JPH07931A - 工作物を研磨性二酸化炭素スノーによって清浄化する装置および方法 - Google Patents
工作物を研磨性二酸化炭素スノーによって清浄化する装置および方法Info
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- JPH07931A JPH07931A JP6066259A JP6625994A JPH07931A JP H07931 A JPH07931 A JP H07931A JP 6066259 A JP6066259 A JP 6066259A JP 6625994 A JP6625994 A JP 6625994A JP H07931 A JPH07931 A JP H07931A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/005—Nozzles or other outlets specially adapted for discharging one or more gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
- B24C1/003—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods using material which dissolves or changes phase after the treatment, e.g. ice, CO2
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C5/00—Devices or accessories for generating abrasive blasts
- B24C5/02—Blast guns, e.g. for generating high velocity abrasive fluid jets for cutting materials
- B24C5/04—Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/14—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas designed for spraying particulate materials
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 工作物を研磨ＣＯ2 スノーで清浄化するため
の装置および方法で、スノーを発生し放出するノズルを
用いて作用する装置および方法を提供する。 【構成】 ノズルはガス状のＣＯ2 を受入れるための上
流区画２０を含み、該区画がＣＯ2 の亜音速流れに対し
て最適化された第１輪郭を有する。ノズルはＣＯ2 とス
ノーを工作物へ向けて導くための下流区画４０を含み、
該区画はＣＯ2 の超音速の流れに対して最適化された第
２輪郭を有する。ノズルは上流区画と下流区画の間に挿
置されたのど区画３０を含み、該区画がＣＯ2 を定エン
トロピー線に沿って気相から、下流区画内で少なくとも
マッハ１．１の速度を有するガスとスノー混合物に変換
する。このようにガス状ＣＯ2 が超音速に達するまで固
相への変換を遅延させることにより、スノーに最大運動
エネルギーが与えられる。
の装置および方法で、スノーを発生し放出するノズルを
用いて作用する装置および方法を提供する。 【構成】 ノズルはガス状のＣＯ2 を受入れるための上
流区画２０を含み、該区画がＣＯ2 の亜音速流れに対し
て最適化された第１輪郭を有する。ノズルはＣＯ2 とス
ノーを工作物へ向けて導くための下流区画４０を含み、
該区画はＣＯ2 の超音速の流れに対して最適化された第
２輪郭を有する。ノズルは上流区画と下流区画の間に挿
置されたのど区画３０を含み、該区画がＣＯ2 を定エン
トロピー線に沿って気相から、下流区画内で少なくとも
マッハ１．１の速度を有するガスとスノー混合物に変換
する。このようにガス状ＣＯ2 が超音速に達するまで固
相への変換を遅延させることにより、スノーに最大運動
エネルギーが与えられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音速の研磨性ＣＯ2 ス
ノー（雪状物：snow）を発生せしめ、かつ該スノーを、
工作物から除去すべき汚染物質上に集束するための装置
および方法に関する。
ノー（雪状物：snow）を発生せしめ、かつ該スノーを、
工作物から除去すべき汚染物質上に集束するための装置
および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液体二酸化炭素を使用してＣＯ2 スノー
を発生せしめ、続いてこれを高速度に加速し、基板から
微少粒子を清掃することは、 Layden の米国特許第 4、
962 、891 号明細書に記載されている。７４．５kcal/k
g （１３４ＢＴＵ／ポンド）以下のエントロピーを有す
る飽和液体ＣＯ2 がノズルを通され、断熱膨張を介して
ガスおよびＣＯ2 スノーの混合物を発生する。後に断熱
膨張によってＣＯ2 スノーに変換される液体ＣＯ2 の比
較的大きな小滴の形成・制御改良するために、一連の室
および板が使用される。ＣＯ2 ガス用の射出ノズルの壁
は、ほぼ４から８度の発散角に勾配が付され、しかもこ
の角度は、固体／ガスＣＯ2 の流れが工作物の清浄化に
必要な強さ以下とならないように、常に１５度以下にさ
れる。ノズルは溶融シリカ、石英または他の類似の材料
によって製造される。
を発生せしめ、続いてこれを高速度に加速し、基板から
微少粒子を清掃することは、 Layden の米国特許第 4、
962 、891 号明細書に記載されている。７４．５kcal/k
g （１３４ＢＴＵ／ポンド）以下のエントロピーを有す
る飽和液体ＣＯ2 がノズルを通され、断熱膨張を介して
ガスおよびＣＯ2 スノーの混合物を発生する。後に断熱
膨張によってＣＯ2 スノーに変換される液体ＣＯ2 の比
較的大きな小滴の形成・制御改良するために、一連の室
および板が使用される。ＣＯ2 ガス用の射出ノズルの壁
は、ほぼ４から８度の発散角に勾配が付され、しかもこ
の角度は、固体／ガスＣＯ2 の流れが工作物の清浄化に
必要な強さ以下とならないように、常に１５度以下にさ
れる。ノズルは溶融シリカ、石英または他の類似の材料
によって製造される。
【０００３】しかしながら、この装置および方法は他の
在来技術と同様にベルヌイ法を利用するもので、圧縮不
能なガスまたは液体がノズルを通して膨張せしめられ、
かつ状態をスノーまたは固体ペレットに変換するように
なっている。なお、出力ノズルは拡散促進装置として働
き、実際にノズル壁の近くに渦流を発生させることによ
って、排出流速を低下させる。この機構は、液体とガ
ス、並びに固形スノーを通常含む排出流体内に分散した
スノーのエネルギーと均一性を低下させる。
在来技術と同様にベルヌイ法を利用するもので、圧縮不
