JPH0792084A - 光学系の透過率測定装置及び測定方法 - Google Patents
光学系の透過率測定装置及び測定方法Info
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- JPH0792084A JPH0792084A JP23821393A JP23821393A JPH0792084A JP H0792084 A JPH0792084 A JP H0792084A JP 23821393 A JP23821393 A JP 23821393A JP 23821393 A JP23821393 A JP 23821393A JP H0792084 A JPH0792084 A JP H0792084A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光学系の透過率測定の精度向上を図る。
【構成】平行光束生成手段１からの光束を光強度検出手
段５で直接受光したときの出力と、平行光束生成手段１
からの光束中に光学系ａと光学系ｂを配置したときの出
力と、光学系ｂと光学系ｃを配置したときの出力と、光
学系ｃと光学系ａを配置したときの出力とから、光学系
ａ、ｂ、ｃの透過率を算出する。
段５で直接受光したときの出力と、平行光束生成手段１
からの光束中に光学系ａと光学系ｂを配置したときの出
力と、光学系ｂと光学系ｃを配置したときの出力と、光
学系ｃと光学系ａを配置したときの出力とから、光学系
ａ、ｂ、ｃの透過率を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光学系、特に一群又
は複数群からなる光学系の透過率測定装置及び測定方法
に関する。
は複数群からなる光学系の透過率測定装置及び測定方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学系の透過率測定に関しては、
ＪＩＳ Ｂ７１０７に写真レンズの分光透過率の測定方
法が開示されている。
ＪＩＳ Ｂ７１０７に写真レンズの分光透過率の測定方
法が開示されている。
【０００３】図３はＪＩＳ Ｂ７１０７において方法１
（有限開口による測定方法）として開示されている方法
の測定装置である。モノクロメーターの射出スリット２
１からでる光束は、コリメーターレンズ２２で平行光束
に変換され、その平行光束は光線束制限用絞り２３でそ
の光束径を制限されている。
（有限開口による測定方法）として開示されている方法
の測定装置である。モノクロメーターの射出スリット２
１からでる光束は、コリメーターレンズ２２で平行光束
に変換され、その平行光束は光線束制限用絞り２３でそ
の光束径を制限されている。
【０００４】光線束制限用絞り２３のあとに、被検レン
ズ２４を配置し、光束を視野絞り２５、リレーレンズ２
６を介して積分球２７に導いたとき（図３（１））の光
電出力Ｆs と、被検レンズ２４及び視野絞り２５を取り
除き、光線束制限用絞り２３からの光束をリレーレンズ
２６で直接積分球２７に導いたとき（図３（２））の光
電出力をＦo とから Ｆs ／Ｆo ×１００（％） により被検レンズ２４の透過率を求めている。
ズ２４を配置し、光束を視野絞り２５、リレーレンズ２
６を介して積分球２７に導いたとき（図３（１））の光
電出力Ｆs と、被検レンズ２４及び視野絞り２５を取り
除き、光線束制限用絞り２３からの光束をリレーレンズ
２６で直接積分球２７に導いたとき（図３（２））の光
電出力をＦo とから Ｆs ／Ｆo ×１００（％） により被検レンズ２４の透過率を求めている。
【０００５】図４はＪＩＳ Ｂ７１０７において方法２
（近軸開口による測定方法）として開示されている方法
の測定装置である。モノクロメーターの射出スリット２
１からでる光束は、コリメーターレンズ２２で平行光束
に変換され、その平行光束は光線束制限用絞り２３でそ
の光束径を制限されている。
（近軸開口による測定方法）として開示されている方法
の測定装置である。モノクロメーターの射出スリット２
１からでる光束は、コリメーターレンズ２２で平行光束
に変換され、その平行光束は光線束制限用絞り２３でそ
の光束径を制限されている。
【０００６】光線束制限用絞り２３のあとに、被検レン
