JPH0794973B2 - Appearance inspection method of soldering state - Google Patents

Appearance inspection method of soldering state

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JPH0794973B2 JP1330754A JP33075489A JPH0794973B2 JP H0794973 B2 JPH0794973 B2 JP H0794973B2 JP 1330754 A JP1330754 A JP 1330754A JP 33075489 A JP33075489 A JP 33075489A JP H0794973 B2 JPH0794973 B2 JP H0794973B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、半田付状態の外観検査方法に関するものであ
る。
The present invention relates to a visual inspection method for a soldering state.

(従来の技術) レーザ光による半田付状態の外観検査手段については、
従来、種々のものが提案されている(例えば特開昭63−
177042,177045号公報)。
(Prior Art) Regarding the appearance inspection means in the soldering state by laser light,
Conventionally, various types have been proposed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-
177042, 177045).

(発明が解決しようとする課題) ところが上記従来手段は、何れも、以下に述べるような
レーザ光の照射による半田付状態の外観検査にとって重
要な技術課題は未解決のままであった。
(Problems to be Solved by the Invention) However, in all of the above-mentioned conventional means, important technical problems for the visual inspection of the soldering state by the irradiation of laser light as described below have not been solved.

すなわち半田付状態のうち、特に重要なのは、リードの
先端部に形成された半田フィレットの形状であって、半
田付状態の合否は、半田フィレットの形状の良否に大き
く左右されるものである。したがって半田付状態の合否
を判断するためには、当然の事ながら、レーザ光を計測
対象である半田フィレットに確実に照射せねばならな
い。ところが基板に実装された電子部品は、設計位置若
しくは理想位置に対して位置ずれや寸法誤差等を有して
いることから、設計位置を予めティーチングしておき、
この設計位置に向ってレーザ光を照射しても、レーザ光
が半田フィレットに当るとは限らない。殊に近年は、高
密度高集積化の要請から、リードのピッチは極小化する
傾向にあって、0.3mm以下の小ピッチのものもあり、こ
のようなものは、わずかな位置ずれがあるとティーチン
グした位置に向ってレーザ光を照射しても、レーザ光は
計測対象である半田フィレット以外の地点に照射されて
しまい、誤った計測結果が入手されることとなる。
That is, of the soldered states, what is particularly important is the shape of the solder fillet formed at the tip of the lead, and whether the soldered state is acceptable or not is greatly affected by the shape of the solder fillet. Therefore, in order to judge whether the soldering state is acceptable or not, it is needless to say that the laser beam must be surely applied to the solder fillet to be measured. However, since the electronic components mounted on the board have positional deviations and dimensional errors with respect to the design position or the ideal position, teaching the design position in advance,
Even if the laser light is irradiated toward this design position, the laser light does not always hit the solder fillet. Particularly in recent years, due to the demand for high density and high integration, the pitch of leads tends to be minimized, and there are some with a small pitch of 0.3 mm or less. Even if the laser beam is emitted toward the taught position, the laser beam is emitted to a point other than the solder fillet which is the measurement target, and an incorrect measurement result is obtained.

また半田フィレットは、錫や鉛等の光沢のある金属であ
ることから、その表面は鏡面性を有する断面略山形状で
あり、レーザ光の照射方向や、受光手段の受光位置を工
夫しないと、反射光を確実に受光できず、ひいては計測
結果に狂いを生じることとなる。以上のように、レーザ
光を確実に半田フィレットに照射するための手段と、半
田フィレットに反射されたレーザ光を確実に受光するた
めの手段は未だ確立されていない実情にあった。
Further, since the solder fillet is a glossy metal such as tin or lead, the surface thereof has a substantially mountain-shaped cross-section with specularity, and unless the irradiation direction of the laser light or the light receiving position of the light receiving means is devised, The reflected light cannot be received reliably, and the measurement result is distorted. As described above, the means for surely irradiating the solder fillet with the laser light and the means for surely receiving the laser light reflected by the solder fillet have not been established yet.

そこで本発明は、上記のような半田付状態の外観検査に
特有の技術課題を解決するための手段、すなわちレーザ
光を確実に検査対象である半田フィレットに照射でき、
またその反射光を確実に受光できる手段を提供すること
を目的とする。
Therefore, the present invention is a means for solving the technical problem peculiar to the visual inspection of the soldering state as described above, that is, laser light can be reliably applied to the solder fillet to be inspected,
Another object of the present invention is to provide a means that can reliably receive the reflected light.

