JPH0799399A - Positioning apparatus - Google Patents

Positioning apparatus

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JPH0799399A
JPH0799399A JP5260391A JP26039193A JPH0799399A JP H0799399 A JPH0799399 A JP H0799399A JP 5260391 A JP5260391 A JP 5260391A JP 26039193 A JP26039193 A JP 26039193A JP H0799399 A JPH0799399 A JP H0799399A
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JP
Japan
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origin position
alignment area
positioning
tcp
alignment
Prior art date
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Application number
JP5260391A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Sato
隆 佐藤
Masamitsu Suzuki
昌光 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0799399A publication Critical patent/JPH0799399A/en
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Abstract

PURPOSE:To easily and accurately position by image recognition means even by a mark having no position of a center of gravity by correcting a moving distance when both works are superposed based on a signal from a calculating means for detecting deviations of a registered origin position in X-Y direction and rotating direction. CONSTITUTION:A tape carrier package(TCP) automatic placing machine has a positioning unit 10 for holding and positioning the TCP, an image recognition unit 20 and a controller 30. The unit 10 has four-axis table 11 of an X-axis, a Y-axis, Z-axis and rotating directions in a horizontal plane. The table 11 is driven by a driving mechanism 12 which can be finely position controlled. First, an alignment area and an origin position are first set and registered, a positional deviation is detected based on the area and the origin position, the mechanism 12 is operated with the detected data, and accurately position regulated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、画像認識手段によって
異なる2つのワークを位置合わせして貼り合わせるため
の自動搭載機等において、両ワーク間を正確に位置合わ
せするための装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for accurately aligning two works in an automatic mounting machine for aligning and bonding two different works by image recognition means. .

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、液晶パネルの製造・組立を行う
に当って、セルにテープキャリアパッケージ(以下、T
CPという)を貼り合わせる工程がある。この工程にお
いては、セルに微細なピッチ間隔で形成されている電極
とTCP側の電極とを正確に位置合わせした状態で重ね
合わせて、両ワークを接着するが、このためにTCP自
動搭載機が用いられる。このTCP自動搭載機は、セル
及びTCPを所定の位置に配置して、画像認識手段によ
って両ワークの位置を認識した上で、TCPをこの画像
認識手段からの信号に基づいて位置ずれを補正しながら
セルの上に重ね合わせる。このように、画像認識手段に
よる認識を可能ならしめるために、セル及びTCPには
それぞれアライメントマークが設けられている。
2. Description of the Related Art For example, in manufacturing and assembling a liquid crystal panel, a tape carrier package (hereinafter referred to as T
There is a step of laminating (called CP). In this step, the electrodes formed at a fine pitch on the cell and the electrodes on the TCP side are superposed in a state where they are accurately aligned and the two works are bonded together. Used. In this TCP automatic mounting machine, a cell and a TCP are arranged at predetermined positions, the positions of both works are recognized by the image recognition means, and then the TCP corrects the positional deviation based on the signal from the image recognition means. While overlapping on the cell. As described above, in order to enable recognition by the image recognition means, the cell and the TCP are provided with alignment marks, respectively.

【0003】ここで、TCPはかなりの長さを有するも
のであって、アライメントマークはその左右の両端近傍
位置に一対形成されており、これら一対のアライメント
マークは2台のテレビカメラにより撮像されて、画像認
識が行われる。アライメントマークは、通常、四角形等
のように重心位置があるものが用いられ、これら2台の
テレビカメラでアライメントマークの重心位置を撮影す
る。そして、この画像データに基づいて、XY座標軸上
におけるアライメントマークの重心位置を演算すること
によって、TCPのX軸方向,Y軸方向及び回転方向
(以下、θ方向という)の位置を検出し、このXYθ方
向の位置に基づいて、駆動手段によってTCPを移動さ
せて、セル上に重ね合わせるようにする。
Here, the TCP has a considerable length, and a pair of alignment marks are formed in the vicinity of both left and right ends thereof. The pair of alignment marks are imaged by two television cameras. , Image recognition is performed. An alignment mark having a center of gravity position such as a quadrangle is usually used, and the center of gravity position of the alignment mark is photographed by these two TV cameras. Then, based on this image data, the barycentric position of the alignment mark on the XY coordinate axes is calculated to detect the positions of the TCP in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the rotation direction (hereinafter referred to as the θ direction). Based on the position in the XYθ directions, the TCP is moved by the driving means so as to be superposed on the cell.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、TCPに設
けられるアライメントマークは、他の位置決め用にも利
用される等の関係から、全てのマークが重心位置を有す
るものとは限らない。例えば、1乃至複数本の線からな
るマークの場合には、重心位置が存在しないので、画像
認識手段によってはマークの正確な位置検出が困難であ
り、このために微細な位置決めを行うことができないと
いう欠点がある。
By the way, the alignment marks provided on the TCP are not always provided with the center of gravity because they are used for other positioning. For example, in the case of a mark composed of one or a plurality of lines, since the barycentric position does not exist, it is difficult to accurately detect the position of the mark by the image recognition means, and therefore fine positioning cannot be performed. There is a drawback that.

