JPH0782829B2 - 複合分析装置 - Google Patents
複合分析装置Info
- Publication number
- JPH0782829B2 JPH0782829B2 JP61309946A JP30994686A JPH0782829B2 JP H0782829 B2 JPH0782829 B2 JP H0782829B2 JP 61309946 A JP61309946 A JP 61309946A JP 30994686 A JP30994686 A JP 30994686A JP H0782829 B2 JPH0782829 B2 JP H0782829B2
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- JP
- Japan
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- analyzer
- energy analyzer
- mass
- detector
- analysis
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は２次イオン質量分析計とオージェ電子分光分析
計等を兼ねた複合分析装置に関するものである。
計等を兼ねた複合分析装置に関するものである。
（従来技術） 従来より第２図に示すように、励起線源装置３とエネル
ギアナライザ４を共用し、２次イオン質量分析（SIMS）
とオージェ電子分光分析（AES）とに兼用できるように
した複合分析装置が提供されている。この分析装置にお
いては、SIMSとAESとを切り替えるのに、SIMS用の質量
分析器５及び検出器６とAES用の検出器７とを機械的に
移動させるための回転機構10が使用されているが、特に
質量分析器５が重いためにかなり大形の回転機構10を必
要とし、装置全体が大形化するという問題がある。また
モータや減速機などを用いて回転機構10を自動化する場
合には、ギアの遊びやバックラッシュのためにエネルギ
アナライザ４と質量分析器５との軸合わせに誤差を生じ
易いという問題があった。またエネルギアナライザ４と
質量分析器５とを用いたSIMSにおいては、エネルギアナ
ライザ４からの出力ビームの広がり角が大きいために、
質量分析器５の感度が低下するという欠点があった。
ギアナライザ４を共用し、２次イオン質量分析（SIMS）
とオージェ電子分光分析（AES）とに兼用できるように
した複合分析装置が提供されている。この分析装置にお
いては、SIMSとAESとを切り替えるのに、SIMS用の質量
分析器５及び検出器６とAES用の検出器７とを機械的に
移動させるための回転機構10が使用されているが、特に
質量分析器５が重いためにかなり大形の回転機構10を必
要とし、装置全体が大形化するという問題がある。また
モータや減速機などを用いて回転機構10を自動化する場
合には、ギアの遊びやバックラッシュのためにエネルギ
アナライザ４と質量分析器５との軸合わせに誤差を生じ
易いという問題があった。またエネルギアナライザ４と
質量分析器５とを用いたSIMSにおいては、エネルギアナ
ライザ４からの出力ビームの広がり角が大きいために、
質量分析器５の感度が低下するという欠点があった。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は上記の諸点に鑑み、SIMSとAESとの切替機構を
簡略化すると共に、切り替えの際のエネルギアナライザ
と質量分析器との軸合わせの精度を向上し、また質量分
析器に入射するビームの広がり角を絞って感度を向上す
ることができるような複合分析装置を提供しようとする
ものである。
簡略化すると共に、切り替えの際のエネルギアナライザ
と質量分析器との軸合わせの精度を向上し、また質量分
析器に入射するビームの広がり角を絞って感度を向上す
ることができるような複合分析装置を提供しようとする
ものである。
（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するために本発明は、イオン銃１と電
子銃２とを備えた励起線源装置３と、エネルギアナライ
ザ４と、質量分析器５と、２次イオン分析（SIMS）用の
イオン検出器６と、オージェ電子分析（AES）用の電子
検出器７とを備え、エネルギアナライザ４をSIMSとAES
とに共用するようにした複合分析装置において、エネル
ギアナライザ４の出射口4bと質量分析器５の入射口5aと
の間にレンズ系８を設け、レンズ系８の一部または全部
と電子検出器７とを一体化して、横方向へスライドさせ
ることにより、両分析系を切り替え自在としたものであ
る。
