JPH0792037A - 温度計校正装置 - Google Patents

温度計校正装置

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JPH0792037A
JPH0792037A JP26155193A JP26155193A JPH0792037A JP H0792037 A JPH0792037 A JP H0792037A JP 26155193 A JP26155193 A JP 26155193A JP 26155193 A JP26155193 A JP 26155193A JP H0792037 A JPH0792037 A JP H0792037A
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heat
heat pipe
calibrating
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晋 服部
Morio Shigeno
守男 重野
Kosuke Koizumi
功介 小泉
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Chino Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】高精度で安定性の良い温度校正装置を提供す
る。 【構成】校正用の縦形の電気炉1の炉体3の均熱ブロッ
ク4に埋設されたヒートパイプ4aの一端41を放熱ブ
ロック5内に位置し、冷却させる。このためヒートパイ
プ4aは常に作動し、均熱ブロック4は均熱化される。
均熱ブロック4の温度は温度検出器7で検出され調節計
8、操作器9よりなる制御部2によりヒータ6の制御が
行われる。校正用の温度センサの挿入孔4bに温度セン
サを挿入し、温度校正が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、測温抵抗体、熱電対
等の温度計や温度センサの校正に用いられる温度計校正
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】温度計校正装置には、たとえば電気炉が
用いられるが、炉内の広い範囲にわたって温度分布が良
く、安定性の良いことが要求される。このため、ヒータ
をいくつかに分割して巻いて複数ゾーンで温度制御をし
て均熱化を図ったり、金属等の均熱ブロックを用いて等
温にする方法が提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ただ単
に均熱ブロック等を用いるのみでは、高精度の校正には
十分ではなかった。
【0004】この発明の目的は、以上の点に鑑み、均熱
ブロックとヒートパイプを併用して、高精度で安定性の
良い温度校正装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、温度センサ
が挿入される挿入孔を有する均熱ブロックと、この均熱
ブロックに設けられその一端が放熱ブロックに位置する
ヒートパイプとを備え、温度センサ等を校正するように
した温度校正装置である。
【0006】
【実施例】この発明の概要は次のようである。ヒートパ
イプは、一般的に大量熱量を輸送するものであるが、長
手方向を横置き使用するか、縦置きにして下部を加熱し
ボトムヒートで使用される。また、縦置で上部を加熱す
るトップヒートでは輸送性能が大幅に低下する。このた
め、均熱炉として横形炉では使用できるが、縦形炉での
使用では均熱性能が不安定になりやすい。
【0007】この校正装置では、ヒートパイプの熱輸送
性能に着目し、みかけの熱伝導率が小さくなることを利
用して微弱な熱輸送量を常に確保する状態をつくって温
度の均一化を達成する。この状態を維持するために上部
に放熱ブロックを設け、均熱ブロックから上部の放熱ブ
ロックに常に熱が流れる構造の縦形の加熱炉(電気炉)
とする。その均熱ブロックのみかけの熱伝導率をヒート
パイプを設置することによって小さくする。この、見か
けの熱伝導率の低下によって均熱ブロックは均熱化され
より均一な温度分布を達成した縦形の温度校正装置を実
現する。熱伝導を利用した校正装置では通常熱の流れを
小さくして均一な温度分布を実現するが、みかけの熱伝
導率を小さくすることで均一な温度分布が達成できる。
【0008】次に、実施例に従ってこの発明を説明す
る。図1は、この発明の一実施例を示す構成説明図で、
図において、1は校正用の縦形の電気炉(加熱炉)、2
は制御部である。電気炉1は、円筒状の断熱材によりな
る炉体3、炉体3の中心に設けられた円筒状の金属等の
均熱ブロック4、均熱ブロック4の上に設けられた金属
等の放熱ブロック5、均熱ブロック4の外周に巻かれた
ヒータ6等より構成されている。均熱ブロック4内の温
度は下方から挿入される温度検出器6により検出され、
その出力は調節計8に供給され、設定値と比較され、操
作器9を駆動してヒータ6に供給する電力等を制御し、
一定温度とされる。
【0009】均熱ブロック4は、図2で断面を示すよう
に、円心円状に複数のヒートパイプ4aが上部の一端4
1を残して埋設され、その間に交互に複数の校正用の温
度センサ(温度計)の挿入孔4bが同心円状に形成され
ている。この均熱ブロック4より突出したヒートパイプ
4aの上の一端41は、放熱ブロック5内の非貫通孔に
挿入されて位置して密接し、挿入孔4bは放熱ブロック
5の孔部50と連通し、外部から温度センサが挿入され
る。放熱ブロック5は薄肉パイプ5aでフランジ5bに
接続し、そのフランジで全体をケースに固定するよう形
成されている。
【0010】つまり、均熱ブロック4の上部よりヒート
パイプ4aの上の一端は突出し冷却用の放熱ブロック5
内に位置し埋設されているので、この上の一端41は常
に冷却されることになる。このことにより、ヒートパイ
プ4aの上の一端41と下の他端42との両端の間に微
少な温度勾配が常に生じ、ヒートパイプ4aの下部が常
に蒸発部となる。作動液がそこで蒸発し、ヒートパイプ
内4aを上昇し、上部の凝縮部に移動できることにな
る。このようにして、熱輸送性能を著しく良くし、みか
けの熱伝導率を高め、熱応答性も速くし、均熱ブロック
4内での温度を等温にし均熱化し、安定化させることが
できる。このように等温で安定した均熱ブロック4の挿
入孔4bに校正用の温度センサを挿入することにより容
易に、しかも高精度に温度の比較校正を行うことができ
る。
【0011】
【発明の効果】以上述べたように、この発明は、均熱ブ
ロックに埋設されたヒートパイプの一端に冷却用の放熱
ブロックを設けているのでヒートパイプの両端に微少な
温度差が与えられ熱輸送性能を良くして均熱ブロック内
の温度分布を極力小さくした縦形炉とでき、温度校正を
高精度に行うことができる。つまり、このヒートパイプ
で熱輸送量を大きくすることによって見かけの熱伝導率
を良くして均熱ブロック内の温度分布を均一化するとと
もに、温度の安定化を図り、応答性も速く高精度化が図
れる。
【0012】また、均熱ブロック内のヒートパイプと同
心円状に複数個のセンサの挿入孔を設けているので、同
時に多数本の温度センサの校正が可能となり、校正の効
率化も図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
【図2】この発明の一実施例を示す構成説明図である。
【符号の説明】
1 電気炉 2 制御部 3 炉体 4 均熱ブロック 4a ヒートパイプ 4b 挿入孔 5 放熱ブロック 6 ヒータ 7 温度検出器 8 調節計 9 操作器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】温度センサが挿入される挿入孔を有する均
    熱ブロックと、この均熱ブロックに設けられその一端が
    放熱ブロックに位置するヒートパイプとを備え、温度セ
    ンサ等を校正することを特徴とする温度計校正装置。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0947682A2 (en) 1998-03-31 1999-10-06 Mazda Motor Corporation Idle speed control device for engine
JP2007232651A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 温度可変型低温度校正装置
WO2008034442A3 (en) * 2006-09-18 2008-08-21 Ametek Denmark As Thermal calibrating system
JP2010025397A (ja) * 2008-07-17 2010-02-04 Chino Corp ヒートパイプ着脱治具
DE102008034361B4 (de) * 2007-11-14 2011-02-24 Fluke Corporation, Everett Vertikalgradient-Blockkalibrator-Korrektursystem und Verfahren hierfür
CN103234661A (zh) * 2013-04-10 2013-08-07 中国科学院理化技术研究所 一种具有独立真空室的检定装置
CN103245434A (zh) * 2013-04-10 2013-08-14 中国科学院理化技术研究所 一种温度计分度装置
KR101486731B1 (ko) * 2013-08-12 2015-01-29 한국표준과학연구원 온도계의 고정점 교정 및 비교 교정이 가능한 등온영역 실현장치
CN104502000A (zh) * 2014-12-26 2015-04-08 上海市计量测试技术研究院 一种浅式微型温度校验炉及校验方法
CN108680285A (zh) * 2018-08-14 2018-10-19 上海市计量测试技术研究院 短支热电偶温度校验炉及短支热电偶的校准方法
JP2020051788A (ja) * 2018-09-25 2020-04-02 安立計器株式会社 温度校正器及びその製造方法
US20210063253A1 (en) * 2018-01-09 2021-03-04 Beijing Const Instruments Technology Inc. Flow guiding and heat dissipating type dry block temperature calibrator
CN113514167A (zh) * 2020-04-10 2021-10-19 北京康斯特仪表科技股份有限公司 一种低温干体炉