能なガスまたは液体がノズルを通して膨張せしめられ、
かつ状態をスノーまたは固体ペレットに変換するように
なっている。なお、出力ノズルは拡散促進装置として働
き、実際にノズル壁の近くに渦流を発生させることによ
って、排出流速を低下させる。この機構は、液体とガ
ス、並びに固形スノーを通常含む排出流体内に分散した
スノーのエネルギーと均一性を低下させる。
【０００４】幾つかの参考文献、たとえば Lloyd の米
国特許第 5、018 、667 号明細書の５欄と７欄には、Ｃ
Ｏ2 およびスノー混合物の流れ中の乱流を増加させるた
めに、複式ノズルおよび勾配付きオリフイスの使用が記
載されている。これら参考文献は、排出ノズルを流出後
のスノーを集束させるよりは拡散させることを狙ってい
る。Lloyd の上記特許明細書は７欄の３４−５１行に、
ノズルの閉塞または“スノーイング”を阻止するため
に、ノズルを通る行程のほぼ半分の所でスノーを発生す
べきであると述べている。Lloyd の米国特許明細書は、
特定オリフイスにおける圧力低下が入口圧力、出口圧力
およびオリフイスの長さの関数であることを認識してい
るが、この特許明細書の主たる関心事は、オリフイスの
“スノーイング”を阻止するためにアスペクト比、すな
わちオリフイスの長さとその直径の比を明確にすること
である。
国特許第 5、018 、667 号明細書の５欄と７欄には、Ｃ
Ｏ2 およびスノー混合物の流れ中の乱流を増加させるた
めに、複式ノズルおよび勾配付きオリフイスの使用が記
載されている。これら参考文献は、排出ノズルを流出後
のスノーを集束させるよりは拡散させることを狙ってい
る。Lloyd の上記特許明細書は７欄の３４−５１行に、
ノズルの閉塞または“スノーイング”を阻止するため
に、ノズルを通る行程のほぼ半分の所でスノーを発生す
べきであると述べている。Lloyd の米国特許明細書は、
特定オリフイスにおける圧力低下が入口圧力、出口圧力
およびオリフイスの長さの関数であることを認識してい
るが、この特許明細書の主たる関心事は、オリフイスの
“スノーイング”を阻止するためにアスペクト比、すな
わちオリフイスの長さとその直径の比を明確にすること
である。
【０００５】これら総ての参考文献の共通の欠点は、排
出ノズルの区域においてスノーが発生しない場合には、
スノーを加速してノズルから所要の排出速度で出るよう
に、追加エネルギーを加える必要があることである。
出ノズルの区域においてスノーが発生しない場合には、
スノーを加速してノズルから所要の排出速度で出るよう
に、追加エネルギーを加える必要があることである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
主な目的は、ノズル内ののどの下流位置においてＣＯ2
スノーを発生せしめ、ＣＯ2 の超音速がスノーに伝達さ
れ、同時に該スノーおよび排出ガスを、細線清掃に使用
し得る細い流れとして集束させることである。
主な目的は、ノズル内ののどの下流位置においてＣＯ2
スノーを発生せしめ、ＣＯ2 の超音速がスノーに伝達さ
れ、同時に該スノーおよび排出ガスを、細線清掃に使用
し得る細い流れとして集束させることである。
【０００７】
【問題を解決するための手段】研磨ＣＯ2 スノーによっ
て工作物の清浄化を行う装置および方法は、スノーを発
生し且つ放出するためのノズルを用いて作用する。この
ノズルはＣＯ2 を第１圧力を有するガスの形で受入れる
ための上流区画を含み、該上流区域はＣＯ2 の亜音速流
れに対して最適化された第１輪郭を有している。ノズル
はまたＣＯ2 とスノーを工作物の方に導くための下流区
画を含み、該下流区画は第２圧力を有するＣＯ2 の超音
速流れに対して最適化された第２輪郭を有している。ノ
ズルは上流区画と下流区画の間に挿置されたのど区画を
含み、ＣＯ2 を定エントロピー線に沿って気相から、前
記下流区画にて少なくともマッハ１．１の速度のガスお
よびスノー混合物に変換する。このようにして、ガス状
ＣＯ2 がノズルの下流区画で超音速に達するまでは、固
相への変換を遅延させることにより、最大運動エネルギ
ーがスノーに与えられる。
て工作物の清浄化を行う装置および方法は、スノーを発
生し且つ放出するためのノズルを用いて作用する。この
ノズルはＣＯ2 を第１圧力を有するガスの形で受入れる
ための上流区画を含み、該上流区域はＣＯ2 の亜音速流
れに対して最適化された第１輪郭を有している。ノズル
はまたＣＯ2 とスノーを工作物の方に導くための下流区
画を含み、該下流区画は第２圧力を有するＣＯ2 の超音
速流れに対して最適化された第２輪郭を有している。ノ
ズルは上流区画と下流区画の間に挿置されたのど区画を
含み、ＣＯ2 を定エントロピー線に沿って気相から、前
記下流区画にて少なくともマッハ１．１の速度のガスお
よびスノー混合物に変換する。このようにして、ガス状
ＣＯ2 がノズルの下流区画で超音速に達するまでは、固
相への変換を遅延させることにより、最大運動エネルギ
ーがスノーに与えられる。
【０００８】第１の好適な実施例においては、第２輪郭
はＣＯ2 が該輪郭を通る際に形成される境界層を最小化
するように最適化され、それによって混合物がノズルか
ら出る時に、該混合物内の乱流を最小限にする。第２輪
郭は、ＣＯ2 とスノーが下流区画を出る時にこのＣＯ2
とスノーが平行流となるように最適化され、それによっ
てスノーを、工作物に対する研磨作用のための小さなパ
ターンに集束する。
はＣＯ2 が該輪郭を通る際に形成される境界層を最小化
するように最適化され、それによって混合物がノズルか
ら出る時に、該混合物内の乱流を最小限にする。第２輪
郭は、ＣＯ2 とスノーが下流区画を出る時にこのＣＯ2
とスノーが平行流となるように最適化され、それによっ
てスノーを、工作物に対する研磨作用のための小さなパ
ターンに集束する。
【０００９】ノズルののど、上流および下流区画は、シ
リコンをミクロ機械加工して得られた表面を有してい
る。
リコンをミクロ機械加工して得られた表面を有してい
る。
【００１０】本発明の他の目的、特色および利点は、添
付図面により次に説明する実施例によって明らかとな
る。
付図面により次に説明する実施例によって明らかとな
る。
【００１１】
【実施例】本発明によるノズルの簡単な断面が、図１に
て全体を符号１０で示されている。ノズル１０は上流区
画２０、下流区画４０およびのど区画３０を含んでい
る。開放端２２は貯蔵容器（図示せず）から、ほぼ７．
０３１ｋｇ／ｃｍ2 （１００ｐｓｉ）から５６．２４７
ｋｇ／ｃｍ2 （８００ｐｓｉ）の範囲、好ましくはほぼ
２１．０９２ｋｇ／ｃｍ2 （３００ｐｓｉ）で加圧した
二酸化炭素を受入れる。このＣＯ2 ガスは−４０℃から
３２．２℃（−４０°Ｆから＋９０°Ｆ）までの入力温
度で供給することができるが、約＋４．５℃（＋４０°
Ｆ）の設計入力温度からの変更を行う場合には、ノズル
の設計を変える必要がある。スノーを形成する際に追加
的な変換効率を必要とする場合には、二酸化炭素をノズ
ル１０の開放端２２に入る前に冷却しても良い。