【0005】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、重心位置を持たない
マークによっても、画像認識手段によって、容易に、し
かも極めて正確な位置出しを行えるようにすることにあ
る。
The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to easily and extremely accurately position a mark having no barycentric position by the image recognition means. Is to be able to do it.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、それぞれ線対称に配置した一対の位
置決め用のパターンが形成されている2つのワークを相
対位置決めして、重ね合わせるための位置合わせ装置で
あって、両ワークの一方のパターンが形成されている部
位を撮影する第1のカメラと、両ワークの他方のパター
ンが形成されている部位を撮影する第2のカメラと、第
1のカメラの視野範囲において、それぞれに位置決め用
のパターンを含む部位をアライメントエリアとして設定
・登録するエリア登録部と、このアライメントエリアに
対して所定の位置を原点位置として登録する原点位置登
録部と、この第1の画像認識手段により設定されたアラ
イメントエリア及び原点位置と対称位置にアライメント
エリア及び原点位置を設定する第2のアライメントエリ
ア・原点位置登録部と、前記第1,第2のカメラで撮影
したワークにおけるアライメントエリア及びこのアライ
メントエリアにおける原点位置に対応する基準位置の画
像上の位置を認識して、登録された原点位置とのXY方
向及び回転方向のずれを検出する演算手段と、この演算
手段からの信号に基づいて、前記両ワークを重ね合わせ
る際における移動量を補正する構成としたことをその特
徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, according to the present invention, two works, each of which is formed with a pair of positioning patterns arranged in line symmetry, are relatively positioned and superposed. A first camera for photographing a portion of one of the workpieces on which one pattern is formed, and a second camera for photographing a portion of the other workpiece on which the other pattern is formed. , An area registration unit for setting and registering a region including a positioning pattern for each as an alignment area in the visual field range of the first camera, and an origin position registration for registering a predetermined position as an origin position with respect to this alignment area Part and the alignment area and origin position symmetrical to the alignment area and origin position set by the first image recognition means. And a second alignment area / origin position registration unit for setting, and an alignment area on the workpiece photographed by the first and second cameras and a position on the image of a reference position corresponding to the origin position in this alignment area are recognized. And a calculation means for detecting deviations in the XY direction and the rotation direction from the registered origin position, and a movement amount when the two works are superposed on each other based on a signal from the calculation means. Is its characteristic.

【0007】[0007]

【作用】2つの部材を位置合わせするために、まずアラ
イメントエリア及び原点位置を設定・登録しておき、こ
のようにして設定・登録したアライメントエリアと原点
位置とに基づいて、実際にワークの位置を補正して、相
手方の部材に搭載するようになっている。
In order to align the two members, first, the alignment area and the origin position are set and registered, and the actual work position is set based on the alignment area and the origin position thus set and registered. Is corrected and mounted on the other member.

【0008】アライメントエリア及び原点位置の設定・
登録は、ワークに形成した位置決め用のマークを手懸か
りにして行う。ただし、このマークのパターンとして
は、重心位置を有する形状であっても良いが、重心位置
のない形状のものについてはより有利である。
Setting of alignment area and origin position
The registration is performed by using the positioning mark formed on the work as a clue. However, the pattern of this mark may have a shape having a barycentric position, but it is more advantageous for a shape having no barycentric position.

【0009】而して、所定の位置にワークを配置して、
1台のカメラでワークにおけるマークが形成されている
部位を撮影し、このマークを含めた所定の限定されたエ
リアをアライメントエリアとして登録する。次に、この
アライメントエリアに対して、好ましくはアライメント
エリアの内部における所定の位置を原点位置として設定
・登録する。そして、マークはワークにおいて、線対称
の位置に一対設けられているから、1台のカメラの画像
に基づいて一方のアライメントエリア及び原点位置を設
定・登録すると、他方のマークを原点としたアライメン
トエリア及び原点位置は、前述のようにして設定・登録
したアライメントエリア及び原点位置と裏返しの位置に
自動登録できる。このように、一方のアライメントエリ
アと原点位置とに基づいて他方のアライメントエリア及
び原点位置を決定することによって、両マークについて
のアライメントエリア及び原点位置は正確にマッチング
が取れる。
Then, the work is placed at a predetermined position,
A part of the workpiece where the mark is formed is photographed by one camera, and a predetermined limited area including the mark is registered as an alignment area. Next, with respect to this alignment area, preferably, a predetermined position inside the alignment area is set and registered as the origin position. Since a pair of marks are provided on the workpiece at line symmetric positions, if one alignment area and origin position are set and registered based on the image of one camera, the alignment area with the other mark as the origin is set. The origin position and the origin position can be automatically registered in the alignment area and the origin position that are set / registered as described above and the inside-out position. Thus, by determining the other alignment area and the origin position based on the one alignment area and the origin position, the alignment area and the origin position for both marks can be accurately matched.

