JPH0784058A - Ge半導体検出器 - Google Patents

Ge半導体検出器

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JPH0784058A
JPH0784058A JP23054893A JP23054893A JPH0784058A JP H0784058 A JPH0784058 A JP H0784058A JP 23054893 A JP23054893 A JP 23054893A JP 23054893 A JP23054893 A JP 23054893A JP H0784058 A JPH0784058 A JP H0784058A
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JP
Japan
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liquefied gas
refrigerator
storage container
gas storage
semiconductor
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JP23054893A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Kobayashi
広幸 小林
Shinya Fujita
真也 藤田
Shunichiro Makino
俊一郎 牧野
Yukinobu Horio
志伸 堀尾
Masato Adachi
正人 足立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Iwatani Industrial Gases Corp
Iwatani Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Iwatani Plantech Corp
Iwatani International Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】エネルギ分解能の高度維持,Ge半導体検出部
周りの遮蔽壁囲設,操作用コントローラとの離間距離の
設定,機器の保守点検や故障原因の診断等の容易化要望
等、核種測定に係る特殊な問題を解決して、冷却維持用
の低温冷凍機の運用を適切に行なうことができるように
する。 【構成】Ge半導体検出部1を液化ガス貯蔵容器2に接
続するとともに、液化ガス貯蔵容器の開口部2aに液化
ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機のコールドヘ
ッド5を配置したGe半導体検出器であって、液化ガス
貯蔵容器の開口部とコールドヘッドとの間に、電気的絶
縁性を有するゲル状物質からなる振動吸収層20を介在
させたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、放射線測定装置、例え
ばγ線スペクトロメータ等に適用されるGe(ゲルマニ
ウム)半導体検出器に係り、特に冷却維持用の低温冷凍
機部を改良したGe半導体検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】原子力発電所では、運転状況や作業環境
または周辺環境への影響等を把握するために、適時に試
料を採取して放射能測定を行なっている。この場合、多
くの核種が混在する試料の核種分析用として、エネルギ
分解能が優れたGe半導体検出器が多用されている。
【0003】このGe半導体検出器は、測定精度を高め
るために、液化ガスの気化熱を利用した冷凍機によって
測定中継続的に冷却するようになっている。具体的に
は、Ge半導体検出部を液化ガス貯蔵容器にコールドフィ
ンガを介して接続し、このコールドフィンガによって冷
熱の供給を行なうようになっている。
【0004】ところで、液化ガスは蒸発によって容器外
に飛散するため、通常は必要に応じて液化ガス貯蔵容器
に補給し、測定時における冷却維持を図っている。しか
し、Ge半導体検出器は被曝防止のため遮蔽壁で覆われ
ることもあり、ガス補給作業が比較的煩雑で作業者の負
担の多いことから、液化ガスの蒸発対策が望まれてい
る。
【0005】なお、電子顕微鏡のEDS検出器等の分野
では、同様の液化ガス蒸発対策として、液化ガス貯蔵容
器の開口部に低温冷凍機のコールドヘッドを配置し、気
