JPH0795119B2 - 電子線照射装置のビームシャッタ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、照射窓を開閉してこの照射窓から照射され
る電子線を遮蔽する電子線照射装置のビームシャッタに
関するものである。

〔従来の技術〕

電子線照射装置は、高真空中で発生させた電子を加速
し、この加速された電子を大気中に取り出して物体に照
射することによりその物体に化学反応を起こさせる装置
である。

電子線照射装置では、例えば照射時間の制御や窓箔の保
護のためにビームシャッタが用いられる。すなわち、ビ
ームシャッタを使用することにより、電子ビームが発生
した後、安定状態になるまでは遮断しておき、安定状態
になってから照射を開始することができる。そのため照
射時間の制御が容易になる。また、電子流を出さないと
きやメンテナンス時に、照射窓の窓箔を覆って保護した
り、不慮のライン停止時に電子線を遮断し、被照射物に
過度の電子線が照射されるのを防止することにも利用で
きる。

第３図ないし第５図は従来の走査型電子線照射装置の一
例を示す。図において、51aは真空容器51の走査管部で
あり、走査方向に末広がりとなったテーパ状に形成され
ている。走査管部51aは、窓箔59を張った照射窓60を下
面に有し、照射窓60を開閉するビームシャッタ52が走査
管部51aの下方に設けてある。ビームシャッタ52は、第
４図に示すように、リンク機構53に取付けてあり、エア
シリンダ54の駆動により同図の実線で示す位置と鎖線で
示す位置との間に横移動する。

ビームシャッタ52は、電子線を浴びることにより発熱す
るため、第５図に示すように冷却水の循環パイプ56を蛇
行状に設けてある。循環パイプ56は、ステンレス板から
なる箱状のシャッタ本体55内に収納してある。循環パイ
プ56の両端には給水および排水用チューブの接続口57,5
8か設けてある。

この構成によると、ビームシャッタ52で走査管部51aの
照射窓60を閉じることにより、電子ビームの遮断が行わ
れる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、ビームシャッタ52は照射窓60側に向いた面がス
テンレス板で形成されているため、大部分の電子線が透
過できず、加速電子が表面で散乱し、照射窓60の窓箔59
に当たる。そのため、窓箔59が劣化するという問題点が
ある。

この発明の目的は、加速電子の散乱を減少できる電子線
照射装置のビームシャッタを提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

この電子線照射装置のビームシャッタは、内部が冷却水
の循環路となるシャッタ本体の照射窓側面を解放し、こ
の面を電子線の透過が可能な金属箔で覆ったものであ
る。

〔作用〕

この発明の構成によると、電子線を受ける照射窓側面を
金属箔としたので、照射窓から照射される電子線が金属
箔を透過し、内部の冷却水によりエネルギを失う。これ
によって加速電子の散乱が減少する。

〔実施例〕

この発明の一実施例を第１図および第２図に基づいて説
明する。このビームシャッタは、上面が解放された箱状
のシャッタ本体１を設け、シャッタ本体１の上面を金属
箔２で覆ったものである。シャッタ本体１の上面は照射
窓に向ける面である。シャッタ本体１内は、複数枚の平
行な仕切壁３で仕切ることにより、全体にわたって冷却
水の循環路を蛇行状に形成してある。循環路４の両端
は、シャッタ本体１の端面に突出した接続口5,6に連通
し、これら接続口5,6に接続したフレキシブルチューブ
により冷却水の供給手段に接続する。

第２図に示すように、金属箔２は、シャッタ本体１の上
面周縁に設けたフランジ1aと枠体７との間で挟むことに
より取付ける。

シャッタ本体１は、ステンレス製の板等で形成する。金
属箔２は、電子線の透過が可能な金属、例えばアルミ
箔，銅箔，チタン箔を用いることができるが、電子線の
透過性が良くかつオゾンの腐食を受けないことから、チ
タン箔（30μｍ以下）を用いることが望ましい。

このビームシャッタは、例えば第４図のリンク機構53に
ビームシャッタ52に代えて取付ける。

この構成のビームシャッタよると、電子線の照射される
面を金属箔２としたので、照射窓から照射される電子線
が金属箔２を透過し、内部の循環路３を循環する冷却水
によりエネルギを失う。これによって加速電子の散乱が
減少し、照射窓の窓箔の劣化が低減する。冷却水に吸収
された電子はアースから放出される。

散乱電子の減少は、加速電圧にもよるが、通常は次の程
度である。すなわち、従来例ではビームシャッタで受け
た電子ビームの中で50〜60％が散乱していたところが、
この実施例では20〜30％程度に減少する。

なお、前記実施例では走査型の電子線照射装置に適用し
た場合について説明したが、この発明は非走査型の電子
線照射装置に適用することもできる。また、この発明の
ビームシャッタと同様な構成によりビームキャッチャー
を製作することもできる。

〔発明の効果〕

この発明の電子線照射装置のビームシャッタは、電子線
の照射される面を金属箔としたので、照射窓から照射さ
れる電子線が金属箔を透過し、内部の冷却水によりエネ
ルギを失う。これによって加速電子の散乱が減少し、照
射窓の劣化が緩和されるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図はその断
面図、第３図は従来の電子線照射装置の破断正面図、第
４図はその破断側面図、第５図は同じくそのビームシャ
ッタの斜視図である。 １……シャッタ本体、２……金属箔、３……仕切壁、４
……循環路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子線照射装置の電子線を取り出す照射窓
   を開閉可能に覆うビームシャッタにおいて、照射窓側面
   が解放されて内部が冷却水の循環路となるシャッタ本体
   を有し、このシャッタ本体の前記照射窓側面を電子線の
   透過が可能な金属箔で覆ったことを特徴とする電子線照
   射装置のビームシャッタ。