(課題を解決するための手段) このために本発明は、基板に搭載された電子部品のモー
ルド体から延出するリードの側方に第1のスタート点を
設定し、この第1のスタート点からリードを横切る方向
にレーザ光を掃引照射して、このリードに反射されたレ
ーザ光を受光することにより、このリードのセンターを
検出し、次いでこのセンターを通るリードの延出方向の
線上に第2のスタート点を設定し、この第2のスタート
点からリードの延出方向にレーザ光を掃引照射し、その
反射光を上記リードの延出方向に対して直交する方向の
斜上方に設けられた受光手段により受光して、リードの
先端部に形成された半田フィレットの形状を計測する。
(Means for Solving the Problem) For this purpose, the present invention sets a first start point on the side of a lead extending from a molded body of an electronic component mounted on a substrate, and the first start point is set. The center of this lead is detected by sweeping a laser beam in a direction that traverses the lead from the above and receiving the laser beam reflected by this lead, and then on the line extending in the lead direction passing through this center. The starting point of 2 is set, laser light is swept and irradiated from the second starting point in the extending direction of the lead, and the reflected light is provided obliquely above in the direction orthogonal to the extending direction of the lead. The light is received by the light receiving means and the shape of the solder fillet formed at the tip of the lead is measured.

(作用) 上記構成において、リードに対して、このリードを横切
る方向にレーザ光を掃引照射して、このリードに反射さ
れたレーザ光を受光することにより、このリードのセン
ターを検出する。次いでこのセンターを通るリードの延
出方向にレーザ光を掃引照射することにより、検査対象
である半田フィレットにレーザ光を照射する。またその
反射光を、上記リードの延出方向に対して直交する方向
の斜上方に設けられた受光手段により受光して、半田フ
ィレットの形状を計測する。
(Operation) In the above configuration, the center of the lead is detected by sweeping and irradiating the lead with laser light in the direction crossing the lead and receiving the laser light reflected by the lead. Next, the solder fillet to be inspected is irradiated with the laser beam by sweeping the laser beam in the extending direction of the lead passing through the center. Further, the reflected light is received by a light receiving means provided obliquely above in the direction orthogonal to the extending direction of the lead, and the shape of the solder fillet is measured.

(実施例) 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。(Example) Next, the Example of this invention is described, referring drawings.

第1図は半田付状態の外観検査装置の斜視図であって、
1は基板であり、その上面に電子部品(以下「チップ」
という)2が搭載されている。3はチップ2のモールド
体2aから側方へ多数本延出するリード、4はリード3の
先端部に形成された半田フィレットである。
FIG. 1 is a perspective view of a visual inspection apparatus in a soldered state,
Reference numeral 1 is a substrate, on the upper surface of which electronic components (hereinafter referred to as “chip”)
2) is installed. Reference numeral 3 is a lead extending laterally from the mold body 2a of the chip 2 and reference numeral 4 is a solder fillet formed at the tip of the lead 3.

5はレーザ装置であって、これから照射されたレーザス
ポット光は、ミラー6に反射されて半田フィレット4に
照射され、その反射光は受光手段7に入射する。その
際、ミラー6を2方向に回転させることにより、レーザ
光をXY方向に掃引照射する。8は集光素子、9はPSDの
ような位置検出素子である。図中、レーザ光は破線矢印
にて示している。
Reference numeral 5 denotes a laser device. The laser spot light emitted from the laser device 5 is reflected by the mirror 6 and applied to the solder fillet 4, and the reflected light enters the light receiving means 7. At that time, by rotating the mirror 6 in two directions, laser light is swept and irradiated in the XY directions. Reference numeral 8 is a condenser element, and 9 is a position detecting element such as PSD. In the figure, the laser light is indicated by a dashed arrow.

