JPH0794359A - Manufacture of laminated ceramic electronic component - Google Patents

Manufacture of laminated ceramic electronic component

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JPH0794359A
JPH0794359A JP25774193A JP25774193A JPH0794359A JP H0794359 A JPH0794359 A JP H0794359A JP 25774193 A JP25774193 A JP 25774193A JP 25774193 A JP25774193 A JP 25774193A JP H0794359 A JPH0794359 A JP H0794359A
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JP
Japan
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block
pressure
electronic component
ceramic electronic
fixing sheet
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Application number
JP25774193A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshio Takeuchi
嘉夫 竹内
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enable a laminated ceramic electronic part small in size and large in capacitance to be efficiently manufactured without using complicated manufacturing processes by a method wherein a compression bonding block is surely cut at a prescribed point preventing it from getting out of position. CONSTITUTION:A plurality of ceramic green sheets 11 on which inner electrodes 2 are provided at prescribed positions are laminated and subjected to compression bonding into a compression bonding block 4, the block 4 is fixed to a fixing sheet 7 by bonding by an adhesive means 3, and the compression bonding block 4 is set on a cutting table 5 through the intermediary of the fixing sheet 7 and cut at a prescribed point by a blade 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、セラミック電子部品
の製造方法に関し、詳しくは、積層セラミックコンデン
サや積層圧電部品(圧電アクチュエータ)などの、セラ
ミック層と内部電極が交互に積層された積層セラミック
電子部品の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic electronic component, and more particularly, to a laminated ceramic electronic device such as a laminated ceramic capacitor or a laminated piezoelectric component (piezoelectric actuator) in which ceramic layers and internal electrodes are alternately laminated. The present invention relates to a method of manufacturing a component.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、積層セラミック電子部品の代表
的なものである積層セラミックコンデンサは、通常、図
3に示すように、誘電体セラミック層51と内部電極5
2を交互に積層するとともに、内部電極52を一層おき
に逆側の端面に引き出して外部電極53と接続すること
により形成されており、単板型のコンデンサなどに比べ
て小型で、かつ、大容量を得ることができるという長所
を有していることから、種々の用途に広く実用されてい
る。
2. Description of the Related Art For example, a monolithic ceramic capacitor, which is a typical monolithic ceramic electronic component, generally has a dielectric ceramic layer 51 and an internal electrode 5 as shown in FIG.
It is formed by alternately laminating two internal electrodes 52 and pulling them out every other layer on the opposite end face to connect to the external electrodes 53, which is smaller and larger than a single plate type capacitor or the like. Since it has the advantage of being able to obtain a capacity, it is widely used in various applications.

【0003】そして、この積層セラミックコンデンサ
は、通常、図4に示すように、所定の位置に複数の内部
電極52が配設された複数枚のセラミックグリーンシー
ト61を積層、圧着してなるブロック(圧着ブロック)
54を切断テーブル(ターンテーブル)55上に載置
し、ブレード56により所定の位置でカットして焼成し
た後、外部電極53(図3)を形成することにより製造
されている。
As shown in FIG. 4, this monolithic ceramic capacitor is usually a block formed by laminating and crimping a plurality of ceramic green sheets 61 having a plurality of internal electrodes 52 arranged at predetermined positions. Crimp block)
It is manufactured by placing 54 on a cutting table (turntable) 55, cutting it at a predetermined position with a blade 56 and baking it, and then forming an external electrode 53 (FIG. 3).

【0004】ところで、近年、チップ型の積層セラミッ
クコンデンサに対する小型、大容量化への要求が大きく
なるにともない、製品寸法を大きくすることなく内部電
極面積を増大させるために、誘電体セラミック層51の
端部から内部電極52までの距離(ギャップ)G(図
5)を、例えば100μm程度にまで小さくする方法が
とられている。
By the way, in recent years, with the increasing demand for miniaturization and large capacity of chip type monolithic ceramic capacitors, in order to increase the internal electrode area without increasing the product size, the dielectric ceramic layer 51 is formed. A method is adopted in which the distance (gap) G (FIG. 5) from the end portion to the internal electrode 52 is reduced to about 100 μm, for example.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の製
造方法においては、ギャップGが小さいため、例えば、
図4に示すように、圧着ブロック54を切断テーブル5
5上に載置してブレード56によりカットする工程で、
ブレード56が圧着ブロック54に入り込むと、ブレー
ド56の厚みにより、圧着ブロック54が矢印Aの方向
にわずかに移動して位置ずれを生じる。そして、この位
置ずれが累積されると、線Bの位置でカットする場合の
ように、甚だしくは、内部電極52がカットされてしま
う程度にまで位置ずれが大きくなり、内部電極52が露
出して製品とならず、また、露出に至らないまでも距離
Gが小さくなって絶縁不良が生じたりするというような
問題点がある。
However, in the above conventional manufacturing method, since the gap G is small, for example,
As shown in FIG. 4, the crimp block 54 is cut into the cutting table 5
In the step of mounting on 5 and cutting with the blade 56,
When the blade 56 enters the pressure-bonding block 54, the pressure-bonding block 54 slightly moves in the direction of arrow A due to the thickness of the blade 56, causing a positional deviation. Then, when this positional deviation is accumulated, the positional deviation becomes so large that the internal electrode 52 is cut, as in the case of cutting at the position of the line B, and the internal electrode 52 is exposed. There is a problem that the product is not a product, and the distance G becomes small even before exposure, resulting in insulation failure.