【0010】以上のようにしてアライメントエリア及び
原点位置の設定・登録がなされると、ワークを自動搭載
機等に装架して、第1,第2のカメラによる視野範囲内
に送り込む。そして、これら第1,第2のカメラによっ
て、マークを手懸かりとしてアライメントエリアに対応
するエリアをサーチする。このアライメントエリアが検
出されると、このアライメントエリアにより定まる当該
のワークにおける原点位置に対応する基準位置を割り出
す。そして、このようにして割り出した基準位置につい
て、登録された原点位置を中心とした座標軸上の位置を
演算する。この演算結果に基づいて、ワークのXY方向
及びθ方向の位置のずれが検出され、この検出データに
基づいて自動搭載機等の駆動機構を作動させることによ
って、極めて精度良く位置調整を行うことができる。従
って、ワークを相手方のワークに厳格に位置合わせした
状態にして重ね合わせることができる。
When the alignment area and the origin position are set and registered as described above, the work is mounted on an automatic mounting machine or the like and sent into the visual field range of the first and second cameras. Then, with these first and second cameras, the area corresponding to the alignment area is searched using the mark as a clue. When this alignment area is detected, a reference position corresponding to the origin position in the work concerned which is determined by this alignment area is calculated. Then, with respect to the reference position thus determined, the position on the coordinate axis centering on the registered origin position is calculated. Based on the result of this calculation, the position shift of the workpiece in the XY direction and the θ direction is detected, and the drive mechanism such as the automatic mounting machine is operated based on the detected data, whereby the position adjustment can be performed extremely accurately. it can. Therefore, the work can be superposed in a state where the work is strictly aligned with the other work.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。本実施例においては、図1に示したよう
に、液晶パネルのセル1にTCP2を貼り合わせるため
のTCP自動搭載機として構成したものを示す。セル1
には微細なピッチ間隔で多数のセル側電極1aが設けら
れており、またTCP2にもこのセル側電極1aと同じ
ピッチ間隔で多数のTCP側電極2aが形成されてい
る。そして、セル1を貼り合わせステーションに搬送し
て、位置決め機構によって位置決めした状態で、TCP
自動搭載機にTCP2を保持させて、このTCP2を搬
入し、このTCP2を両電極1a,2aが正確に重なり
合うように相対位置決めして重ね合わせて貼り合わせる
ようにする。このように、セル1とTCP2とを相対位
置決めを可能ならしめるために、セル1とTCP2とに
は、それぞれ位置決めマーク3,4が形成されている。
図面においては、セル1側の位置決めマーク3は正方形
のマークからなり、TCP2側の位置決めマークは両端
部の電極をこの電極の引き回し方向と直交する方向に端
部側に向けて延在させた2本の線で形成されている。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. In this embodiment, as shown in FIG. 1, a TCP automatic mounting machine for bonding the TCP 2 to the cell 1 of the liquid crystal panel is shown. Cell 1
Are provided with a large number of cell-side electrodes 1a at fine pitch intervals, and the TCP 2 is also formed with a large number of TCP-side electrodes 2a at the same pitch intervals as the cell-side electrodes 1a. Then, the cell 1 is transported to the bonding station and positioned by the positioning mechanism, and the TCP
The TCP2 is held by the automatic mounting machine, the TCP2 is carried in, and the TCP2 is relatively positioned so that the electrodes 1a and 2a are accurately overlapped with each other, and the TCP2 is laminated and bonded. In this way, the positioning marks 3 and 4 are formed on the cell 1 and the TCP 2, respectively, in order to enable the relative positioning of the cell 1 and the TCP 2.
In the drawing, the positioning mark 3 on the cell 1 side is a square mark, and the positioning mark on the TCP 2 side has electrodes on both ends extended toward the end side in a direction orthogonal to the routing direction of this electrode. It is formed by the lines of a book.

【0012】このTCP自動搭載機の装置構成は、図2
に示したように、TCP2を保持して、その位置決めを
行う位置決めユニット10と、画像認識ユニット20
と、制御部30とから構成される。位置決めユニット1
0は、水平面での横方向(X軸方向)と縦方向(Y軸方
向)、高さ方向(Z方向)及び回転方向(θ方向)の4
軸テーブル11を有し、この4軸テーブル11にTCP
2を保持させるようになっている。4軸テーブル11は
ステッピングモータ等のように、微細な位置制御が可能
な駆動機構12により駆動されるものであって、この駆
動機構12はサーボ手段13により制御されるようにな
っている。
The device configuration of this TCP automatic loading machine is shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the TCP 2 is held and the positioning unit 10 for positioning the TCP 2 and the image recognition unit 20 are arranged.
And a control unit 30. Positioning unit 1
0 is 4 in the horizontal direction (X axis direction) and the vertical direction (Y axis direction), the height direction (Z direction), and the rotation direction (θ direction) on the horizontal plane.
It has an axis table 11, and TCP is attached to this 4-axis table 11.
It is designed to hold 2. The four-axis table 11 is driven by a drive mechanism 12 capable of fine position control, such as a stepping motor, and the drive mechanism 12 is controlled by a servo means 13.