第2図及び第3図に示すように、ミラー6に反射された
レーザ光は、リード3や半田フィレット4の上方から照
射される。また受光手段7は、リード3の延出方向(Y
方向)に直交するX方向の斜上方に配設されている。こ
のようにレーザ光の照射方向や受光手段7の配設位置を
設定することにより、鏡面性を有する断面山形状の半田
フィレット4に反射されたレーザ光を、安定して確実に
受光することができる。第1図において、10は基板1に
形成された回路パターンのランド、Qは基板1の適所に
形成された位置基準マークであり、このマークQに対す
る各ランド10の座標位置は既知である。
As shown in FIGS. 2 and 3, the laser light reflected by the mirror 6 is emitted from above the leads 3 and the solder fillet 4. Further, the light receiving means 7 is arranged in the extending direction (Y
Direction) and is disposed obliquely above in the X direction. By setting the irradiation direction of the laser light and the arrangement position of the light receiving means 7 in this way, the laser light reflected by the solder fillet 4 having a mirror-shaped cross-section and a mountain-shaped cross section can be stably and reliably received. it can. In FIG. 1, 10 is a land of a circuit pattern formed on the substrate 1, Q is a position reference mark formed at an appropriate position on the substrate 1, and the coordinate position of each land 10 with respect to this mark Q is known.

本装置は上記のような構成より成り、次に半田付状態の
外観検査方法を説明する。
This apparatus has the above-mentioned configuration, and a method of visual inspection of the soldered state will be described next.

第3図及び第4図において、まずリード3の側方にスタ
ート点Aを設定し、ここからリード3を横切るX1方向に
レーザ光を掃引照射し、その反射光を受光手段7により
受光して、リード3のセンターBを検出する。このセン
ターBの検出は、各リード3毎にそれぞれ行われる。こ
のスタート点Aは、上述したように基板1の位置基準マ
ークQに対して既知の位置である各ランド10の側方に設
定される。次いでこのセンターBを通るY方向線上にス
タート点Cを設定し、リード3の延出方向(Y1方向)に
レーザ光を掃引照射し、半田フィレット4の形状を計測
する。
In FIG. 3 and FIG. 4, first, a start point A is set on the side of the lead 3, from which sweeping laser light is irradiated in the X1 direction across the lead 3, and the reflected light is received by the light receiving means 7. , The center B of the lead 3 is detected. The detection of the center B is performed for each lead 3. The start point A is set to the side of each land 10 which is a known position with respect to the position reference mark Q on the substrate 1 as described above. Next, a start point C is set on the Y-direction line passing through the center B, laser light is swept and irradiated in the extending direction of the leads 3 (Y1 direction), and the shape of the solder fillet 4 is measured.

このように本方法は、まずリード3のセンターBを検出
し、次いでこのセンターBを通るリード3の延出方向に
レーザ光を照射するようにしているので、チップ2にX
方向の位置ずれがあっても、レーザ光を確実に半田フィ
レット4に照射することができる。またリード3の延出
方向に対して直交する斜上方に受光手段7を設けている
ので、上方から半田フィレット4に照射されて、この半
田フィレット4に反射された光を、確実にかつ安定して
受光手段7に受光することができる。
As described above, according to this method, first, the center B of the lead 3 is detected, and then the laser beam is irradiated in the extending direction of the lead 3 passing through the center B.
Even if there is a positional shift in the direction, the solder fillet 4 can be reliably irradiated with the laser light. Further, since the light receiving means 7 is provided obliquely above the lead 3 in the extending direction, the solder fillet 4 irradiated from above and reflected by the solder fillet 4 can be reliably and stably provided. The light can be received by the light receiving means 7.

ところで、チップの中には、例えば第8図に示すミニト
ランジスタ2のように、リード3がモールド体2aの側壁
に沿って急勾配で屈曲しているものがある。このような
ものに、予め定められたY方向の計測エリアaに沿って
レーザ光を掃引照射して、半田フィレット4の形状を計
測する場合、チップ2がY方向に距離l位置ずれしてい
ると、レーザ光はリード3の肩部3aに反射され、この肩
部3aの高さを半田フィレット4の最大高さと誤認してし
まう。図中、鎖線は位置ずれのないチップを示してい
る。このような誤判断は、ミニトランジスタ以外にも、
タンタルコンデンサやコイルなどの急勾配のリードを有
するチップ、更にはQFPやSOPなどの側方に長く延出する
リードを有するチップにも生じやすいものである。そこ
で次に、このようにY方向の位置ずれがあっても、レー
ザ光を半田フィレットに確実に照射できる手段を説明す
る。
By the way, in some chips, for example, the mini-transistor 2 shown in FIG. 8, the leads 3 are bent at a steep slope along the side wall of the molded body 2a. When the shape of the solder fillet 4 is measured by sweeping and irradiating a laser beam along such a predetermined measurement area a in the Y direction, the chip 2 is displaced by the distance 1 in the Y direction. Then, the laser light is reflected by the shoulder 3a of the lead 3 and the height of the shoulder 3a is mistakenly recognized as the maximum height of the solder fillet 4. In the figure, the chain line indicates a chip with no displacement. Such misjudgment is
It is also likely to occur in chips with steep leads such as tantalum capacitors and coils, and also in chips with long lateral leads such as QFP and SOP. Therefore, next, a means for reliably irradiating the solder fillet with the laser beam even if there is such a displacement in the Y direction will be described.

