JPH0786691B2 - Electrophotographic photoreceptor and manufacturing method - Google Patents

Electrophotographic photoreceptor and manufacturing method

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JPH0786691B2
JPH0786691B2 JP1713189A JP1713189A JPH0786691B2 JP H0786691 B2 JPH0786691 B2 JP H0786691B2 JP 1713189 A JP1713189 A JP 1713189A JP 1713189 A JP1713189 A JP 1713189A JP H0786691 B2 JPH0786691 B2 JP H0786691B2
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  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電子写真方式の複写機、光プリンタ等に用い
られる電子写真感光体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophotographic photosensitive member used in electrophotographic copying machines, optical printers and the like.

従来の技術 機能分離型電子写真感光体において、高感度の感光体を
得るには、より小さい誘電率を有する、或はより大きな
移動度を有する電荷輸送層の実現が必要である。
2. Description of the Related Art In order to obtain a high-sensitivity photoreceptor in a function-separated type electrophotographic photoreceptor, it is necessary to realize a charge transport layer having a smaller dielectric constant or a larger mobility.

電荷輸送層の誘電率は、非晶質カーボンの場合3〜6で
あり、有機感光体(以下OPCと称する。)の場合およそ
3である。これ以下の誘電率を実現することは困難であ
るし、またメリットも少ない。
The dielectric constant of the charge transport layer is 3 to 6 in the case of amorphous carbon, and about 3 in the case of an organic photoconductor (hereinafter referred to as OPC). It is difficult to achieve a dielectric constant lower than this, and there is little merit.

これに対して、電荷輸送層の移動度に課せられる条件
は、μτV>d2(μは移動度、τはキャリア寿命、dは
電荷輸送層の膜厚、Vは電荷輸送層にかかる電圧を表
す。)移動度であり、μが大きい場合、キャリアが電荷
輸送層の膜厚dを走りきる時間は、Tr=d2/μVとな
り、移動度μの大きな電荷輸送層ほど、速いプロセスス
ピードを有する複写機、光プリンタが実現可能となる。
On the other hand, the condition imposed on the mobility of the charge transport layer is μτV> d 2 (μ is the mobility, τ is the carrier lifetime, d is the thickness of the charge transport layer, and V is the voltage applied to the charge transport layer. Mobility, and when μ is large, the time for carriers to run through the film thickness d of the charge transport layer is Tr = d 2 / μV, and the charge transport layer having a higher mobility μ has a higher process speed. It becomes possible to realize a copying machine and an optical printer having the above.

小さな誘電率を有する非晶質カーボンは、キャリアの走
行距離を表すμτ積として電荷輸送層の膜厚d相当の距
離を走りきる条件を満足しており、低光量で表面電位を
減衰させることができる。しかし移動度μが小さく電荷
輸送層に注入したキャリアが層中を走りきるのに時間が
かかり、プロセススピードに大きな制限を加える。
Amorphous carbon having a small dielectric constant satisfies the condition that it can travel a distance corresponding to the film thickness d of the charge transport layer as a μτ product that represents the travel distance of carriers, and can attenuate the surface potential with a low light amount. it can. However, the mobility μ is small, and it takes time for carriers injected into the charge transport layer to run through the layer, which greatly limits the process speed.

そこで我々は移動度μの大きな電荷輸送材料として、フ
ェニレン基パラ位の置換基が共役結合を有する基か、ま
たはVIb族元素を含む基の少なくともいずれか一つを含
有し、且つ酸素或は電荷受容体を添加するものを提案し
た。またこの材料はポリマーであるより最大重合度に上
限のあるオリゴマー蒸着膜であることの方が移動度が高
いことも見いだした。
Therefore, as a charge transporting material having a high mobility μ, we have found that the substituent at the para-position of the phenylene group contains at least either a group having a conjugated bond or a group containing a VIb group element, and oxygen or charge. It was proposed to add a receptor. It was also found that this material has a higher mobility when it is an oligomer vapor deposition film having an upper limit of the maximum polymerization degree than when it is a polymer.

発明が解決しようとする課題 重合度に制限を設け、重合度分布を制御したフェニレン
基パラ位の置換基が共役結合を有する基か、またはVIb
族元素を含む基の少なくともいずれか一つを含有するオ
リゴマー蒸着膜は結晶性の優れた膜質を持つ。重合度の
大きさ及び分布で、その微結晶域の大きさは異なる。そ
れらの配向性はバルクのキャリア伝達の性質を左右す
る。よってキャリア伝達を良好にするには膜質を制御す
る必要がある。
Problem to be Solved by the Invention The degree of polymerization is restricted, and the phenylene group in which the degree of polymerization distribution is controlled is a group in which the para-position substituent has a conjugated bond, or VIb
The vapor-deposited oligomer film containing at least one of the groups containing a group element has excellent crystallinity. The size and distribution of the degree of polymerization differ in the size of the microcrystalline region. Their orientation affects the properties of bulk carrier transfer. Therefore, it is necessary to control the film quality to improve the carrier transmission.

課題を解決するための手段 光励起によってキャリアを発生する光導電層と、そのキ
ャリアを輸送する電荷輸送層からなる機能分離型電子写
真感光体において、電荷輸送層がフェニレン基パラ位の
置換基がVIb族元素を含み、その重合度が5以上のオリ
ゴマーであり、且つその結晶系で繊維軸をC軸としたX
線回折の回折面(001)の回折強度の、回折面(200)の
回折強度に対する比が 以下であるか、X線回折の回折
面(200)のピークの半値幅からシェラーの式(A)よ
り算出される微結晶の大きさが200A以上とする。
Means for Solving the Problem In a function-separated electrophotographic photosensitive member consisting of a photoconductive layer that generates carriers by photoexcitation and a charge transport layer that transports the carriers, the charge transport layer is a phenylene group and the para-position substituent is VIb. X which is an oligomer containing a group element and having a degree of polymerization of 5 or more, and having the fiber axis as the C axis in its crystal system
The ratio of the diffraction intensity of the diffraction surface (001) of the line diffraction to the diffraction intensity of the diffraction surface (200) is as follows, or from the half width of the peak of the diffraction surface (200) of the X-ray diffraction, the Scherrer's formula (A) The size of the microcrystals calculated by the method is 200 A or more.

この膜質を得るのに成膜後加熱処理を施す工程を設け
る。またキャリア移動度を増加させるのに電荷受容体を
附加させる。
In order to obtain this film quality, a step of performing heat treatment after film formation is provided. Also, charge acceptors are added to increase carrier mobility.

作用 高分子におけるバルク全体でのキャリアの移動は分子内
伝導と分子間伝導の結果であり、移動度の向上は両面よ
りなされる。第一の分子内伝導の向上には、分子軌道の
広がりとそれに伴う共役系の発達が指針となっており、
伝導メカニズムとしては荷電ソリトン、バイポーラロ
ン、ポーラロン等が考えられている。共役系の発達に
は、主鎖骨格中に多くのπ電子を持たせることが必要で
ある。また電子受容体との電荷のやりとりによって主鎖
上に正電荷を持ち込むことも有効な手段である。更に主
鎖に沿っての共役が発達していなくてもホッピングする
ことのできる電子軌道が隣接する構造であってもよい。
Action The movement of carriers in the bulk of a polymer is a result of intramolecular conduction and intermolecular conduction, and mobility is improved from both sides. In order to improve the first intramolecular conduction, the broadening of molecular orbitals and the development of the conjugated system accompanying it are guidelines.
Charged solitons, bipolarons, polarons, etc. are considered as conduction mechanisms. To develop a conjugated system, it is necessary to have many π electrons in the main chain skeleton. It is also an effective means to bring a positive charge onto the main chain by exchanging charges with the electron acceptor. Further, it may have a structure in which electron orbits capable of hopping are adjacent to each other even if conjugation along the main chain is not developed.