【0013】画像認識ユニット20は、2台のテレビカ
メラ21a,21bと、画像制御部22と、モニタテレ
ビ23a,23bとを備えている。画像制御部22は、
2台のテレビカメラ21a,21bのうちの第1のテレ
ビカメラ21aにおける画面上において、位置決めマー
クを含む所定の範囲をアライメントエリアとして設定
し、またこのアライメントエリア内の所定の位置を+字
マークで示す原点位置を入力する手段等を含むものであ
る。
The image recognition unit 20 includes two television cameras 21a and 21b, an image control unit 22, and monitor televisions 23a and 23b. The image control unit 22
On the screen of the first TV camera 21a of the two TV cameras 21a and 21b, a predetermined range including a positioning mark is set as an alignment area, and a predetermined position in this alignment area is indicated by a + character. It includes means for inputting the origin position shown.

【0014】制御部30は、図3に示したように、第1
のテレビカメラ21aの画面上で設定したアライメント
エリアと原点位置とを設定・登録する第1のアライメン
トエリア登録部31a及び第1の原点位置登録部32a
と、これら第1のアライメントエリア及び原点位置に基
づいて、第2のテレビカメラ21bの画面上での第2の
アライメントエリア及び第2の原点位置を登録する第2
のアライメントエリア登録部31b及び第2の原点位置
登録部32bと備えている。そして、第1,第2のテレ
ビカメラ21a,21bからの画像を取り込んで、第
1,第2のアライメントエリア登録部31a,31bに
登録されているデータと比較して、これら第1,第2の
アライメントエリアに対応する部位をサーチする第1,
第2のエリアサーチ部33a,33bと、このエリアサ
ーチ部33a,33bでサーチされた第1,第2のアラ
イメントエリアに相当する部位において、第1,第2の
原点位置登録部32a,32bに登録されている原点位
置と、第1,第2のテレビカメラ21a,21bで取得
した画像のアライメントエリアに相当する範囲内での原
点位置に相当する基準位置を割り出して、それぞれ原点
位置を中心とした座標軸上の位置を検出する第1,第2
の座標位置検出部34a,34bとを有する。さらに、
これら第1,第2の座標位置検出部34a,34bで検
出した座標位置から、TCP2のXYθ方向の位置ずれ
を演算する演算部35が設けられている。さらにまた、
TCP2を原点位置からセル1に正確に重なり合う位置
にまでの移動量が予め標準移動量設定部36に設定され
るようになっており、この標準移動量設定部36のTC
P2の標準移動量に関する信号に、演算部35により演
算されたTCP2のXYθ方向における位置ずれ量に関
する信号が加算器37で加算されて、この信号がサーボ
手段13に入力されて、このサーボ手段13による4軸
テーブル11の制御信号が作り出されることになる。
The control unit 30, as shown in FIG.
Alignment area registration unit 31a and first origin position registration unit 32a for setting and registering the alignment area and the origin position set on the screen of the television camera 21a of
And a second registration area and a second origin position on the screen of the second television camera 21b based on the first alignment area and the origin position.
And an alignment area registration unit 31b and a second origin position registration unit 32b. Then, the images from the first and second television cameras 21a and 21b are captured and compared with the data registered in the first and second alignment area registration units 31a and 31b, and the first and second alignment areas are registered. To search for a site corresponding to the alignment area of
The second area search units 33a and 33b, and the first and second origin position registration units 32a and 32b at the portions corresponding to the first and second alignment areas searched by the area search units 33a and 33b. The registered origin position and the reference position corresponding to the origin position within the range corresponding to the alignment area of the images acquired by the first and second television cameras 21a and 21b are determined, and the origin position is set as the center. First and second to detect the position on the coordinate axis
Coordinate position detection units 34a and 34b. further,
A calculator 35 is provided for calculating the displacement of the TCP2 in the XYθ directions from the coordinate positions detected by the first and second coordinate position detectors 34a and 34b. Furthermore,
The movement amount from the origin position to the position where TCP2 exactly overlaps the cell 1 is set in advance in the standard movement amount setting unit 36, and the TC of the standard movement amount setting unit 36 is set.
A signal related to the amount of positional deviation of TCP2 in the XYθ directions calculated by the calculation unit 35 is added to the signal related to the standard movement amount of P2 by the adder 37, and this signal is input to the servo means 13, and this servo means 13 is added. A control signal for the four-axis table 11 is generated by

【0015】而して、まずセル1を貼り合わせステーシ
ョンにおける所定の位置に配置して、その位置決めマー
ク3を基準として位置決めを行う。ここで、セル1に設
けた位置決めマーク3は重心位置を有する正方形のもの
であるから、この位置決めマーク3の重心位置に基づい
て位置決めできる。
Then, first, the cell 1 is arranged at a predetermined position in the bonding station, and the positioning is performed with the positioning mark 3 as a reference. Since the positioning mark 3 provided on the cell 1 is a square having a barycentric position, the positioning can be performed based on the barycentric position of the positioning mark 3.