第5図において、チップ2にかなりのY方向の位置ずれ
があっても、モールド体2aの上面若しくはリード3の基
端部3aの上面から半田フィレット4の先端部まで十分に
カバーできる計測エリアa1を設定し、このエリアa1に沿
って、第1回目のレーザ光の掃引照射を行うことによ
り、このエリアa1におけるチップ2の外観を計測する。
N1は掃引ラインである。
In FIG. 5, even if the chip 2 is significantly displaced in the Y direction, a measurement area a1 that can sufficiently cover from the upper surface of the molded body 2a or the upper surface of the base end 3a of the lead 3 to the tip of the solder fillet 4. Is set, and the first sweeping irradiation of the laser light is performed along this area a1 to measure the appearance of the chip 2 in this area a1.
N1 is a sweep line.

第6図はその結果を示すものである。図中、HMAXはチッ
プ2の上面の高さであり、この高さHMAXに対して、所定
比(例えば0.7)の高さ0.7HMAXの地点Sを検出する。次
いでこの地点Sから半田フィレット4の先端部へ向って
所定のオフセット距離eの位置にオフセット点Soffset
を設定する。次いでこのオフセット点Soffsetから半田
フィレット4の先端部側へ向って、第2回目の計測エリ
アa2を設定し、破線矢印N2で示すように、このオフセッ
ト点Soffsetを第2回目の計測のスタート点としてレー
ザ光を掃比照射し、半田フィレット4の形状を詳細に計
測する。第7図はその計測結果を示すものである。
FIG. 6 shows the result. In the figure, HMAX is the height of the upper surface of the chip 2, and a point S having a height 0.7HMAX of a predetermined ratio (for example, 0.7) with respect to this height HMAX is detected. Next, an offset point Soffset is set at a predetermined offset distance e from this point S toward the tip of the solder fillet 4.
To set. Next, the second measurement area a2 is set from this offset point Soffset toward the tip of the solder fillet 4, and this offset point Soffset is used as the start point of the second measurement, as indicated by the dashed arrow N2. A laser beam is irradiated at a sweep ratio to measure the shape of the solder fillet 4 in detail. FIG. 7 shows the measurement result.

このように本方法によれば、チップ2にY方向の位置ず
れがあっても、半田付状態の合否判断にきわめて重要な
半田フィレット(リードの先端部から下り勾配で延出す
る部分)に確実にレーザ光を照射して、その形状を確実
に計測することができる。上記0.7,eなどの数値は、チ
ップの品種や要求される形状精度に応じて予め定められ
る。
As described above, according to this method, even if the chip 2 is misaligned in the Y direction, the solder fillet (the portion extending downward from the tip of the lead) that is extremely important for determining whether the soldering state is acceptable or not is surely secured. The shape can be reliably measured by irradiating a laser beam on the. Numerical values such as 0.7 and e are set in advance according to the type of chip and required shape accuracy.

また半田付状態の外観検査は、できるだけ高速、広範囲
にて行うことが望ましいが、本方法はレーザ光の掃引照
射を2回行わねばならないため、時間を要する難点があ
る。したがって第2回目の計測エリアa2のスタート点を
決定するために行われる第1回目の掃引照射は粗に行い
(例えば2mm/100ポイント)、半田フィレットの形状を
詳細に計測するために行われる第2回目の掃引照射は、
密に(例えば0.5mm/100ポイント)行えば、検査速度を
上げることができる。
Further, it is desirable that the appearance inspection of the soldering state is performed in a wide range as fast as possible, but this method has a drawback that it takes time because the laser beam sweep irradiation must be performed twice. Therefore, the first sweep irradiation, which is performed to determine the start point of the second measurement area a2, is roughly performed (for example, 2 mm / 100 points) and is performed to measure the shape of the solder fillet in detail. The second sweep irradiation,
Inspection speed can be increased by performing closely (for example, 0.5 mm / 100 points).

