JPH0810174B2 - Liquid crystal display inspection device - Google Patents

Liquid crystal display inspection device

Info

Publication number
JPH0810174B2
JPH0810174B2 JP62284008A JP28400887A JPH0810174B2 JP H0810174 B2 JPH0810174 B2 JP H0810174B2 JP 62284008 A JP62284008 A JP 62284008A JP 28400887 A JP28400887 A JP 28400887A JP H0810174 B2 JPH0810174 B2 JP H0810174B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal display
mounting
lcd
voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62284008A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH01124740A (en
Inventor
等 富士原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP62284008A priority Critical patent/JPH0810174B2/en
Publication of JPH01124740A publication Critical patent/JPH01124740A/en
Publication of JPH0810174B2 publication Critical patent/JPH0810174B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、液晶表示体を目視検査する検査装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to an inspection device for visually inspecting a liquid crystal display.

(従来の技術) 上記液晶表示体(以下、LCDという)の原理等につい
ては雑誌「電子材料」(1986年、2月号、P22−P76/工
業調査会発行所)に記載され周知である。
(Prior Art) The principle and the like of the above liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD) are described in the magazine "Electronic Materials" (February 1986, P22-P76 / published by the Industrial Research Institute) and are well known.

上記LCDを簡単に述べると、このLCDは二枚の透明体上
記3原色カラーフィルタと画素電極の位置の適正、上記
画素電極に対する液晶シャッタのオン・オフ制御から生
じる画素の色彩、コントラスト等が正常にカラー表示す
るか、否かについて目視検査が行なわれている。
Briefly describing the LCD, the LCD has two transparent bodies, the proper positions of the three primary color filters and the pixel electrodes, and the colors and contrasts of the pixels caused by the on / off control of the liquid crystal shutter with respect to the pixel electrodes are normal. A visual inspection is being conducted to determine whether or not to display in color.

この目視検査装置(1)の概略構造は、第5図に示す
ようにLCD(2)を載置した載置体(3)が矢印のよう
に水平方向に移動可能に基台を設けた構成なのでLCD
(2)を目視する目視位置(4)は操作部(5)の上側
に必然的に位置される。したがって、LCD(2)の検査
面(2a)と上記目視位置(4)との直線方向は上記検査
面(2a)に対して凝視角(6)を形成して目視検査して
いる。
As shown in FIG. 5, the schematic structure of this visual inspection device (1) is such that a mounting body (3) on which an LCD (2) is mounted is provided with a base so as to be movable in the horizontal direction as shown by an arrow. So LCD
The visual position (4) for visually observing (2) is necessarily located above the operating portion (5). Therefore, the visual inspection is performed by forming a stare angle (6) with respect to the inspection surface (2a) in the linear direction between the inspection surface (2a) of the LCD (2) and the visual inspection position (4).

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、第5図に示すように、上記LCD(2)
の検査面(2a)では載置体(3)の中空部(3b)には照
光体(3c)が設けられている。この照光体(3c)から発
した光線(22)がカラーフィルタ層(2e)を通過して、
印加電圧値にともない透明に変化した上基板(2d)を通
過し、LCD(2)の表面に表示するように構成されてい
る。
(Problems to be Solved by the Invention) However, as shown in FIG. 5, the LCD (2)
On the inspection surface (2a), the illuminator (3c) is provided in the hollow portion (3b) of the mounting body (3). The light ray (22) emitted from this illuminator (3c) passes through the color filter layer (2e),
It is configured to display on the surface of the LCD (2) after passing through the upper substrate (2d) which has changed to be transparent according to the applied voltage value.

このように画素電極(2d)に電圧印加を行う場合と、
行なわない場合とにより、切替えるシャッタ方式のR
(赤色)、G(緑色)、B(青色)の3原色のカラーフ
ィルタ層(2e)と画素毎に対応する上基板(2d)のオン
・オフで加法混合の原理により、複数のカラー表示を行
っている。
When voltage is applied to the pixel electrode (2d) like this,
A shutter-type R that switches depending on whether or not
(Red), G (green), B (blue) color filter layer (2e) of the three primary colors and the upper substrate (2d) corresponding to each pixel is turned on and off by the principle of additive mixing to display a plurality of color displays. Is going.