て全体を符号１０で示されている。ノズル１０は上流区
画２０、下流区画４０およびのど区画３０を含んでい
る。開放端２２は貯蔵容器（図示せず）から、ほぼ７．
０３１ｋｇ／ｃｍ2 （１００ｐｓｉ）から５６．２４７
ｋｇ／ｃｍ2 （８００ｐｓｉ）の範囲、好ましくはほぼ
２１．０９２ｋｇ／ｃｍ2 （３００ｐｓｉ）で加圧した
二酸化炭素を受入れる。このＣＯ2 ガスは−４０℃から
３２．２℃（−４０°Ｆから＋９０°Ｆ）までの入力温
度で供給することができるが、約＋４．５℃（＋４０°
Ｆ）の設計入力温度からの変更を行う場合には、ノズル
の設計を変える必要がある。スノーを形成する際に追加
的な変換効率を必要とする場合には、二酸化炭素をノズ
ル１０の開放端２２に入る前に冷却しても良い。
【００１２】ノズル上流区画２０の内面２４の輪郭また
は曲率は、流体工学ジャーナル(Journal of Fluids Eng
ineering) 、１９７７年９９巻、Thomas Morel著の“２
−Ｄ風洞縮流の設計(Design of 2-D Wind Tunnel Contr
actions)”に記載されているマッチドキュービック設計
法(the matched-cubic design procedure)によって設計
される。この設計によれば、ガス状ＣＯ2 はのど区画３
０に近づく時に、毎秒ほぼ６．１０ｍ（２０フイート）
から３０．５０ｍ（１００フイート）の亜音速で流動す
る。
は曲率は、流体工学ジャーナル(Journal of Fluids Eng
ineering) 、１９７７年９９巻、Thomas Morel著の“２
−Ｄ風洞縮流の設計(Design of 2-D Wind Tunnel Contr
actions)”に記載されているマッチドキュービック設計
法(the matched-cubic design procedure)によって設計
される。この設計によれば、ガス状ＣＯ2 はのど区画３
０に近づく時に、毎秒ほぼ６．１０ｍ（２０フイート）
から３０．５０ｍ（１００フイート）の亜音速で流動す
る。
【００１３】下流区画４０は二酸化炭素ガス１００と、
生じたスノー１０１とを、周囲排出温度において工作物
（図示せず）へ向けて排出するための開放端４２を有し
ている。ノズルののど区画３０の内面３４と、下流区画
４０の内面４４とは、米国空軍から入手し得るＡＥＤＣ
−ＪＲ−７８−６３の、J. C . Sivells の論文“超音
速および極超音速風洞に対する軸対称および扁平ノズル
を空気力学的に設計するためのコンピュータプログラム
(A Computer Program for the Aerodynamic Design of
Axisymmetric and Planar Nozzles for Supersonic and
Hypersonic Wind Tunnels) ”に記載されている如きの
特性法(Method of Characteristics) を用いるコンピュ
ータプログラムに従って設計される。
生じたスノー１０１とを、周囲排出温度において工作物
（図示せず）へ向けて排出するための開放端４２を有し
ている。ノズルののど区画３０の内面３４と、下流区画
４０の内面４４とは、米国空軍から入手し得るＡＥＤＣ
−ＪＲ−７８−６３の、J. C . Sivells の論文“超音
速および極超音速風洞に対する軸対称および扁平ノズル
を空気力学的に設計するためのコンピュータプログラム
(A Computer Program for the Aerodynamic Design of
Axisymmetric and Planar Nozzles for Supersonic and
Hypersonic Wind Tunnels) ”に記載されている如きの
特性法(Method of Characteristics) を用いるコンピュ
ータプログラムに従って設計される。
【００１４】のど区画３０の内面３４の輪郭は、該区画
を通るＣＯ2 に断熱膨張を行わせるように設計される。
ＣＯ2 ガスは図３に示した温度−エントロピー図表にし
たがって膨張し、ほぼ定エントロピー線Ａ−Ｂに沿って
移動する。圧力が点Ｂまで低下すると、ＣＯ2 ガスは少
なくとも部分的にスノーに変換する。このスノーへの変
換は、ノズルの下流区画４０の排出口４２の近くで起る
ように設定され、工作物へ向けてスノー１０１を加速す
るために、追加運動エネルギーを必要としない。変換位
置は排出口４２において超音速で生じ、好適実施例にお
いては、ＣＯ2ガスとスノーにマッハ２．５の流出速度
が必要である。スノーへの変換はノズル１０ののど区画
では起らない。その理由は、該区画を通るＣＯ2 ガスの
速度がマッハ１．０程度となるように設定されているた
めで、圧力がスノーを発生させるに必要な圧力以下とな
るからである。本分から明らかである様に、スノーとは
ＣＯ2 の小さな固相粒子で、その平均直径がほぼ１０マ
イクロメートルであり、粒子の大きさがほぼ均一に分散
される。マッハなる用語は、所定圧力と温度のガスにつ
いての音速と定義される。
を通るＣＯ2 に断熱膨張を行わせるように設計される。
ＣＯ2 ガスは図３に示した温度−エントロピー図表にし
たがって膨張し、ほぼ定エントロピー線Ａ−Ｂに沿って
移動する。圧力が点Ｂまで低下すると、ＣＯ2 ガスは少
なくとも部分的にスノーに変換する。このスノーへの変
換は、ノズルの下流区画４０の排出口４２の近くで起る
ように設定され、工作物へ向けてスノー１０１を加速す
るために、追加運動エネルギーを必要としない。変換位
置は排出口４２において超音速で生じ、好適実施例にお
いては、ＣＯ2ガスとスノーにマッハ２．５の流出速度
が必要である。スノーへの変換はノズル１０ののど区画
では起らない。その理由は、該区画を通るＣＯ2 ガスの
速度がマッハ１．０程度となるように設定されているた
めで、圧力がスノーを発生させるに必要な圧力以下とな
るからである。本分から明らかである様に、スノーとは
ＣＯ2 の小さな固相粒子で、その平均直径がほぼ１０マ
イクロメートルであり、粒子の大きさがほぼ均一に分散
される。マッハなる用語は、所定圧力と温度のガスにつ
いての音速と定義される。
【００１５】内面３４および４４の輪郭はまた、ガス状
ＣＯ2 が超音速の流速にて排出口４２から直接流出し、
しかもノズル出口４２において均一な流れ分布を得るよ
うに設計される。これによって所期の共線状の排出流動
が得られる。
ＣＯ2 が超音速の流速にて排出口４２から直接流出し、
しかもノズル出口４２において均一な流れ分布を得るよ
うに設計される。これによって所期の共線状の排出流動
が得られる。
【００１６】ノズル１０ののど区画３０と下流区画４０
の低拡散設計の故に、ノズル出口４２から１ないし５セ
ンチメートル離れても、排出パターンはノズル出口４２
の断面（好適な実施例では２０×４５０マイクロメート
ル）とほぼ同じ大きさに維持され且つ集束する。正確な
排出パターンはまた、排出ガス全体にわたるスノーの均
一な分散をもたらす。
の低拡散設計の故に、ノズル出口４２から１ないし５セ
ンチメートル離れても、排出パターンはノズル出口４２
