JPH0791447A

JPH0791447A - 超電導磁気軸受装置

Info

Publication number: JPH0791447A
Application number: JP5236462A
Authority: JP
Inventors: Takami Ozaki; 孝美尾崎
Original assignee: NTN Corp; NTN Toyo Bearing Co Ltd
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 1993-09-22
Filing date: 1993-09-22
Publication date: 1995-04-04

Abstract

(57)【要約】【目的】回転主軸の駆動時における振れを抑えること
ができるような超電導磁気軸受装置を提供する。【構成】超電導体１ａおよび１ｂと永久磁石３ａおよ
び３ｂとにより構成される超電導磁気軸受装置は、超電
導体１ａおよび１ｂと永久磁石３ａおよび３ｂによる超
電導磁気軸受に加えて、回転主軸９の軸部１１に取付け
られた第１永久磁石２１ａおよび２１ｂと、第１永久磁
石２１ａおよび２１ｂに対向するハウジングフランジ１
５ａおよび１５ｂに取付けられた第２永久磁石２２ａお
よび２２ｂとによる反発式磁気軸受をもち、モータによ
って回転主軸９が回転する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、超電導磁気軸受装置
に関し、特に、非接触で超電導体と永久磁石とを対向さ
せ回転主軸を軸支するような超電導磁気軸受装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】超電導体を臨界温度以下に冷却するとマ
イスナー効果およびピン止め効果が現われる。マイスナ
ー効果とは超電導体の完全反磁性を称し、ピン止め効果
とは超電導体内の磁界を固定する力をいう。超電導体の
マイスナー効果およびピン止め効果により回転主軸を非
接触保持する超電導磁気軸受装置がある。

【０００３】図１３は、従来の超電導磁気軸受装置の軸
方向断面図である。図１３を参照して、装置を囲ってい
るハウジング１３の上部下部内面に対して超電導体１ａ
および１ｂが設けられ、回転主軸９の両端部分である回
転主軸端部１０ａ，１０ｂのそれぞれには、超電導体１
ａと対向するように永久磁石３ａが設けられ、超電導体
１ｂと対向するように永久磁石３ｂが設けられる。ま
た、回転主軸９を回転させるために、回転主軸端部１０
ａと１０ｂの連結部分である軸部１１外径側面の中心部
分にモータロータ５が設けられ、モータロータ５と対向
するようにハウジング１３の内面にモータステータ７が
設けられる。

【０００４】実際に装置を駆動させるには、まず、回転
主軸端部１０ａおよび１０ｂに取付けられた永久磁石３
ａおよび３ｂに対向してハウジング１３に取付けられた
超電導体１ａおよび１ｂを、冷媒等を用いることにより
臨界温度以下に冷却する。これにより、超電導体１ａお
よび１ｂにはマイスナー効果およびピン止め効果が現わ
れ、回転主軸９は非接触保持される。次に、モータステ
ータ７を駆動することにより、モータロータ５を固定し
た回転主軸９は、回転する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような図１３に
示した従来の超電導磁気軸受装置では、回転主軸９を回
転させたときにおける回転主軸９の回転振動数と、超電
導磁気軸受自体の固有振動数および主軸曲げモードの固
有振動数とが一致したときには、回転主軸９は振れ回
る。これは、超電導磁気軸受自体の剛性の小ささからく
るものである。このことにより、たとえば、回転主軸９
が大きく振れ回り、モータロータ５とモータステータ７
とが接触し、破損等の問題が生じるおそれも出てくる。

【０００６】したがって、この発明は、上記のような回
転主軸が振れ回ることなく、安定した回転を行なう回転
主軸を備えた超電導磁気軸受装置を提供することであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る超
電導磁気軸受装置は、固定部材と、固定部材に対して回
転可能に設けられた回転部材と、回転部材と固定部材と
の間の少なくとも一箇所で対向するように取付けられた
超電導体および第１の永久磁石と、回転部材を駆動する
駆動手段とを備えた超電導磁気軸受装置において、回転
部材に第２の磁石を設け、固定部材に第３の磁石を設け
て、回転部材と固定部材とが所定の間隔となるように磁
気力を用いて剛性を向上させた。