化したガスを液化させるとともに液体温度を降下させる
ことによって容器内の液化ガス量を維持する技術が開発
されており、これに関して出願人は冷凍機の振動による
影響防止技術等について種々の提案を行なっている
(例:特開平2−279977号,同4−256886
号)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】Ge半導体検出器につ
いては、エネルギ分解能の高度維持,Ge半導体検出部
周りの遮蔽壁囲設,操作用コントローラとの離間距離の
設定,機器の保守点検や故障原因の診断等の容易化要望
等、核種測定に係る特殊な問題があり、これまでの関連
技術をそのまま適用することは困難性がある。
【0007】例えば特開平2−279977号で示した
ように、低温冷凍機に防振用支持台を設けた場合、支持
台ごと遮蔽体で囲設する必要があるが、液化ガス貯蔵容
器とGe半導体検出部との連結部に合せて製作される一
般的な遮蔽体が適用できなくなる。
【0008】また、特開平4−256886号で示した
ように、冷凍機の振動吸収材として、防振ゴムを用いた
場合には、エネルギ分解能が低下し易い。
【0009】一方、振動吸収材としてベローズ等を用い
た場合、冷凍機電源と検出器電源との間に連結されるグ
ランドループによって、ノイズが発生することがある。
【0010】さらに、設置状況によっては、Ge半導体
検出器と液化ガス蒸発防止装置用冷凍機とを制御するた
めのコントローラが、放射線量が高いなどの理由によっ
てGe検出器から大きい離間距離を必要とする場合がある
が、前記従来技術で使用されている液化ガス貯蔵容器内
の温度検出用温度センサではコントローラまでの離間距
離を大きく設定することが性能上困難となることがあ
る。
【0011】また、オートサンプルチェンジャなどを使
用して自動測定を行なう場合、従来のような手動操作に
よる冷凍機運転が併合できない。
【0012】一方、従来のEDS検出器用蒸発防止装置
では、自動運転制御用センサからの信号でコントローラ
をON,OFF動作する等の手段が採用されているが、
これでは装置が複雑化して製作,運用上の問題が生じ
る。
【0013】さらにまた、従来の装置では、故障時にG
e半導体検出器を保護する機能がなく、故障原因の診断
が適切に行なえない等の問題がある。
【0014】本発明は、このような事情に着目してなさ
れたもので、エネルギ分解能の高度維持,Ge半導体検
出部周りの遮蔽壁囲設,操作用コントローラとの離間距
離の設定,機器の保守点検や故障原因の診断等の容易化
要望等、核種測定に係る特殊な問題を解決して、冷却維
持用の低温冷凍機の運用を適切に行なうことができるG
e半導体検出器を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1の発明は、Ge半導体検出部を液化ガス貯
蔵容器に接続するとともに、前記液化ガス貯蔵容器の開
口部に液化ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機の
コールドヘッドを配置したGe半導体検出器であって、
前記液化ガス貯蔵容器の開口部と前記コールドヘッドと
の間に、電気的絶縁性を有するゲル状物質からなる振動
吸収層を介在させたことを特徴とする。
【0016】請求項2の発明は、Ge半導体検出部を液
化ガス貯蔵容器に接続するとともに、前記液化ガス貯蔵
容器の開口部に液化ガスの液化点以下の温度を設定した
冷凍機のコールドヘッドを配置したGe半導体検出器で
あって、前記液化ガス貯蔵容器の開口部と前記Ge半導
体検出部との間に、電気的絶縁性を有するゲル状物質か
らなる振動吸収層を介在させたことを特徴とする。
【0017】請求項3の発明は、Ge半導体検出部を液
化ガス貯蔵容器に接続するとともに、前記液化ガス貯蔵
容器の開口部に液化ガスの液化点以下の温度を設定した
冷凍機のコールドヘッドを配置したGe半導体検出器で
あって、前記Ge半導体検出部の測定操作と前記冷凍機
の運転とはそれらのいずれか一方のみが可能となるべく
設定されており、その設定手段は、前記Ge半導体検出
部の測定操作を検出する手段、前記冷凍機の運転の検出
する手段または前記液化ガス貯蔵容器内の圧力を検出す
る手段であることを特徴とする。
【0018】請求項4の発明は、Ge半導体検出部を液
化ガス貯蔵容器に接続するとともに、前記液化ガス貯蔵
容器の開口部に液化ガスの液化点以下の温度を設定した
冷凍機のコールドヘッドを配置したGe半導体検出器で
あって、前記冷凍機の運転と停止とを一定のサイクルで