の断面（好適な実施例では２０×４５０マイクロメート
ル）とほぼ同じ大きさに維持され且つ集束する。正確な
排出パターンはまた、排出ガス全体にわたるスノーの均
一な分散をもたらす。
【００１７】以上の説明によって明らかな如く、本発明
の多くの利点は、その大部分がノズル１０の内方輪郭面
２４、３４および４４の正確な設計と寸法に依るもので
あり、これはシリコンをミクロ機械加工することによっ
て得られる。図２はシリコン基板８０の斜視図で、この
基板に、周知の写真平板処理(photolithographic proce
ssing)技術を用いてノズル１０の輪郭２４、３４および
４４がエッチングされた。第１の好適実施例では、のど
区画３０が基板８０のほぼ２０マイクロメートルの深さ
までエッチングされ、次いで基板の上に別の平らな基板
９０が載置され、これを溶着（溶融結合）してノズル１
０を密封する。
の多くの利点は、その大部分がノズル１０の内方輪郭面
２４、３４および４４の正確な設計と寸法に依るもので
あり、これはシリコンをミクロ機械加工することによっ
て得られる。図２はシリコン基板８０の斜視図で、この
基板に、周知の写真平板処理(photolithographic proce
ssing)技術を用いてノズル１０の輪郭２４、３４および
４４がエッチングされた。第１の好適実施例では、のど
区画３０が基板８０のほぼ２０マイクロメートルの深さ
までエッチングされ、次いで基板の上に別の平らな基板
９０が載置され、これを溶着（溶融結合）してノズル１
０を密封する。
【００１８】ノズル１０の形および大きさを正確に制御
することによって、わずか２０×４４１マイクロメート
ル（ほぼ）の矩形スノーパターンを生ずるようにシステ
ムの大きさを設定し得る。これによってノズルとシステ
ムを、製造ないし修理時に、フラックス、はんだまたは
他の汚染物質によって汚染された印刷回路板の小さな区
域の清浄化に使用し得るようになる。
することによって、わずか２０×４４１マイクロメート
ル（ほぼ）の矩形スノーパターンを生ずるようにシステ
ムの大きさを設定し得る。これによってノズルとシステ
ムを、製造ないし修理時に、フラックス、はんだまたは
他の汚染物質によって汚染された印刷回路板の小さな区
域の清浄化に使用し得るようになる。
【００１９】このような小さな足跡のスノー１０１を使
用することの別の利点は、回路板または他の工作物に対
するスノーとガス状ＣＯ2 の摩擦電気作用によって生じ
る静電荷が、排出パターンの大きさに比例することであ
る。したがってスノー足跡の寸法が小さくなれば、発生
する静電荷を小さくして、工作物上に装架された敏感な
電子構成部材を損傷することなく、該工作物によって容
易に散逸させることが出来る。この利点により本システ
ムは、特に、緻密に部品を装着した(fully populated)
印刷回路板の清浄化および修理を行うに適している。ノ
ズルが非常に小さいので、種々の清掃用途および位置に
使用可能な手持ち式の可搬清掃装置内に収納することが
できる。
用することの別の利点は、回路板または他の工作物に対
するスノーとガス状ＣＯ2 の摩擦電気作用によって生じ
る静電荷が、排出パターンの大きさに比例することであ
る。したがってスノー足跡の寸法が小さくなれば、発生
する静電荷を小さくして、工作物上に装架された敏感な
電子構成部材を損傷することなく、該工作物によって容
易に散逸させることが出来る。この利点により本システ
ムは、特に、緻密に部品を装着した(fully populated)
印刷回路板の清浄化および修理を行うに適している。ノ
ズルが非常に小さいので、種々の清掃用途および位置に
使用可能な手持ち式の可搬清掃装置内に収納することが
できる。
【００２０】最良の形態例 シリコンをミクロ機械加工したノズルの好適実施例の寸
法は、添付した表１に示されている。Ｘはノズルの中央
流動軸線に沿ってマイクロメートルで測定された寸法
で、Ｙは中央流動軸線からノズル壁の輪郭面まで測った
寸法である。ノズル１０の矩形のど区画３０の大きさ
は、一方の輪郭面から他方の輪郭面までが２００マイク
ロメートルであり、または中心線から輪郭面までが１０
０マイクロメートルである。前述の如く、ノズル１０の
のど区画３０は深さがほぼ２０マイクロメートルであ
る。
法は、添付した表１に示されている。Ｘはノズルの中央
流動軸線に沿ってマイクロメートルで測定された寸法
で、Ｙは中央流動軸線からノズル壁の輪郭面まで測った
寸法である。ノズル１０の矩形のど区画３０の大きさ
は、一方の輪郭面から他方の輪郭面までが２００マイク
ロメートルであり、または中心線から輪郭面までが１０
０マイクロメートルである。前述の如く、ノズル１０の
のど区画３０は深さがほぼ２０マイクロメートルであ
る。
【００２１】約−１．１１℃（３０°Ｆ）および２１．
０９２ｋｇ／ｃｍ2 （３００ｐｓｉ）の純二酸化炭素
を、ノズル１０の上流端２０に導いた。ノズルの下流区
画から排出されるＣＯ2 は温度がほぼ−１０１．１℃
（−１５０°Ｆ）で、速度が毎秒ほぼ３６５．９７ｍ
（１２００フイート）である。出力ＣＯ2 はほぼ１５−
３０質量％の固定ＣＯ2 スノーを含み、固形ＣＯ2 スノ
ーの平均粒子寸法はほぼ１０マイクロメートルである。
ノズルののど区画と下流区画は、ほぼ５対１の割合の排
出ＣＯ2 ガスとスノーの混合物を生成するように大きさ
を定められている。排出ガスジェットの大きさはほぼ２
０×４４１マイクロメートルであり、ノズルは工作物か
らほぼ２センチメートル離して使用するように設計され
る。工作物に対する迎角(angle of attack) は０度から
９０度までの間で変えることができる。
０９２ｋｇ／ｃｍ2 （３００ｐｓｉ）の純二酸化炭素
を、ノズル１０の上流端２０に導いた。ノズルの下流区
画から排出されるＣＯ2 は温度がほぼ−１０１．１℃
（−１５０°Ｆ）で、速度が毎秒ほぼ３６５．９７ｍ
（１２００フイート）である。出力ＣＯ2 はほぼ１５−
３０質量％の固定ＣＯ2 スノーを含み、固形ＣＯ2 スノ
ーの平均粒子寸法はほぼ１０マイクロメートルである。
ノズルののど区画と下流区画は、ほぼ５対１の割合の排
出ＣＯ2 ガスとスノーの混合物を生成するように大きさ
を定められている。排出ガスジェットの大きさはほぼ２
０×４４１マイクロメートルであり、ノズルは工作物か
らほぼ２センチメートル離して使用するように設計され
る。工作物に対する迎角(angle of attack) は０度から
９０度までの間で変えることができる。
【００２２】ノズルの正確な輪郭は次の表１に従って一
層正確に定義することができる：
層正確に定義することができる：
【表１】
【００２３】以上本発明を特定実施例について詳述した
が、本発明は特許請求の範囲内において種々の変型を行
い得るものと解すべきである。
が、本発明は特許請求の範囲内において種々の変型を行
い得るものと解すべきである。
【図１】本発明による、シリコンをミクロ機械加工によ
って形成したノズルの機能図表。この図表は原寸ではな
いから、好適な実施例の正確な寸法は表１を参照すべき