第二の分子間伝導の向上は結晶性、配向性の向上に区分
される。いずれにしてもキャリアが隣接する高分子に移
り易くするには、分子が空間的に密に配置され、しかも
キャリアの移動する電子軌道の重なりが大きいことが必
要である。
The second improvement of intermolecular conduction is classified into improvement of crystallinity and orientation. In any case, in order to facilitate the transfer of the carrier to the adjacent polymer, it is necessary that the molecules are spatially densely arranged and that the electron trajectories in which the carriers move have a large overlap.

フェニレン基を有する直鎖状高分子における,分子内伝
導の向上は、そのフェニレン基のπ電子系を中心にして
発達させることが可能である。例えばフェニル基間に共
役結合を有する基を導入することで広くπ電子系が延び
る。またVIb族元素が間にはいる場合は、繊維軸上に隣
接するフェニル基はπ電子軌道が捻れた配置となり繊維
軸方向の軌道広がりは小さい。しかし繊維軸は堅く延び
きった形状を取り易く、結晶性は著しく上がる。そのた
めキャリアの移動は主に隣接する分子間となり、分子間
伝導が重要となる。
Intramolecular conduction in a linear polymer having a phenylene group can be improved centering on the π-electron system of the phenylene group. For example, by introducing a group having a conjugated bond between phenyl groups, the π-electron system is broadened. When the VIb group element is interposed, the phenyl groups adjacent to each other on the fiber axis have a twisted arrangement of π electron orbits, and the orbital spread in the fiber axis direction is small. However, the fiber axis tends to take a rigidly extended shape, and the crystallinity remarkably increases. Therefore, carriers move mainly between adjacent molecules, and intermolecular conduction becomes important.

分子の長さが結晶性、配向性に与える効果は大きく、分
子が長くなることによっての結晶性の低下、ひいてはキ
ャリアのホッピング確率の低下と、キャリアの捕獲確率
の増大とをもたらすことになる。分子長にはバルクとし
て最も密に分子が並ぶに適した長さがある。この長さに
分子を揃えることで分子間伝導を向上させることが可能
となる。よって重合度に最適値が存在する。
The effect of the length of the molecule on the crystallinity and orientation is large, and the crystallinity decreases due to the length of the molecule, which in turn lowers the hopping probability of carriers and increases the probability of capturing carriers. The molecular length has a length suitable for the most densely arranged molecules as a bulk. By aligning the molecules to this length, intermolecular conduction can be improved. Therefore, there is an optimum value for the degree of polymerization.

ところで電子写真感光体に於けるキャリアの伝達方向は
基板面に垂直である。よって分子間伝導でキャリアを膜
中輸送させるには、分子の繊維軸を基板面に対して水平
に並べることが必要である。X線回折で繊維軸方向をC
軸にした時、(001)の回折は基板面に対して分子が立
ち並んだ状態を現し、(200)の回折は水平に並んだ状
態を現す。よって(001)の回折強度の(200)の回折強
度に対する比が低下するほど分子は基板面に水平に並ん
だ状態を示し、キャリア伝達は向上する。また結晶領域
が大きいほど当然キャリア伝達を阻害する領域あるいは
トラップサイトが少ない。よって各回折ピークの半値幅
が小さいほど、その回折に対応する方向に分子、微結晶
域が基板面に並ぶことになり、キャリア伝達は向上す
る。
By the way, the carrier transmission direction in the electrophotographic photosensitive member is perpendicular to the substrate surface. Therefore, in order to transport the carrier through the membrane by intermolecular conduction, it is necessary to align the fiber axes of the molecules horizontally with respect to the substrate surface. The fiber axis direction is C by X-ray diffraction
When the axis is taken, the (001) diffraction shows a state where molecules are lined up on the substrate surface, and the (200) diffraction shows a state where molecules are lined up horizontally. Therefore, as the ratio of the diffraction intensity of (001) to the diffraction intensity of (200) decreases, the molecules are more horizontally aligned on the substrate surface, and the carrier transfer is improved. Further, the larger the crystal region, the smaller the region or the trap site that obstructs carrier transmission. Therefore, the smaller the half width of each diffraction peak, the more the molecules and microcrystalline regions are arranged on the substrate surface in the direction corresponding to the diffraction, and the carrier transmission is improved.

実施例 第1図は、本発明における基本的な電子写真感光体の一
実施例の断面を模式的に示したものである。第1図に示
す電子写真感光体は、電子写真感光体としての支持体1
上に、電荷輸送層2と光導電層3とを有し、前記光導電
層3は一方で自由表面4を有している。
Example FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of a basic electrophotographic photosensitive member according to the present invention. The electrophotographic photosensitive member shown in FIG. 1 is a support 1 as an electrophotographic photosensitive member.
On top, there is a charge transport layer 2 and a photoconductive layer 3, said photoconductive layer 3 having a free surface 4 on the one hand.

本発明においてフェニレン基を有する直鎖状高分子とし
て第2図に示すような構造を持つものが上げられる。ま
たそこに上げられる構造を持つモノマーの任意の組合せ
からなる共重合体であってもよい。
In the present invention, a linear polymer having a phenylene group may be one having a structure as shown in FIG. Further, it may be a copolymer composed of an arbitrary combination of monomers having a structure raised therein.

第3図は第2図の一例であるパラフェニレンスルフィド
蒸着膜のX線回折である。X線源はCuKαの波長λ=1.5
418Aである。パラフェニレンスルフィド膜は重合度を単
成分に揃えた原料粉末から抵抗加熱法によって成膜し
た。図中のオリゴマーの重合度は4、5、6、である。
それぞれ(001)の回折面は2θ=3〜4°にあり、回
折ピークは繊維軸方向の長さに対応する分子長によって
シフトする。おおよそ、その(001)面間隔はC=5×
n(A)と重合度nに比例する。また2θ=21°近傍に
は(200)の回折に対応するピークがある。a軸方向は
分子間隔に相当し、重合度によって大きな変化はなくお
よそ8.5Aと一定である。
FIG. 3 is an X-ray diffraction of the para-phenylene sulfide vapor deposition film which is an example of FIG. X-ray source is CuKα wavelength λ = 1.5
It is 418A. The paraphenylene sulfide film was formed by a resistance heating method from a raw material powder having a single degree of polymerization. The polymerization degrees of the oligomers in the figure are 4, 5, and 6.
The diffraction plane of (001) is at 2θ = 3 to 4 °, and the diffraction peak shifts according to the molecular length corresponding to the length in the fiber axis direction. Approximately, the (001) plane spacing is C = 5 ×
It is proportional to n (A) and the degree of polymerization n. Also, there is a peak corresponding to (200) diffraction near 2θ = 21 °. The a-axis direction corresponds to the molecular interval, and does not change significantly depending on the degree of polymerization, and is constant at about 8.5 A.