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102029602B1 (ko) * 2018-11-30 2019-10-07 주식회사 이너센서 온도 센서의 보정 방법

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0947682A2 (en) 1998-03-31 1999-10-06 Mazda Motor Corporation Idle speed control device for engine
US6152105A (en) * 1998-03-31 2000-11-28 Mazda Motor Corporation Idle speed control device for engine
JP2007232651A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 温度可変型低温度校正装置
JP4714849B2 (ja) * 2006-03-02 2011-06-29 独立行政法人産業技術総合研究所 温度可変型低温度校正装置
WO2008034442A3 (en) * 2006-09-18 2008-08-21 Ametek Denmark As Thermal calibrating system
US8342742B2 (en) 2006-09-18 2013-01-01 Ametek Denmark A/S Thermal calibrating system
DE102008034361B4 (de) * 2007-11-14 2011-02-24 Fluke Corporation, Everett Vertikalgradient-Blockkalibrator-Korrektursystem und Verfahren hierfür
JP2010025397A (ja) * 2008-07-17 2010-02-04 Chino Corp ヒートパイプ着脱治具
CN103234661A (zh) * 2013-04-10 2013-08-07 中国科学院理化技术研究所 一种具有独立真空室的检定装置
CN103245434A (zh) * 2013-04-10 2013-08-14 中国科学院理化技术研究所 一种温度计分度装置
KR101486731B1 (ko) * 2013-08-12 2015-01-29 한국표준과학연구원 온도계의 고정점 교정 및 비교 교정이 가능한 등온영역 실현장치
CN104502000A (zh) * 2014-12-26 2015-04-08 上海市计量测试技术研究院 一种浅式微型温度校验炉及校验方法
US20210063253A1 (en) * 2018-01-09 2021-03-04 Beijing Const Instruments Technology Inc. Flow guiding and heat dissipating type dry block temperature calibrator
US11740139B2 (en) * 2018-01-09 2023-08-29 Beijing Const Instruments Technology Inc. Flow guiding and heat dissipating type dry block temperature calibrator
CN108680285A (zh) * 2018-08-14 2018-10-19 上海市计量测试技术研究院 短支热电偶温度校验炉及短支热电偶的校准方法
JP2020051788A (ja) * 2018-09-25 2020-04-02 安立計器株式会社 温度校正器及びその製造方法
CN113514167A (zh) * 2020-04-10 2021-10-19 北京康斯特仪表科技股份有限公司 一种低温干体炉

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