ズ２４を配置し、光束を視野絞り２５を介して積分球２
７に導いたとき（図４（１））の光電出力Ｆs と、被検
レンズ２４及び視野絞り２５を取り除き、光線束制限用
絞り２３からの光束を直接積分球２７に導いたとき（図
４（２））の光電出力をＦｏとから Ｆs ／Ｆo ×１００（％） により被検レンズ２４の透過率を求めている。
ズ２４を配置し、光束を視野絞り２５を介して積分球２
７に導いたとき（図４（１））の光電出力Ｆs と、被検
レンズ２４及び視野絞り２５を取り除き、光線束制限用
絞り２３からの光束を直接積分球２７に導いたとき（図
４（２））の光電出力をＦｏとから Ｆs ／Ｆo ×１００（％） により被検レンズ２４の透過率を求めている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図３に示す方法（ＪＩ
Ｓ Ｂ７１０７における方法１）では、被検レンズ２４
の有無によりリレーレンズ２６を移動させるため、リレ
ーレンズ２６への入射光束及び出射光束の形状が、被検
レンズ２４の有無で異なるためリレーレンズ２６の透過
率が一定でなく、透過率測定に誤差が生じるという問題
があった。また被検レンズ２４の有無で積分球へ入る光
束の収束角が異なることも測定の誤差要因となってい
た。
Ｓ Ｂ７１０７における方法１）では、被検レンズ２４
の有無によりリレーレンズ２６を移動させるため、リレ
ーレンズ２６への入射光束及び出射光束の形状が、被検
レンズ２４の有無で異なるためリレーレンズ２６の透過
率が一定でなく、透過率測定に誤差が生じるという問題
があった。また被検レンズ２４の有無で積分球へ入る光
束の収束角が異なることも測定の誤差要因となってい
た。
【０００８】また図４に示す方法（ＪＩＳ Ｂ７１０７
における方法２）では、被検レンズ２４を入れない状態
での光量測定が、光束を積分球２７で直接受光する方法
で行われるので、コリメーターレンズ２２からの光束を
太くすることができず、有効径の大きなレンズに対して
は、光軸近傍の値で近似せざるを得ないという問題があ
った。
における方法２）では、被検レンズ２４を入れない状態
での光量測定が、光束を積分球２７で直接受光する方法
で行われるので、コリメーターレンズ２２からの光束を
太くすることができず、有効径の大きなレンズに対して
は、光軸近傍の値で近似せざるを得ないという問題があ
った。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決するためになされたものであり、平行光束生成手段
と、光強度検出手段と、平行光束生成手段からの平行光
束を光強度検出手段で直接受光したときの出力と、平行
光束生成手段からの光束中に透過率が未知の光学系ａと
透過率が未知の光学系ｂを配置したときの光強度検出手
段の出力と、平行光束生成手段からの光束中に光学系ｂ
と透過率が未知の光学系ｃを配置したときの光強度検出
手段の出力と、平行光束生成手段からの光束中に光学系
ｃと光学系ａを配置したときの光強度検出手段の出力を
記憶する記憶手段と、上記各出力値を基に光学系ａ、光
学系ｂ、光学系ｃの透過率を算出する演算手段とを備え
たことを特徴とする光学系の透過率測定装置を提供す
る。
解決するためになされたものであり、平行光束生成手段
と、光強度検出手段と、平行光束生成手段からの平行光
束を光強度検出手段で直接受光したときの出力と、平行
光束生成手段からの光束中に透過率が未知の光学系ａと
透過率が未知の光学系ｂを配置したときの光強度検出手
段の出力と、平行光束生成手段からの光束中に光学系ｂ
と透過率が未知の光学系ｃを配置したときの光強度検出
手段の出力と、平行光束生成手段からの光束中に光学系
ｃと光学系ａを配置したときの光強度検出手段の出力を
記憶する記憶手段と、上記各出力値を基に光学系ａ、光
学系ｂ、光学系ｃの透過率を算出する演算手段とを備え
たことを特徴とする光学系の透過率測定装置を提供す
る。
【００１０】また、本発明は、平行光束生成手段からの
平行光束を光強度検出手段で直接受光したときの出力を
Ｐ、平行光束生成手段からの光束中に透過率が未知の光
学系ａと透過率が未知の光学系ｂを配置したときの光強
度検出手段の出力をＰａｂ、平行光束生成手段からの光