添加する電荷受容体としては、I2、Br2、Cl2、ICI、IB
r、(NO2)BF4、(NO2)PF6、(NO2)SbF6、HClO4、H2SO4、HN
O3、HSO4 -、AgClO4、Fe(ClO4)、BF3、FeCl3、FeBr3、Al
Cl3、InCl3、InI3、ZrCl4、HfCl4、TeCl4、TeBr4、Te
I4、SnCl4、SnI4、SeCl4、TiCl4、TiI4、FeCl4 -、AlCl4
-、AsF5、SbF5、NbCl5、NbF5、TaCl5、TaI5、MoCl5、Re
F6、IrCl6、InF6、UF6、OsF6、XeF6、TeF6、SF6、Se
F6、WF6、WCl6、ReF7等がある。
The charge acceptors to be added include I 2 , Br 2 , Cl 2 , ICI, and IB.
r, (NO 2 ) BF 4 , (NO 2 ) PF 6 , (NO 2 ) SbF 6 , HClO 4 , H 2 SO 4 , HN
O 3, HSO 4 -, AgClO 4, Fe (ClO 4), BF 3, FeCl 3, FeBr 3, Al
Cl 3, InCl 3, InI 3 , ZrCl 4, HfCl 4, TeCl 4, TeBr 4, Te
I 4, SnCl 4, SnI 4 , SeCl 4, TiCl 4, TiI 4, FeCl 4 -, AlCl 4
- , AsF 5 , SbF 5 , NbCl 5 , NbF 5 , TaCl 5 , TaI 5 , MoCl 5 , Re
F 6, IrCl 6, InF 6 , UF 6, OsF 6, XeF 6, TeF 6, SF 6, Se
There are F 6 , WF 6 , WCl 6 , and ReF 7 .

電荷輸送層2は真空蒸着法、イオンクラスタビーム法、
デイップ法、電着法等で直接基板面に形成しても良い
し、又粉末の押し出し形成によるフィルム化したのち、
基板面へ融着する方法であってもよい。
The charge transport layer 2 is formed by a vacuum vapor deposition method, an ion cluster beam method,
It may be directly formed on the surface of the substrate by a dip method, an electrodeposition method or the like, or a film may be formed by extrusion forming powder,
A method of fusion bonding to the substrate surface may be used.

本発明において、光導電層3として硬度の高いシリコン
を含有する非晶質層を用いる場合光導電層3には、a−
Si(:H:X)、a-Si1-yCy(:H:X)(0<y<1)、a-Si
1-yOy(:H:X)(0<y<1)、a-Si1-yNy(:H:X)(0
<y<1)、a-Si1-zGez(:H:X)(0<z<1)、a-(S
i1-zGez)1-yNy(:H:X)(0<y,z<1)、a-(Si1-zGez)
1-yOy(:H:X)(0<y,z<1)、またはa-(Si1-zGez)
1-yCy(:H:X)(0<y,z<1)の単層、あるいはこれら
の積層からなる。またyを連続的に変化させた場合も使
用できる。
In the present invention, when an amorphous layer containing silicon having high hardness is used as the photoconductive layer 3, the photoconductive layer 3 has a-
Si (: H: X), a-Si 1-y C y (: H: X) (0 <y <1), a-Si
1-y O y (: H: X) (0 <y <1), a-Si 1-y N y (: H: X) (0
<Y <1), a-Si 1-z Ge z (: H: X) (0 <z <1), a- (S
i 1-z Ge z ) 1-y N y (: H: X) (0 <y, z <1), a- (Si 1-z Ge z )
1-y O y (: H: X) (0 <y, z <1), or a- (Si 1-z Ge z ).
1-y C y (: H: X) (0 <y, z <1) as a single layer or a laminated layer of these. It can also be used when y is continuously changed.

シリコンを含有する光導電層3であるa−Si(:H:X)の
作成には、SiH4、Si2H6、Si3H8、SiF4、SiCl4、SiHF3
SiH2F2、SiH3F、SiHCl3、SiH2Cl2、SiH3Cl等のSi原子の
原料ガスを用いたプラズマCVD法、または多結晶シリコ
ンをターゲットとし、ArとH2(さらにF2又はCl2を混合
しても良い)の混合ガス中での反応性スパッタ法が用い
られる。また、a-Si1-yCy(:H:X)(0<y<1)、a-S
i1-yOy(:H:X)(0<y<1)、a-Si1-yNy(:H:X)
(0<y<1)の作成には、更に炭素源として、CH4、C
2H6、C3H8、C4H10、C2H4、C3H6、C4H8、C2H2、C3H4、C4
H6、C6H6等の炭化水素、CH3F、CH3Cl、CH3l、C2H5Cl、C
2H5Br、等のハロゲン化アリル、CClF3、CF4、CHF3、C2F
6、C3F8等のフロンガス、C6H6-mFm(m=1〜6)の弗
化ベンゼン等のC原子の原料ガスをプラズマCVD法に用
いるシリコン原料ガスと混合して、あるいは、反応性ス
パッタ法にはAr等のスパッタガスと混合して用いる。ま
た、酸素源としてはO2、CO、CO2、NO、NO2等、また、窒
素源としてはN2、NH3、NO等を混合して用いる。
For forming a-Si (: H: X), which is the photoconductive layer 3 containing silicon, SiH 4 , Si 2 H 6 , Si 3 H 8 , SiF 4 , SiCl 4 , SiHF 3 ,
Plasma CVD method using a source gas of Si atoms such as SiH 2 F 2 , SiH 3 F, SiHCl 3 , SiH 2 Cl 2 , and SiH 3 Cl, or targeting polycrystalline silicon, Ar and H 2 (further F 2 Alternatively, a reactive sputtering method in a mixed gas of Cl 2 may be used) is used. In addition, a-Si 1-y C y (: H: X) (0 <y <1), aS
i 1-y O y (: H: X) (0 <y <1), a-Si 1-y N y (: H: X)
To create (0 <y <1), CH 4 and C were further added as carbon sources.
2 H 6 , C 3 H 8 , C 4 H 10 , C 2 H 4 , C 3 H 6 , C 4 H 8 , C 2 H 2 , C 3 H 4 , C 4
Hydrocarbons such as H 6 and C 6 H 6 , CH 3 F, CH 3 Cl, CH 3 l, C 2 H 5 Cl, C
Allyl halides such as 2 H 5 Br, CClF 3 , CF 4 , CHF 3 , C 2 F
6, C 3 F 8 or the like freon, is mixed with the silicon source gas using a raw material gas of C atoms, such as fluoride benzene C 6 H 6-m F m (m = 1~6) in the plasma CVD method, Alternatively, the reactive sputtering method is used by mixing with a sputtering gas such as Ar. Further, O 2 , CO, CO 2 , NO, NO 2 and the like are used as the oxygen source, and N 2 , NH 3 , NO and the like are mixed and used as the nitrogen source.