【0016】この状態で、第1,第2のテレビカメラ2
1a,21bで、このセル1の位置決めマーク3をそれ
ぞれ視野範囲に入れて、装置を設定・登録モードとす
る。この状態で、第1,第2のテレビモニタ23a,2
3bにおいて画像を表示して、操作者が画像を目視しな
がら、これを4軸テーブル11にTCP2を保持させ
て、このTCP2の位置決めマーク4がそれぞれ第1,
第2のテレビカメラ21a,21bの視野内に移動させ
る。この状態で、画像制御部22を操作して、図4に示
したように、アライメントエリア表示Eを画面上で動か
して、位置決めマーク4の位置に合わせる。また、アラ
イメントエリアの位置が決定されると、このアライメン
トエリア表示Eの内部における所定の位置に+字マーク
からなる原点表示Oを配置する。
In this state, the first and second television cameras 2
At 1a and 21b, the positioning marks 3 of the cell 1 are put into the visual field range, respectively, and the device is set to the setting / registration mode. In this state, the first and second television monitors 23a, 2
While displaying the image in 3b, the operator holds the TCP2 on the four-axis table 11 while visually checking the image, and the positioning marks 4 of the TCP2 indicate the first and second positions, respectively.
The second television cameras 21a and 21b are moved into the field of view. In this state, the image control unit 22 is operated to move the alignment area display E on the screen to align it with the position of the positioning mark 4, as shown in FIG. Further, when the position of the alignment area is determined, the origin display O consisting of a + character is arranged at a predetermined position inside the alignment area display E.

【0017】これらアライメントエリア及び原点位置の
登録を行うと、制御部30における第1のアライメント
エリア登録部31a及び第1の基準位置登録部32a
に、前述のようにして設定したアライメントエリア及び
原点位置が登録される。なお、ここでTCP2の位置決
めマーク4が、第1,第2のテレビカメラ21a,21
bの視野範囲に入っておれば、このアライメントエリア
及び原点位置の設定・登録を行うことができるが、TC
P2をセル1に対してできるだけ平行で、しかも所定の
位置に配置されている方が実際に位置合せを行う上で望
ましい。
When the alignment area and origin position are registered, the first alignment area registration section 31a and the first reference position registration section 32a in the control section 30 are registered.
At, the alignment area and the origin position set as described above are registered. In addition, here, the positioning mark 4 of the TCP 2 corresponds to the first and second television cameras 21a, 21.
You can set and register this alignment area and origin position if you are within the field of view of b.
It is desirable that P2 is arranged as parallel as possible to the cell 1 and at a predetermined position for actual alignment.

【0018】ここで、位置決めマーク4はTCP2にお
いて、線対称の位置に一対形成されているから、第1の
テレビモニタ23aの画面上で位置決めマーク4を基準
としてアライメントエリア及び原点位置を登録すると、
第2のテレビモニタ23bの画面上で改めてアライメン
トエリアと原点位置とを設定しなくとも、第1のテレビ
モニタ23aの画面上でのアライメントエリア及び原点
位置に対して裏返しとなる位置が第2のテレビモニタ2
3bの画面上でのアライメントエリア及び原点位置が表
示される。従って、このデータが第2のアライメントエ
リア及び原点位置として登録する。而して、これらを第
2のアライメントエリア及び原点位置を個別的に設定す
ると、相互の位置が一致しなくなるおそれがあるので、
第1のアライメントエリア及び第1の原点位置の設定・
登録が行われると、第2のアライメントエリア及び第2
の原点位置は、それらの裏返しの位置となるように、第
2のアライメントエリア登録部31b及び第2の原点位
置登録部32bに自動設定できるようにしている。
Here, since a pair of positioning marks 4 are formed at positions of line symmetry in the TCP 2, if the alignment area and the origin position are registered on the screen of the first television monitor 23a with the positioning mark 4 as a reference,
Even if the alignment area and the origin position are not set again on the screen of the second television monitor 23b, the position that is the inside out of the alignment area and the origin position on the screen of the first television monitor 23a is the second position. TV monitor 2
The alignment area and the origin position on the screen of 3b are displayed. Therefore, this data is registered as the second alignment area and the origin position. Therefore, if these are set individually for the second alignment area and the origin position, the mutual positions may not match.
Setting the first alignment area and first origin position
Once registered, the second alignment area and second
The origin position of is set to the second alignment area registration unit 31b and the second origin position registration unit 32b so that they are turned over.