束中に光学系ｂと透過率が未知の光学系ｃを配置したと
きの光強度検出手段の出力をＰｂｃ、平行光束生成手段
からの光束中に光学系ｃと光学系ａを配置したときの光
強度検出手段の出力をＰｃａとする場合、上記演算手段
が、光学系ａの透過率Ｔａ、光学系ｂの透過率Ｔｂ、光
学系ｃの透過率Ｔｃを数３により算出する演算手段であ
ることを特徴とする光学系の透過率測定装置を提供す
る。
平行光束を光強度検出手段で直接受光したときの出力を
Ｐ、平行光束生成手段からの光束中に透過率が未知の光
学系ａと透過率が未知の光学系ｂを配置したときの光強
度検出手段の出力をＰａｂ、平行光束生成手段からの光
束中に光学系ｂと透過率が未知の光学系ｃを配置したと
きの光強度検出手段の出力をＰｂｃ、平行光束生成手段
からの光束中に光学系ｃと光学系ａを配置したときの光
強度検出手段の出力をＰｃａとする場合、上記演算手段
が、光学系ａの透過率Ｔａ、光学系ｂの透過率Ｔｂ、光
学系ｃの透過率Ｔｃを数３により算出する演算手段であ
ることを特徴とする光学系の透過率測定装置を提供す
る。
【００１１】
【数３】
【００１２】さらに、本発明は、光学系ａと光学系ｂの
合成の透過率をＴａｂ、光学系ｂと光学系ｃの合成の透
過率をＴｂｃ、光学系ｃと光学系ａの合成の透過率をＴ
ｃａを測定し、各値から数４により光学系ａの透過率Ｔ
ａ、光学系ｂの透過率Ｔｂ、光学系ｃの透過率Ｔｃを求
めることを特徴とする光学系の透過率測定方法を提供す
る。
合成の透過率をＴａｂ、光学系ｂと光学系ｃの合成の透
過率をＴｂｃ、光学系ｃと光学系ａの合成の透過率をＴ
ｃａを測定し、各値から数４により光学系ａの透過率Ｔ
ａ、光学系ｂの透過率Ｔｂ、光学系ｃの透過率Ｔｃを求
めることを特徴とする光学系の透過率測定方法を提供す
る。
【００１３】
【数４】
【００１４】本発明の測定装置の構成を、図１により説
明する。本発明の測定装置は、平行光束生成手段１（実
施例ではレーザー光源２、凸レンズ３、凸レンズ４）
と、光強度検出手段５（実施例では集光レンズ６、フォ
トダイオード７）と、記憶手段８（実施例ではマイクロ
コンピューター９の記憶部１０）と、演算手段１１（実
施例ではマイクロコンピューター９の演算部１２）とを
備える。また、図１において１３は光学系ａ、光学系ｂ
又は光学系ｃ、１４は光学系ｂ、光学系ｃ、又は光学系
ａである。
明する。本発明の測定装置は、平行光束生成手段１（実
施例ではレーザー光源２、凸レンズ３、凸レンズ４）
と、光強度検出手段５（実施例では集光レンズ６、フォ
トダイオード７）と、記憶手段８（実施例ではマイクロ
コンピューター９の記憶部１０）と、演算手段１１（実
施例ではマイクロコンピューター９の演算部１２）とを
備える。また、図１において１３は光学系ａ、光学系ｂ
又は光学系ｃ、１４は光学系ｂ、光学系ｃ、又は光学系
ａである。
【００１５】光強度検出手段５は、平行光束生成手段１
からの光束のほぼ光軸上に配置される。また、平行光束
生成手段１と光強度検出手段５は、光学系２個が配置で
きる程度に、間隔をおいて配置される。
からの光束のほぼ光軸上に配置される。また、平行光束
生成手段１と光強度検出手段５は、光学系２個が配置で
きる程度に、間隔をおいて配置される。
【００１６】次に本発明の測定方法を図１及び図２によ
り説明する。本発明の測定方法は以下の手順からなる。
第１に、光学系ａと光学系ｂを平行光束生成手段１から
の光束中に配置し、光学系ａ、及び光学系ｂを透過後の
光強度検出手段５の出力を記憶手段８に記憶する（ステ
ップ１）。
り説明する。本発明の測定方法は以下の手順からなる。
第１に、光学系ａと光学系ｂを平行光束生成手段１から
の光束中に配置し、光学系ａ、及び光学系ｂを透過後の
光強度検出手段５の出力を記憶手段８に記憶する（ステ
ップ１）。
【００１７】第２に、光学系ｂと光学系ｃを平行光束生
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｂ、及び光学系
ｃを透過後の光強度検出手段５の出力を記憶手段８に記
憶する（ステップ２）。
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｂ、及び光学系
ｃを透過後の光強度検出手段５の出力を記憶手段８に記
憶する（ステップ２）。