また、a−Si(:H:X)にGeを添加する場合もGeH4、Ge2H
6、Ge3H8、GeF4、GeCl4、GeHF3、GeH2F2、GeH3F、GeHCl
3、GeH2Cl2、GeH3Cl等のガスを上記Si原子の原料ガスと
混合してプラズマCVD法によって形成することも出来
る。さらに、本発明において、上記のa−Si(:H:X),
a-Si1-yCy(:H:X)(0<y<1)、a-Si1-yOy(:H:X)
(0<y<1)、a-Si1-yNy(:H:X)(0<y<1)、
あるいはこれらにGe添加のこれらの膜中に、不純物を添
加することにより伝導性を制御し、所望の電子写真特性
を得ることができる。p型伝導性を与えるp型不純物と
しては、周期律表第十b族に属するB、Al、Ga、In等が
あり、好適にはB、Al、Gaが用いられ、n型伝導性を与
えるn型不純物としては、周期律表第b族に属するN、
P、As、Sb等が有り、好適にはP、Asが用いられる。
In addition, when Ge is added to a-Si (: H: X), GeH 4 , Ge 2 H
6 , Ge 3 H 8 , GeF 4 , GeCl 4 , GeHF 3 , GeH 2 F 2 , GeH 3 F, GeHCl
A gas such as 3 , GeH 2 Cl 2 or GeH 3 Cl may be mixed with the above Si atom source gas to form the plasma CVD method. Furthermore, in the present invention, the a-Si (: H: X),
a-Si 1-y C y (: H: X) (0 <y <1), a-Si 1-y O y (: H: X)
(0 <y <1), a-Si 1-y N y (: H: X) (0 <y <1),
Alternatively, the conductivity can be controlled by adding impurities to these films added with Ge to obtain desired electrophotographic characteristics. Examples of p-type impurities that give p-type conductivity include B, Al, Ga, and In belonging to Group 10b of the periodic table, and B, Al, and Ga are preferably used to give n-type conductivity. The n-type impurities include N belonging to Group b of the periodic table,
There are P, As, Sb and the like, and P and As are preferably used.

またこれらの不純物を添加する方法として、p型不純物
の場合B2H6、B4H10、B5H9、B5H11、B6H12、B6H14、B
F3、BCl3、BBr3、AlCl3、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(i-C4H
9)3Al、(CH3)3Ga、(C2H5)3Ga、InCl3、(C2H5)3Inを、n
型不純物の場合、N2、NH3、NO、N2O、NO2、PH3、P2H4
PH4I、PF3、PF5、PCl3、PCl5、PBr3,PBr5、Pl3、As
H3、AsF3、AsCl3、AsBr3、SbH3、SbF3、SbF5、SbCl3、S
bCl5等のガスを、あるいはこれらのガスをH2、He、Arで
希釈したガスを、プラズマCVD法では、それぞれの膜形
成時において、使用する上記のC原子、Si原子等の原料
ガスと混合して用いれば良く、反応性スパッタ法では、
ArまたはH2あるいはF2、Cl2に混合して用いれば良い。
As a method of adding these impurities, in the case of p-type impurities, B 2 H 6 , B 4 H 10 , B 5 H 9 , B 5 H 11 , B 6 H 12 , B 6 H 14 , B
F 3, BCl 3, BBr 3 , AlCl 3, (CH 3) 3 Al, (C 2 H 5) 3 Al, (iC 4 H
9 ) 3 Al, (CH 3 ) 3 Ga, (C 2 H 5 ) 3 Ga, InCl 3 , (C 2 H 5 ) 3 In,
In the case of type impurities, N 2 , NH 3 , NO, N 2 O, NO 2 , PH 3 , P 2 H 4 ,
PH 4 I, PF 3 , PF 5 , PCl 3 , PCl 5 , PBr 3 , PBr 5 , Pl 3 , As
H 3, AsF 3, AsCl 3 , AsBr 3, SbH 3, SbF 3, SbF 5, SbCl 3, S
In the plasma CVD method, a gas such as bCl 5 or a gas obtained by diluting these gases with H 2 , He or Ar is used as a source gas such as the above-mentioned C atom or Si atom to be used at the time of forming each film. It can be used as a mixture, and in the reactive sputtering method,
It may be used by mixing with Ar, H 2, F 2 , or Cl 2 .

光導電層3の有機半導体としては、(1)フタロシアニ
ン顔料(Pcと称す)、例えば無金属Pc、XPc(X=Cu、N
i、Co、TiO、Mg、Si(OH12、等)、AlClPcCl、TiOClPcC
l、InClPcCl、InClPc、InBrPcBr等である。更に(2)
モノアゾ色素、ジスアゾ色素等のアゾ系色素、(3)ペ
ニレン酸無水物およびペニレン酸イミド等のペニレン系
顔料、(4)インジゴイド染料、(5)キナクリドン顔
料、(6)アントラキノン類、ピレンキノン類等の多環
キノン類、(7)シアニン色素、(8)キサンテン染
料、(9)PVK/TNF等の電荷移動錯体、(10)ビリリウ
ム塩染料とポリカーボネイト樹脂から形成される共晶錯
体、(11)アズレニウム塩化化合物等がある。
The organic semiconductor of the photoconductive layer 3 includes (1) phthalocyanine pigment (referred to as Pc), for example, metal-free Pc, XPc (X = Cu, N).
i, Co, TiO, Mg, Si (OH 12 , etc.), AlClPcCl, TiOClPcC
l, InClPcCl, InClPc, InBrPcBr and the like. Further (2)
Azo dyes such as monoazo dyes and disazo dyes, (3) penylene pigments such as penylene acid anhydrides and penylene acid imides, (4) indigoid dyes, (5) quinacridone pigments, (6) anthraquinones, pyrenequinones, etc. Polycyclic quinones, (7) cyanine dyes, (8) xanthene dyes, (9) charge transfer complexes such as PVK / TNF, (10) eutectic complexes formed from pyrylium salt dyes and polycarbonate resins, (11) azurenium There are chloride compounds.

これらの有機半導体の成膜には、真空蒸着法、デイップ
法、イオンクラスタビーム法、電着法等が用いられる。
A vacuum deposition method, a dip method, an ion cluster beam method, an electrodeposition method or the like is used for forming these organic semiconductors.

また光導電層3がカルコゲン原子を含有する非単結晶層
である場合には、以下の組合せによる物が考えられる。
Ge−S、Ge−Se、Ge−Te、Ge−P−S、Ge−P−Se、Ge
−P−Te、Ge−As−S、Ge−As−Se、Ge−As−Te、Ge−
Sb−S、Ge−Sb−Se、Ge−Sb−Te、Ge−As−Te−Se、Ge
−As−S−Te、K−Ca−Ge−S、Ge−Te−Sb−S等、あ
るいはGeの代わりにSiを含有させたカルコゲナイドガラ
ス、また、Ge−Si−As−Se、Ge−Si−As−Teのカルコゲ
ナイドガラスが上げられる。
When the photoconductive layer 3 is a non-single crystal layer containing chalcogen atoms, the following combinations are possible.
Ge-S, Ge-Se, Ge-Te, Ge-P-S, Ge-P-Se, Ge
-P-Te, Ge-As-S, Ge-As-Se, Ge-As-Te, Ge-
Sb-S, Ge-Sb-Se, Ge-Sb-Te, Ge-As-Te-Se, Ge
-As-S-Te, K-Ca-Ge-S, Ge-Te-Sb-S, etc., or a chalcogenide glass containing Si instead of Ge, and Ge-Si-As-Se, Ge-Si. -As-Te chalcogenide glass is raised.