例えば画素A面においては、画素電極(2b)に電圧印
加し、また画素B面においては画素電極(2b)に電圧印
加すると、この電圧を印加した画素A及びBは、それぞ
れ底面下に敷設した光源とカラーフィルタと、印加電圧
による液晶シャッタにより、R(赤色)及びG(緑色)
を上記画素A表面及び上記画素B表面に表示している。
上述したLCD(2)面と凝視角(6)を有した傾視によ
り上記画素Aと上記画素Bとが上述した加法混合の原理
により、恰も黄色、または、その加法混合より生じる色
彩を表示しているかのように誤忍検査を実施してしまう
という問題点があった。
For example, when a voltage is applied to the pixel electrode (2b) on the surface of the pixel A and a voltage is applied to the pixel electrode (2b) on the surface of the pixel B, the pixels A and B to which this voltage is applied are laid below the bottom surface, respectively. R (red) and G (green) by the light source, color filter, and liquid crystal shutter by applied voltage
Are displayed on the surface of the pixel A and the surface of the pixel B.
The pixel A and the pixel B display yellow or a color generated by the additive mixture by the above-mentioned principle of additive mixture by the above-described tilting having the LCD (2) plane and the stare angle (6). There was a problem that the error test was carried out as if it were.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、液晶表示体の表示状態を正確且つ確実に目視検査で
き、しかも目視検査に際して液晶表示体を自動的に載置
体上へ載置し、載置体上から取り出すと共に検査位置へ
自動的に位置合わせできる液晶表示体の検査装置を提供
することを目的としている。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and can visually and accurately visually inspect the display state of a liquid crystal display body, and at the time of the visual inspection, the liquid crystal display body is automatically placed on the mounting body. However, it is an object of the present invention to provide an inspection device for a liquid crystal display body that can be automatically taken out of the mounting body and aligned with the inspection position.

〔発明の構成〕[Structure of Invention]

(問題点を解決するための手段) 本発明の液晶表示体の検査装置は、傾斜した基台上に
垂直に配設され且つ搬送手段を介して搬送された液晶表
示体を上記基台表面に平行な載置面に載置する載置体
と、この載置体を上記基台上においてX、Y、Z及びθ
方向で往復駆動させる駆動手段と、この駆動手段を駆動
制御する制御手段と、この制御手段により上記載置台上
の液晶表示体の複数の電極がそれぞれ電気的に接触する
電圧印加用端子電極と、これらの電圧印加用端子電極を
介して上記液晶表示体の各電極に電圧を選択的に印加す
る指令を送信する中央演算処理手段と、この中央演算処
理手段の指令下で電圧が印加される上記液晶表示体をそ
の裏面から照明する照光体とを備え、上記載置面は凝視
線に対して直交する傾斜面を形成していることを特徴と
するものである。
(Means for Solving the Problems) In the liquid crystal display inspection apparatus of the present invention, the liquid crystal display vertically arranged on the inclined base and conveyed by the conveying means is placed on the surface of the base. A mounting body to be mounted on parallel mounting surfaces, and X, Y, Z and θ on the base.
Drive means for reciprocally driving in a direction, control means for driving and controlling this drive means, and a voltage application terminal electrode with which a plurality of electrodes of the liquid crystal display on the mounting table are in electrical contact with each other by the control means, Central arithmetic processing means for transmitting a command to selectively apply a voltage to each electrode of the liquid crystal display through the voltage applying terminal electrodes, and the voltage is applied under the instruction of the central arithmetic processing means. The liquid crystal display body is provided with an illuminator that illuminates the back surface of the liquid crystal display body, and the above-mentioned mounting surface forms an inclined surface orthogonal to the gaze line.

(作用) 本発明によれば、液晶表示体を搬送手段を介して傾斜
した載置面に載置すると、制御手段を介して駆動手段が
駆動して載置体を傾斜した基台上においてX、Y、Z及
びθ方向で往復駆動させ、液晶表示体の複数の電極をそ
れぞれ電圧印加用端子電極に対して電気的に接触させる
と共に、その液晶表示体を照光体により裏面から照明す
る。次いで、中央演算処理手段の指令下で選択的に複数
の電圧印加用端子電極を介して液晶表示体の電極にそれ
ぞれ電圧を印加すると、液晶表示体の画素を選択的に表
示する。この時、液晶表示体の表面に対して直交する凝
視線でその表示状態を観察すると、例えばそれぞれの画
素が混色することなく正確に各画素の表示色を正確且つ
確実に目視検査することができる。
(Operation) According to the present invention, when the liquid crystal display body is placed on the inclined mounting surface via the conveying means, the drive means is driven via the control means to drive the mounted body on the inclined base X. , Y, Z, and θ directions are made to reciprocate, and a plurality of electrodes of the liquid crystal display are brought into electrical contact with the voltage application terminal electrodes, respectively, and the liquid crystal display is illuminated from the backside by an illuminator. Then, under the command of the central processing means, a voltage is selectively applied to the electrodes of the liquid crystal display through the plurality of voltage application terminal electrodes, whereby the pixels of the liquid crystal display are selectively displayed. At this time, if the display state is observed with a gaze line that is orthogonal to the surface of the liquid crystal display, for example, the display color of each pixel can be accurately and surely visually inspected without color mixing of each pixel. .