【００１８】第３に、光学系ｃと光学系ａを平行光束生
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｃ、及び光学系
ａを透過後の光強度検出手段５の出力を記憶手段８に記
憶する（ステップ３）。
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｃ、及び光学系
ａを透過後の光強度検出手段５の出力を記憶手段８に記
憶する（ステップ３）。
【００１９】第４に、平行光束生成手段１からの平行光
束を直接光強度検出手段５で受光し、その出力を記憶手
段８に記憶する（ステップ４）。最後に、光学系ａとｂ
の合成の透過率、光学系ｂとｃの合成の透過率、光学系
ｃとａの合成の透過率（ステップ５）及び、光学系ａ、
ｂ、ｃの各透過率を演算手段１１で求める（ステップ
６）。
束を直接光強度検出手段５で受光し、その出力を記憶手
段８に記憶する（ステップ４）。最後に、光学系ａとｂ
の合成の透過率、光学系ｂとｃの合成の透過率、光学系
ｃとａの合成の透過率（ステップ５）及び、光学系ａ、
ｂ、ｃの各透過率を演算手段１１で求める（ステップ
６）。
【００２０】
【作用】本発明に用いた透過率測定の作用を以下に説明
する。透過率が未知の３個の光学系ａ、ｂ、ｃに対し
て、光学系ａとｂの合成の透過率をＴａｂ、光学系ｂと
ｃの合成の透過率をＴｂｃ、光学系ｃとａの合成の透過
率をＴｃと、光学系ａの透過率をＴａ、光学系ｂの透過
率をＴｂ、光学系ｃの透過率をＴｃ とすると、数５の
３つの式が成立する。
する。透過率が未知の３個の光学系ａ、ｂ、ｃに対し
て、光学系ａとｂの合成の透過率をＴａｂ、光学系ｂと
ｃの合成の透過率をＴｂｃ、光学系ｃとａの合成の透過
率をＴｃと、光学系ａの透過率をＴａ、光学系ｂの透過
率をＴｂ、光学系ｃの透過率をＴｃ とすると、数５の
３つの式が成立する。
【００２１】
【数５】
【００２２】従って、Ｔａｂ、Ｔｂｃ、Ｔｃａを知るこ
とができれば、上記の３式はＴａ、Ｔｂ、Ｔｃの３個を
未知数とする連立方程式となり、数６によりＴａ、Ｔ
ｂ、Ｔｃを求めることができる。
とができれば、上記の３式はＴａ、Ｔｂ、Ｔｃの３個を
未知数とする連立方程式となり、数６によりＴａ、Ｔ
ｂ、Ｔｃを求めることができる。
【００２３】
【数６】
【００２４】また、２個の光学系の合成の透過率を測定
するとき、２個の光学系がアフォーカル系を構成するよ
うに配置することにより、平行光束を平行光束のまま出
射させることができる。
するとき、２個の光学系がアフォーカル系を構成するよ
うに配置することにより、平行光束を平行光束のまま出
射させることができる。
【００２５】本発明の測定装置及び測定方法は、これら
の演算原理と光学配置に基づき構成されたものであり、
２個の光学系をアフォーカル系にして平行光束中に配置
することで、２個の光学系の合成の透過率を求めること
ができる。そして、透過率が未知の３個の光学系に対し
て、３個から２個を選ぶ３通りの組合せでの各合成の透
過率を測定で求め、演算により各光学系の透過率を得
る。
の演算原理と光学配置に基づき構成されたものであり、
２個の光学系をアフォーカル系にして平行光束中に配置
することで、２個の光学系の合成の透過率を求めること
ができる。そして、透過率が未知の３個の光学系に対し
て、３個から２個を選ぶ３通りの組合せでの各合成の透
過率を測定で求め、演算により各光学系の透過率を得
る。
【００２６】
【実施例】実施例の測定装置を図１により説明する。実
施例の測定装置は、平行光束生成手段１と、光強度検出
手段５と、平行光束生成手段１からの光束を光強度検出
手段５で直接受光したときの出力と、平行光束生成手段
１からの光束中に光学系ａと光学系ｂを配置したときの
光強度検出手段５の出力と、平行光束生成手段１からの
光束中に光学系ｂと光学系ｃを配置したときの光強度検
出手段５の出力と、平行光束生成手段１からの光束中に
光学系ｃと光学系ａを配置したときの光強度検出手段５
の出力の記憶手段８と、上記出力値から光学系ａ、ｂ、
ｃの各透過率を算出する演算手段１１とを備える。以
下、各部位毎の説明を行う。
施例の測定装置は、平行光束生成手段１と、光強度検出
手段５と、平行光束生成手段１からの光束を光強度検出