この時の膜厚は、電荷輸送層2は5〜50μm好適には10
〜25μm、また光導電層3の膜厚は0.5〜10μm好適に
は1〜5μmとすれば良い。
At this time, the charge transport layer 2 has a thickness of 5 to 50 μm, preferably 10
˜25 μm, and the film thickness of the photoconductive layer 3 is 0.5 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm.

本発明において、更に電子写真特性を向上させるため
に、第1図の支持体1と電荷輸送層2との間に支持体1
から電荷輸送層2に注入するキャリアを効果的に阻止す
るため障壁層を設けてもよい。
In the present invention, in order to further improve the electrophotographic characteristics, the support 1 is interposed between the support 1 and the charge transport layer 2 shown in FIG.
A barrier layer may be provided in order to effectively prevent carriers from being injected into the charge transport layer 2.

障壁層を形成する材料としては、Al2O3、BaO、BaO2、Be
O、Bi2O3、CaO、CeO2、Ce2O3、La2O3、Dy2O3、Lu2O3、C
r2O3、CuO、Cu2O、FeO、PbO、MgO、SrO、Ta2O3、ThO2
ZrO2、HfO2、TiO2、TiO、SiO2、GeO2、SiO、GeO等の金
属酸化物またはTiN、AIN、SnN、NbN、TaN、GaN等の金属
窒化物、またはWC、SnC、TiC等の金属炭化物またはSiC,
SiN、GeC、GeN、BC、BN等の絶縁物、ポリイミド、ポリ
アミドイミド、ポリアクリルニトリル等の耐熱性を有す
る有機化合物が使用される。
As the material for forming the barrier layer, Al 2 O 3 , BaO, BaO 2 , Be
O, Bi 2 O 3 , CaO, CeO 2 , Ce 2 O 3 , La 2 O 3 , Dy 2 O 3 , Lu 2 O 3 , C
r 2 O 3 , CuO, Cu 2 O, FeO, PbO, MgO, SrO, Ta 2 O 3 , ThO 2 ,
Metal oxide such as ZrO 2 , HfO 2 , TiO 2 , TiO, SiO 2 , GeO 2 , SiO, GeO or metal nitride such as TiN, AIN, SnN, NbN, TaN, GaN, or WC, SnC, TiC, etc. Of metal carbide or SiC,
Insulators such as SiN, GeC, GeN, BC, and BN, and heat-resistant organic compounds such as polyimide, polyamide-imide, and polyacrylonitrile are used.

また、クリーニング性あるいは耐摩耗性あるいは耐コロ
ナ性を向上させるため、第1図において、自由表面4上
に表面被覆層を形成すると好適である。表面被覆層とし
て好適な材料としては、SixO1-x、SixC1-x、SixN1-x、G
exO1-x、GexC1-x、GexN1-x、BxN1-x、BxC1-x、AlxN1-x
(0<x<1)、カーボンおよびこれらに水素あるいは
ハロゲンを含有する層等の無機物などが上げられる。
Further, in order to improve cleaning property, abrasion resistance or corona resistance, it is preferable to form a surface coating layer on the free surface 4 in FIG. Suitable materials for the surface coating layer include Si x O 1-x , Si x C 1-x , Si x N 1-x , G
e x O 1-x , Ge x C 1-x , Ge x N 1-x , B x N 1-x , B x C 1-x , Al x N 1-x
(0 <x <1), and inorganic materials such as carbon and layers containing hydrogen or halogen therein.

実施例1 フェニレン基を有する直鎖状高分子として重合度を小さ
く制限したオリゴパラフェニレンスルフィド(以下OPS
と称する)を、鏡面研磨したアルミニウム基板上に真空
蒸着法で成膜した。
Example 1 As a linear polymer having a phenylene group, oligoparaphenylene sulfide (hereinafter referred to as OPS
Was formed on a mirror-polished aluminum substrate by a vacuum evaporation method.

蒸着に用いた原料粉末は、重合長を変化させた。重合方
法は、ホーキンスの方法(Macromole.9(1976)189)に
よって行い、融点150℃〜285℃の範囲で重合度は4から
8まで5種類用意した。重合条件はオリゴマー化の原料
となる1,4−ビスチオフェニルベンゼンを空気中340〜36
0℃の条件で加熱処理した。このとき空気中酸素の作用
で重合度が4以上のオリゴマーが形成される。この時点
では多成分の原料粉末であるが、粉末の成分分離を数種
類の溶媒に対する溶解度の差を利用して行った。この分
離後更に再結晶を施し、重合度の異なるオリゴフェニレ
ンスルフィド粉末を各々単成分で得た。重合度が4から
8の5種類を使い真空蒸着法によって、膜厚10μm成膜
した。この時の成膜条件は同一で、真空度10-5Torr以
下、基板温度は室温とし、坩堝温度300〜400℃とした。
成膜後の結晶性に影響を与える条件に基板温度と坩堝温
度がある。基板温度を上げると基板面、での分子のマイ
グレーション増加で結晶領域が広がる。また坩堝温度の
増加はその設定が分子の分解温度以下ならば成膜速度の
増加とその結果の非晶質領域の拡大につながる。本実施
例では5A/sec以下の低速とした。一方、基板面に対する
微結晶領域の配向性も上の2条件で変化する。
The raw material powder used for vapor deposition changed the polymerization length. Polymerization was carried out by the method of Hawkins (Macromole. 9 (1976) 189), and 5 kinds of polymerization degree were prepared from 4 to 8 in the melting point range of 150 ° C to 285 ° C. The polymerization conditions are such that 1,4-bisthiophenylbenzene, which is a raw material for oligomerization, is 340 to 36 in air.
Heat treatment was performed at 0 ° C. At this time, an oligomer having a degree of polymerization of 4 or more is formed by the action of oxygen in the air. At this point, the raw material powder is a multi-component powder, but the powder components were separated by utilizing the difference in solubility in several kinds of solvents. After this separation, recrystallization was further performed to obtain oligophenylene sulfide powders having different degrees of polymerization as single components. A film having a thickness of 10 μm was formed by a vacuum vapor deposition method using five kinds having a degree of polymerization of 4 to 8. The film forming conditions at this time were the same, the degree of vacuum was 10 −5 Torr or less, the substrate temperature was room temperature, and the crucible temperature was 300 to 400 ° C.
The conditions that affect the crystallinity after film formation are the substrate temperature and the crucible temperature. When the substrate temperature is increased, the migration of molecules on the surface of the substrate increases and the crystal region expands. Further, the increase of the crucible temperature leads to the increase of the film formation rate and the expansion of the amorphous region as a result if the setting is lower than the decomposition temperature of the molecule. In this embodiment, the speed is set to 5 A / sec or less. On the other hand, the orientation of the microcrystalline region with respect to the substrate surface also changes under the above two conditions.