(実施例) 以下、本発明検査装置をカラーLCDの検査に適用した
一実施例を図面を参照して説明する。
(Example) An example in which the inspection apparatus of the present invention is applied to an inspection of a color LCD will be described below with reference to the drawings.

上記説明を第5図のものと同一部分については同一符
号で説明する。
In the above description, the same parts as those in FIG.

まず、上記装置の構成について説明すると、第1図に
示すように被検査体である。LCD(2)のマトリックス
状に配置された電極(2b)の端子部に電気的に接触させ
るプローブ端子電極(7)が検査装置(8)のヘッドプ
レート(図示せず)に設けられ、このプローブ端子電極
(7)は予めLCD(2)の電極(2a)に対応した配列で
構成され、上記プローブ端子電極(7)(以下、必要に
応じて単に「端子電極」と称す)と電気的に接触可能な
構成になっている。
First, the structure of the above-mentioned apparatus will be described. As shown in FIG. A probe terminal electrode (7) for electrically contacting a terminal portion of the electrodes (2b) arranged in a matrix of the LCD (2) is provided on a head plate (not shown) of the inspection device (8). The terminal electrode (7) is preliminarily configured in an array corresponding to the electrode (2a) of the LCD (2) and electrically connected to the probe terminal electrode (7) (hereinafter, simply referred to as “terminal electrode” as necessary). It has a contactable structure.

上記端子電極(7)は一例を一組として構成され、こ
のプローブ端子電極(7)列はLCD(2)の四方向から
囲むように配置されている。
The terminal electrodes (7) are configured as one set, and the probe terminal electrode (7) rows are arranged so as to surround the LCD (2) in four directions.

上記プローブ端子電極(7)には電圧信号制御部
(9)によって画素電極(2b)に電圧を印加するように
設けられている。この印加電圧はコントローラのCPU(1
0)によって制御されている。例えばCPU(10)からの電
圧信号によって所定の電圧が上記LCD(2)の電極(2
b)に印加するように構成されている。
The probe terminal electrode (7) is provided so as to apply a voltage to the pixel electrode (2b) by the voltage signal controller (9). This applied voltage is the controller CPU (1
Controlled by 0). For example, a predetermined voltage is applied to the electrode (2) of the LCD (2) by a voltage signal from the CPU (10).
It is configured to apply to b).

また、上記CPU(10)に各種データを操作入力するた
めにキーボード(11)が設けられ、さらに上記CPU(1
0)で指令したカラー表示等の各種データを表示する表
示部(12)が設けられている。
Further, a keyboard (11) is provided for inputting various data to the CPU (10), and further, the CPU (1
The display section (12) for displaying various data such as the color display commanded in (0) is provided.

そして、上記キーボード(11)からの画素電極(2d)
のデータの設定入力に基づくプログラムにより、上記LC
D(2)のカラー表示を制御するように構成している。
And the pixel electrode (2d) from the keyboard (11)
By the program based on the setting input of the data of
It is configured to control the color display of D (2).

例えば、画素に対してR(赤色)、を表示したのちG
(緑色)さらにB(青色)を順次表示するように制御す
るように指令信号により状態を表示する。
For example, after displaying R (red) for a pixel, then G
The state is displayed by a command signal so as to control to sequentially display (green) and B (blue).

上記端子電極(7)がヘッドプレートと称する固定体
に着脱自在に設けられていると同時に、この端子電極
(7)の先端部は、載置面(3a)に載置されているLCD
(2)の面と平行に配置している。
The terminal electrode (7) is detachably provided on a fixed body called a head plate, and at the same time, the tip of the terminal electrode (7) is mounted on the mounting surface (3a).
It is arranged parallel to the plane of (2).