切り換えるタイマ制御手段を備えたことを特徴とする。
【0019】請求項5の発明は、Ge半導体検出部を液
化ガス貯蔵容器に接続するとともに、前記液化ガス貯蔵
容器の開口部に液化ガスの液化点以下の温度を設定した
冷凍機のコールドヘッドを配置したGe半導体検出器で
あって、前記冷凍機の圧縮機温度、前記Ge半導体検出
部の結露状態、または前記液化ガス貯蔵容器の圧力を検
出し、これらの検出値が指定範囲外にある場合のその旨
もしくはその原因を表示する診断装置を備えたことを特
徴とする。
【0020】
【作用】請求項1の発明によれば、液化ガス貯蔵容器の
開口部と冷凍機のコールドヘッドとの間にゲル状物質か
らなる振動吸収層を介在させることにより、これら液化
ガス貯蔵容器とコールドヘッドとの連設構造を大幅に変
える必要なく振動防止が図れるようになり、また、従来
から使用されている一般的な構造の遮蔽体が適用できる
ようになる。しかも、ゲル状物質からなる振動吸収層は
電気的絶縁性を有するものとしたことにより、Ge検出
器電源と冷凍機電源との間で形成されるグランドループ
による影響を防止でき、雑音によるエネルギ分解能の低
下を防止することができる。
【0021】請求項2の発明によれば、液化ガス貯蔵容
器の開口部と冷凍機のGe半導体検出部との間にゲル状
物質からなる振動吸収層を介在させることにより、これ
ら液化ガス貯蔵容器とGe半導体検出部との連設構造を
大幅に変える必要なく振動防止が図れるようになり、ま
た、従来から使用されている一般的な構造の遮蔽体が適
用できるようになる。しかも、ゲル状物質からなる振動
吸収層は電気的絶縁性を有するものとしたことにより、
Ge検出器電源と冷凍機電源との間で形成されるグラン
ドループによる影響を防止でき、雑音によるエネルギ分
解能の低下を防止することができる。
【0022】請求項3の発明によれば、Ge検出部によ
る測定時は低温冷凍機の運転を停止する自動制御機能を
有するため、自動連続測定が可能になり、その場合の切
換操作が容易であることに加え、液化ガス貯蔵容器内の
圧力を切換用設定手段として用いるので、従来用いられ
ていた温度センサを使用することがなくなり、これによ
りGe半導体検出器とコントローラとの距離を離すこと
が可能になり、放射線対策も確実なものとすることがで
きる。
【0023】請求項4の発明によれば、低温冷凍機の運
転を、タイマ制御手段を使用して実施するので、温度や
圧力に関係なく、一定サイクルの動作を行なうことがで
きる。したがって、センサ等を必要としないため、装置
の簡略化が図れるようになる。
【0024】請求項5の発明によれば、一定時間低温冷
凍機の運転を実施しても、特定圧力に到達しない場合や
使用環境条件が運転に適合していない場合に、その自動
診断、即ち、装置の故障,環境条件の適合性等が自動的
に判別でき、装置の保護に有効的なものとなる。
【0025】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0026】まず、図1によって全体構成を説明する。
【0027】本実施例のGe半導体検出器では図1に示
すように、Ge半導体検出部1が液化ガス貯蔵容器とし
てのデュワ瓶2の上端の開口部2aにコールドフィンガ
3を介して接続されている。このデュワ瓶2内には液化
ガスとして例えば液体窒素が収容されている。そして、
デュワ瓶2の開口部2aに液体窒素の液化点以下の温度
を設定した冷凍機4のコールドヘッド5が配置され、開
口部2aからデュワ瓶2内にコールドヘッド5のコール
ドエンド6が挿入されている。
【0028】なお、冷凍機4は、コールドヘッド5を冷
媒配管7および中継ボックス8を介して圧縮機9に接続
して構成されており、これらコールドヘッド5と圧縮機
9とが低温冷凍機信号ケーブル10によって相互に接続
されるとともに、それぞれコントローラ11に圧力信号
ケーブル12および低温冷凍機信号ケーブル13を介し
て接続されている。
【0029】デュワ瓶2の開口部2a内には断熱材14
が装着され、この開口部2a上にフランジ15が載置さ
れている。Ge半導体検出部1接続用のコールドフィン
ガ3および冷凍機4のコールドエンド6は、これらフラ
ンジ15および断熱材14を貫通してデュワ瓶2内に挿
入されている。
【0030】なお、図2に示すように、フランジ15上
には圧力センサ16,液体窒素補給口17,安全弁18
等が設けられ、またデュワ瓶2内には液体窒素レベルセ
ンサ19が挿入されている。
【0031】このものにおいて、前述した冷凍機4のコ