【0006】また、このような問題点を解決するため
に、圧着ブロックをカットする工程の途中で圧着ブロッ
クの位置調整を行う方法も考えられるが、製造工程が複
雑になり、コストの増大を招くという問題点がある。
In order to solve such a problem, a method of adjusting the position of the crimping block during the step of cutting the crimping block can be considered, but the manufacturing process becomes complicated and the cost is increased. There is a problem.

【0007】なお、上記問題点は、積層セラミックコン
デンサに限らず、圧電体セラミック層と内部電極を交互
に積層することにより形成される積層圧電アクチュエー
タなどの他の積層セラミック電子部品にも共通するもの
である。
The above problems are not limited to monolithic ceramic capacitors, but are common to other monolithic ceramic electronic components such as monolithic piezoelectric actuators formed by alternately laminating piezoelectric ceramic layers and internal electrodes. Is.

【0008】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、複雑な製造工程を必要とすることなく圧着ブロッ
クの位置ずれの発生を防止して、圧着ブロックを確実に
所定の位置でカットし、小型かつ大容量の積層セラミッ
ク電子部品を効率よく製造することが可能な積層セラミ
ック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention solves the above problems and prevents the displacement of the crimping block without requiring a complicated manufacturing process and surely cuts the crimping block at a predetermined position. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component capable of efficiently manufacturing a small-sized and large-capacity monolithic ceramic electronic component.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
所定の位置に複数の内部電極が配設された複数枚のセラ
ミックグリーンシートを積層、圧着してなる圧着ブロッ
クを所定の位置でカットし、焼成することにより、セラ
ミック中に内部電極が埋設された積層セラミック電子部
品を製造する方法において、圧着ブロックを接着手段を
用いて固定用シートに接着固定するとともに、固定用シ
ートを介して圧着ブロックを切断テーブルに設置し、ブ
レードにより所定の位置でカットすることを特徴とす
る。
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the present invention comprises:
A plurality of ceramic green sheets having a plurality of internal electrodes arranged at predetermined positions were laminated and pressure-bonded to each other, and a pressure-bonding block was cut at a predetermined position and fired to embed the internal electrodes in the ceramic. In a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component, a pressure-bonding block is adhesively fixed to a fixing sheet using an adhesive means, and the pressure-bonding block is placed on a cutting table via the fixing sheet and cut at a predetermined position with a blade. It is characterized by

【0010】[0010]

【作用】この発明の積層セラミック電子部品の製造方法
においては、圧着ブロックが、接着手段により接着固定
された固定用シートを介して切断テーブルに設置された
状態で、ブレードにより所定の位置でカットされるた
め、ブレードが圧着ブロックに入り込むことにより生じ
る、圧着ブロックをブレードの両面に垂直な方向に移動
(微動)させようとする力が圧着ブロック自体や接着手
段などにより吸収される。したがって、圧着ブロックの
位置ずれの発生を確実に防止して、圧着ブロックを所定
の位置でカットすることが可能になり、小型、大容量の
積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能
になる。
In the method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the present invention, the crimping block is cut at a predetermined position by the blade in a state where the crimping block is installed on the cutting table via the fixing sheet bonded and fixed by the bonding means. Therefore, the force that moves (finely moves) the crimping block in the direction perpendicular to both surfaces of the blade, which is generated when the blade enters the crimping block, is absorbed by the crimping block itself, the bonding means, or the like. Therefore, it is possible to reliably prevent the displacement of the crimping block and cut the crimping block at a predetermined position, and it is possible to efficiently manufacture a small-sized and large-capacity monolithic ceramic electronic component. .