【0019】以上のアライメントエリア及び原点位置の
設定・登録操作の手順は、図5に示したようになる。こ
のようにして各一対のアライメントエリア及び原点位置
が登録されると、TCP2の標準となる位置が定まり、
このTCP2を位置合せした状態にしてセル1に重ね合
せるために必要な移動量が演算される。これが標準移動
量設定部36に記録される。即ち、TCP2がこの標準
となる位置に配置されている際には、4軸テーブル11
をこの標準移動量設定部36に設定されているXY方向
(及びθ方向)に移動させれば、このTCP2の電極2
aがセル1の電極1aに正確に重なり合う状態に重ね合
わせることができる。
The procedure for setting / registering the alignment area and the origin position described above is as shown in FIG. When the pair of alignment areas and the origin position are registered in this way, the standard position of TCP2 is determined,
The amount of movement required to superpose the TCP 2 on the cell 1 in the aligned state is calculated. This is recorded in the standard movement amount setting unit 36. That is, when the TCP2 is arranged in this standard position, the 4-axis table 11
Is moved in the XY directions (and θ directions) set in the standard movement amount setting unit 36, the electrode 2 of the TCP2 is moved.
It is possible to superimpose a on the electrode 1a of the cell 1 so as to exactly overlap.

【0020】以上のようにして、アライメントエリア及
び原点位置の設定・登録が行われると、次に実際にセル
1に対するTCP2の自動搭載が行われる。而して、セ
ル1を貼り合わせステーションに搬入して、それを所定
の位置に位置決めする。このセル1の位置決めは、画像
認識ユニット20におけるテレビカメラ21a,21b
で得られる画像認識により行われるが、セル1には重心
位置を有する位置決めマーク3が形成されているから、
周知の手法で正確な位置決めを行うことができる。
After the alignment area and the origin position are set and registered as described above, the TCP 2 is actually automatically mounted on the cell 1. Then, the cell 1 is carried into the laminating station and positioned at a predetermined position. The positioning of the cell 1 is performed by the television cameras 21a and 21b in the image recognition unit 20.
The image is obtained by recognizing the image, but since the positioning mark 3 having the center of gravity is formed in the cell 1,
Accurate positioning can be performed by a known method.

【0021】そして、TCP2を位置決めユニット10
を構成する4軸テーブル11に装架して、この4軸テー
ブル11を、その両端近傍位置に形成されている位置決
めマーク4が画像認識ユニット20を構成する第1,第
2のテレビカメラ21a,21bの視野範囲内に入る位
置に搬入する。そして、これら第1,第2のテレビカメ
ラ21a,21bの画像は第1,第2のエリアサーチ部
33a,33bに取り込まれて、第1,第2のアライメ
ントエリア登録部31a,31bに登録されているパタ
ーンと一致するパターンをサーチする。そして、アライ
メントエリアと同じパターンが検出されると、第1,第
2の座標位置検出部34a,34bにおいて、第1,第
2の基準位置登録部32a,32bに登録されている原
点位置に関するデータに基づいて、この原点位置が原点
となったXY座標として、当該のTCP2の基準位置の
位置を検出する。これによって、図6に示したように、
第1,第2のテレビカメラ21a,21bの画像領域に
おいて、基準位置S1 ,S2 のXY座標軸の位置が検出
される。この信号が演算部35に伝送されて、この演算
部35において、X軸方向及びY軸方向におけるずれ量
が演算されると共に、基準位置S1 ,S2 間を結ぶ線と
XY座標の原点を結ぶ線との間の角度θが測定される。
Then, the TCP2 is set to the positioning unit 10
Is mounted on the four-axis table 11 that constitutes the image recognition unit 20, and the positioning marks 4 formed at positions near both ends of the four-axis table 11 constitute the image recognition unit 20. It is carried into a position within the visual field range of 21b. Then, the images of the first and second television cameras 21a and 21b are taken into the first and second area search units 33a and 33b and registered in the first and second alignment area registration units 31a and 31b. Search for a pattern that matches the existing pattern. When the same pattern as the alignment area is detected, data relating to the origin position registered in the first and second reference position registration units 32a and 32b in the first and second coordinate position detection units 34a and 34b. Based on the above, the position of the reference position of the TCP 2 is detected as the XY coordinate with the origin position as the origin. As a result, as shown in FIG.
In the image areas of the first and second television cameras 21a and 21b, the positions of the XY coordinate axes of the reference positions S 1 and S 2 are detected. This signal is transmitted to the calculation unit 35, and the calculation unit 35 calculates the deviation amount in the X-axis direction and the Y-axis direction, and at the same time, establishes the line connecting the reference positions S 1 and S 2 and the origin of the XY coordinates. The angle θ with the connecting line is measured.