(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、電子部品にX方
向やY方向の位置ずれがあっても、半田フィレットに確
実にレーザ光を掃引照射し、且つその反射光を確実に受
光して、半田フィレットの形状を精密に計測できる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, even if the electronic component is displaced in the X direction or the Y direction, the solder fillet is reliably swept and irradiated with laser light, and the reflected light thereof is emitted. It is possible to reliably receive light and accurately measure the shape of the solder fillet.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図は本考案の実施例を示すものであって、第1図は半田
付状態の外観検査装置の斜視図、第2図は計測中の正面
図、第3図は同部分斜視図、第4図は同平面図、第5図
は側面図、第6図及び第7図は計測結果を示すグラフ
図、第8図は側面図である。 1……基板 2……電子部品 2a……モールド体 3……リード 3a……リードの基端部 4……半田フィレット 5……レーザ照射手段 7……受光手段 B……リードのセンター e……オフセット距離 Soffset……オフセット点
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of a visual inspection apparatus in a soldering state, FIG. 2 is a front view during measurement, FIG. 3 is a partial perspective view of the same, and FIG. The figure is the same plan view, FIG. 5 is a side view, FIGS. 6 and 7 are graphs showing measurement results, and FIG. 8 is a side view. 1 ... Substrate 2 ... Electronic component 2a ... Molded body 3 ... Lead 3a ... Lead base end 4 ... Solder fillet 5 ... Laser irradiation means 7 ... Light receiving means B ... Lead center e ... … Offset distance Soffset …… Offset point

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板に搭載された電子部品のモールド体か
ら延出するリードの側方に第1のスタート点を設定し、
この第1のスタート点からリードを横切る方向にレーザ
光を掃引照射して、このリードに反射されたレーザ光を
受光することにより、このリードのセンターを検出し、
次いでこのセンターを通るリードの延出方向の線上に第
2のスタート点を設定し、この第2のスタート点からリ
ードの延出方向にレーザ光を掃引照射し、その反射光を
上記リードの延出方向に対して直交する方向の斜上方に
設けられた受光手段により受光して、リードの先端部に
形成された半田フィレットの形状を計測することを特徴
とする半田付状態の外観検査方法。
1. A first start point is set on a side of a lead extending from a molded body of an electronic component mounted on a substrate,
The center of the lead is detected by sweeping and irradiating the laser light from the first start point in the direction crossing the lead and receiving the laser light reflected by the lead.
Next, a second start point is set on the line extending in the lead extending through the center, and laser light is swept from the second start point in the lead extending direction, and the reflected light is emitted from the lead. A visual inspection method in a soldering state, characterized in that the shape of a solder fillet formed at the tip of the lead is measured by receiving light by a light receiving means provided obliquely above in a direction orthogonal to the outgoing direction.
【請求項2】半田フィレットに向ってレーザ光を掃引照
射し、その反射光を受光手段により検出するようにした
半田付状態の外観検査方法において、電子部分のモール
ド体の上面、若しくはリードの基端部の上面から半田フ
ィレットの先端部へ向ってレーザ光を掃引照射して、こ
の電子部品の高さに対して、所定比の高さを有する地点
を検出するとともに、この地点から半田フィレットの先
端部へ向って所定のオフセット距離の位置にオフセット
点を設定し、次いでこのオフセット点をスタート点とし
て、半田フィレットの先端部へ向って再度レーザ光を掃
引照射することにより、半田フィレットの形状を計測す
るようにしたことを特徴とする半田付状態の外観検査方
法。
2. In a soldering appearance inspection method in which a laser beam is swept and irradiated toward a solder fillet and the reflected light is detected by a light receiving means, the upper surface of the mold body of the electronic part or the base of the lead Laser light is swept and irradiated from the upper surface of the end toward the tip of the solder fillet, and a point having a predetermined ratio height with respect to the height of this electronic component is detected, and the solder fillet is detected from this point. An offset point is set at a position of a predetermined offset distance toward the tip portion, and then the offset fill point is used as a start point, and the laser beam is swept again toward the tip portion of the solder fillet to form the shape of the solder fillet. A method for inspecting appearance in a soldered state, characterized by being measured.
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