重合度4、5、6のオリゴフェニレンスルフィド蒸着膜
の蒸着直後のX線回折スペクトルを第2図に示す。また
キャリア伝達の効率を見るのに絶縁基板上に成膜した蒸
着膜にAu平行電極を構成し、その分光感度特性を評価し
た。評価条件は印加電界強度5×103V/cm、照射光強度4
0μw/cm2である。第3図に結果を示す。この電極構成は
光キャリア伝達が基板面平行である。一方この蒸着膜の
電子写真特性をAl基板面の膜で測定した。オリゴマフェ
ニレンスルフィド単体では360nmに吸収ピークを持ち、
可視域に吸収帯がない。よって光照射は紫外光成分を含
むキセノンランプとした。その結果重合度4、5、6に
対して半減露光量(E1/2)は850lxsec、220lxsec、130l
xsecと成った。
The X-ray diffraction spectrum of the vapor-deposited oligophenylene sulfide film having a degree of polymerization of 4, 5, and 6 immediately after vapor deposition is shown in FIG. In order to check the carrier transfer efficiency, Au parallel electrodes were formed on the vapor-deposited film formed on the insulating substrate, and its spectral sensitivity characteristics were evaluated. The evaluation conditions were: applied electric field intensity 5 × 10 3 V / cm, irradiation light intensity 4
It is 0 μw / cm 2 . The results are shown in FIG. In this electrode configuration, optical carrier transmission is parallel to the substrate surface. On the other hand, the electrophotographic characteristics of this vapor-deposited film were measured on the film on the Al substrate surface. Oligomeric phenylene sulfide alone has an absorption peak at 360 nm,
There is no absorption band in the visible range. Therefore, the light irradiation was performed with a xenon lamp containing an ultraviolet light component. As a result, the half-exposure amount (E1 / 2) is 850lxsec, 220lxsec, 130l for the degree of polymerization of 4, 5 and 6.
It became xsec.

感度に影響を与えるものに結晶領域の大きさとその配向
性がある。結晶領域の大きさはシェラーの式(A)で評
価できる。いま特徴的な回折ピークとして(001)の回
折面(2θ=3〜4°)と、(200)の回折面(2θ=2
1°近傍)に注目する。これらより基板に垂直に並ぶ結
晶領域の大きさと、水平に並ぶ大きさを評価することが
できる。また直接これら2つのピーク強度比をもって各
配向比を見積ることができる。
What influences the sensitivity is the size of the crystal region and its orientation. The size of the crystal region can be evaluated by Scherrer's formula (A). As the characteristic diffraction peaks, the (001) diffraction surface (2θ = 3 to 4 °) and the (200) diffraction surface (2θ = 2
Pay close attention to 1 °). From these, it is possible to evaluate the size of the crystal regions lined up vertically on the substrate and the size of lined up horizontally. Further, each orientation ratio can be estimated directly by the ratio of these two peak intensities.

結晶性、配向性を制御するのに各重合度の蒸着膜を真空
中で加熱処理した。重合度4の膜は70℃、重合度5は7
0、100℃、重合度6は70,100、150℃と順次行った。こ
こで各重合度の融点は110、150、180℃である。この間
の配向比変化を表1−1に、2ピークの結晶の大きさ変
化を表1−2に電子写真特性の半減露光量変化を表1−
3に示す。第4図にAu平行電極サンプルの360nm照射時
の光電流変化を示す。
In order to control the crystallinity and orientation, the vapor deposition film of each polymerization degree was heat-treated in vacuum. A film with a degree of polymerization of 4 is 70 ° C, and a degree of polymerization of 5 is 7
The polymerization degree was 0, 100 ° C, and the degree of polymerization 6 was 70, 100, 150 ° C. Here, the melting points of the respective degrees of polymerization are 110, 150 and 180 ° C. Changes in orientation ratio during this period are shown in Table 1-1, changes in crystal size of two peaks are shown in Table 1-2, changes in half-exposure amount of electrophotographic characteristics are shown in Table 1-.
3 shows. Fig. 4 shows the photocurrent change of the Au parallel electrode sample when irradiated with 360 nm.

表1−1、2、3、第4図より明らかなように基板面に
対して垂直配向が増加したとき基板面平向方向のキャリ
ア伝導が増し、逆に基板面平向配向の増加は基板面垂直
方向のキャリア伝達が向上する。よって電子写真感光体
の構成上、(200)回折の増加が感度向上と結び付く。
As is clear from Tables 1-1, 2, 3, and 4, when the vertical orientation with respect to the substrate surface increases, carrier conduction in the substrate surface horizontal direction increases, and conversely, the substrate surface horizontal orientation increases with the substrate surface. Carrier transmission in the vertical direction is improved. Therefore, in the structure of the electrophotographic photosensitive member, the increase of (200) diffraction is associated with the improvement of sensitivity.

機能分離型電子写真を重合度6の150℃熱処理膜と水素
化フタロシアニン蒸着膜の組合せで構成した。負帯電型
の構成とし、水素化フタロシアニンをAl基板面に2000A
成膜後、10μmのオリゴフェニレンスルフィド膜を蒸着
し熱処理を施す。この電子写真特性の評価の結果、コロ
ナ電圧6kVに対して初期帯電電位800V、白色光で半減露
光量0.8lxsec、残留電位30Vと良好な特性を得た。
The function-separated electrophotography was composed of a combination of a 150 ° C. heat-treated film with a degree of polymerization of 6 and a hydrogenated phthalocyanine evaporated film. Negatively charged structure, hydrogenated phthalocyanine 2000A on Al substrate surface
After the film formation, a 10 μm oligophenylene sulfide film is deposited and heat-treated. As a result of the evaluation of the electrophotographic characteristics, an initial charging potential of 800 V for a corona voltage of 6 kV, a half-exposure amount of white light of 0.8 lxsec and a residual potential of 30 V were obtained.

実施例2 本実施例では重合度4、5、6、7、8のオリゴフェニ
レンスルフィド原料粉末の蒸着条件を変えて配向性、結
晶性の制御を行った。蒸着速度は坩堝温度の高さでコン
トロールし、1、5、10、20A/secの4種類とした。ま
た基板温度は室温、100℃、150℃の3通りである。膜厚
は実施例1と同様10μmとし、この上に電荷発生層とし
てカルコゲン原子を含むAs2Se3を膜厚2μm成膜した。
成膜は真空蒸着法によって行い基板温度100℃とした。
これにより正帯電の機能分離型電子写真感光体が構成で
きる。オリゴフェニレンスルフィド蒸着後の配向比変化
を表2−1、結晶の大きさ変化を表2−2に示す。電荷
発生層構成後の電子写真特性は重合度の増加で一意に向
上し、重合度8、蒸着速度1A/secの膜が最も良い。また
電荷発生層構成時、100℃の真空加熱処理を受けること
になる。半減露光量は白色光に対して0.6lxsecとなっ
た。またさらに150℃の加熱処理で0.55lxsecと向上し
た。
Example 2 In this example, the orientation and crystallinity were controlled by changing the deposition conditions of the oligophenylene sulfide raw material powder having a polymerization degree of 4, 5, 6, 7, and 8. The vapor deposition rate was controlled by the height of the crucible temperature and was set to four types of 1, 5, 10, and 20 A / sec. The substrate temperature is room temperature, 100 ° C, or 150 ° C. The film thickness was set to 10 μm as in Example 1, and a 2 μm-thick film of As 2 Se 3 containing a chalcogen atom was formed thereon as a charge generation layer.
The film formation was performed by a vacuum evaporation method and the substrate temperature was 100 ° C.
As a result, a positively charged function-separated type electrophotographic photosensitive member can be constructed. Changes in orientation ratio after vapor deposition of oligophenylene sulfide are shown in Table 2-1, and changes in crystal size are shown in Table 2-2. The electrophotographic characteristics after forming the charge generation layer are uniquely improved by the increase of the polymerization degree, and the film having the polymerization degree of 8 and the vapor deposition rate of 1 A / sec is the best. Further, when the charge generation layer is formed, it is subjected to a vacuum heat treatment at 100 ° C. The half-exposure amount was 0.6 lxsec for white light. Furthermore, it improved to 0.55 lxsec by heating at 150 ℃.