【0022】このようにして測定されたXYθの各方向
におけるずれ量に関する信号は、加算器37において標
準移動量設定部36において設定されている標準移動量
に関する信号が加算されて、サーボ手段13に移動量に
関する信号が供給され、この信号に基づいてサーボ手段
13から駆動機構12に駆動制御信号が入力されて、4
軸テーブル11が作動して、この4軸テーブル11に装
架されているTCP2がセル1の上部位置において、電
極2aがセル1の電極1aの上部位置に位置決めされ
る。この状態でTCP2を下降させることによって、T
CP2がセル1に重ね合わせられることになる。
The signal relating to the amount of deviation in each direction of XYθ measured in this way is added to the signal relating to the standard movement amount set by the standard movement amount setting unit 36 in the adder 37, and then added to the servo means 13. A signal relating to the amount of movement is supplied, and a drive control signal is input from the servo means 13 to the drive mechanism 12 based on this signal.
The axis table 11 operates to position the TCP 2 mounted on the 4-axis table 11 at the upper position of the cell 1 and the electrode 2a at the upper position of the electrode 1a of the cell 1. By lowering TCP2 in this state, T
CP2 will be superimposed on cell 1.

【0023】そして、このTCP2とセル1との間を接
着等の手段で固定することによって、両者の貼り合わせ
が行われる。然る後に、セル1を移動させて、次のTC
P2を貼り合わせる位置にまで搬送し、この位置でセル
1の位置決めを行い、前述した操作を繰り返すことによ
って、TCP2の貼り合わせが順次行われる。
Then, the TCP 2 and the cell 1 are fixed to each other by means of adhesion or the like, so that they are bonded together. After that, move cell 1 to the next TC
The P2 is conveyed to a bonding position, the cell 1 is positioned at this position, and the above-described operation is repeated to sequentially bond the TCP2.

【0024】TCP2の位置決めマーク4の位置が正確
に配置されておれば、一度アライメントエリア及び原点
位置の設定・登録を行えば、その変更を行う必要はない
が、セル1とTCP2との位置合わせは極めて厳格に行
わなければならず、位置決めマーク4の位置が僅かでも
ずれると、両ワークの電極1a,2aの位置が合わなく
なるので、例えばTCPの製造ロット毎にアライメント
エリア及び原点位置の設定・登録を行うようにすれば良
い。而して、この設定・登録はテレビモニタ上でカーソ
ルを動かすこと等によって行うことができるので、その
操作は極めて簡単である。
If the position of the positioning mark 4 of the TCP2 is accurately arranged, it is not necessary to change it once the alignment area and origin position are set / registered, but the alignment of the cell 1 and the TCP2 is not necessary. Must be performed extremely strictly, and even if the position of the positioning mark 4 deviates even slightly, the positions of the electrodes 1a and 2a of both works will not match. Therefore, for example, the alignment area and the origin position should be set for each TCP manufacturing lot. All you have to do is register. Since this setting / registration can be performed by moving the cursor on the television monitor, the operation is extremely simple.

【0025】なお、前述の実施例においては、TCPを
セルに貼り合わせるものとして説明したが、要はワーク
を正確に位置合わせして貼り合わせるものであれば良
く、これ以外にも各種の重ね合わせ装置として用いるこ
とができるのは言うまでもない。また、位置決めマーク
としては、図示のものに限らず、他の部位と識別できる
ものであれば、各種の図形,記号等を用いることがで
き、重心位置のある図形であっても良い。
In the above-mentioned embodiment, the TCP is bonded to the cell, but it is essential only that the work be accurately aligned and bonded. It goes without saying that it can be used as a device. Further, the positioning mark is not limited to the one shown in the figure, and various figures, symbols, etc. can be used as long as they can be distinguished from other parts, and a figure with a center of gravity position may be used.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、線対称
に配置した一対の位置決め用のパターンが形成されてい
る2つのワークを相対位置決めするに当って、一方の位
置決め用のパターンを利用して、アライメントエリア及
び原点位置の設定・登録を行って、他方の位置決め用の
パターンについては、設定・登録を行ったアライメント
エリア及び原点位置の裏返しの位置として設定・登録
し、このようにして登録されたアライメントエリアにお
ける原点位置と、貼り合わせる側のワークを所定の位置
に配置した時に、この原点位置に対応する基準位置を検
出して、原点位置との間における水平面上でのずれを演
算し、この演算結果に基づいてワークの移動を制御する
構成としたので、重心位置のない位置決め用のパターン
が形成されているワークであっても、画像認識手段によ
って、極めて容易に、しかも極めて厳格にワークの重ね
合わせを行うことができる等の効果を奏する。
As described above, according to the present invention, one of the positioning patterns is used in the relative positioning of two works having a pair of positioning patterns arranged in line symmetry. Then, the alignment area and origin position are set / registered, and the other positioning pattern is set / registered as the inside-out position of the alignment area and origin position that was set / registered. When the origin position in the registered alignment area and the work to be bonded are placed at a predetermined position, the reference position corresponding to this origin position is detected and the deviation from the origin position on the horizontal plane is calculated. However, since the movement of the work is controlled based on the calculation result, the positioning pattern without the center of gravity position is formed. Even click, the image recognition unit, very easily, yet the effects of such very strictly it is possible to perform superposition of the workpiece.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】重ね合わせられる2つのワークの外観を示す図
である。
FIG. 1 is a diagram showing appearances of two works to be overlapped with each other.