である。
って形成したノズルの機能図表。この図表は原寸ではな
いから、好適な実施例の正確な寸法は表１を参照すべき
である。
【図２】ノズルの、組立て時における展開斜視図。
【図３】ＣＯ2 の熱力学的特性の簡単な図表で、温度お
よび圧力の関数としての定エントロピー線を示す。
よび圧力の関数としての定エントロピー線を示す。
１０ ノズル ２０ 上流区画 ２２ 開放端 ２４ 内面 ３０ のど区画 ３４ 内面 ４０ 下流区画 ４２ 開放端 ４４ 内面 ８０ 基板 ９２ 平らな基板
Claims (17)
- 【請求項１】 工作物を研磨ＣＯ2 スノーによって清浄
化する装置で、スノーを生成し、且つ放出するためのノ
ズルを有する装置にして、 第１圧力を有するＣＯ2 ガスを受け入れる上流区画で、
第１圧力を有するＣＯ2 の亜音速流れに対して最適化さ
れた第１輪郭を有する上流区画と、 ＣＯ2 およびスノーの流れを工作物の方に導く下流区画
で、第２圧力を有するＣＯ2 の超音速流れに対して最適
化された第２輪郭を有する下流区画と、 のど装置で、前記上流区画および下流区画と共働するよ
うに連結され、ＣＯ2 をほぼ定エントロピー線に沿っ
て、気相から少なくとも部分的に、少なくともマッハ
１．１の速度で、前記下流区画内のスノーに変換するの
ど装置とを有し、ガス状ＣＯ2 が前記ノズルの下流区画
内で超音速に達するまで、該ＣＯ2 ガスの固相への変換
を遅延させることによって、研磨スノー粒子に最大の運
動エネルギーを与えることを特徴とする装置。 - 【請求項２】 前記第２輪郭が、乱流を最小にし、かつ
スノーがノズルを出る際に該スノーの流れを集束させる
ように最適化されている、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 前記第２輪郭が、前記下流区画を出るＣ
Ｏ2 ガスおよびスノーの流れを平行にし、それによって
スノーを小さな足跡に集束して工作物の研磨を行わせる
ように最適化されている、請求項１記載の装置。 - 【請求項４】 前記ノズルののど、上流および下流区画
がシリコンの、ミクロ機械加工された面を有している、
請求項１記載の装置。 - 【請求項５】 前記のど区画の断面は形状がほぼ矩形で
ある、請求項４記載の装置。 - 【請求項６】 前記下流区画内のスノーの速度が少なく
とも２．２マッハである、請求項４記載の装置。 - 【請求項７】 前記第１圧力が１４．０６２ｋｇ／ｃｍ
2 （２００ｐｓｉ）から４２．１８５ｋｇ／ｃｍ2 （６
００ｐｓｉ）の範囲内にある、請求項６記載の装置。 - 【請求項８】 前記のど区画の輪郭が、該のど区画を通
るＣＯ2 ガスを圧縮するようになっている、請求項１記
載の装置。 - 【請求項９】 前記ノズルののどおよび下流区画が、排
出されるＣＯ2 ガスおよびスノーの足跡を最小化し、発
生した静電荷が完全に工作物内に散逸するようになって
いる、請求項８記載の装置。 - 【請求項１０】 前記ノズルののどおよび下流区画が、
ほぼ５対１の質量割合で、排出ＣＯ2 およびスノーの混
合物を形成するようになっている、請求項９記載の装
置。 - 【請求項１１】 工作物を研磨ＣＯ2 によって清浄化す
る方法において：ノズルの上流区画において第１圧力に
あるガス状ＣＯ2 を受入れる段階で、 該上流区画が前記第１圧力にあるＣＯ2 の亜音速流れに
対して最適化された輪郭を有している段階と、 ＣＯ2 を前記ノズルののど区画に通し、該ＣＯ2 を定エ
ントロピー線に沿って気相から、少なくともマッハ１．
１の速度を有するＣＯ2 ガスおよびスノーの混合物に変
換する段階と、 ＣＯ2 およびスノーを前記ノズルの下流区画に通す段階
で、該下流区画がＣＯ2 およびスノーをマッハ１．１よ
り大きい速度で、工作物の方に導くような第２輪郭を有
している段階とを含み、ガス状ＣＯ2 が前記ノズルの下
流区画内で超音速に達するまで固相への変換を遅延させ
ることによって、スノーに最大運動エネルギーを与える
方法。 - 【請求項１２】 ＣＯ2 が前記のど区画および下流区画
を通る時にこれらのど区画および下流区画を通して形成
される境界層を最小化し、それによってスノーが前記ノ
ズルから流出する際の乱流を最小限にし且つスノーの流
れを集束する段階をさらに含む請求項１１記載の方法。 - 【請求項１３】 前記下流区画から流出するＣＯ2 およ
びスノーをほぼ平行な流れにし、それによってスノーを
小さな足跡に集束して工作物の研磨を行わせる段階をさ
らに含む請求項１１記載の方法。 - 【請求項１４】 ＣＯ2 およびスノーの混合物を前記下
流区画において少なくともマッハ２．２の速度に加速す
る段階をさらに含む請求項１１記載の方法。 - 【請求項１５】 ＣＯ2 ガスが前記のど区画を通る際に
該ＣＯ2 ガスを圧縮する段階をさらに含む請求項１４記
載の方法。 - 【請求項１６】 前記ノズルの下流区画を通るＣＯ2 ガ
スとスノーの流れを集束し、かつ工作物に作用する排出
ＣＯ2 ガスとスノーによって形成される研磨足跡および
これに起因する静電荷を最小限にし、発生した静電荷を
足跡の区域に散逸させる段階をさらに含む請求項１４記
載の方法。 - 【請求項１７】 質量でほぼ５対１の割合で排出ＣＯ2
ガスおよびスノーの混合物を発生させる段階をさらに含
む請求項１４記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| US043943 | 1993-04-05 | ||
| US08/043,943 US5545073A (en) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | Silicon micromachined CO2 cleaning nozzle and method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07931A true JPH07931A (ja) | 1995-01-06 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP6066259A Pending JPH07931A (ja) | 1993-04-05 | 1994-04-04 | 工作物を研磨性二酸化炭素スノーによって清浄化する装置および方法 |
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| JP (1) | JPH07931A (ja) |
| BR (1) | BR9401380A (ja) |
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6430885B1 (en) | 1999-12-24 | 2002-08-13 | Nichiha Corporation | Fastened structure of siding boards |
| JP2016505371A (ja) * | 2012-12-18 | 2016-02-25 | ポステック アカデミー‐インダストリー ファウンデーション | 高速粒子ビームを用いた液膜の除去方法 |