ールドヘッド5は、フランジ15の上に、電気的絶縁性
を有するゲル状物質からなる振動吸収層20を介して載
置されてボルト等の締付具21で固定されている。この
振動吸収層20を構成するゲル状物質は、例えばシリコ
ンを主体として構成され、比重が約0.5〜2,引張強
度が約0.5〜26kg/cm2 で、ゴム等の防振材に比べ
て低周波振動の吸収能に優れ、温度変化に対しても反発
弾性が20%以下と一定としているものである。
【0032】このような構成によると、デュワ瓶2の開
口部2aと冷凍機4のコールドヘッド5との間にゲル状
物質からなる振動吸収層20が介在しているので、これ
らデュワ瓶2とコールドヘッド5との連設構造を大幅に
変える必要なく、振動防止が図れるようになり、従来か
ら使用されている一般的な構造の遮蔽体が適用できるよ
うになる。しかも、ゲル状物質からなる振動吸収層20
は電気的絶縁性を有するものとしたことにより、Ge検
出器電源と冷凍機電源との間で形成されるグランドルー
プによる影響を防止でき、雑音によるエネルギ分解能の
低下を防止することができる。さらに、この振動吸収層
20はゲル状物質からなるので、容器密閉効果も奏さ
れ、したがって、Oリング等によるシール材が省略でき
る。
【0033】また、低温冷凍機4を使用しない場合に
は、フランジ15上に設けられた液体窒素補給口17か
らの液体窒素を補給することができる。
【0034】また、初期冷却時および異常時には、フラ
ンジ15に設けられた安全弁18が作動し、デュワ瓶2
内の圧力が一定値以下に保持さる。デュワ瓶2の開口部
2aには断熱材14を装填してあるので、熱の侵入が抑
えられ、低温冷凍機4の運転時間が短縮できる。
【0035】なお、図3に示すように、ゲル状物質から
なる振動吸収層20は、冷凍機4のコールドヘッド5の
周囲部を被覆する構成としてもよい。
【0036】このような構成とすれば、コールドヘッド
5が外面全体に亘って振動防止状態となるので、騒音防
止効果が奏され、また断熱効果も奏される。
【0037】また、図4に示した構成は、Ge半導体検
出部1を液化ガス貯蔵容器としてのデュワ瓶2に接続す
るとともに、デュワ瓶2の開口部2aに液化ガスの液化
点以下の温度を設定した冷凍機4のコールドヘッド5を
配置したGe半導体検出器であって、デュワ瓶2の開口
部2aとGe半導体検出部1との間に、電気的絶縁性を
有するゲル状物質からなる振動吸収層20を介在させた
ものである。
【0038】このような構成によると、冷凍機4側の振
動は、Ge半導体検出部1側で吸収され、図2に示した
構成のものと同様の効果が奏される。
【0039】なお、図5には、振動吸収層20を有しな
い構成例を示している。このものでは図2〜図4に示し
た構成のような振動吸収能は得られないが、後述する制
御構成の対象となり得るものである。各部の構成につい
ては、振動吸収層以外について図2〜図4のものと略同
様であるから、図の対応部分に同一符号を付して説明を
省略する。
【0040】また、図6には、Ge半導体検出部1に結
露センサ22を設け、この結露センサ22を結露センサ
ケーブル23によってコントローラ11に接続し、冷凍
機4の制御要素を加えた構成例を示している。制御につ
いては後述する。また、他の各部の構成については、図
1に示したものと略同様であるから、図1の対応部分に
同一符号を付して説明を省略する。
【0041】さらに、図7には、Ge半導体検出部1を
デュワ瓶2の側方に配設した構成例を示している。この
例においては、Ge半導体検出部の配置構成以外は図1
と略同様である。
【0042】次に図8〜図9によって制御構成を説明す
る。
【0043】基本的には、図8に示すように、Ge半導
体検出部1の測定操作と冷凍機4の運転とがそれらのい
ずれか一方のみ可能となるべく設定される。その設定手
段は、デュワ瓶2内の温度もしくは圧力を検出する手
段、例えば圧力センサ16が用いられる。なお、Ge半
導体検出部1の測定操作を検出する手段、または冷凍機
4の運転の検出する手段としてもよい。
【0044】また、図9に示すように、本実施例では、
液体窒素レベルセンサ19によりレベル確認が行なわれ
液体窒素のレベルがLOの時には高圧がカットされ、G
e半導体検出部1が保護される。そして、ブザーと赤ラ
ンプとにより、液化ガスレベルLOが報知される。レベ
ルOKの場合は、青ランプ点灯となる。
【0045】図10は本実施例による自己診断を行なう
場合のフローチャートを示している。
【0046】即ち、圧縮機9の設置環境温度がセンサに