【０００８】請求項２では、請求項１の第２および第３
の磁石は、それぞれ回転部材に対してのラジアル方向で
同磁極が対向するように配置された永久磁石を含む。

【０００９】請求項３では、請求項１の第２および第３
の磁石は、それぞれ回転部材に対してのスラスト方向で
異磁極が対向するように配置された永久磁石または強磁
性体を含む。

【００１０】請求項４では、請求項２または３の発明に
係る超電導磁気軸受装置は、さらに、固定部材に回転部
材に生じた振れを減衰する減衰手段を設け、減衰手段
は、第３の磁石と固定部材とに架設された積層型板バネ
を含む。

【００１１】

【作用】この発明に係る超電導磁気軸受装置は、超電導
体と永久磁石により構成される超電導磁気軸受装置であ
って、回転部材の回転時における回転振動数と、超電導
磁気軸受自体の固有振動数および主軸曲げモード固有振
動数との一致等により生じる回転部材の振れ回りを減衰
することができ、回転部材の支持剛性を大きくできる。

【００１２】

【実施例】図１は、この発明の第１の実施例の超電導磁
気軸受装置の軸方向断面図である。

【００１３】図１を参照して、前述の図１３と同様に装
置を囲っているハウジング１３の内部に格納された回転
主軸９の両端部分である回転主軸端部１０ａおよび１０
ｂには、永久磁石３ａおよび３ｂが設けられる。ハウジ
ング１３には、永久磁石３ａと対向するように超電導体
１ａが設けられ、永久磁石３ｂと対向するように超電導
体１ｂが設けられる。また、回転主軸９を駆動させる駆
動手段は、回転主軸９の軸部１１における外周面中心部
分に設けられるモータロータ５と、モータロータ５と対
向するようにハウジング１３に設けられるモータステー
タ７とにより構成される。さらに、回転主軸９の軸部１
１において、回転主軸端部１０ａおよび１０ｂとモータ
ロータ５との間の部分には、軸部１１の外周面に沿って
リング状の第１永久磁石２１ａおよび２１ｂがそれぞれ
とりつけられる。さらに、ハウジング１３の内側に設け
られたハウジングフランジ１５ａおよび１５ｂには、第
１永久磁石２１ａに同磁極が対向するようにリング状の
第２永久磁石２２ａが設けられ、第１永久磁石２１ｂに
同磁極が対向するようにリング状の第２永久磁石２２ｂ
が設けられる。

【００１４】次に、実際に装置を駆動させる前に、回転
主軸９の位置決定を行なう。超電導体１ａおよび１ｂを
冷媒等を用いて臨界温度以下に冷却することにより、超
電導体１ａおよび１ｂにはマイスナー効果およびピン止
め効果が現われ、回転主軸９は非接触保持される。そし
て、回転主軸９の位置決定後、回転主軸９はモータステ
ータ７を駆動することにより、モータロータ５が回転す
ることによって、モータロータ５が取りつけられた回転
主軸９も回転する。この回転主軸９の回転時における振
れ回りに対して、回転主軸９の軸部１１に設けた第１永
久磁石２１ａおよび２１ｂと、ハウジング１３側に設け
た第２永久磁石２２ａおよび２２ｂとの相互作用である
磁気反発力を用いることで回転主軸９には半径方向に復
元力が働く。これにより、回転主軸９の支持剛性が大き
くなるため、回転主軸９は振れ回らず、安定した回転を
行なうことができる。

【００１５】図２は、この発明の第２の実施例の超電導
磁気軸受装置の軸方向断面図であり、図３は、図２のＩ
ＩＩ−ＩＩＩラインに沿う拡大断面図である。

【００１６】以下、図１との構造上の共通部分の説明は
省略し、異なった部分について記述する。

【００１７】図１の第１の実施例では、回転主軸９の軸
部１１に取付けられた第１永久磁石２１ａおよび２１ｂ
に対向するように、第２永久磁石２２ａおよび２２ｂを
ハウジングフランジ１５ａおよび１５ｂに取付けた。し
かしこの実施例では、図２に示すようにハウジング１３
の内周側面に沿って、端部がハウジング１３に固定され
た積層型板バネ１７ａおよび１７ｂを４ヵ所設け、積層
型板バネ１７ａおよび１７ｂのそれぞれのもう一方の端
部に接続させたリング状の連結部材１９ａおよび１９ｂ
を設ける。さらに、連結部材１９ａおよび１９ｂには、
図３に示すように回転主軸９の軸部１１に取付けられた
リング状の第１永久磁石２１ａおよび２１ｂと同磁極で
対向するように、第３永久磁石２３ａおよび２３ｂを取
付ける。