従って、凝視線と直交した載置面(3a)に載置したLC
D(2)は、載置面(3a)が凝視線と直交した方向に移
動することにより、上記LCD(2)の電極(2b)が上記
ヘッドプレートに着脱自在に固定した端子電極(7)に
接触することになる。そして、上記LCD(2)の各電極
(2b)にプローブ端子電極(7)を押圧接触させたの
ち、これらプローブ端子電極(7)に選択的にCPU(1
0)からの指令により電圧信号制御部(9)を介してキ
ーボード(11)からのプログラム入力によりプログラム
に従って印加電圧するようになっている。
Therefore, LC mounted on the mounting surface (3a) orthogonal to the gaze line
D (2) is a terminal electrode (7) in which the electrode (2b) of the LCD (2) is detachably fixed to the head plate by moving the mounting surface (3a) in a direction orthogonal to the gaze line. Will come into contact with. Then, the probe terminal electrodes (7) are pressed into contact with the electrodes (2b) of the LCD (2), and then the CPU (1) is selectively attached to these probe terminal electrodes (7).
The voltage is applied according to a program by a program input from the keyboard (11) via the voltage signal control section (9) in response to a command from (0).

次に上記端子電極(7)の下側には、凝視線に直交し
た装置の基台(13)面に沿って移動自在な載置手段(1
4)が設けられている。
Next, below the terminal electrode (7), a mounting means (1) which is movable along the surface of the base (13) of the device orthogonal to the gaze line.
4) is provided.

上記載置手段(14)はステージ(15)と昇降機構(1
6)と周回転機構(17)とから構成されている。
The placing means (14) described above includes a stage (15) and a lifting mechanism (1
6) and a peripheral rotation mechanism (17).

上記ステージ(15)は装置(8)の基台(13)面に沿
って移動自在に設けられており、上記ステージ(15)の
上側には昇降機構(16)が固定されている。さらに、こ
の昇降機構(16)の上側には周回転機構(17)が固定さ
れており、この周回転機構(17)の上側にはLCD(2)
を載置する載置体(3)が設けられている。この載置体
(3)の載置面(3a)は凝視線と直交した面であり、基
台(13)面と平行に構成されている。
The stage (15) is movably provided along the surface of the base (13) of the device (8), and the lifting mechanism (16) is fixed to the upper side of the stage (15). Further, a peripheral rotation mechanism (17) is fixed to the upper side of the lifting mechanism (16), and an LCD (2) is attached to the upper side of the peripheral rotation mechanism (17).
A mounting body (3) for mounting the is provided. The mounting surface (3a) of the mounting body (3) is a surface orthogonal to the gaze line, and is configured parallel to the surface of the base (13).

上記ステージ(15)は基台(13)面に沿ってX・Y方
向へ移動可能になされたステージ(15)である。
The stage (15) is a stage (15) that is movable in the X and Y directions along the surface of the base (13).

このステージ(15)のX・Y方向への移動はX方向移
動機構(18)及びY方向移動機構(19)によって移動す
るように構成されている。
The movement of the stage (15) in the X and Y directions is configured to be performed by the X direction moving mechanism (18) and the Y direction moving mechanism (19).

このX方向移動機構(18)及び下方向移動機構(19)
はX方向移動制御部(18)及びY方向移動制御部(19)
によって駆動される。
The X-direction movement mechanism (18) and the downward movement mechanism (19)
Is an X-direction movement control unit (18) and a Y-direction movement control unit (19)
Driven by.

このX方向移動制御部(18a)及びY方向移動制御部
(19a)はアライメント部(20)からX方向移動指令及
びY方向移動指令を受ける毎に上記CPU(10)より演算
された距離を移動するようにX方向移動機構(18)及び
Y方向移動機構(19)を制御するように構成されてい
る。
The X-direction movement control unit (18a) and the Y-direction movement control unit (19a) move the distance calculated by the CPU (10) each time the X-direction movement command and the Y-direction movement command are received from the alignment unit (20). Therefore, the X-direction moving mechanism (18) and the Y-direction moving mechanism (19) are controlled.

上記昇降機構(16)は上記基台(13)に対してX・Y
方向に移動制御する上記ステージ(15)の上側に固定さ
れ、基台(13)と直交方向に昇降する機構である。
The lifting mechanism (16) is X / Y with respect to the base (13).
This mechanism is fixed to the upper side of the stage (15) whose movement is controlled in the direction, and moves up and down in a direction orthogonal to the base (13).

上記昇降機構(16)は昇降制御部(16a)によって駆
動され、アライメント終了指令信号を受ける毎に、上記
CPU(10)により演算された値で上昇距離の上下動(降
下→上昇)をするように構成されている。
The elevating mechanism (16) is driven by the elevating controller (16a), and each time the alignment end command signal is received,
It is configured to move up and down (fall → rise) by the value calculated by the CPU (10).