| JP2016511135A (ja) * | 2012-12-18 | 2016-04-14 | ポステック アカデミー‐インダストリー ファウンデーション | 超高速均一ナノ粒子生成ノズル、生成装置および生成方法 |
| JP2016512793A (ja) * | 2013-03-18 | 2016-05-09 | サンドヴィック マテリアルズ テクノロジー ドイチュラント ゲーエムベーハー | 管外壁の洗浄を含む鋼管を製造するための方法 |
| JP2016101625A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | エア・ウォーター株式会社 | ドライアイススノー洗浄装置 |
| JP2018001043A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | 株式会社ダイフク | 氷粒子噴射装置及び氷粒子噴射方法 |
Families Citing this family (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0721801B1 (en) * | 1994-12-15 | 1999-06-02 | He Holdings, Inc. | C02 jet spray nozzle with multiple orifices |
| US5651834A (en) * | 1995-08-30 | 1997-07-29 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for CO2 cleaning with mitigated ESD |
| US5785581A (en) * | 1995-10-19 | 1998-07-28 | The Penn State Research Foundation | Supersonic abrasive iceblasting apparatus |
| US5846338A (en) * | 1996-01-11 | 1998-12-08 | Asyst Technologies, Inc. | Method for dry cleaning clean room containers |
| US5957760A (en) * | 1996-03-14 | 1999-09-28 | Kreativ, Inc | Supersonic converging-diverging nozzle for use on biological organisms |
| US5975996A (en) * | 1996-07-18 | 1999-11-02 | The Penn State Research Foundation | Abrasive blast cleaning nozzle |
| US5794859A (en) * | 1996-11-27 | 1998-08-18 | Ford Motor Company | Matrix array spray head |
| US5901908A (en) * | 1996-11-27 | 1999-05-11 | Ford Motor Company | Spray nozzle for fluid deposition |
| US5704825A (en) * | 1997-01-21 | 1998-01-06 | Lecompte; Gerard J. | Blast nozzle |
| US6168503B1 (en) | 1997-07-11 | 2001-01-02 | Waterjet Technology, Inc. | Method and apparatus for producing a high-velocity particle stream |
| AU3657497A (en) * | 1997-07-11 | 1999-02-08 | Waterjet International, Inc. | Method and apparatus for producing a high-velocity particle stream |
| BR9811100A (pt) | 1997-07-11 | 2002-01-15 | Waterjet Technology Inc | Método e aparelho para a produção de uma corrente de partìcula em alta velocidade |
| US6162113A (en) * | 1997-08-25 | 2000-12-19 | Armstrong; Jay T. | Process using in-situ abrasive belt/planer cleaning system |
| JP2959763B1 (ja) * | 1998-01-13 | 1999-10-06 | 島田理化工業株式会社 | ウェーハ洗浄装置 |
| DE19828987A1 (de) * | 1998-06-29 | 2000-01-05 | Air Liquide Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen einer Leiterplattenschablone oder einer Leiterplatte |
| US5928434A (en) * | 1998-07-13 | 1999-07-27 | Ford Motor Company | Method of mitigating electrostatic charge during cleaning of electronic circuit boards |
| US5944581A (en) * | 1998-07-13 | 1999-08-31 | Ford Motor Company | CO2 cleaning system and method |
| US6293857B1 (en) * | 1999-04-06 | 2001-09-25 | Robert Pauli | Blast nozzle |
| US6338439B1 (en) | 1999-12-22 | 2002-01-15 | Visteon Global Tech., Inc. | Nozzle assembly |
| US6318642B1 (en) | 1999-12-22 | 2001-11-20 | Visteon Global Tech., Inc | Nozzle assembly |
| US6315221B1 (en) | 1999-12-22 | 2001-11-13 | Visteon Global Tech., Inc. | Nozzle |
| US6357669B1 (en) | 1999-12-22 | 2002-03-19 | Visteon Global Tech., Inc. | Nozzle |