子銃２とを備えた励起線源装置３と、エネルギアナライ
ザ４と、質量分析器５と、２次イオン分析（SIMS）用の
イオン検出器６と、オージェ電子分析（AES）用の電子
検出器７とを備え、エネルギアナライザ４をSIMSとAES
とに共用するようにした複合分析装置において、エネル
ギアナライザ４の出射口4bと質量分析器５の入射口5aと
の間にレンズ系８を設け、レンズ系８の一部または全部
と電子検出器７とを一体化して、横方向へスライドさせ
ることにより、両分析系を切り替え自在としたものであ
る。
（作用） 上記の構成において、SIMSとAESの切り替えの際には、
重量のある質量分析器を移動させず、AES用電子検出器
と軽量のレンズ系の一部または全部を移動させるだけで
よいので、移動機構が小形で簡単なもので済み、そのた
めに軸合わせも容易で精度を向上することができる上
に、レンズ系でエネルギアナライザの出力ビームを絞る
ことにより、質量分析器の感度を高めることができるも
のである。
重量のある質量分析器を移動させず、AES用電子検出器
と軽量のレンズ系の一部または全部を移動させるだけで
よいので、移動機構が小形で簡単なもので済み、そのた
めに軸合わせも容易で精度を向上することができる上
に、レンズ系でエネルギアナライザの出力ビームを絞る
ことにより、質量分析器の感度を高めることができるも
のである。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を示したもので、励起線源装
置３においてはイオン銃１と電子銃２とが試料Ｓの表面
に向けて設置されており、エネルギアナライザ４の入射
口4aが試料面の近傍に配設されている。エネルギアナラ
イザ４は荷電粒子の質量を静電的に分析するものであ
り、荷電粒子がオージェ電子の場合にはこのエネルギア
ナライザ４のみで分析が完了し、荷電粒子がイオンの場
合には、エネルギアナライザ４と４重極形の質量分析器
５とが直列に使用されるものである。
置３においてはイオン銃１と電子銃２とが試料Ｓの表面
に向けて設置されており、エネルギアナライザ４の入射
口4aが試料面の近傍に配設されている。エネルギアナラ
イザ４は荷電粒子の質量を静電的に分析するものであ
り、荷電粒子がオージェ電子の場合にはこのエネルギア
ナライザ４のみで分析が完了し、荷電粒子がイオンの場
合には、エネルギアナライザ４と４重極形の質量分析器
５とが直列に使用されるものである。
同図ではエネルギアナライザ４の出射口4bに対向して、
レンズ系８の初段部8aが配設されているが、この初段部
8aとAES用電子検出器７とが一体化されており、切替機
構９により横方向へスライドして、初段部8aとAES用検
出器７のいずれか一方がエネルギアナライザ４の出射口
4bに対向するように構成されている。
レンズ系８の初段部8aが配設されているが、この初段部
8aとAES用電子検出器７とが一体化されており、切替機
構９により横方向へスライドして、初段部8aとAES用検
出器７のいずれか一方がエネルギアナライザ４の出射口
4bに対向するように構成されている。
いまSIMS分析を行う場合は、切替機構９が図示の状態に
切り替えられ、イオン銃１からイオンビームが試料Ｓに
照射され、試料Ｓから放射された二次イオンがエネルギ
アナライザ４で選別された後、レンズ系８によって４重
極形の質量分析器５の入口アパーチャ5aに焦点を合わさ
れ、質量分析器５を通過した後、SIMS用イオン検出器６
で検出される。
切り替えられ、イオン銃１からイオンビームが試料Ｓに
照射され、試料Ｓから放射された二次イオンがエネルギ
アナライザ４で選別された後、レンズ系８によって４重
極形の質量分析器５の入口アパーチャ5aに焦点を合わさ
れ、質量分析器５を通過した後、SIMS用イオン検出器６
で検出される。
次にAES分析を行う場合には、AES用検出器７がエネルギ
アナライザ４の出射口4bに対向するように切替機構９が
切り替えられる。いま電子銃２から電子ビームが試料Ｓ
に照射されると、試料Ｓから放射されるオージェ電子が
エネルギアナライザ４で選別されて、AES用電子検出器
７で検出される。
アナライザ４の出射口4bに対向するように切替機構９が
切り替えられる。いま電子銃２から電子ビームが試料Ｓ
に照射されると、試料Ｓから放射されるオージェ電子が
エネルギアナライザ４で選別されて、AES用電子検出器
７で検出される。
（発明の効果） 上記のように本発明は、エネルギアナライザをSIMSとAE
Sに共用するようにした複合分析装置において、エネル
ギアナライザと質量分析器との間にレンズ系を設け、レ
ンズ系の一部または全部とAES用電子検出器とを横方向
へスライドさせることにより、SIMSとAESとの切り替え