より確認され、指定範囲外であれば動作OFFとなり、
コントローラ11に考えられる原因が表示される。指定
範囲内であればGe半導体検出部1に取り付けられた検
出器結露センサ22の確認が行なわれ、範囲外であれば
コントローラ11に考えられる原因が表示される。
【0047】したがって、範囲内の場合はデュワ瓶2の
フランジ15に取り付けられた圧力センサ16(または
温度センサ)の出力が確認され、指定範囲外のときは低
温冷凍機4が動作する。動作スタート時にタイマもスタ
ートし、一定時間、例えば12時間以内に指定範囲に入
ることが確認される。タイマ動作中に指定範囲に入らな
い場合には、コントローラ11に推定原因が表示され
る。圧力センサ16(または温度センサ)の出力が指定
範囲内のときは、低温冷凍機4が動作OFFとされ、各
センサの出力監視に入る。
【0048】このような制御によると、検出器の自動測
定に合せて、測定時は低温冷凍機4の運転を停止する自
動制御機能が得られ、自動連続測定が可能となる。
【0049】また、低温冷凍機の運転をタイマのみを使
用して実施する場合には、温度、圧力等に関係なく一定
サイクルによる動作が行なわれる。したがって、センサ
等が必要なく、装置の簡略化が実施できるようになる。
【0050】さらに、自動運転制御機能に加え、環境お
よび運転状況による自動診断機能が得られ、一定時間、
低温冷凍機4の運転を実施しても特定圧力に到達しない
場合や、使用環境条件(検出器の結露等)により、運転
に適合していない場合の判断を行なう自動診断機能を有
するものとなり、装置の故障,環境条件の適合性等を自
動診断することが可能となり、装置保護にも好適なもの
となる。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、液化ガス貯蔵容器の開口部と冷凍機のコールド
ヘッドとの間にゲル状物質からなる振動吸収層を介在さ
せることにより、これら液化ガス貯蔵容器とコールドヘ
ッドとの連設構造を大幅に変える必要なく振動防止が図
れるようになり、また、従来から使用されている一般的
な構造の遮蔽体が適用できるようになる。しかも、ゲル
状物質からなる振動吸収層は電気的絶縁性を有するもの
としたことにより、Ge検出器電源と冷凍機電源との間
で形成されるグランドループによる影響を防止でき、雑
音によるエネルギ分解能の低下を防止することができ
る。
【0052】請求項2の発明によれば、液化ガス貯蔵容
器の開口部と冷凍機のGe半導体検出部との間にゲル状
物質からなる振動吸収層を介在させることにより、これ
ら液化ガス貯蔵容器とGe半導体検出部との連設構造を
大幅に変える必要なく振動防止が図れるようになり、ま
た、従来から使用されている一般的な構造の遮蔽体が適
用できるようになる。しかも、ゲル状物質からなる振動
吸収層は電気的絶縁性を有するものとしたことにより、
Ge検出器電源と冷凍機電源との間で形成されるグラン
ドループによる影響を防止でき、雑音によるエネルギ分
解能の低下を防止することができる。
【0053】請求項3の発明によれば、Ge検出部によ
る測定時は低温冷凍機の運転を停止する自動制御機能を
有するため、自動連続測定が可能になり、その場合の切
換操作が容易であることに加え、液化ガス貯蔵容器内の
圧力を切換用設定手段として用いるので、従来用いられ
ていた温度センサを使用することがなくなり、これによ
りGe半導体検出器とコントローラとの距離を離すこと
が可能になり、放射線対策も確実なものとすることがで
きる。
【0054】請求項4の発明によれば、低温冷凍機の運
転を、タイマ制御手段を使用して実施するので、温度や
圧力に関係なく、一定サイクルの動作を行なうことがで
きる。したがって、センサ等を必要としないため、装置
の簡略化が図れるようになる。
【0055】請求項5の発明によれば、一定時間低温冷
凍機の運転を実施しても、特定圧力に到達しない場合や
使用環境条件が運転に適合していない場合に、その自動
診断、即ち、装置の故障,環境条件の適合性等が自動的
に判別でき、装置の保護に有効的なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す全体構成図。
【図2】同実施例の要部拡大図。
【図3】図2の第1の変形例を示す図。
【図4】図2の第2の変形例を示す図。
【図5】図3の第3の変形例を示す図。
【図6】図1の第1の変形例を示す図。
【図7】図1の第2の変形例を示す図。
【図8】同実施例による制御方法を示す図。
