用する手法や、(2) １
つの干渉縞画像の縞パターンを認識してこれを固定し得
るようなピエゾ駆動信号を生成、出力する手法を採用し
得る。
【００５７】また、上記実施例においては、外部からの
振動による被検面の傾きを補正するようにしているが、
これに代えて、あるいはこれと共に同様の手法を用いて
被検面の振動量を補正することも可能である。例えば図
４に示す傾き補正サブルーチンのステップ27（Ｓ27）、
ステップ28（Ｓ28）およびステップ29（Ｓ29）における
“傾き”を“振動量”に置き替えることにより被検面の
振動量を補正するプログラム（フローチャート）の一例
を示すことができる。
振動による被検面の傾きを補正するようにしているが、
これに代えて、あるいはこれと共に同様の手法を用いて
被検面の振動量を補正することも可能である。例えば図
４に示す傾き補正サブルーチンのステップ27（Ｓ27）、
ステップ28（Ｓ28）およびステップ29（Ｓ29）における
“傾き”を“振動量”に置き替えることにより被検面の
振動量を補正するプログラム（フローチャート）の一例
を示すことができる。
【００５８】また、上記実施例装置はフィゾー型の干渉
計であるが、これに代えてマイケルソン型あるいはマッ
ハツェンダ型等の他の干渉計を用いることも可能であ
る。
計であるが、これに代えてマイケルソン型あるいはマッ
ハツェンダ型等の他の干渉計を用いることも可能であ
る。
【００５９】また、上述した実施例では被検面の傾きを
補正するために、参照面を傾けるようにしているが、参
照面を傾ける代わりに、被測定面そのものを傾けたり、
干渉計全体を動かしたりすることも可能であり、また、
干渉計のタイプによっては参照光もしくは物体光の光路
中の光学部材を可動させることも可能である。
補正するために、参照面を傾けるようにしているが、参
照面を傾ける代わりに、被測定面そのものを傾けたり、
干渉計全体を動かしたりすることも可能であり、また、
干渉計のタイプによっては参照光もしくは物体光の光路
中の光学部材を可動させることも可能である。
【００６０】さらに、上記被検面としては平面のものに
限られず、例えば凸状の球面や非球面等にも適用可能で
ある。
限られず、例えば凸状の球面や非球面等にも適用可能で
ある。
【図１】本願発明の実施例に係る耐振動型干渉計の光学
系を示す概略図
系を示す概略図
【図２】図１に示すコンピュータによる演算プログラム
の処理手順を示すフローチャート
の処理手順を示すフローチャート
【図３】図２に示す初期化サブルーチンの処理手順を示
すフローチャート
すフローチャート
【図４】図２に示す傾き補正サブルーチンの処理手順を
示すフローチャート
示すフローチャート
【図５】図２に示す測定サブルーチンの処理手順を示す
フローチャート
フローチャート
【図６】従来の耐振動型干渉計を示す概略図
１ レーザ光源 ６ ビームスプリッタ ９ 基準板 ９ａ 基準面 10 被検体 10ａ 被検面 14 ＣＣＤカメラ 15ａ，15ｂ ピエゾ素子（ＰＺＴ） 19 コンピュータ 20 ＰＺＴ駆動回路 21 モニタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 勝行 千葉県千葉市稲毛区小仲台５−６−４− 303
Claims (3)
- 【請求項１】 可干渉光を基準板上の基準面と被検体上
の被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面か
らの物体光とによる干渉縞を形成する干渉縞形成手段
と、 該干渉縞形成手段により形成された干渉縞を撮像する撮
像手段と、 該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に基づき前記
被検面の振動量を算出する振動量算出手段と、 前記干渉縞形成手段の光路中のいずれかの部材に所定の
振動を付与する振動付与手段と、 前記振動量算出手段により算出された振動量に基づき、
この振動量を打ち消して前記参照光と前記物体光との光
路差が所定の値となるように前記振動付与手段を駆動す
る駆動手段とを備えてなることを特徴とする耐振動型干
渉計。 - 【請求項２】 可干渉光を基準板上の基準面と被検体上
の被検面に照射し、該基準面からの参照光と該被検面か
らの物体光による干渉縞を形成する干渉縞形成手段と、 該干渉縞形成手段により形成された干渉縞を撮像する撮
像手段と、 該撮像手段から出力される干渉縞画像情報に基づき前記
被検面の振動による、該被検面の前記基準面に対する傾
き量を算出する傾き量算出手段と、 前記基準面と前記被検面の相対的な傾きを補正する傾き
補正手段と、 前記傾き量算出手段により算出された傾き量に基づき、
この傾き量を補正して前記基準面と前記被検面が互いに
略平行な所定の傾きを維持するように前記傾き補正手段
を駆動する駆動手段とを備えてなることを特徴とする耐
振動型干渉計。 - 【請求項３】 前記振動量算出手段もしくは前記傾き量
算出手段により、前記撮像手段から出力される干渉縞画
像情報に基づいて前記被検面の形状が算出されるように
構成し、 この被検面形状の算出に比べて前記被検面の振動量もし
くは傾き量の算出に供される前記干渉縞画像情報の情報
量が少なくなるように構成することを特徴とする請求項
１もしくは２記載の耐振動型干渉計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6246308A JP3065489B2 (ja) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 耐振動型干渉計 |
| US08/542,030 US5650853A (en) | 1994-10-12 | 1995-10-12 | Vibration-resistant interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6246308A JP3065489B2 (ja) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 耐振動型干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110204A true JPH08110204A (ja) | 1996-04-30 |
| JP3065489B2 JP3065489B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=17146626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6246308A Expired - Fee Related JP3065489B2 (ja) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | 耐振動型干渉計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5650853A (ja) |
| JP (1) | JP3065489B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002162205A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-06-07 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 縞画像解析誤差検出方法および縞画像解析誤差補正方法 |
| KR100422378B1 (ko) * | 2002-01-15 | 2004-03-11 | (주) 인텍플러스 | 경사단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계 |
| JP2007327892A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | 干渉計測装置および干渉計測方法 |
| JP2010539458A (ja) * | 2007-09-14 | 2010-12-16 | ライカ ジオシステムズ アクチエンゲゼルシャフト | 表面の測定方法および測定装置 |
| CN112902833A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-06-04 | 哈尔滨工业大学 | 抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6791098B2 (en) | 1994-01-27 | 2004-09-14 | Cymer, Inc. | Multi-input, multi-output motion control for lithography system |
| US6959484B1 (en) | 1994-01-27 | 2005-11-01 | Cymer, Inc. | System for vibration control |