実施例3 電荷発生層にSi原子を含む非晶質層とし、電荷輸送層に
酸素ドープしたポリパラフェニレンスルフィド(以下PP
Sと称する。)、オリゴパラフェニレンスルフィド(OP
S)の2種類から構成した。その膜質の差を(200)回折
ピークの微結晶領域の大きさから検討した。
Example 3 The charge generation layer was an amorphous layer containing Si atoms, and the charge transport layer was oxygen-doped polyparaphenylene sulfide (hereinafter referred to as PP).
Called S. ), Oligoparaphenylene sulfide (OP
S). The difference in film quality was examined from the size of the microcrystalline region of the (200) diffraction peak.

a−Si:Hの製膜は、プラズマCVD法で行った。基板を、
6インチの放電電極を有する平行平板型の容量結合方式
プラズマCVD装置内に設置し、反応容器内を5×10-6Tor
r以下に排気後、基板を150〜200℃の温度範囲の一定温
度に加熱制御した。反応容器内にSiH4ガスを、50sccm、
H2ガスを250sccm混合導入し、容器内圧力を0.2〜1.0Tor
r、13.56MHZの高周波を電力40〜80Wの条件で成膜し、a
ーSi:H層を光導電層として1.0μm形成した。
The film formation of a-Si: H was performed by the plasma CVD method. Board,
Installed in a parallel plate type capacitively coupled plasma CVD device with a 6-inch discharge electrode, and the inside of the reaction vessel was 5 × 10 -6 Torr.
After evacuating to below r, the substrate was heated and controlled to a constant temperature in the temperature range of 150 to 200 ° C. SiH 4 gas in the reaction vessel, 50sccm,
H 2 gas introduced 250sccm mixing, 0.2~1.0Tor the container pressure
r, 13.56MHZ high frequency is deposited under the condition of electric power 40-80W, a
-Si: H layer was formed as a photoconductive layer of 1.0 μm.

この電荷発生層上に膜厚10μmのPPSフィルムを285℃の
空気中雰囲気で加熱し融着させた。その後290℃酸素100
%雰囲気下で6時間加熱処理し膜中に酸素をドーピング
した。一方OPS膜は重合度6の蒸着膜である。積層後の
X線回折から得られる結晶の大きさと半減露光量を評価
した。OPSは酸素ドープPPSに比べおよそ4倍の400Aの微
結晶の大きさを持つ。また電子写真感度もOPS膜は0.6lx
secとPPSの1.01xsecに比べ向上する。特に残留電位はキ
ャリア移動度と直接結び付き、PPSの150Vに対してOPSは
30V以下と大きく向上した。
On this charge generation layer, a PPS film having a thickness of 10 μm was heated and fused in an air atmosphere at 285 ° C. Then 290 ℃ oxygen 100
%, The film was heat-treated for 6 hours to dope oxygen into the film. On the other hand, the OPS film is a vapor deposition film with a polymerization degree of 6. The size of the crystal obtained by X-ray diffraction after lamination and the half-exposure amount were evaluated. The OPS has a crystallite size of 400 A, which is about four times that of oxygen-doped PPS. The electrophotographic sensitivity of the OPS film is 0.6 lx.
It is improved compared to sec and PPS 1.01xsec. Especially, the residual potential is directly related to the carrier mobility, and the OPS is
Greatly improved to 30V or less.

実施例4 電荷輸送層であるOPSに電子受容体として、TCNQ(7,7,
8,8,−テトラシアノキノジメタン)を添加した。本実施
例では、OPS原料粉末として重合度6を用い蒸着させた
後、5重量%の添加量TCNQを気相中で拡散させた。この
電荷輸送層上に成膜する光導電層にアズレニウム塩化合
物を採用した。1,4−ジメチル−7−イソプロピルアズ
レンとP−ジメチルアミノシンナムアルデヒドをテトラ
ヒドロフランに溶解し、酸(HX、X=ClO4、BF4、Br、
I)を10℃以下に冷却しながら反応させて、この溶液を
60℃で乾燥させアズレニウム塩化合物1−(P−ジメチ
ルアミノシンナミリデン)−5−イソプロピル−3,8−
ジメチルアズレニウム塩を得た。これをブチラール樹脂
と混ぜ合わせ酢酸ブチル中で分散させたのち電荷輸送層
上に0.1〜5.0μm塗布したのち70℃で乾燥させた。
Example 4 TCNQ (7,7,
8,8, -Tetracyanoquinodimethane) was added. In this example, after vapor deposition was performed using a polymerization degree of 6 as the OPS raw material powder, the addition amount TCNQ of 5 wt% was diffused in the gas phase. An azurenium salt compound was used for the photoconductive layer formed on this charge transport layer. 1,4-dimethyl-7-isopropyl azulene and P- dimethylamino cinnamaldehyde was dissolved in tetrahydrofuran, acid (HX, X = ClO 4, BF 4, Br,
I) is reacted while being cooled to 10 ° C or lower, and this solution is
Azurenium salt compound 1- (P-dimethylaminocinnamylidene) -5-isopropyl-3,8-
A dimethylazulenium salt was obtained. This was mixed with butyral resin, dispersed in butyl acetate, applied on the charge transport layer in an amount of 0.1 to 5.0 μm, and dried at 70 ° C.

アズレニウム塩は、400〜900nmに至る波長領域で光導電
性に優れ、特に700nm以上の長波長に感度ピークを持ち
半導体レーザーを光源とするプリンタに適応し得る。上
記4種類のアズレニウム塩の中でも酸としてI(ヨウ
素)を含有したものは、白色光に対して0.65lxsec、800
nmの赤色光に対して0.36lxsecと良好な感度を示した。
The azurenium salt has excellent photoconductivity in the wavelength region of 400 to 900 nm, and particularly has a sensitivity peak at a long wavelength of 700 nm or more and can be applied to a printer using a semiconductor laser as a light source. Among the above four kinds of azurenium salts, those containing I (iodine) as an acid are 0.65 lxsec, 800
It showed a good sensitivity of 0.36 lxsec for red light of nm.