手段５で直接受光したときの出力と、平行光束生成手段
１からの光束中に光学系ａと光学系ｂを配置したときの
光強度検出手段５の出力と、平行光束生成手段１からの
光束中に光学系ｂと光学系ｃを配置したときの光強度検
出手段５の出力と、平行光束生成手段１からの光束中に
光学系ｃと光学系ａを配置したときの光強度検出手段５
の出力の記憶手段８と、上記出力値から光学系ａ、ｂ、
ｃの各透過率を算出する演算手段１１とを備える。以
下、各部位毎の説明を行う。
【００２７】（平行光束生成手段１）レーザー光源２
と、凸レンズ３と、凸レンズ４からなる。レーザー光源
２からの光束は凸レンズ３及び凸レンズ４により平行光
束に変換され出射される。
と、凸レンズ３と、凸レンズ４からなる。レーザー光源
２からの光束は凸レンズ３及び凸レンズ４により平行光
束に変換され出射される。
【００２８】（光強度検出手段５）集光レンズ６と、フ
ォトダイオード７からなる。入射してくる平行光束を集
光レンズ６でフォトダイオード７上に集光する。受光し
た光強度に比例した出力値は、Ａ／Ｄ（アナログ−デジ
タル）変換されマイクロコンピューター９に送られる。
ォトダイオード７からなる。入射してくる平行光束を集
光レンズ６でフォトダイオード７上に集光する。受光し
た光強度に比例した出力値は、Ａ／Ｄ（アナログ−デジ
タル）変換されマイクロコンピューター９に送られる。
【００２９】（記憶手段８）光強度検出手段５で得た出
力値を記憶する。マイクロコンピューター９の記憶部１
０を用いる。
力値を記憶する。マイクロコンピューター９の記憶部１
０を用いる。
【００３０】（演算手段１１）記憶手段８（マイクロコ
ンピューター９の記憶部１０）の値を基に、光学系の透
過率の算出を行う。マイクロコンピューター９の演算部
１２を用いて実行する。２個の光学系（図１の１３、１
４）を光束中に入れて、光強度の出力をみる場合、２個
の光学系は、１個目の光学系に平行で入射する光束が２
個目の光学系から平行に出射するように光束中に配置さ
れる。２個の光学系の焦点位置を一致させてアフォーカ
ル系を構成するように配置することで実現できる。こう
することにより、光束中に光学系を入れた場合でも、入
れない場合でも平行光束を光検出手段５に導ける。
ンピューター９の記憶部１０）の値を基に、光学系の透
過率の算出を行う。マイクロコンピューター９の演算部
１２を用いて実行する。２個の光学系（図１の１３、１
４）を光束中に入れて、光強度の出力をみる場合、２個
の光学系は、１個目の光学系に平行で入射する光束が２
個目の光学系から平行に出射するように光束中に配置さ
れる。２個の光学系の焦点位置を一致させてアフォーカ
ル系を構成するように配置することで実現できる。こう
することにより、光束中に光学系を入れた場合でも、入
れない場合でも平行光束を光検出手段５に導ける。
【００３１】次に、実施例の測定方法を図１及び図２に
より説明する。第１に、光学系ａと光学系ｂを平行光束
生成手段１からの光束中に配置し、光学系ａ、及び光学
系ｂを透過後の光強度検出手段５の出力Ｐａｂを記憶手
段８に記憶する（ステップ１）。
より説明する。第１に、光学系ａと光学系ｂを平行光束
生成手段１からの光束中に配置し、光学系ａ、及び光学
系ｂを透過後の光強度検出手段５の出力Ｐａｂを記憶手
段８に記憶する（ステップ１）。
【００３２】第２に、光学系ｂと光学系ｃを平行光束生
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｂ、及び光学系
ｃを透過後の光強度検出手段５の出力Ｐｂｃを記憶手段
８に記憶する（ステップ２）。
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｂ、及び光学系
ｃを透過後の光強度検出手段５の出力Ｐｂｃを記憶手段
８に記憶する（ステップ２）。
【００３３】第３に、光学系ｃと光学系ａを平行光束生
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｃ、及び光学系
ａを透過後の光強度検出手段５の出力Ｐｃａを記憶手段
８に記憶する（ステップ３）。
成手段１からの光束中に配置し、光学系ｃ、及び光学系
ａを透過後の光強度検出手段５の出力Ｐｃａを記憶手段