上記周回転機構(17)は上記昇降機構(17)の上側に
固定され、基台(13)面と平行面に沿って周回動する機
構である。
The circumferential rotation mechanism (17) is a mechanism which is fixed to the upper side of the elevating mechanism (17) and rotates circumferentially along a plane parallel to the surface of the base (13).

上記周回転機構(17)は周回転制御部(17a)によっ
て駆動されアライメント終了指令信号を受ける毎に上記
CPU(10)より演算された値で周回転するように構成さ
れている。
The circumferential rotation mechanism (17) is driven by the circumferential rotation control section (17a) and receives the alignment end command signal each time
It is configured to rotate around with a value calculated by the CPU (10).

上記載置体(3)は上記周回転機構(17)の先端部に
固着し、上記周回転機構(17)の駆動で回転自在に設け
られている。
The mounting body (3) is fixed to the tip of the peripheral rotation mechanism (17) and is rotatably provided by driving the peripheral rotation mechanism (17).

また、この載置面(3a)は装置(8)の基台(13)と
平行に構成されている。したがって、上記載置面(3a)
は凝視線(6)と直交するように形成される。さらに図
示しないが上記載置面(3a)の周縁に吸着孔が設けられ
て、LCD(2)を吸着可能に形成されている。
The mounting surface (3a) is configured to be parallel to the base (13) of the device (8). Therefore, the above placement surface (3a)
Are formed so as to be orthogonal to the gaze line (6). Further, although not shown, suction holes are provided at the periphery of the placing surface (3a) so that the LCD (2) can be sucked.

上記載置体(3)の載置面(3a)の中央に乳白色系の
透明体(21)例えばスリガラス等を載置面(3a)と段差
のない平坦に敷設されている。
A milky white transparent body (21), such as frosted glass, is laid flat on the mounting surface (3a) of the mounting body (3) without a step from the mounting surface (3a).

上記載置体(3)の敷設された透明体(21)の下側の
中空部(3b)には、照光体(3c)例えば配線された均一
照明する如く直線状蛍光燈が2本、内設された構成にな
っている。勿論環状蛍光灯を設けてもよい。
In the hollow part (3b) below the transparent body (21) on which the placing body (3) is laid, an illuminating body (3c), for example, two linear fluorescent lamps wired for uniform illumination are provided. It has been set up. Of course, an annular fluorescent lamp may be provided.

従って、上記載置体(3)の載置面(3a)に載置した
LCD(2)は上記照光体(3c)の蛍光燈から発する光線
(22)が、LCD(2)の偏光板(2h)及びカラーフィル
タ層(2e)に照射される。
Therefore, it was placed on the placing surface (3a) of the placing body (3) described above.
In the LCD (2), the light beam (22) emitted from the fluorescent lamp of the illuminator (3c) is applied to the polarizing plate (2h) and the color filter layer (2e) of the LCD (2).

この照射した光線(22)が、LCD(2)の画素電極(2
d)に印加電圧されれば、上基板(2d)が透明となり、
検査面(2a)に到達する。
This irradiated light (22) is reflected by the pixel electrode (2) of the LCD (2).
When the applied voltage is applied to d), the upper substrate (2d) becomes transparent,
Reach the inspection surface (2a).

また画素電極(2d)に印加電圧されなければ上基板
(2d)が不透明であるため、上記光線(22)が透過する
ことが出来ない。このようにR(赤色)、G(緑色)、
B(青色)を一つの画素内に形成するので、任意の選択
組合せることにより所望する色彩を表示させることがで
きる。
If the voltage applied to the pixel electrode (2d) is not applied, the upper substrate (2d) is opaque, so that the light beam (22) cannot be transmitted. In this way, R (red), G (green),
Since B (blue) is formed in one pixel, a desired color can be displayed by arbitrary selection and combination.

つぎに、検査装置(8)のヘッドプレートに着脱自在
に設けた端子電極(7)部と、載置面(3a)に載置した
LCDの電極(2b)との位置合せについて述べる。
Next, the inspection apparatus (8) was mounted on the terminal plate (7) which was detachably provided on the head plate and on the mounting surface (3a).
The alignment with the LCD electrode (2b) will be described.

この位置合せは特開昭60−245134号公報に記載されて
いる。この公報では、ウエハの位置合わせを行うもので
あるが、これをLCD(2)の位置合わせとするもので概
略的に第4図を用いて説明する。
This alignment is described in JP-A-60-245134. In this publication, the alignment of the wafer is performed, but this is the alignment of the LCD (2), which will be schematically described with reference to FIG.