発明の効果 本発明によれば、光励起によってキャリアを発生する光
導電層と、そのキャリアを輸送する電荷輸送層からなる
機能分離型電子写真感光体において、電荷輸送層がフェ
ニレン基パラ位の置換基がVIb族元素を含み、その重合
度が5以上のオリゴマーであり、且つその結晶系で繊維
軸をC軸に取ったときのX線回折の回折面(001)の回
折強度の回折面(200)の回折強度に対する比を0.15以
下とすることにより、高感度、低残留電位の電子写真感
光体を得ることができる。またその結晶系で回折面(20
0)のピークの半値幅からシェラーの式より算出される
微結晶の大きさが200オングストローム以上とすること
により移動度の大きな電子写真感光体が得られる。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, in a function-separated electrophotographic photosensitive member including a photoconductive layer that generates carriers by photoexcitation and a charge transport layer that transports the carriers, the charge transport layer is a phenylene group para substituent group. Is an oligomer having a VIb group element and a degree of polymerization of 5 or more, and the diffraction plane (200) of the diffraction intensity of the X-ray diffraction plane (001) when the fiber axis is taken as the C axis in the crystal system (200 By setting the ratio of 1) to the diffraction intensity to 0.15 or less, an electrophotographic photosensitive member with high sensitivity and low residual potential can be obtained. In addition, the diffraction system (20
By setting the size of the microcrystals calculated from the half width of the peak of (0) according to Scherrer's equation to 200 angstroms or more, an electrophotographic photoreceptor having high mobility can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例における電子写真感光体の概
略断面図、第2図は本発明の実施例1に於ける重合度の
異なるオリゴマーのX線回折を表した図、第3図は同実
施例に於けるオリゴフェニレンスルフィド蒸着膜の分光
感度の重合度依存性を示した図、第4図は同実施例に於
けるオリゴフェニレンスルフィド蒸着膜の加熱処理を施
したときの感度特性変化を表した図である。 1…支持体、2…電荷輸送層、3…光導電層。
FIG. 1 is a schematic sectional view of an electrophotographic photosensitive member in one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing X-ray diffraction of oligomers having different degrees of polymerization in Embodiment 1 of the present invention, and FIG. Is a diagram showing the degree of polymerization dependence of the spectral sensitivity of the oligophenylene sulfide vapor-deposited film in the same Example, and FIG. 4 is the sensitivity characteristic when the oligophenylene sulfide vapor-deposited film in the same Example is subjected to heat treatment. It is a figure showing change. 1 ... Support, 2 ... Charge transport layer, 3 ... Photoconductive layer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 正則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−276058(JP,A) 特開 昭64−2062(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Masanori Watanabe 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) Reference JP 63-276058 (JP, A) JP 64-2062 (JP, A)

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光励起によってキャリアを発生する光導電
層と、そのキャリアを輸送する電荷輸送層からなる機能
分離型電子写真感光体において、電荷輸送層がフェニレ
ン基パラ位の置換基がVIb族の元素を含み、その重合度
が5以上のオリゴマーであり、且つその結晶系で繊維軸
をC軸としたX線回折の回折面(001)の回折強度の回
折面(200)の回折強度に対する比が0.15以下であるこ
とを特徴とする電子写真感光体。
1. A function-separated electrophotographic photosensitive member comprising a photoconductive layer that generates carriers by photoexcitation and a charge transport layer that transports the carriers, wherein the charge transport layer is a phenylene group and a para group is a VIb group substituent. An oligomer containing an element and having a degree of polymerization of 5 or more, and the ratio of the diffraction intensity of the diffraction plane (001) of X-ray diffraction to the diffraction intensity of the diffraction plane (200) with the fiber axis as the C axis in the crystal system. Is 0.15 or less, an electrophotographic photoreceptor.
【請求項2】光励起によってキャリアを発生する光導電
層と、そのキャリアを輸送する電荷輸送層からなる機能
分離型電子写真感光体において、電荷輸送層がフェニレ
ン基パラ位の置換基がVIb族元素を含み、その重合度が
5以上のオリゴマーであり、且つその結晶系で繊維軸を
C軸としたX線回折の回折面(200)のピークの半値幅
から以下のシェラーの式より算出される微結晶の大きさ D=0.9λ/βCOSθ……(A) (Dは微結晶の大きさ、λはX線の波長、βは回折線の
半値幅で単位はそれぞれオングストローム、θは回折面
(200)のブラッグ角を表す。)が、200A以上であるこ
とを特徴とする電子写真感光体。
2. A function-separated electrophotographic photoreceptor comprising a photoconductive layer that generates carriers by photoexcitation and a charge transport layer that transports the carriers, wherein the charge transport layer is a phenylene group, and the substituent at the para position is a VIb group element. It is an oligomer having a polymerization degree of 5 or more, and is calculated from the half-width of the peak of the diffraction plane (200) of X-ray diffraction with the fiber axis as the C axis in the crystal system according to the Scherrer's formula below. Size of microcrystals D = 0.9λ / βCOSθ (A) (D is the size of microcrystals, λ is the wavelength of X-rays, β is the full width at half maximum of the diffraction line in Angstroms, and θ is the diffraction surface ( An electrophotographic photosensitive member having a Bragg angle of 200) of 200 A or more.
【請求項3】電荷輸送層中のフェニレン基パラ位の置換
基が、イオウのオリゴフェニレンスルフィドであること
を特徴とする請求項1または2記載の記載の電子写真感
光体。
3. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the substituent at the para-position of the phenylene group in the charge transport layer is sulfur oligophenylene sulfide.
【請求項4】電荷輸送層に電子受容体が添加されている
ことを特徴とする請求項1または2記載の電子写真感光
体。
4. The electrophotographic photoreceptor according to claim 1, wherein an electron acceptor is added to the charge transport layer.
【請求項5】光導電層がカルコゲン原子を含有する非単
結晶層を含むことを特徴とする請求項1または2記載の
電子写真感光体。
5. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photoconductive layer includes a non-single-crystal layer containing a chalcogen atom.
【請求項6】光導電層が、SiあるいはGe原子を含む非晶
質層を含むことを特徴とする請求項1または2記載の電
子写真感光体。
6. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photoconductive layer includes an amorphous layer containing Si or Ge atoms.
【請求項7】光導電層が、有機半導体層を含むことを特
徴とする請求項1または2記載の電子写真感光体。
7. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photoconductive layer includes an organic semiconductor layer.
【請求項8】電荷輸送層を成膜した後加熱処理すること
により、X線回折の回折面(001)の回折強度の回折面
(200)の回折強度に対する比を低下させる工程を含む
ことを特徴とする請求項1記載の電子写真感光体の製造
方法。
8. A step of lowering the ratio of the diffraction intensity of the diffraction plane (001) of X-ray diffraction to the diffraction intensity of the diffraction plane (200) by heat treatment after forming the charge transport layer. The method for producing an electrophotographic photosensitive member according to claim 1, which is characterized in that.
【請求項9】電荷輸送層を成膜した後加熱処理すること
により、X線回折の回折面(200)のピーク半値幅を小
さくする工程を含むことを特徴とする請求項2記載の電
子写真感光体の製造方法。
9. The electrophotography according to claim 2, further comprising the step of reducing the half-value width of the peak of the diffraction plane (200) of X-ray diffraction by heating after forming the charge transport layer. Manufacturing method of photoconductor.
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