８に記憶する（ステップ３）。
【００３４】第４に、平行光束生成手段１からの平行光
束を直接光強度検出手段５で受光し、その出力Ｐを記憶
手段８に記憶する（ステップ４）。この値Ｐは、１００
％透過率の基準となる。最後に、光学系ａとｂの合成の
透過率、光学系ｂとｃの合成の透過率、光学系ｃとａの
合成の透過率（ステップ５）、及び光学系ａ、ｂ、ｃの
各透過率を、数７による演算機能を持つ演算手段１１で
求める（ステップ６）。
束を直接光強度検出手段５で受光し、その出力Ｐを記憶
手段８に記憶する（ステップ４）。この値Ｐは、１００
％透過率の基準となる。最後に、光学系ａとｂの合成の
透過率、光学系ｂとｃの合成の透過率、光学系ｃとａの
合成の透過率（ステップ５）、及び光学系ａ、ｂ、ｃの
各透過率を、数７による演算機能を持つ演算手段１１で
求める（ステップ６）。
【００３５】
【数７】
【００３６】ところで、本発明は上述の実施例に限定さ
れない。平行光束生成手段については、白色光源と、分
光手段であるモノクロメーターとを用いて構成し、光学
系の分光透過率を測定する構成としてもよい。光強度検
出手段については、集光レンズにより光束を積分球に導
く構成としてもよい。また、集光レンズからの光束を光
ファイバーを介して光電変換素子へ導く構成としてもよ
い。
れない。平行光束生成手段については、白色光源と、分
光手段であるモノクロメーターとを用いて構成し、光学
系の分光透過率を測定する構成としてもよい。光強度検
出手段については、集光レンズにより光束を積分球に導
く構成としてもよい。また、集光レンズからの光束を光
ファイバーを介して光電変換素子へ導く構成としてもよ
い。
【００３７】測定手順については、ステップ１からステ
ップ６までの手順で説明したが、ステップ１からステッ
プ４までは、この順番に限らず、ステップ１からステッ
プ４を任意の順番としてもよい。測定対象として３個の
光学系について説明したが、４個以上ある場合も３個の
組み合せで、上記測定を行い、各光学系の透過率を知る
こともできる。また、上記方法で透過率の既知となった
光学系と、透過率が未知の光学系の合成の透過率から、
未知の光学系の透過率を知ることも可能である。
ップ６までの手順で説明したが、ステップ１からステッ
プ４までは、この順番に限らず、ステップ１からステッ
プ４を任意の順番としてもよい。測定対象として３個の
光学系について説明したが、４個以上ある場合も３個の
組み合せで、上記測定を行い、各光学系の透過率を知る
こともできる。また、上記方法で透過率の既知となった
光学系と、透過率が未知の光学系の合成の透過率から、
未知の光学系の透過率を知ることも可能である。
【００３８】
【発明の効果】本発明によれば、３個あるいはそれ以上
の光学系を３個組み合せることにより、それらの透過率
を高精度で測定することができる。特に光学系の使用さ
れる共役条件が無限である場合、実際の使用条件に非常
に近い光学配置での測定がなされるため、光学配置の違
いから生ずる収差の影響をほとんど受けることなく、有
効径内のレンズ部材の欠陥、あるいは一般にレンズ表面
の施される反射防止膜の良否等の判断に有効に利用され
る情報を得ることができる。
の光学系を３個組み合せることにより、それらの透過率
を高精度で測定することができる。特に光学系の使用さ
れる共役条件が無限である場合、実際の使用条件に非常
に近い光学配置での測定がなされるため、光学配置の違
いから生ずる収差の影響をほとんど受けることなく、有
効径内のレンズ部材の欠陥、あるいは一般にレンズ表面
の施される反射防止膜の良否等の判断に有効に利用され
る情報を得ることができる。
【図１】本発明の透過率測定装置の実施例の構成図。
【図２】本発明の透過率測定方法の実施例の手順を示す
工程図。
工程図。
【図３】従来の透過率測定装置の構成図。
【図４】従来の透過率測定装置の構成図。
１：平行光束生成手段 ２：レーザー光源 ３：凸レンズ ４：凸レンズ ５：光強度検出手段 ６：集光レンズ ７：フォトダイオード ８：記憶手段 ９：マイクロコンピューター １０：マイクロコンピューターの記憶部 １１：演算手段 １２：マイクロコンピューターの演算部 １３：光学系ａ、光学系ｂ又は光学系ｃ １４：光学系ｂ、光学系ｃ又は光学系ａ ２１：モノクロメーターの射出スリット ２２：コリメーターレンズ ２３：光線束制限用絞り ２４：被検レンズ ２５：視野絞り ２６：リレーレンズ ２７：積分球