【００１８】なお、図２および図３において、積層型板
バネ１７ａおよび１７ｂを４ヵ所に配置したが、積層型
板バネの個数は限定されるものではない。

【００１９】第１の実施例と第２の実施例との構造的違
いによりもたらされる動作的違いは、回転主軸９の回転
時における振れ回りを減衰させる積層型板バネ２１ａお
よび２１ｂによる効果である。すなわち、回転主軸９を
回転させたときにおいて、回転主軸９の回転振動数と、
超電導磁気軸受自体の固有振動数および主軸曲げモード
固有振動数とが一致した場合の、回転主軸９の振れ回り
は積層型板バネ１７ａおよび１７ｂの振動により生じる
板バネ間の摩擦より減衰される。ゆえに、回転主軸９
は、図１の第１の実施例に比べてさらに安定性のある回
転を行なうことができる。

【００２０】図４は、この発明の第３の実施例の超電導
磁気軸受装置の軸方向断面図である。

【００２１】以下、上記と同様に、図１との構造上の共
通部分の説明は省略し、異なった部分について記述す
る。

【００２２】図１の第１の実施例では回転主軸９の軸部
１１に取付けられた第１永久磁石２１ａおよび２１ｂ
と、ハウジングフランジ１５ａおよび１５ｂに取付けら
れた第２永久磁石２２ａおよび２２ｂとを対向させた。
しかしこの実施例では、図４に示すように、回転主軸端
部１０ａおよび１０ｂの回転主軸９側に、リング状の第
４永久磁石２４ａおよび２４ｂが取付けられ、この第４
永久磁石２４ａおよび２４ｂと対向するように、リング
状の第１強磁性体４１ａおよび４１ｂがハウジングフラ
ンジ１５ａおよび１５ｂに取付けられる。

【００２３】次に、第１の実施例の図１との構造の異な
った部分に伴う装置の動作時における作用の違いを記述
する。

【００２４】第１の実施例においては、超電導体１ａお
よび１ｂと永久磁石３ａおよび３ｂとから構成される超
電導磁気軸受の剛性を大きくするために、永久磁石同士
の磁気反発力を利用した。しかしこの実施例では、回転
主軸端部１０ａおよび１０ｂに取付けられた第４永久磁
石２４ａおよび２４ｂと、ハウジングフランジ１５ａお
よび１５ｂに取付けられた第１強磁性体４１ａおよび４
１ｂとの間に作用する磁気吸引力を用いることで、回転
主軸９には半径方向に復元力が働く。ゆえに、回転主軸
９の支持剛性が大きくなり、回転主軸９は安定した回転
を行なうことができる。

【００２５】図５は、この発明の第４の実施例の超電導
磁気軸受装置の軸方向断面図であり、図６は、図５のＶ
Ｉ−ＶＩラインに沿う拡大断面図である。

【００２６】以下、図４に示した第３の実施例との構造
上の共通部分および動作上の共通部分の説明は省略し、
異なった部分について記述する。

【００２７】図４の第３の実施例では第１強磁性体４１
ａおよび４１ｂがハウジングフランジ１５ａおよび１５
ｂに取付けられた。しかしこの実施例では、図５および
図６に示すように積層型板バネ１７ａおよび１７ｂが、
リング状の第２強磁性体４２ａおよび４２ｂが取付けら
れた連結部材１９ａおよび１９ｂとハウジング１３との
間に４ヵ所架設される。

【００２８】この構造上の異なりにより作用すること
は、回転主軸９の回転時において、回転主軸９の振れ回
りは、積層型板バネ２１ａおよび２１ｂの振動により生
じる板バネ間の摩擦により減衰されることである。ゆえ
に、回転主軸９は、図４の第３の実施例に比べてさらに
安定した回転を行なうことができる。