| US6328226B1 (en) | 1999-12-22 | 2001-12-11 | Visteon Global Technologies, Inc. | Nozzle assembly |
| US6394369B2 (en) | 1999-12-22 | 2002-05-28 | Visteon Global Tech., Inc. | Nozzle |
| US6910957B2 (en) * | 2000-02-25 | 2005-06-28 | Andrew M. Taylor | Method and apparatus for high pressure article cleaner |
| DE10040335A1 (de) * | 2000-08-17 | 2002-03-14 | Messer Griesheim Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen elektronischer Bauteile |
| KR100385432B1 (ko) * | 2000-09-19 | 2003-05-27 | 주식회사 케이씨텍 | 표면 세정용 에어로졸 생성 시스템 |
| US20040255990A1 (en) * | 2001-02-26 | 2004-12-23 | Taylor Andrew M. | Method of and apparatus for golf club cleaning |
| NL1018280C2 (nl) * | 2001-06-13 | 2002-12-16 | Huibert Konings | Straalelement voor het bewerken van oppervlakken met cryogene deeltjes. |
| US20050037697A1 (en) * | 2003-08-14 | 2005-02-17 | Nord Lance G. | Abrasive media blast nozzle |
| US20070202781A1 (en) * | 2006-02-28 | 2007-08-30 | Media Blast & Abrasives, Inc. | Blast media nozzle and nozzle assembly |
| DE102009006378A1 (de) * | 2009-01-07 | 2010-07-08 | Linde Aktiengesellschaft | Düse für eine Reinigungseinrichtung zum Reinigen mit einem Gemisch aus cryogenem Medium und Luft und Verfahren zum Reinigen mit einem Gemisch aus cryogenem Medium und Luft |
| US8696406B2 (en) * | 2010-02-24 | 2014-04-15 | Werner Hunziker | Device for blast-machining or abrasive blasting objects |
| FR2977183B1 (fr) * | 2011-06-29 | 2014-09-19 | Air Liquide | Dispositif de projection de glace seche, notamment de glace carbonique |
| US9931639B2 (en) | 2014-01-16 | 2018-04-03 | Cold Jet, Llc | Blast media fragmenter |
| US11383349B2 (en) * | 2014-08-20 | 2022-07-12 | Oceanit Laboratories, Inc. | Reduced noise abrasive blasting systems |
| KR20160057966A (ko) * | 2014-11-14 | 2016-05-24 | 가부시끼가이샤 도시바 | 처리 장치, 노즐 및 다이싱 장치 |
| DE102017124516A1 (de) * | 2017-10-20 | 2019-04-25 | Knorr-Bremse Systeme für Schienenfahrzeuge GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung von Eis- und/oder Schnee von einem Drehgestell eines Schienenfahrzeugs |
| GB201721176D0 (en) * | 2017-12-18 | 2018-01-31 | Semblant Ltd | Method and apparatus for removing a conformal coating from a circuit board |
| CN108573855B (zh) * | 2018-04-08 | 2021-01-01 | 苏州珮凯科技有限公司 | 半导体8寸晶元薄膜制程的TD/DRM工艺的Al/Al2O3件的再生方法 |
| US20200282517A1 (en) * | 2018-12-11 | 2020-09-10 | Oceanit Laboratories, Inc. | Method and design for productive quiet abrasive blasting nozzles |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2064003A1 (ja) * | 1969-12-29 | 1971-07-15 | ||
| US3676963A (en) * | 1971-03-08 | 1972-07-18 | Chemotronics International Inc | Method for the removal of unwanted portions of an article |
| US3878978A (en) * | 1973-11-30 | 1975-04-22 | Tee Pak Inc | Method for severing tubular film |
| US4038786A (en) * | 1974-09-27 | 1977-08-02 | Lockheed Aircraft Corporation | Sandblasting with pellets of material capable of sublimation |
| IT1131840B (it) * | 1980-06-23 | 1986-06-25 | Beniamino Palmieri | Apparecchio per diagnostica intraoperatoria |