【0011】[0011]

【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。図1(a),(b),(c)は、この発明の一実
施例にかかる積層セラミック電子部品(この実施例では
積層セラミックコンデンサ)の製造方法を示す断面図で
ある。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1A, 1B and 1C are cross-sectional views showing a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component (a monolithic ceramic capacitor in this embodiment) according to an embodiment of the present invention.

【0012】この実施例の積層セラミックコンデンサの
製造方法においては、まず、図1(a)に示すように、
所定の位置に複数の内部電極2が印刷された複数枚のセ
ラミックグリーンシート11を積層し、圧着を行ってブ
ロック(圧着ブロック)4を形成する。なお、必要によ
り、ブロックの上下面に、電極の印刷されていないグリ
ーンシートがさらに積層される。
In the method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor of this embodiment, first, as shown in FIG.
A plurality of ceramic green sheets 11 on which a plurality of internal electrodes 2 are printed are laminated at predetermined positions and pressure-bonded to form a block (pressure-bonded block) 4. If necessary, green sheets with no printed electrodes are further laminated on the upper and lower surfaces of the block.

【0013】それから、図1(b)に示すように、接着
手段(接着剤)3により、圧着ブロック4に厚み約15
0μmのポリエチレン製の固定用シート7を接着固定す
る。なお、固定用シートの材質は、ポリエチレンをはじ
め、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルのような樹脂材料
など、種々の材料を用いることが可能である。
Then, as shown in FIG. 1 (b), a thickness of about 15 is applied to the pressure-bonding block 4 by an adhesive means (adhesive) 3.
A fixing sheet 7 made of polyethylene of 0 μm is fixed by adhesion. As the material of the fixing sheet, various materials such as polyethylene, polypropylene, and resin materials such as polyvinyl chloride can be used.

【0014】なお、この実施例では、具体的には、ポリ
エチレンシート7の、圧着ブロック4と対向する面に接
着手段3としての接着剤を塗布してなる粘着シート8
(図1(b))を圧着ブロック4に貼り付けることによ
り、固定用シート7を圧着ブロック4に接着固定した。
In this embodiment, specifically, a pressure-sensitive adhesive sheet 8 formed by applying an adhesive as the adhesive means 3 to the surface of the polyethylene sheet 7 facing the pressure-bonding block 4.
The fixing sheet 7 was adhered and fixed to the pressure-bonding block 4 by sticking (FIG. 1B) to the pressure-bonding block 4.

【0015】なお、接着手段としては、合成樹脂系の接
着剤や天然樹脂系の接着剤など種々の接着剤を用いるこ
とが可能であり、また、シート状の芯材の両面に接着剤
を塗布した粘着シート(例えば、両面テープなど)を用
いて、固定用シートを圧着ブロックに接着固定すること
も可能である。
As the bonding means, various kinds of adhesives such as synthetic resin type adhesives and natural resin type adhesives can be used, and the adhesive is applied to both sides of the sheet-shaped core material. It is also possible to adhesively fix the fixing sheet to the pressure-bonding block using the adhesive sheet (for example, double-sided tape).

【0016】次に、ブレード6により固定用シート7が
切断されてしまわないように、ブレード6が固定用シー
ト7の途中にまで達するようにブレード6の下死点の調
整を行う。なお、この実施例では、ブレード6として、
厚みが数百μmのブレードを用いている。
Next, the bottom dead center of the blade 6 is adjusted so that the blade 6 reaches the middle of the fixing sheet 7 so that the fixing sheet 7 is not cut by the blade 6. In this embodiment, as the blade 6,
A blade with a thickness of several hundred μm is used.

【0017】それから、図1(c)に示すように、吸引
孔9から真空吸引することにより固定用シート7を真空
吸着するように構成された切断テーブル(例えばターン
テーブル)5に、固定用シート7が接着固定された圧着
ブロック4を載置し、圧着ブロック4を固定用シート7
を介して切断テーブル5に固定し、ブレード6により圧
着ブロック4を所定の位置で順次カットする。なお、図
2はカットされた未焼成積層セラミックコンデンサ素子
10を示す斜視図である。
Then, as shown in FIG. 1 (c), the fixing sheet is attached to a cutting table (for example, a turntable) 5 configured to vacuum-adsorb the fixing sheet 7 by vacuum suction from a suction hole 9. The pressure-bonding block 4 to which 7 is adhesively fixed is placed, and the pressure-bonding block 4 is fixed on the sheet 7 for fixing.
It is fixed to the cutting table 5 via the blade, and the crimping block 4 is sequentially cut at a predetermined position by the blade 6. 2 is a perspective view showing the cut unfired monolithic ceramic capacitor element 10.