【００２９】なお、図５および図６において、積層型板
バネ１７ａおよび１７ｂを４ヵ所に配置したが積層型板
バネの個数は限定されるものではない。

【００３０】また、図２、３、５および図６において、
回転主軸９の振れ回りを抑える手段として積層型板バネ
１７ａおよび１７ｂを取付けたが、回転主軸９の振れ回
りを抑えることができるのであれば、たとえば減衰材料
または他の減衰機構を用いてもよい。

【００３１】以下、この発明の他の実施例として磁気吸
引力を用いた例について記述する。なお、図７から図１
１において、装置を動作させた場合に働く磁気力は、図
４の第３の実施例で示した吸引力であるため、動作につ
いての説明を省略する。

【００３２】図７は、この発明の第５の実施例の超電導
磁気軸受装置の要部拡大図である。前述の第３および第
４の実施例では強磁性体と永久磁石との間での相互作用
を用いた。しかしこの実施例では、永久磁石同士の吸引
力を用いる。すなわち、回転主軸９に設けた回転主軸端
部１０ａに対して、ハウジングフランジ１５ａの側にリ
ング状の第４永久磁石２４ａが取付けられる。さらに、
第４永久磁石２４ａのＮ極に対してＳ極が対向するよう
に、第５永久磁石２５ａがハウジングフランジ１５ａに
取付けられる。

【００３３】なお、図７において、Ｎ極およびＳ極を特
定したが、Ｎ極で図示した部分をＳ極にＳ極で図示した
部分をＮ極にすることもできる。

【００３４】図８は、この発明の第６の実施例の超電導
磁気軸受装置の要部拡大図である。前述の第３または第
４の実施例では強磁性体と永久磁石または永久磁石と永
久磁石による相互作用を用いた。しかしこの実施例で
は、図８に示すように強磁性体と、強磁性体および永久
磁石とにより構成される部材との相互作用を用いる。回
転主軸９の回転主軸端部１０ａのハウジングフランジ１
５ａ側に対して、円筒状の第３強磁性体４３と、円筒状
の第４強磁性体２６と、Ｎ極側を第３強磁性体４３の外
周面上部で接合されＳ極側を第４強磁性体４４の内周面
上部で接合された第６永久磁石２６ａとで構成される部
材が、凹形を下側に向けて取付けられる。この部材の凹
形と対称的に対向するように、リング状でかつ凹型の第
５強磁性体４５がハウジングフランジ１５ａに取付けら
れる。

【００３５】図９は、この発明の第７の実施例の超電導
磁気軸受装置の要部拡大図である。図９を参照して、前
述の図８の第６の実施例とは異なり、回転主軸端部１０
ａ側に強磁性体が取付けられ、強磁性体と永久磁石とで
構成される部材がハウジングフランジ側に取付けられ
る。すなわち、リング状でかつ凹型の第６強磁性体４６
は凹形を下側に向けて回転主軸端部１０ａに取付けられ
る。この第６強磁性体４６の凹形と対称的に対向するよ
うにハウジングフランジ１５ａに対して、円筒状の第７
強磁性体４７と、円筒状の第８強磁性体４８と、Ｎ極側
を第７強磁性体４７の外周面下部で接合され、Ｓ極側を
第８強磁性体４８の内周面下部で接合された第７永久磁
石２７ａとで構成される部材が取付けられる。

【００３６】なお、図８および図９に示した実施例おい
て、Ｎ極およびＳ極を特定したが、Ｎ極で図示した部分
をＳ極にＳ極で図示した部分をＮ極にすることもでき
る。

【００３７】上記図７，図８および図９では、この発明
の他の実施例として磁気吸引力を用いた例を記述した。
以下、この発明のさらに他の実施例の磁気反発力および
磁気吸引力の併用による付勢手段を設けた超電導磁気軸
受装置を説明する。

【００３８】図１０は、この発明の第８の実施例の超電
導磁気軸受装置の要部拡大図である。

【００３９】図１０を参照して、回転主軸端部１０ａの
ハウジングフランジ１５ａの側に対して、リング状の第
８永久磁石２８ａがＳ極を下側へ向けて取付けられる。
また、第８永久磁石２８ａのＳ極に対してＮ極が対向す
るように、リング状の第９永久磁石２９ａがハウジング
フランジ１５ａに取付けられる。さらに、ハウジングフ
ランジ第９永久磁石２９ａのＮ極に対してＮ極が対向す
るように、および第９永久磁石２９ａのＳ極に対してＳ
極が対向するように、リング状の第１０永久磁石３０ａ
が回転主軸９の軸部１１に取付けられる。