【図9】同実施例による制御方法を示す図。
【図10】同実施例による制御方法を示す図。
【符号の説明】 1 Ge半導体検出部 2 液化ガス収納容器(デュワ瓶) 4 低温冷凍機 5 コールドヘッド 9 圧縮機 16 圧力検出手段(圧力センサ) 20 振動吸収層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 真也 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株 式会社東芝研究開発センター内 (72)発明者 牧野 俊一郎 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株 式会社東芝研究開発センター内 (72)発明者 堀尾 志伸 神奈川県横浜市港北区新横浜2−14−27 岩谷産業株式会社横浜支店内 (72)発明者 足立 正人 滋賀県守山市勝部町1095番地 イワタニプ ランテック株式会社滋賀工場内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Ge半導体検出部を液化ガス貯蔵容器に
    接続するとともに、前記液化ガス貯蔵容器の開口部に液
    化ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機のコールド
    ヘッドを配置したGe半導体検出器であって、前記液化
    ガス貯蔵容器の開口部と前記コールドヘッドとの間に、
    電気的絶縁性を有するゲル状物質からなる振動吸収層を
    介在させたことを特徴とするGe半導体検出器。
  2. 【請求項2】 Ge半導体検出部を液化ガス貯蔵容器に
    接続するとともに、前記液化ガス貯蔵容器の開口部に液
    化ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機のコールド
    ヘッドを配置したGe半導体検出器であって、前記液化
    ガス貯蔵容器の開口部と前記Ge半導体検出部との間
    に、電気的絶縁性を有するゲル状物質からなる振動吸収
    層を介在させたことを特徴とするGe半導体検出器。
  3. 【請求項3】 Ge半導体検出部を液化ガス貯蔵容器に
    接続するとともに、前記液化ガス貯蔵容器の開口部に液
    化ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機のコールド
    ヘッドを配置したGe半導体検出器であって、前記Ge
    半導体検出部の測定操作と前記冷凍機の運転とはそれら
    のいずれか一方のみが可能となるべく設定されており、
    その設定手段は、前記Ge半導体検出部の測定操作を検
    出する手段、前記冷凍機の運転の検出する手段または前
    記液化ガス貯蔵容器内の圧力を検出する手段であること
    を特徴とするGe半導体検出器。
  4. 【請求項4】 Ge半導体検出部を液化ガス貯蔵容器に
    接続するとともに、前記液化ガス貯蔵容器の開口部に液
    化ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機のコールド
    ヘッドを配置したGe半導体検出器であって、前記冷凍
    機の運転と停止とを一定のサイクルで切り換えるタイマ
    制御手段を備えたことを特徴とするGe半導体検出器。
  5. 【請求項5】 Ge半導体検出部を液化ガス貯蔵容器に
    接続するとともに、前記液化ガス貯蔵容器の開口部に液
    化ガスの液化点以下の温度を設定した冷凍機のコールド
    ヘッドを配置したGe半導体検出器であって、前記冷凍
    機の圧縮機温度、前記Ge半導体検出部の結露状態、ま
    たは前記液化ガス貯蔵容器の圧力を検出し、これらの検
    出値が指定範囲外にある場合のその旨もしくはその原因
    を表示する診断装置を備えたことを特徴とするGe半導
    体検出器。
JP23054893A 1993-09-16 1993-09-16 Ge半導体検出器 Pending JPH0784058A (ja)

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JP23054893A JPH0784058A (ja) 1993-09-16 1993-09-16 Ge半導体検出器

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