【0018】なお、上記の積層セラミックコンデンサ素
子10を焼成した後、その両端面に外部電極を形成する
ことにより、図3に示すように、埋設された内部電極2
が一層おきに逆側の端面に引き出されて外部電極13と
接続された積層セラミックコンデンサが形成される。
After the laminated ceramic capacitor element 10 is fired, external electrodes are formed on both end surfaces of the laminated ceramic capacitor element 10, so that the embedded internal electrode 2 is formed as shown in FIG.
Is alternately drawn out to the opposite end face to form a monolithic ceramic capacitor connected to the external electrode 13.

【0019】この実施例の積層セラミックコンデンサの
製造方法においては、圧着ブロック4が、接着手段3に
より接着固定された固定用シート7を介して切断テーブ
ル5に設置された状態でブレード6によりカットされる
ため、圧着ブロック4をカットする工程における圧着ブ
ロック4の位置ずれを確実に防止することが可能にな
り、圧着ブロック4を所定の位置でカットして、小型、
大容量の積層セラミック電子部品を効率よく製造するこ
とができる。
In the method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to this embodiment, the crimping block 4 is cut by the blade 6 while being installed on the cutting table 5 via the fixing sheet 7 which is adhered and fixed by the adhering means 3. Therefore, it is possible to reliably prevent the displacement of the crimping block 4 in the step of cutting the crimping block 4, and to cut the crimping block 4 at a predetermined position to reduce the size,
A large-capacity monolithic ceramic electronic component can be efficiently manufactured.

【0020】なお、上記実施例の方法により圧着ブロッ
クをカットした場合と、従来の方法(固定用シートを用
いない方法)により圧着ブロックをカットした場合(比
較例)の位置ずれ発生率及びギャップG(図2及び図
5)の最小値(最小ギャップ)を表1に示す。なお、ギ
ャップGの目標値は100μmである。また、表1にお
いて、位置ずれ発生率は、ギャップGの大きさが80μ
m以下のサンプルの発生率(%)を示す。
The position deviation occurrence rate and the gap G between the case where the crimping block is cut by the method of the above-described embodiment and the case where the crimping block is cut by the conventional method (method without using the fixing sheet) (comparative example) Table 1 shows the minimum values (minimum gap) of (FIGS. 2 and 5). The target value of the gap G is 100 μm. Further, in Table 1, the positional deviation occurrence rate is such that the size of the gap G is 80 μm.
The occurrence rate (%) of samples of m or less is shown.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】表1に示すように、比較例の方法によれ
ば、位置ずれ発生率が15%と高く、また、カット後の
サンプルの最小ギャップは0μmであり、内部電極が端
面から露出するような場合も認められたが、実施例の方
法によれば、位置ずれ発生率が1%と非常に低く、ま
た、カット後のサンプルの最小ギャップは50μmと大
きく、内部電極が端面から露出するようなことはまった
く認められなかった。
As shown in Table 1, according to the method of the comparative example, the positional deviation occurrence rate is as high as 15%, and the minimum gap of the sample after cutting is 0 μm, so that the internal electrodes are exposed from the end face. However, according to the method of the example, the occurrence rate of misalignment was extremely low at 1%, and the minimum gap of the sample after cutting was as large as 50 μm, so that the internal electrodes were exposed from the end face. Nothing was recognized at all.

【0023】なお、上記実施例では、積層セラミックコ
ンデンサの製造方法について説明したが、この発明は、
これに限られるものではなく、積層圧電アクチュエータ
などの、セラミック中に内部電極を埋設してなる種々の
積層セラミック電子部品の製造に適用することが可能で
ある。
In the above embodiments, the method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor has been described.
The present invention is not limited to this, and can be applied to the manufacture of various laminated ceramic electronic components such as a laminated piezoelectric actuator in which internal electrodes are embedded in ceramic.

【0024】また、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、内部電極の具体的なパターンやセラミ
ック層と内部電極との積層数、ブレード、接着手段及び
固定用シートの厚みなどに関し、発明の要旨の範囲内に
おいて種々の応用、変形を加えることが可能である。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but relates to specific patterns of internal electrodes, the number of laminated ceramic layers and internal electrodes, the thickness of blades, adhesive means and fixing sheets. Various applications and modifications can be made within the scope of the invention.