先ずLCD(2)はアライメント部(20)まで移動した
のち、シリンドカルレンズ(特開昭60−245134号公報中
に記載)を用いたビームのスポット光(24)を楕円形に
変形させてLCD(2)の両端部近傍に照射させる。
First, the LCD (2) is moved to the alignment section (20), and then the beam spot light (24) using a cylindrical lens (described in JP-A-60-245134) is deformed into an elliptical shape. Irradiate near both ends of the LCD (2).

この照射されたLCD(2)は、載置体(3)の移動と
共にY方向、例えばy0からy2までの距離を移動させる。
従って、上記スポット光の軌跡はLCD(2)上の電極(2
b)及びターゲットポイント(23)の表面を通過するよ
うにしてy0からy2まで移動する。
The illuminated LCD (2) moves in the Y direction, for example, a distance from y 0 to y 2 as the mounting body (3) moves.
Therefore, the locus of the spot light is the electrode (2
b) and move from y 0 to y 2 so that it passes over the surface of the target point (23).

この移動によって、上記スポット光(24)の散乱状態
の光強度分布が読み取られる。
By this movement, the light intensity distribution in the scattered state of the spot light (24) can be read.

このようにして、LCD(2)の左端部の光強度分布が
第4図(a)に示すように表わされる。同様にして右端
部の光強度分布が第4図(b)に表わされる。
In this way, the light intensity distribution at the left end of the LCD (2) is represented as shown in FIG. 4 (a). Similarly, the light intensity distribution at the right end is shown in FIG. 4 (b).

上記の両端部の強度分布を比較すると、移動する距
離、例えばy0からy2までの距離が同じでターゲットポイ
ント(23)の位置の距離例えばy3−y1距離が異なること
が検出される。これがずれ量である。このずれ量を、載
置手段(14)のX方向、Y方向、周回転方向等の駆動部
を駆動させて、所定の位置に移動させることができる。
Comparing the intensity distributions at both ends, it is detected that the moving distance, for example, the distance from y 0 to y 2 is the same, but the distance at the position of the target point (23), for example, y 3 −y 1 distance is different. . This is the shift amount. The amount of this deviation can be moved to a predetermined position by driving the drive unit of the mounting means (14) in the X direction, the Y direction, the circumferential rotation direction, and the like.

上記に述べたことは特開昭60−245134号公報に詳細に
記載されているので一部の説明に留まる。
The above description is described in detail in JP-A-60-245134, so only a part of the description will be given.

次に動作について説明する。 Next, the operation will be described.

図示しないが搬送手段のアームによって、LCD(2)
を載置面(3a)に授受したのち、このLCD(2)の底面
を載置面(3a)上の吸着孔で吸着固定する。
Although not shown, the LCD (2)
After being transferred to and from the mounting surface (3a), the bottom surface of the LCD (2) is sucked and fixed by the suction holes on the mounting surface (3a).

この吸着固定したLCD(2)は、第4図で示すように
に予め記憶されているプムグラムに従って、所定のアラ
イメント部(20)まで移動する。
The LCD (2) fixed by suction moves to a predetermined alignment section (20) according to a pre-stored program as shown in FIG.

すなわち、上記アライメント部(20)に載置面の中心
(予備基点というP1)が重なるように移動する。この予
備基点P1からLCD(2)のずれ量(Δt)を演算する。
この演算はアライメントで行う。このアライメントにつ
いては、上述したので、ここでは省略する。
That is, the center of the mounting surface (P 1 referred to as a preliminary base point) is moved so as to overlap the alignment section (20). The shift amount (Δt) of the LCD (2) from this preliminary base point P 1 is calculated.
This calculation is performed by alignment. Since this alignment has been described above, it is omitted here.

このアライメント終了後、CPU(10)によって演算さ
れた結果にもとづいてステージ(15)及び周回転機構
(17)を駆動させ、LCD(2)の基点位置(p2)とす
る。この基点位置(p2)に基づいて、端子電極(7)の
位置調整を行う。
After the completion of this alignment, the stage (15) and the peripheral rotation mechanism (17) are driven based on the result calculated by the CPU (10) to set the base point position (p 2 ) of the LCD (2). The position of the terminal electrode (7) is adjusted based on this base point position (p 2 ).

その後、昇降機構(16)を昇降制御部(16a)によっ
て駆動して、LCD(2)の電極(2b)をヘッドプレート
側の端子電極(7)に接触する。
After that, the elevating mechanism (16) is driven by the elevating controller (16a) to bring the electrode (2b) of the LCD (2) into contact with the terminal electrode (7) on the head plate side.

この接触が完了した後、CPU(10)は電圧信号制御部
(9)に印加電圧信号を送信する。
After this contact is completed, the CPU (10) sends an applied voltage signal to the voltage signal control unit (9).

電圧信号制御部(9)は予め記憶されたプログラムに
従って、電圧信号を制御して、各電極に電圧を印加す
る。この電圧印加された各画素表面の検査面(2a)にカ
ラー表示される。
The voltage signal control unit (9) controls the voltage signal according to a program stored in advance to apply a voltage to each electrode. Color display is performed on the inspection surface (2a) of each pixel surface to which this voltage is applied.

この検査面(2a)と直交した凝視線によって、検査面
(2a)上にカラー表示した物理的現象を目視することが
できる。このようにして、LCD(2)表面のカラー表示
を直交した凝視線によって目視している。したがってカ
フーフィルタ層(2e)の色彩が、隣りの画素による加法
混合の現象を生じさせないので正確なカラー表示を検査
することが可能である。
A physical phenomenon displayed in color on the inspection surface (2a) can be visually observed by the gaze line orthogonal to the inspection surface (2a). In this way, the color display on the surface of the LCD (2) is visually observed by the gaze lines intersecting at right angles. Therefore, the color of the Kafu filter layer (2e) does not cause the phenomenon of additive mixing by the adjacent pixels, so that an accurate color display can be inspected.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、液晶表示体の表示状態を正確且つ確
実に目視検査でき、しかも目視検査に際して液晶表示体
を自動的に載置体上へ載置し、載置体から取り出すと共
に検査位置へ自動的に位置合わせできる液晶表示体の検
査装置を提供することができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the display state of a liquid crystal display body can be accurately and reliably visually inspected, and also at the time of visual inspection, a liquid crystal display body is automatically mounted on a mounting body, taken out from a mounting body, and moved to an inspection position. It is possible to provide an inspection device for a liquid crystal display that can be automatically aligned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図、本発明の検査装置の一実施例を図面を用いて
説明する全体ブロック図、第2は、第1図の載置手段を
説明する側面から見た拡大説明図、第3図は、第1図の
載置体構造と、LCD構造との関係を説明する説明図。 第4図は、第1図におけるLCDのアライメントを説明す
る説明図、第5図は、従来の目視検査装置のLCDに対す
る凝視角を説明する説明図である。 1……従来目視検査装置、2……液晶表示体(LCD) 2a……検査面、2b……画素電極(電極) 2c,2h……偏光板、2b……上基板 2e……カラーフィルタ層、3……載置体 3a……載置面、3b……中空部 3c……照光体、4……目視位置 13……基台、14……載置手段 15……ステージ、20……アライメント部 21……透明板、22……光線 23……ターゲットポイント 24……スポット光
1 is an overall block diagram for explaining an embodiment of the inspection apparatus of the present invention with reference to the drawings. FIG. 2 is an enlarged explanatory view seen from the side for explaining the mounting means of FIG. 1. FIG. 2 is an explanatory view for explaining the relationship between the mount structure of FIG. 1 and the LCD structure. FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the alignment of the LCD in FIG. 1, and FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the gaze angle of the conventional visual inspection apparatus with respect to the LCD. 1 ... Conventional visual inspection device, 2 ... Liquid crystal display (LCD) 2a ... Inspection surface, 2b ... Pixel electrode (electrode) 2c, 2h ... Polarizing plate, 2b ... Upper substrate 2e ... Color filter layer 3 ... Mounting body 3a ... Mounting surface, 3b ... Hollow part 3c ... Illuminator, 4 ... Visual position 13 ... Base, 14 ... Mounting means 15 ... Stage, 20 ... Alignment part 21 …… Transparent plate, 22 …… Ray 23 …… Target point 24 …… Spot light