Claims (3)
- 【請求項１】平行光束生成手段と、光強度検出手段と、
平行光束生成手段からの平行光束を光強度検出手段で直
接受光したときの出力と、平行光束生成手段からの光束
中に透過率が未知の光学系ａと透過率が未知の光学系ｂ
を配置したときの光強度検出手段の出力と、平行光束生
成手段からの光束中に光学系ｂと透過率が未知の光学系
ｃを配置したときの光強度検出手段の出力と、平行光束
生成手段からの光束中に光学系ｃと光学系ａを配置した
ときの光強度検出手段の出力を記憶する記憶手段と、上
記各出力値を基に光学系ａ、光学系ｂ、光学系ｃの透過
率を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする光学
系の透過率測定装置。 - 【請求項２】平行光束生成手段からの平行光束を光強度
検出手段で直接受光したときの出力をＰ、平行光束生成
手段からの光束中に透過率が未知の光学系ａと透過率が
未知の光学系ｂを配置したときの光強度検出手段の出力
をＰａｂ、平行光束生成手段からの光束中に光学系ｂと
透過率が未知の光学系ｃを配置したときの光強度検出手
段の出力をＰｂｃ、平行光束生成手段からの光束中に光
学系ｃと光学系ａを配置したときの光強度検出手段の出
力をＰｃａとする場合、請求項１の演算手段が、光学系
ａの透過率Ｔａ、光学系ｂの透過率Ｔｂ、光学系ｃの透
過率Ｔｃを数１により算出する演算手段であることを特
徴とする光学系の透過率測定装置。 【数１】 - 【請求項３】光学系ａと光学系ｂの合成の透過率Ｔａ
ｂ、光学系ｂと光学系ｃの合成の透過率Ｔｂｃ、光学系
ｃと光学系ａの合成の透過率Ｔｃａを測定し、各値か
ら、数２により光学系ａの透過率Ｔａ、光学系ｂの透過
率Ｔｂ、光学系ｃの透過率Ｔｃを求めることを特徴とす
る光学系の透過率測定方法。 【数２】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23821393A JPH0792084A (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 光学系の透過率測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23821393A JPH0792084A (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 光学系の透過率測定装置及び測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0792084A true JPH0792084A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17026833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23821393A Pending JPH0792084A (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 光学系の透過率測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792084A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474864B1 (ko) * | 2001-03-14 | 2005-03-09 | 호야 가부시키가이샤 | 광 투과율 측정방법 및 그 장치 |
-
1993
- 1993-09-24 JP JP23821393A patent/JPH0792084A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474864B1 (ko) * | 2001-03-14 | 2005-03-09 | 호야 가부시키가이샤 | 광 투과율 측정방법 및 그 장치 |
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