【0025】[0025]

【発明の効果】上述のように、この発明の積層セラミッ
ク電子部品の製造方法は、所定の位置に複数の内部電極
が配設された複数枚のセラミックグリーンシートを積
層、圧着してなる圧着ブロックを、接着手段を用いて固
定用シートに接着固定するとともに、固定用シートを介
して圧着ブロックを切断テーブルに設置し、ブレードに
より所定の位置でカットするようにしているので、複雑
な製造工程を必要とすることなく、圧着ブロックをブレ
ードによりカットする工程における圧着ブロックの位置
ずれを確実に防止することが可能になり、圧着ブロック
を所定の位置でカットして、小型、大容量の積層セラミ
ック電子部品を効率よく製造することができる。
As described above, according to the method of manufacturing a laminated ceramic electronic component of the present invention, a pressure bonding block obtained by laminating and pressure bonding a plurality of ceramic green sheets having a plurality of internal electrodes arranged at predetermined positions. Is adhered and fixed to the fixing sheet by using an adhesive means, and the pressure-bonding block is set on the cutting table through the fixing sheet, and the blade is cut at a predetermined position, so that a complicated manufacturing process is performed. It is possible to reliably prevent the displacement of the crimping block in the process of cutting the crimping block with a blade without needing to do so. The parts can be efficiently manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例にかかる積層セラミック電
子部品の製造方法を示す断面図であり、(a)は圧着ブ
ロックを示す図、(b)は圧着ブロックに固定用シート
を接着固定した状態を示す図、(c)は固定用シートを
接着固定した圧着ブロックを切断テーブルに設置してカ
ットする工程を示す図である。
1A and 1B are cross-sectional views showing a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a view showing a crimping block, and FIG. FIG. 6C is a diagram showing a state, and FIG. 7C is a diagram showing a step of installing a pressure-bonding block to which a fixing sheet is adhesively fixed on a cutting table and cutting.

【図2】この発明の一実施例において圧着ブロックから
カットされた積層セラミック電子部品素子を示す斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view showing a monolithic ceramic electronic component element cut from a crimping block in one embodiment of the present invention.

【図3】積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図
である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a monolithic ceramic capacitor.

【図4】従来の積層セラミックコンデンサの製造方法を
示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a method for manufacturing a conventional monolithic ceramic capacitor.

【図5】積層セラミックコンデンサの内部電極パターン
の一例を示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing an example of internal electrode patterns of a laminated ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 誘電体セラミック層 2 内部電極 3 接着手段 4 圧着ブロック 5 切断テーブル 6 ブレード 7 固定用シート 8 粘着シート 10 積層セラミックコンデンサ素子 11 セラミックグリーンシート 13 外部電極 G ギャップ 1 Dielectric Ceramic Layer 2 Internal Electrode 3 Adhesive Means 4 Crimping Block 5 Cutting Table 6 Blade 7 Fixing Sheet 8 Adhesive Sheet 10 Multilayer Ceramic Capacitor Element 11 Ceramic Green Sheet 13 External Electrode G Gap

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の位置に複数の内部電極が配設され
た複数枚のセラミックグリーンシートを積層、圧着して
なる圧着ブロックを所定の位置でカットし、焼成するこ
とにより、セラミック中に内部電極が埋設された積層セ
ラミック電子部品を製造する方法において、 圧着ブロックを接着手段を用いて固定用シートに接着固
定するとともに、固定用シートを介して圧着ブロックを
切断テーブルに設置し、ブレードにより所定の位置でカ
ットすることを特徴とする積層セラミック電子部品の製
造方法。
1. A pressure-bonding block formed by stacking and pressure-bonding a plurality of ceramic green sheets having a plurality of internal electrodes arranged at predetermined positions is cut at a predetermined position and fired to form an internal structure in the ceramic. In a method of manufacturing a laminated ceramic electronic component in which electrodes are embedded, a pressure-bonding block is bonded and fixed to a fixing sheet using an adhesive means, and the pressure-bonding block is set on a cutting table through the fixing sheet, and a predetermined blade is used. A method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component, which comprises cutting at the position of.
JP25774193A 1993-09-20 1993-09-20 Manufacture of laminated ceramic electronic component Pending JPH0794359A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7326309B2 (en) * 2001-04-12 2008-02-05 Denso Corporation Method of producing ceramic laminate body
US8062460B2 (en) 2008-04-18 2011-11-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Laminated piezoelectric ceramic element manufacturing method
KR20220035829A (en) 2020-09-14 2022-03-22 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Fixing member for cutting of electronic component body and cutting method of electronic component body

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7326309B2 (en) * 2001-04-12 2008-02-05 Denso Corporation Method of producing ceramic laminate body
US8062460B2 (en) 2008-04-18 2011-11-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Laminated piezoelectric ceramic element manufacturing method
KR20220035829A (en) 2020-09-14 2022-03-22 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Fixing member for cutting of electronic component body and cutting method of electronic component body

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