【００４０】この実施例における構造により、第１０永
久磁石３０ａと第９永久磁石２９ａの間には磁気反発力
が働き、第９永久磁石２９ａと第８永久磁石２８ａの間
には磁気吸引力が働く。

【００４１】図１１は、この発明の第９の実施例の超電
導磁気軸受装置の要部拡大図である。

【００４２】以下、第８の実施例の図１０との構造上の
共通部分の説明は省略し、異なった部分について記述す
る。

【００４３】前述の図１０の第８の実施例では、回転主
軸フランジ１０ａに第８永久磁石２８ａを取付けた。し
かしこの実施例では図１１に示すように、第８永久磁石
２８ａのかわりにリング状の第９強磁性体４９ａが取付
けられる。

【００４４】この実施例においても上記の第８の実施例
と同様に、回転主軸に対して磁気吸引力および磁気反発
力が働く。

【００４５】ゆえに、第８の実施例の図１０および第９
の実施例の図１１においての発明の作用は、磁気反発力
および磁気吸引力を併用することにより、回転主軸９の
支持剛性を大きくすることができることである。

【００４６】なお、図１０および図１１において、Ｎ極
およびＳ極を特定したが、Ｎ極で図示した部分をＳ極に
Ｓ極で図示した部分をＮ極にすることもできる。

【００４７】図１２は、この発明の第１０の実施例の超
電導磁気軸受装置の軸方向断面図である。

【００４８】図１２を参照して、下端が固定された固定
部材５１が設けられる。この固定部材５１は、固定部材
上端部５２と固定部材中間部５３を含み、固定部材上端
部５１と固定部材中間部５３との連結部分および固定部
材中間部５３と下端との連結部分が円柱状の形状をして
いる。固定部材５１における固定部材上端部５２から固
定部材中間部５３までの部分を囲むように回転主軸５４
が設けられる。回転主軸５４の内面上部に円板状の永久
磁石５５が設けられ、内面下部にリング状の第１２永久
磁石５６が設けられる。

【００４９】固定部材５１の固定部材上端部５２には永
久磁石５５に対向するように円板状の超電導体５７が設
けられ、固定部材中間部５３には第１２永久磁石５６に
対向するように第２超電導体５８が設けられる。さら
に、固定部材上端部５２と固定部材中間部５３との連結
部分の中心部にモータステータ５９が取付けられ、その
モータステータ５９と固定部材上端部５２との間の連結
部分にはリング状の減衰機構部材６１ａが設けられ、モ
ータステータ５９と固定部材中間部５３との間の連結部
分にはリング状の減衰機構部材６１ｂが設けられる。ま
た、減衰機構部材６１ａおよび６１ｂの先端には、第１
３永久磁石６２ａおよび６２ｂが取付けられている。回
転主軸５４には、第１３永久磁石６２ａ，６２ｂおよび
モータステータ５９のそれぞれに対向するように、第１
４永久磁石６３ａ，６３ｂおよびモータロータ６０が設
けられる。

【００５０】この実施例においても、回転主軸５４を駆
動することによる回転主軸５４の振れ回りは、第１３永
久磁石６２ａと第１４永久磁石６３ａ、第１３永久磁石
６２ｂと第１４永久磁石６３ｂによる磁気力によって回
転主軸５４の支持剛性が大きくなるため抑えられる。さ
らに、減衰機構部材６１ａおよび６１ｂによっても回転
主軸５４の振れ回りは減衰される。

【００５１】なお、図１から図１２において、超電導磁
気軸受を構成する永久磁石と超電導体に対して、固定側
に超電導体を設け、回転主軸側に永久磁石を設けたが、
逆に、固定側に永久磁石を設け、回転主軸側に超電導体
を設けてもよい。ただし、その場合には回転主軸側を冷
媒等を用いて冷却する必要がある。

【００５２】また、この発明の実施例において、超電導
磁気軸受を構成する超電導体および永久磁石とによる組
は、ハウジング上部下部の２組としたが、１組でも可能
である。

【００５３】さらに、図７から図１１において永久磁石
または強磁性体をハウジングフランジで固定したが、積
層型板バネ等を用いて回転主軸の振れ回りを減衰するこ
とも可能である。

【００５４】さらに、この発明の実施例において、磁気
力を用いる機構を装置の上部下部に２組設けたが、回転
主軸に対して１組でもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、付勢
力として、永久磁石の同磁極同士による磁気反発力、も
しくは永久磁石の異極による磁気吸引力または永久磁石
と強磁性体とによる磁気吸引力、もしくは積層型板バネ
等を用いることにより、回転部材の振れ回りを減衰さ
せ、回転部材は安定した回転を行なうことができる。

【００５６】ゆえに、この回転部材の安定した回転は、
たとえば回転部材の振れ回りによるモータロータとモー
タステータとの接触等による装置の損傷を防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施例による超電導磁気軸受
装置の軸方向断面図である。

【図２】この発明の第２の実施例による超電導磁気軸受
装置の軸方向断面図である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩラインに沿う拡大断面図
である。

【図４】この発明の第３の実施例による超電導磁気軸受
装置の軸方向断面図である。

【図５】この発明の第４の実施例による超電導磁気軸受
装置の軸方向断面図である。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩラインに沿う拡大断面図であ
る。

【図７】この発明の第５の実施例による超電導磁気軸受
装置の要部拡大断面図である。

【図８】この発明の第６の実施例による超電導磁気軸受
装置の要部拡大断面図である。

【図９】この発明の第７の実施例による超電導磁気軸受
装置の要部拡大断面図である。

【図１０】この発明の第８の実施例による超電導磁気軸
受装置の要部拡大断面図である。

【図１１】この発明の第９の実施例による超電導磁気軸
受装置の要部拡大断面図である。

【図１２】この発明の第１０の実施例による超電導磁気
軸受装置の軸方向断面図である。

【図１３】従来の超電導磁気軸受装置の軸方向断面図で
ある。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ超電導体３ａ，３ｂ，５５永久磁石９，５４回転主軸１０ａ，１０ｂ回転主軸端部１１軸部１３ハウジング１５ａ，１５ｂハウジングフランジ１７ａ，１７ｂ積層型板バネ１９ａ，１９ｂ連結部材２１ａ，２１ｂ第１永久磁石２２ａ，２２ｂ第２永久磁石２３ａ，２３ｂ第３永久磁石２４ａ，２４ｂ第４永久磁石２５ａ第５永久磁石２ａ６第６永久磁石２７ａ第７永久磁石２８ａ第８永久磁石２９ａ第９永久磁石３０ａ第１０永久磁石４１ａ，４１ｂ第１強磁性体４２ａ，４２ｂ第２強磁性体４３第３強磁性体４４第４強磁性体４５第５強磁性体４６第６強磁性体４７第７強磁性体４８第８強磁性体４９ａ第９強磁性体５１固定部材５２固定部材上端部５３固定部材中間部５６第１２永久磁石５８第２超電導体６１ａ，６１ｂ減衰機構部材６２ａ，６２ｂ第１３永久磁石６３ａ，６３ｂ第１４永久磁石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固定部材と、前記固定部材に対して回転
可能に設けられた回転部材と、前記回転部材と前記固定
部材との間の少なくとも一箇所で対向するように取付け
られた超電導体および第１の永久磁石と、前記回転部材
を駆動する駆動手段とを備えた超電導磁気軸受装置にお
いて、前記回転部材に第２の磁石を設け、前記固定部材に第３
の磁石を設けて、前記回転部材と前記固定部材とが所定
の間隔となるように磁気力を用いて剛性を向上させたこ
とを特徴とする、超電導磁気軸受装置。
【請求項２】前記第２および第３の磁石は、それぞれ
前記回転部材に対してのラジアル方向で同磁極が対向す
るように配置された永久磁石を含む、請求項１記載の超
電導磁気軸受装置。
【請求項３】前記第２および第３の磁石は、それぞれ
前記回転部材に対してのスラスト方向で異磁極が対向す
るように配置された永久磁石、または強磁性体を含む、
請求項１記載の超電導磁気軸受装置。
【請求項４】さらに、前記固定部材に前記回転部材に
生じた振れを減衰する減衰手段を設け、前記減衰手段は、前記第３の磁石と前記固定部材とに架
設された積層型板バネを含む、請求項２または３記載の
超電導磁気軸受装置。