【図2】TCP自動搭載機の装置の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a device of an automatic TCP loading machine.

【図3】制御部の構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a control unit.

【図4】第1のテレビモニタ上でのアライメントエリア
及び原点位置の登録操作を示す動作説明図である。
FIG. 4 is an operation explanatory view showing a registration operation of an alignment area and an origin position on the first television monitor.

【図5】アライメントエリア及び原点位置の登録手順の
フローチャート図である。
FIG. 5 is a flowchart of a registration procedure of an alignment area and an origin position.

【図6】TCPのずれ量を演算する演算部の作用説明図
である。
FIG. 6 is an operation explanatory view of a calculation unit that calculates a deviation amount of TCP.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セル 1a セル側電極 2 TCP(テープキャリアパッケージ) 3,4 位置決めマーク 10 位置決めユニット 11 4軸テーブル 12 駆動機構 13 サーボ手段 20 画像認識ユニット 21a,21b テレビカメラ 23a,23b テレビモニタ 30 制御部 31a,31b アライメントエリア登録部 32a,32b 基準位置登録部 34a,34b 座標位置検出部 35 演算部 36 標準移動量設定部 37 加算器 1 Cell 1a Cell Side Electrode 2 TCP (Tape Carrier Package) 3,4 Positioning Mark 10 Positioning Unit 11 4 Axis Table 12 Drive Mechanism 13 Servo Means 20 Image Recognition Unit 21a, 21b Television Camera 23a, 23b Television Monitor 30 Control Unit 31a, 31b Alignment area registration unit 32a, 32b Reference position registration unit 34a, 34b Coordinate position detection unit 35 Calculation unit 36 Standard movement amount setting unit 37 Adder

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 それぞれ線対称に配置した一対の位置決
め用のパターンが形成されている2つのワークを相対位
置決めして、重ね合わせるための位置合わせ装置であっ
て、両ワークの一方のパターンが形成されている部位を
撮影する第1のカメラと、両ワークの他方のパターンが
形成されている部位を撮影する第2のカメラと、第1の
カメラの視野範囲において、それぞれに位置決め用のパ
ターンを含む部位をアライメントエリアとして設定・登
録するエリア登録部と、このアライメントエリアに対し
て所定の位置を原点位置として登録する原点位置登録部
と、この第1の画像認識手段により設定されたアライメ
ントエリア及び原点位置と対称位置にアライメントエリ
ア及び原点位置を設定する第2のアライメントエリア・
原点位置登録部と、前記第1,第2のカメラで撮影した
ワークにおけるアライメントエリア及びこのアライメン
トエリアにおける原点位置に対応する基準位置の画像上
の位置を認識して、登録された原点位置とのXY方向及
び回転方向のずれを検出する演算手段と、この演算手段
からの信号に基づいて、前記両ワークを重ね合わせる際
における移動量を補正する構成としたことを特徴とする
位置合わせ装置。
1. A positioning device for relatively positioning and superposing two works, each of which is provided with a pair of positioning patterns arranged in line symmetry, wherein one pattern of both works is formed. The first camera for photographing the region where the pattern is formed, the second camera for photographing the region where the other pattern of both workpieces is formed, and the positioning pattern for the visual field range of the first camera. An area registration unit that sets / registers a part including the position as an alignment area, an origin position registration unit that registers a predetermined position with respect to the alignment area as an origin position, an alignment area set by the first image recognition unit, and A second alignment area that sets the alignment area and origin position symmetrical to the origin position.
The origin position registration unit recognizes the alignment area in the work photographed by the first and second cameras and the position on the image of the reference position corresponding to the origin position in this alignment area, and recognizes the registered origin position. An alignment device comprising a calculation means for detecting a deviation in the XY directions and a rotation direction, and a movement amount when the two works are superposed on each other, based on a signal from the calculation means.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100420240B1 (en) * 1995-10-02 2004-07-22 우시오덴키 가부시키가이샤 Wafer peripheral exposure method and apparatus
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JP2007043007A (en) * 2005-08-05 2007-02-15 Shibaura Mechatronics Corp Method and device for component mounting

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