| US6144118A (en) * | 1998-09-18 | 2000-11-07 | General Scanning, Inc. | High-speed precision positioning apparatus |
| USH1972H1 (en) | 1998-10-06 | 2001-07-03 | Nikon Corporation | Autofocus system using common path interferometry |
| JP4188515B2 (ja) * | 1999-10-04 | 2008-11-26 | 株式会社ミツトヨ | 光学式形状測定装置 |
| WO2002077484A2 (en) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Cymer, Inc. | Method and device for vibration control |
| GB0219808D0 (en) * | 2002-08-23 | 2002-10-02 | Univ Manchester | Interferometer optical element alignment |
| US7405833B2 (en) * | 2004-11-05 | 2008-07-29 | Zygo Corporation | Method for calibration and removal of wavefront errors |
| GB2435092A (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-15 | Taylor Hobson Ltd | Surface measurement instrument with adjustable sample support |
| CN103267494B (zh) * | 2013-05-20 | 2015-11-04 | 湖北工业大学 | 一种表面形貌干涉测量的方法及装置 |
| CN104315997B (zh) * | 2014-11-06 | 2017-02-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法 |
| CN112179290A (zh) * | 2020-09-18 | 2021-01-05 | 上海精测半导体技术有限公司 | 一种待测样品形貌测量装置及方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4204857C2 (de) * | 1991-02-18 | 1998-01-22 | Asahi Optical Co Ltd | Verfahren zur Untersuchung einer Oberflächenform mit einem Interferometer |
| US5589938A (en) * | 1995-07-10 | 1996-12-31 | Zygo Corporation | Method and apparatus for optical interferometric measurements with reduced sensitivity to vibration |
-
1994
- 1994-10-12 JP JP6246308A patent/JP3065489B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-10-12 US US08/542,030 patent/US5650853A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002162205A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-06-07 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 縞画像解析誤差検出方法および縞画像解析誤差補正方法 |
| JP4583619B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2010-11-17 | 富士フイルム株式会社 | 縞画像解析誤差検出方法および縞画像解析誤差補正方法 |
| KR100422378B1 (ko) * | 2002-01-15 | 2004-03-11 | (주) 인텍플러스 | 경사단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계 |
| JP2007327892A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | 干渉計測装置および干渉計測方法 |
| JP2010539458A (ja) * | 2007-09-14 | 2010-12-16 | ライカ ジオシステムズ アクチエンゲゼルシャフト | 表面の測定方法および測定装置 |
| US9127929B2 (en) | 2007-09-14 | 2015-09-08 | Leica Geosystems Ag | Method and measuring device for gauging surfaces |
| CN112902833A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-06-04 | 哈尔滨工业大学 | 抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪 |
| CN112902833B (zh) * | 2021-03-04 | 2022-02-18 | 哈尔滨工业大学 | 抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3065489B2 (ja) | 2000-07-17 |
| US5650853A (en) | 1997-07-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3065489B2 (ja) | 耐振動型干渉計 | |
| US7443513B2 (en) | Apparatus for optical measurement of an object | |
| US8411280B2 (en) | Surface shape measurement apparatus | |
| US8514407B2 (en) | Surface shape measurement apparatus | |
| JP6794458B2 (ja) | スキャン反射性ミラー監視システム及び方法、フォーカス・レベリングシステム | |
| JP3730831B2 (ja) | 収差測定装置及び調整装置 | |
| US20070109547A1 (en) | Scanning, self-referencing interferometer | |
| JPH08114412A (ja) | 耐振動型干渉計 | |
| JPH05296879A (ja) | 光学性能測定方法及び装置 | |
| JP3327998B2 (ja) | 形状測定方法及び装置 | |
| JP2951366B2 (ja) | 干渉測定装置とそのアライメント検出方法 | |
| JP2009244227A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
| JP2831428B2 (ja) | 非球面形状測定機 | |
| JPH0726826B2 (ja) | シェアリング干渉計装置 | |
| JP2966568B2 (ja) | 干渉計 | |
| JPH1194700A (ja) | レンズの測定装置及び測定方法 | |
| JP2001056213A (ja) | 面形状測定装置および測定方法 | |
| JP3998844B2 (ja) | フリンジスキャンを用いた干渉計装置 | |
| JP5430473B2 (ja) | 面形状計測装置 | |
| JPH0323883B2 (ja) | ||
| JPH10170334A (ja) | 振動測定装置 | |
| JP2753545B2 (ja) | 形状測定システム | |
| JPS6318208A (ja) | 面形状測定装置 | |
| JPH10170340A (ja) | Ｆｔ用干渉計の干渉効率測定装置 | |
| JP5876820B2 (ja) | レンズの光学的性能調整装置及びレンズの光学的性能調整方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000421 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |