JPH07947A - 不活性ガス封入式純水貯留装置 - Google Patents
不活性ガス封入式純水貯留装置Info
- Publication number
- JPH07947A JPH07947A JP17227693A JP17227693A JPH07947A JP H07947 A JPH07947 A JP H07947A JP 17227693 A JP17227693 A JP 17227693A JP 17227693 A JP17227693 A JP 17227693A JP H07947 A JPH07947 A JP H07947A
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Abstract
(57)【要約】
この発明は、極めて純度の高い純水の取り扱いに際して
用いられる純水貯留装置であって、純水の取り扱い過程
において、純水と外気ガスとの接触を確実に絶ち、高純
度を維持した状態で、移送、保管等の取り扱いに供する
ものであって、具体的には、気液収容室５を形成する気
液貯留槽２と、気液貯留槽２を気密的に封止する気密封
止手段３と、気液収容室５に連通する複数の通路９を備
えた配管手段４とを有し、この配管手段４における各通
路９を介して、気液貯留槽２内を減圧する減圧手段１
１、気液貯留槽２内に純水Ｗを供給する純水供給手段１
２、気液貯留槽２内に不活性ガスＧを供給する不活性ガ
ス供給手段１３、及び気液貯留槽２内の純水を所望の試
験槽Ｔ等に取り出す純水取り出し手段１４を接続し、減
圧時に、気液貯留槽２に純水供給手段１２を連通して純
水を吸引貯留し、不活性ガス供給加圧時に、気液貯留槽
２に純水取り出し手段１４を連通して純水を取り出すよ
うにしたものである。
用いられる純水貯留装置であって、純水の取り扱い過程
において、純水と外気ガスとの接触を確実に絶ち、高純
度を維持した状態で、移送、保管等の取り扱いに供する
ものであって、具体的には、気液収容室５を形成する気
液貯留槽２と、気液貯留槽２を気密的に封止する気密封
止手段３と、気液収容室５に連通する複数の通路９を備
えた配管手段４とを有し、この配管手段４における各通
路９を介して、気液貯留槽２内を減圧する減圧手段１
１、気液貯留槽２内に純水Ｗを供給する純水供給手段１
２、気液貯留槽２内に不活性ガスＧを供給する不活性ガ
ス供給手段１３、及び気液貯留槽２内の純水を所望の試
験槽Ｔ等に取り出す純水取り出し手段１４を接続し、減
圧時に、気液貯留槽２に純水供給手段１２を連通して純
水を吸引貯留し、不活性ガス供給加圧時に、気液貯留槽
２に純水取り出し手段１４を連通して純水を取り出すよ
うにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、極めて純度の高い純
水の取り扱いに際して用いられる装置であって、純水の
取り扱い過程において、純水と外気ガスとの接触を確実
に絶ち、変化なく高純度を維持した状態で、移送、保存
等の取り扱いに供するようになした不活性ガス封入式純
水貯留装置に関するものである。
水の取り扱いに際して用いられる装置であって、純水の
取り扱い過程において、純水と外気ガスとの接触を確実
に絶ち、変化なく高純度を維持した状態で、移送、保存
等の取り扱いに供するようになした不活性ガス封入式純
水貯留装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、各種工業製品、機器装
置、あるいは各種の設備構成部材等を洗浄する際には、
従来、その洗浄剤として、塩素系有機物質、フロン、エ
タン等の化学物質が多用されてきている。
置、あるいは各種の設備構成部材等を洗浄する際には、
従来、その洗浄剤として、塩素系有機物質、フロン、エ
タン等の化学物質が多用されてきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この塩
素系有機物質、フロン、エタン等の化学物質は、有害物
質として指摘されており、その使用を全面的に禁止しよ
うとする動向が顕著化し、法制化されるに至っている。
このような状況下において、これらの化学物質を洗浄剤
として利用していた産業分野では、それらに代わる別の
洗浄剤、並びに洗浄方法の開発が要求されることになっ
た。
素系有機物質、フロン、エタン等の化学物質は、有害物
質として指摘されており、その使用を全面的に禁止しよ
うとする動向が顕著化し、法制化されるに至っている。
このような状況下において、これらの化学物質を洗浄剤
として利用していた産業分野では、それらに代わる別の
洗浄剤、並びに洗浄方法の開発が要求されることになっ
た。
【０００４】そこで、この種の産業分野では、上記する
化学物質に代わる別の洗浄剤として水を利用する考え方
が注目されるに至っている。種々の研究開発の末、この
種の洗浄水として、抵抗値が１０〜１８．２ＭΩ程度の
高純度の純水が、極めて効果的であることも判明してい
る。
化学物質に代わる別の洗浄剤として水を利用する考え方
が注目されるに至っている。種々の研究開発の末、この
種の洗浄水として、抵抗値が１０〜１８．２ＭΩ程度の
高純度の純水が、極めて効果的であることも判明してい
る。
【０００５】しかしながら、純水は、外気に触れると抵
抗値が下がり、計測用サンプルとして試験槽等に出し入
れする際、あるいは保存しておくような場合、抵抗値が
変動する等、高純度のまま確保することが非常に困難な
ものであった。
抗値が下がり、計測用サンプルとして試験槽等に出し入
れする際、あるいは保存しておくような場合、抵抗値が
変動する等、高純度のまま確保することが非常に困難な
ものであった。
【０００６】そこで、この発明は、上記するような状況
下において、高純度の純水を確実に確保し得るようにな
すものであり、高純度を維持した状態で、その取扱いを
図り得るようになした不活性ガス封入式純水貯留装置を
提供することにある。
下において、高純度の純水を確実に確保し得るようにな
すものであり、高純度を維持した状態で、その取扱いを
図り得るようになした不活性ガス封入式純水貯留装置を
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記する目
的を達成するにあたって、具体的には、気液収容室を形
成する気液貯留槽と、前記気液貯留槽の上端部側を気密
的に封止する気密封止手段と、前記気液貯留槽の上端部
側に形成され、前記気液収容室に連通する複数の通路を
備えた配管手段とを有し、前記配管手段における各通路
を介して、前記気液貯留槽内を減圧する減圧手段、前記
気液貯留槽内に純水を供給する純水供給手段、前記気液
貯留槽内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段、
及び前記気液貯留槽内の純水を所望の試験槽に取り出す
純水取り出し手段を接続してなり、前記気液貯留槽内を
不活性ガスで満たした状態から、前記気液貯留槽内を前
記減圧手段によって減圧し、その減圧時に、前記気液貯
留槽に前記純水供給手段を連通して前記気液貯留槽内に
純水を吸引貯留し、前記気液貯留槽内を前記不活性ガス
供給手段によって加圧し、その加圧時に、前記気液貯留
槽に前記純水取り出し手段を連通して前記気液貯留槽内
の純水を取り出すようにした不活性ガス封入式純水貯留
装置を構成するものである。
的を達成するにあたって、具体的には、気液収容室を形
成する気液貯留槽と、前記気液貯留槽の上端部側を気密
的に封止する気密封止手段と、前記気液貯留槽の上端部
側に形成され、前記気液収容室に連通する複数の通路を
備えた配管手段とを有し、前記配管手段における各通路
を介して、前記気液貯留槽内を減圧する減圧手段、前記
気液貯留槽内に純水を供給する純水供給手段、前記気液
貯留槽内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段、
及び前記気液貯留槽内の純水を所望の試験槽に取り出す
純水取り出し手段を接続してなり、前記気液貯留槽内を
不活性ガスで満たした状態から、前記気液貯留槽内を前
記減圧手段によって減圧し、その減圧時に、前記気液貯
留槽に前記純水供給手段を連通して前記気液貯留槽内に
純水を吸引貯留し、前記気液貯留槽内を前記不活性ガス
供給手段によって加圧し、その加圧時に、前記気液貯留
槽に前記純水取り出し手段を連通して前記気液貯留槽内
の純水を取り出すようにした不活性ガス封入式純水貯留
装置を構成するものである。
【０００８】さらに、この発明は、その具体例におい
て、前記配管手段における通路を介して、前記気液貯留
槽内の圧力を測定するための圧力測定手段を取り付け可
能になした不活性ガス封入式純水貯留装置を構成し、さ
らに、前記配管手段における通路を介して、前記気液貯
留槽内の純水の抵抗値を測定するための抵抗値測定手段
を取り付け可能になした不活性ガス封入式純水貯留装置
を構成する。
て、前記配管手段における通路を介して、前記気液貯留
槽内の圧力を測定するための圧力測定手段を取り付け可
能になした不活性ガス封入式純水貯留装置を構成し、さ
らに、前記配管手段における通路を介して、前記気液貯
留槽内の純水の抵抗値を測定するための抵抗値測定手段
を取り付け可能になした不活性ガス封入式純水貯留装置
を構成する。
【０００９】
【実施例の説明】以下、この発明になる不活性ガス封入
式純水貯留装置について、図面に示す具体的な実施例に
もとづいて詳細に説明する。図１は、この発明になる不
活性ガス封入式純水貯留装置の具体的な実施例を概略的
な側断面図で示すものであり、図２は、その概略的な平
面図であり、図３は、図１に示す具体的な装置例を概略
的な斜視図で示したものである。
式純水貯留装置について、図面に示す具体的な実施例に
もとづいて詳細に説明する。図１は、この発明になる不
活性ガス封入式純水貯留装置の具体的な実施例を概略的
な側断面図で示すものであり、図２は、その概略的な平
面図であり、図３は、図１に示す具体的な装置例を概略
的な斜視図で示したものである。
【００１０】この発明になる不活性ガス封入式純水貯留
装置１は、基本的には、気液貯留槽２、気密封止手段
３、及び配管手段４をを含むものからなっている。前記
気液貯留槽２は、気体並びに液体を受け入れる気液収容
室５を形成する。前記気密封止手段３は、前記気液貯留
槽２の上端部側を気密的に封止するものであって、例え
ば、気密蓋等のような気密形成部材６により構成されて
いる。
装置１は、基本的には、気液貯留槽２、気密封止手段
３、及び配管手段４をを含むものからなっている。前記
気液貯留槽２は、気体並びに液体を受け入れる気液収容
室５を形成する。前記気密封止手段３は、前記気液貯留
槽２の上端部側を気密的に封止するものであって、例え
ば、気密蓋等のような気密形成部材６により構成されて
いる。
【００１１】この発明において、前記気密形成部材６
は、弾性膜７を含み、前記弾性膜７は、前記気液貯留槽
２の圧力状態に応じて、加圧時には外方に向けて膨ら
み、減圧時には内方に向けてへこむ構成部材であって、
外部より気液貯留槽２の圧力状態を視認することができ
るようになっている。前記弾性膜７に対しては、破裂防
止のための拡張抑制プレート８が組み合わせてある。
は、弾性膜７を含み、前記弾性膜７は、前記気液貯留槽
２の圧力状態に応じて、加圧時には外方に向けて膨ら
み、減圧時には内方に向けてへこむ構成部材であって、
外部より気液貯留槽２の圧力状態を視認することができ
るようになっている。前記弾性膜７に対しては、破裂防
止のための拡張抑制プレート８が組み合わせてある。
【００１２】一方、前記配管手段４は、前記気液貯留槽
２の上端部側２Ａに形成されており、前記気液収容室５
にそれぞれ個別に連通する複数の通路９を有するものか
らなっている。前記配管手段４における各通路９に対し
ては、開閉バルブＶ0 を含む通路接続アタッチメント１
０が取り付けられるようになっている。
２の上端部側２Ａに形成されており、前記気液収容室５
にそれぞれ個別に連通する複数の通路９を有するものか
らなっている。前記配管手段４における各通路９に対し
ては、開閉バルブＶ0 を含む通路接続アタッチメント１
０が取り付けられるようになっている。
【００１３】前記気液貯留槽２に対し、前記気液貯留槽
２内を減圧する減圧手段１１、前記気液貯留槽２内に純
水Ｗを供給する純水供給手段１２、前記気液貯留槽２内
に不活性ガスＧを供給する不活性ガス供給手段１３、及
び前記気液貯留槽２内の純水Ｗを所望の試験槽Ｔに取り
出す純水取り出し手段１４とが設けてある。
２内を減圧する減圧手段１１、前記気液貯留槽２内に純
水Ｗを供給する純水供給手段１２、前記気液貯留槽２内
に不活性ガスＧを供給する不活性ガス供給手段１３、及
び前記気液貯留槽２内の純水Ｗを所望の試験槽Ｔに取り
出す純水取り出し手段１４とが設けてある。
【００１４】図に示す実施例において、開閉バルブＶ0-
Ａを含む第１の通路接続アタッチメント１０Ａに対し、
通路１５を介して三方バルブＶ1 を接続し、三方バルブ
Ｖ1の第１の分岐通路１５Ａ側に吸引ポンプ１６を接続
して減圧手段１１を構成する。前記三方バルブＶ1 の第
２の分岐通路１５Ｂ側に減圧弁１８を介して不活性ガス
供給ボンベ１７を接続して不活性ガス供給手段１３を構
成する。
Ａを含む第１の通路接続アタッチメント１０Ａに対し、
通路１５を介して三方バルブＶ1 を接続し、三方バルブ
Ｖ1の第１の分岐通路１５Ａ側に吸引ポンプ１６を接続
して減圧手段１１を構成する。前記三方バルブＶ1 の第
２の分岐通路１５Ｂ側に減圧弁１８を介して不活性ガス
供給ボンベ１７を接続して不活性ガス供給手段１３を構
成する。
【００１５】一方、開閉バルブＶ0-Ｂを含む第２の通路
接続アタッチメント１０Ｂに対し、通路１９を介して三
方バルブＶ2 を接続し、三方バルブＶ2 の第１の分岐通
路１９Ａ側に純水供給槽２０を接続して純水供給手段１
２を構成する。前記三方バルブＶ2 の第２の分岐通路１
９Ｂ側に純水取り出し手段１４を構成する。
接続アタッチメント１０Ｂに対し、通路１９を介して三
方バルブＶ2 を接続し、三方バルブＶ2 の第１の分岐通
路１９Ａ側に純水供給槽２０を接続して純水供給手段１
２を構成する。前記三方バルブＶ2 の第２の分岐通路１
９Ｂ側に純水取り出し手段１４を構成する。
【００１６】この発明になる不活性ガス封入式純水貯留
装置１は、開閉バルブＶ0-Ｃを含む通路接続アタッチメ
ント１０Ｃを介して、前記気液貯留槽２に対して、気液
貯留槽２内の圧力を測定するための圧力測定手段２１を
取り付けることができ、開閉バルブＶ0-Ｄを含む通路接
続アタッチメント１０Ｄを介して、前記気液貯留槽２に
対して、気液貯留槽２内の純水Ｗの抵抗値を測定するた
めの抵抗値測定手段２２を取り付けることができるよう
になっている。
装置１は、開閉バルブＶ0-Ｃを含む通路接続アタッチメ
ント１０Ｃを介して、前記気液貯留槽２に対して、気液
貯留槽２内の圧力を測定するための圧力測定手段２１を
取り付けることができ、開閉バルブＶ0-Ｄを含む通路接
続アタッチメント１０Ｄを介して、前記気液貯留槽２に
対して、気液貯留槽２内の純水Ｗの抵抗値を測定するた
めの抵抗値測定手段２２を取り付けることができるよう
になっている。
【００１７】上記構成になるこの発明の不活性ガス封入
式純水貯留装置１は、次のように操作される。まず、前
記気液貯留槽２内に不活性ガスＧを満たした状態から、
開閉バルブＶ0-Ａを開き、三方バルブＶ1 を第１の分岐
通路１５Ａ側に開いて、吸引ポンプ１６を作動する。吸
引ポンプ１６の作動により、気液貯留槽２内に満たされ
た不活性ガスＧが吸引され、気液貯留槽２内は減圧され
る。この減圧作動時に、開閉バルブＶ0-Ｂを開き、三方
バルブＶ2 を第１の分岐通路１９Ａ側に開くと、純水供
給槽２０の純水Ｗが気液貯留槽２内に吸引され、気液収
容室５に貯留される。開閉バルブＶ0-Ａを開き、三方バ
ルブＶ1 を第２の分岐通路１５Ｂ側に開いて、不活性ガ
ス供給ボンベ１７の不活性ガスＧを気液貯留槽２内に送
り込んで気液貯留槽２内を加圧する。
式純水貯留装置１は、次のように操作される。まず、前
記気液貯留槽２内に不活性ガスＧを満たした状態から、
開閉バルブＶ0-Ａを開き、三方バルブＶ1 を第１の分岐
通路１５Ａ側に開いて、吸引ポンプ１６を作動する。吸
引ポンプ１６の作動により、気液貯留槽２内に満たされ
た不活性ガスＧが吸引され、気液貯留槽２内は減圧され
る。この減圧作動時に、開閉バルブＶ0-Ｂを開き、三方
バルブＶ2 を第１の分岐通路１９Ａ側に開くと、純水供
給槽２０の純水Ｗが気液貯留槽２内に吸引され、気液収
容室５に貯留される。開閉バルブＶ0-Ａを開き、三方バ
ルブＶ1 を第２の分岐通路１５Ｂ側に開いて、不活性ガ
ス供給ボンベ１７の不活性ガスＧを気液貯留槽２内に送
り込んで気液貯留槽２内を加圧する。
【００１８】一方、気液貯留槽２内に貯留されている純
水Ｗを、適宜な試験槽Ｔに取り出す場合には、開閉バル
ブＶ0-Ｂを開き、三方バルブＶ2 を第２の分岐通路１９
Ｂ側に開くと、気液貯留槽２内の純水Ｗは、通路形成チ
ューブ２３、通路１９、分岐通路１９Ｂを介して、外気
に接触することなく試験槽Ｔに取り出される。
水Ｗを、適宜な試験槽Ｔに取り出す場合には、開閉バル
ブＶ0-Ｂを開き、三方バルブＶ2 を第２の分岐通路１９
Ｂ側に開くと、気液貯留槽２内の純水Ｗは、通路形成チ
ューブ２３、通路１９、分岐通路１９Ｂを介して、外気
に接触することなく試験槽Ｔに取り出される。
【００１９】この発明になる不活性ガス封入式純水貯留
装置に対しては、窒素ガス、あるいはこれに代えてアル
ゴンなどの不活性ガスが適用される。
装置に対しては、窒素ガス、あるいはこれに代えてアル
ゴンなどの不活性ガスが適用される。
【００２０】一方、この発明になる不活性ガス封入式純
水貯留装置１において、気液貯留槽２は、図に示す実施
例のもののような一槽構造のものであってもよいし、あ
るいはまた、外槽と内槽とからなる二槽構造のものであ
ってもよい。
水貯留装置１において、気液貯留槽２は、図に示す実施
例のもののような一槽構造のものであってもよいし、あ
るいはまた、外槽と内槽とからなる二槽構造のものであ
ってもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上の構成になるこの発明の不活性ガス
封入式純水貯留装置は、簡略化された装置により構成さ
れるものであり、極めて簡単な操作で、高純度の純水を
取り扱うことができる点において極めて有効に作用する
ものといえる。すなわち、この発明になる不活性ガス封
入式純水貯留装置は、純水の取り扱い過程において、純
水と外気ガスとの接触を確実に絶ち、変化なく高純度を
維持した状態で、移送、保存等の取り扱いに供するよう
になしたものであって、高純度の純水を確実に確保し、
高純度を維持した状態で、その取扱いを図り得るように
なした点において極めて効果的に作用するものといえ
る。
封入式純水貯留装置は、簡略化された装置により構成さ
れるものであり、極めて簡単な操作で、高純度の純水を
取り扱うことができる点において極めて有効に作用する
ものといえる。すなわち、この発明になる不活性ガス封
入式純水貯留装置は、純水の取り扱い過程において、純
水と外気ガスとの接触を確実に絶ち、変化なく高純度を
維持した状態で、移送、保存等の取り扱いに供するよう
になしたものであって、高純度の純水を確実に確保し、
高純度を維持した状態で、その取扱いを図り得るように
なした点において極めて効果的に作用するものといえ
る。
【図１】この発明になる不活性ガス封入式純水貯留装置
の全体的構成について、その具体的な実施例を示す概略
的な側断面図である。
の全体的構成について、その具体的な実施例を示す概略
的な側断面図である。
【図２】図２は、図１に示す実施例になる不活性ガス封
入式純水貯留装置の概略的な側断面図である。
入式純水貯留装置の概略的な側断面図である。
【図３】図３は、図１に示す実施例になる不活性ガス封
入式純水貯留装置の概略的な斜視図である。
入式純水貯留装置の概略的な斜視図である。
１ 不活性ガス封入式純水貯留装置 ２ 気液貯留槽 ３ 気密封止手段 ４ 配管手段 ５ 気液収容室 ６ 気密形成部材 ７ 弾性膜 ８ 拡張抑制プレート ９ 複数の通路 １０ 通路接続アタッチメント １０Ａ 第１の通路接続アタッチメント １０Ｂ 第２の通路接続アタッチメント １１ 減圧手段 １２ 純水供給手段 １３ 不活性ガス供給手段 １４ 純水取り出し手段 １５ 通路 １６ 吸引ポンプ １７ 不活性ガス供給ボンベ １８ 減圧弁 １９ 通路 １９Ａ 第１の分岐通路 １９Ｂ 第２の分岐通路 ２０ 純水供給槽 ２１ 圧力測定手段 ２２ 抵抗値測定手段 Ｖ1 〜Ｖ2 三方バルブ Ｖ0-Ａ〜Ｖ0-Ｄ 開閉バルブ Ｇ 不活性ガス Ｗ 純水
Claims (3)
- 【請求項１】 気液収容室を形成する気液貯留槽と、 前記気液貯留槽の上端部側を気密的に封止する気密封止