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】傾斜した基台上に垂直に配設され且つ搬送
手段を介して搬送された液晶表示体を上記基台表面に平
行な載置面に載置する載置体と、この載置体を上記基台
上においてX、Y、Z及びθ方向で往復駆動させる駆動
手段と、この駆動手段を駆動制御する制御手段と、この
制御手段により上記載置台上の液晶表示体の複数の電極
がそれぞれ電気的に接触する電圧印加用端子電極と、こ
れらの電圧印加用端子電極を介して上記液晶表示体の各
電極に電圧を選択的に印加する指令を送信する中央演算
処理手段と、この中央演算処理手段の指令下で電圧が印
加される上記液晶表示体をその裏面から照明する照光体
とを備え、上記載置面は凝視線に対して直交する傾斜面
を形成していることを特徴とする液晶表示体の検査装
置。
1. A mounting body for mounting a liquid crystal display body vertically arranged on an inclined base and transported by a transport means on a mounting surface parallel to the surface of the base, and the mounting body. Driving means for reciprocally driving the mounting body in the X, Y, Z, and θ directions on the base, control means for driving and controlling the driving means, and a plurality of liquid crystal display bodies on the mounting base by the control means. A voltage application terminal electrode in which the electrodes are in electrical contact with each other, and a central processing unit that transmits a command to selectively apply a voltage to each electrode of the liquid crystal display through the voltage application terminal electrode, An illuminating body which illuminates the liquid crystal display body to which a voltage is applied under the command of the central processing means, from the back surface thereof, and the above-mentioned mounting surface forms an inclined surface orthogonal to the gaze line. A device for inspecting a liquid crystal display, characterized by:
JP62284008A 1987-11-10 1987-11-10 Liquid crystal display inspection device Expired - Lifetime JPH0810174B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62284008A JPH0810174B2 (en) 1987-11-10 1987-11-10 Liquid crystal display inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62284008A JPH0810174B2 (en) 1987-11-10 1987-11-10 Liquid crystal display inspection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01124740A JPH01124740A (en) 1989-05-17
JPH0810174B2 true JPH0810174B2 (en) 1996-01-31

Family

ID=17673101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62284008A Expired - Lifetime JPH0810174B2 (en) 1987-11-10 1987-11-10 Liquid crystal display inspection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0810174B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2573534B2 (en) * 1991-11-13 1997-01-22 株式会社日本マイクロニクス Liquid crystal display panel inspection equipment
JP4582958B2 (en) * 2001-05-30 2010-11-17 株式会社日本マイクロニクス Display substrate inspection equipment
JP2006317332A (en) * 2005-05-13 2006-11-24 Micronics Japan Co Ltd Lighting inspection device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58135721U (en) * 1982-03-05 1983-09-12 スタンレー電気株式会社 Liquid crystal display element testing equipment
JPS592182A (en) * 1982-06-29 1984-01-07 Nec Corp Relation generating device
JPH0662305B2 (en) * 1983-12-29 1994-08-17 オ−ストラリア国 Production of technetium-99m-labeled radiopharmaceutical
JPS61128221A (en) * 1984-11-27 1986-06-16 Toshiba Corp Microscope device for semiconductor inspection
JPH063476B2 (en) * 1985-11-11 1994-01-12 シャープ株式会社 Inspection device for flattomato display panel
JPS62188978A (en) * 1986-02-14 1987-08-18 Toshiba Corp Pattern checker for conductive thin film

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01124740A (en) 1989-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100958204B1 (en) Method and apparatus for inspecting of flat display panel
US7602959B2 (en) Visual inspection apparatus and method of inspecting display panel using the visual inspection apparatus
KR101166828B1 (en) Apparatus for Testing flat panel display device and testing method thereof
KR101279656B1 (en) Probe inspection apparatus
TWI518404B (en) Liquid crystal panel inspection apparatus
KR20120077289A (en) Array test apparatus
KR20130006221A (en) Apparatus for testing display panel
JPH0810174B2 (en) Liquid crystal display inspection device
JPH06167460A (en) Inspecting apparatus
JP4222934B2 (en) Coordinate detection device
JP2014209068A (en) Pattern inspection device
KR100690210B1 (en) The complex surface inspection system of glass for pannel using moniter
JP4167010B2 (en) Display substrate processing equipment
JP4291310B2 (en) Thin film transistor array inspection system
JPH10153631A (en) Aligning device and panel inspection device
JP4347028B2 (en) Visual inspection device
JP2001116523A (en) Outward appearance inspection device
JPH0627711B2 (en) Inspection equipment
JP2002202264A (en) Method and device for appearance inspection
KR100594622B1 (en) Apparatus for Inspecting Display Panel
JP2000074631A (en) Chamfered width measuring instrument
KR20050053196A (en) Liquid crystal display panel inspecting apparatus and method of using the same
JPH022947A (en) Inspecting and repairing apparatus
KR20210112148A (en) screen driving inspection device using optical instrument
KR200334229Y1 (en) Defect position detection apparatus of glass for display device