| US4389820A (en) * | 1980-12-29 | 1983-06-28 | Lockheed Corporation | Blasting machine utilizing sublimable particles |
| JPS5937052A (ja) * | 1982-08-20 | 1984-02-29 | Toshiba Corp | バリ取り方法 |
| US4519812A (en) * | 1983-10-28 | 1985-05-28 | Aga Ab | Cryogen shot blast deflashing system with jointed supply conduit |
| US4631250A (en) * | 1985-03-13 | 1986-12-23 | Research Development Corporation Of Japan | Process for removing covering film and apparatus therefor |
| US4747421A (en) * | 1985-03-13 | 1988-05-31 | Research Development Corporation Of Japan | Apparatus for removing covering film |
| FR2579514B1 (fr) * | 1985-03-26 | 1990-05-11 | Linde Ag | Procede d'ebarbage de pieces faconnees |
| US4806171A (en) * | 1987-04-22 | 1989-02-21 | The Boc Group, Inc. | Apparatus and method for removing minute particles from a substrate |
| DE3844649C2 (ja) * | 1987-06-23 | 1992-04-23 | Taiyo Sanso Co. Ltd., Osaka, Jp | |
| US4828184A (en) * | 1988-08-12 | 1989-05-09 | Ford Motor Company | Silicon micromachined compound nozzle |
| US4962891A (en) * | 1988-12-06 | 1990-10-16 | The Boc Group, Inc. | Apparatus for removing small particles from a substrate |
| US5018667A (en) * | 1989-02-08 | 1991-05-28 | Cold Jet, Inc. | Phase change injection nozzle |
| WO1990009243A1 (en) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 | Cold Jet, Inc. | Noise attenuating supersonic nozzle |
| JP2825301B2 (ja) * | 1990-02-14 | 1998-11-18 | 三菱電機株式会社 | 微細凍結粒子による洗浄装置 |
| US5111984A (en) * | 1990-10-15 | 1992-05-12 | Ford Motor Company | Method of cutting workpieces having low thermal conductivity |
| US5294261A (en) * | 1992-11-02 | 1994-03-15 | Air Products And Chemicals, Inc. | Surface cleaning using an argon or nitrogen aerosol |
-
1993
- 1993-04-05 US US08/043,943 patent/US5545073A/en not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-03-24 DE DE4410119A patent/DE4410119A1/de not_active Withdrawn
- 1994-03-28 GB GB9406099A patent/GB2276837B/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-04-04 JP JP6066259A patent/JPH07931A/ja active Pending
- 1994-04-04 BR BR9401380A patent/BR9401380A/pt not_active Application Discontinuation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6430885B1 (en) | 1999-12-24 | 2002-08-13 | Nichiha Corporation | Fastened structure of siding boards |
| JP2016505371A (ja) * | 2012-12-18 | 2016-02-25 | ポステック アカデミー‐インダストリー ファウンデーション | 高速粒子ビームを用いた液膜の除去方法 |
| JP2016511135A (ja) * | 2012-12-18 | 2016-04-14 | ポステック アカデミー‐インダストリー ファウンデーション | 超高速均一ナノ粒子生成ノズル、生成装置および生成方法 |
| JP2016512793A (ja) * | 2013-03-18 | 2016-05-09 | サンドヴィック マテリアルズ テクノロジー ドイチュラント ゲーエムベーハー | 管外壁の洗浄を含む鋼管を製造するための方法 |
| JP2016101625A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | エア・ウォーター株式会社 | ドライアイススノー洗浄装置 |
| JP2018001043A (ja) * | 2016-06-27 | 2018-01-11 | 株式会社ダイフク | 氷粒子噴射装置及び氷粒子噴射方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4410119A1 (de) | 1994-10-20 |
| GB2276837B (en) | 1997-08-06 |
| US5545073A (en) | 1996-08-13 |
| GB2276837A (en) | 1994-10-12 |
| BR9401380A (pt) | 1994-10-25 |
| GB9406099D0 (en) | 1994-05-18 |
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