手段と、 前記気液貯留槽の上端部側に形成され、前記気液収容室
に連通する複数の通路を備えた配管手段とを有し、 前記配管手段における各通路を介して、前記気液貯留槽
内を減圧する減圧手段、前記気液貯留槽内に純水を供給
する純水供給手段、前記気液貯留槽内に不活性ガスを供
給する不活性ガス供給手段、及び前記気液貯留槽内の純
水を所望の試験槽に取り出す純水取り出し手段を接続し
てなり、 前記気液貯留槽内を不活性ガスで満たした状態から、前
記気液貯留槽内を前記減圧手段によって減圧し、その減
圧時に、前記気液貯留槽に前記純水供給手段を連通して
前記気液貯留槽内に純水を吸引貯留し、前記気液貯留槽
内を前記不活性ガス供給手段によって加圧し、その加圧
時に、前記気液貯留槽に前記純水取り出し手段を連通し
て前記気液貯留槽内の純水を取り出すようにしたことを
特徴とする不活性ガス封入式純水貯留装置。 - 【請求項２】 前記配管手段における通路を介して、前
記気液貯留槽内の圧力を測定するための圧力測定手段を
取り付け可能になしたことを特徴とする請求項１に記載
の不活性ガス封入式純水貯留装置。 - 【請求項３】 前記配管手段における通路を介して、前
記気液貯留槽内の純水の抵抗値を測定するための抵抗値
測定手段を取り付け可能になしたことを特徴とする請求
項１に記載の不活性ガス封入式純水貯留装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17227693A JPH0798182B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 不活性ガス封入式純水貯留装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17227693A JPH0798182B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 不活性ガス封入式純水貯留装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07947A true JPH07947A (ja) | 1995-01-06 |
| JPH0798182B2 JPH0798182B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=15938920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17227693A Expired - Lifetime JPH0798182B2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 不活性ガス封入式純水貯留装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798182B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190018764A (ko) * | 2016-07-21 | 2019-02-25 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 반도체 응용을 위한 고순도 에틸렌디아민 |
-
1993
- 1993-06-17 JP JP17227693A patent/JPH0798182B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190018764A (ko) * | 2016-07-21 | 2019-02-25 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 반도체 응용을 위한 고순도 에틸렌디아민 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0798182B2 (ja) | 1995-10-25 |
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