を自在としたものであり、切り替えの際に従来のように
重量のある質量分析器を移動させずに、電子検出器と軽
量のレンズ系の一部または全部を移動させるだけでよい
ので、移動機構が小形で簡単なもので済み、従ってまた
軸合わせも容易で精度を向上することができるものであ
り、またこのレンズ系によって、エネルギアナライザか
ら出射するビームを広がり角の狭いビームに絞り込むこ
とができるので、質量分析器の感度を向上させることが
できる。また上記実施例では質量分析器として４重極形
を用いたが、切り替えの際に移動させる必要がないの
で、更に重量の大きい磁界偏向形を用いることも可能で
ある。
Sに共用するようにした複合分析装置において、エネル
ギアナライザと質量分析器との間にレンズ系を設け、レ
ンズ系の一部または全部とAES用電子検出器とを横方向
へスライドさせることにより、SIMSとAESとの切り替え
を自在としたものであり、切り替えの際に従来のように
重量のある質量分析器を移動させずに、電子検出器と軽
量のレンズ系の一部または全部を移動させるだけでよい
ので、移動機構が小形で簡単なもので済み、従ってまた
軸合わせも容易で精度を向上することができるものであ
り、またこのレンズ系によって、エネルギアナライザか
ら出射するビームを広がり角の狭いビームに絞り込むこ
とができるので、質量分析器の感度を向上させることが
できる。また上記実施例では質量分析器として４重極形
を用いたが、切り替えの際に移動させる必要がないの
で、更に重量の大きい磁界偏向形を用いることも可能で
ある。
第１図は本発明の一実施例を示す概略系統図、第２図は
従来例の概略系統図である。 １……イオン銃、２……電子銃、３……イオン源装置、
４……エネルギアナライザ、５……質量分析器、６……
２次イオン分析用イオン検出器、７……オージェ電子分
析用電子検出器、８……レンズ系、９……切替機構、Ｓ
……試料。
従来例の概略系統図である。 １……イオン銃、２……電子銃、３……イオン源装置、
４……エネルギアナライザ、５……質量分析器、６……
２次イオン分析用イオン検出器、７……オージェ電子分
析用電子検出器、８……レンズ系、９……切替機構、Ｓ
……試料。
Claims (1)
- 【請求項１】励起線源装置と、エネルギアナライザと、
質量分析器と、２次イオン分析用検出器と、電子検出器
とを備え、エネルギアナライザを２次イオン分析系と電
子分析系とに共用するようにした複合分析装置におい
て、エネルギアナライザの出射口と質量分析器の入射口
との間にレンズ系を設け、レンズ系の一部または全部と
電子検出器とを一体化して、横方向へスライドさせるこ
とにより、両分析系を切り替え自在として成る複合分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61309946A JPH0782829B2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 複合分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61309946A JPH0782829B2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 複合分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63166134A JPS63166134A (ja) | 1988-07-09 |
| JPH0782829B2 true JPH0782829B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=17999252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61309946A Expired - Lifetime JPH0782829B2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 複合分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782829B2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP61309946A patent/JPH0782829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63166134A (ja) | 1988-07-09 |
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