JPH0781709A - Glass substrate alignment device - Google Patents
Glass substrate alignment deviceInfo
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- JPH0781709A JPH0781709A JP22711593A JP22711593A JPH0781709A JP H0781709 A JPH0781709 A JP H0781709A JP 22711593 A JP22711593 A JP 22711593A JP 22711593 A JP22711593 A JP 22711593A JP H0781709 A JPH0781709 A JP H0781709A
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- JP
- Japan
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- glass substrate
- cassette
- shaft
- face
- alignment
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- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は側板間にすき間を有す
るカセットに収納されたガラス基板たとえば液晶表示板
用の四角形状のガラス基板のアライメントを行なうガラ
ス基板アライメント装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate alignment device for aligning a glass substrate housed in a cassette having a gap between side plates, for example, a rectangular glass substrate for a liquid crystal display plate.
【0002】[0002]
【従来の技術】図6は液晶表示板用のガラス基板のカセ
ットを示す概略正面図、図7は図6に示したカセットを
示す一部切断概略平面図、図8は図6に示したカセット
を示す概略側面図である。図に示すように、下板1と上
板2との間に側板3が設けられ、側板3の間にすき間が
設けられている。側板3に断面が円状の保持部4が設け
られ、下板1と上板2との間に柱状の基板止め5が設け
られ、上板2の取手6が設けられている。2. Description of the Related Art FIG. 6 is a schematic front view showing a cassette of a glass substrate for a liquid crystal display panel, FIG. 7 is a schematic plan view showing a part of the cassette shown in FIG. 6, and FIG. 8 is a cassette shown in FIG. It is a schematic side view which shows. As shown in the figure, a side plate 3 is provided between the lower plate 1 and the upper plate 2, and a gap is provided between the side plates 3. A holding portion 4 having a circular cross section is provided on the side plate 3, a columnar substrate stopper 5 is provided between the lower plate 1 and the upper plate 2, and a handle 6 of the upper plate 2 is provided.
【0003】図9は図6〜図8に示したカセットをロー
ディング部にセットした状態を示す概略図である。図に
示すように、液晶表示板用の四角形状のガラス基板7が
保持部4に保持されて、カセット内に収納されている。
カセットは昇降台8の上面に設けられた位置決め部材9
によって位置決めされている。FIG. 9 is a schematic view showing a state where the cassette shown in FIGS. 6 to 8 is set in the loading section. As shown in the figure, a rectangular glass substrate 7 for a liquid crystal display plate is held by a holding unit 4 and housed in a cassette.
The cassette is a positioning member 9 provided on the upper surface of the lifting table 8.
Is positioned by.
【0004】液晶表示板を製造する場合には、昇降台8
を上昇または下降しながら、カセットに収納されたガラ
ス基板7をロボットアーム(図示せず)により1枚ずつ
取り出して、基板処理装置(図示せず)に搬送してい
る。When manufacturing a liquid crystal display panel, a lifting table 8 is used.
While raising or lowering, the glass substrates 7 housed in the cassette are taken out one by one by a robot arm (not shown) and conveyed to a substrate processing apparatus (not shown).
【0005】この場合、カセットに収納されたガラス基
板7の位置にバラツキがあると、基板処理装置のステー
ジの所定位置にガラス基板7を搬送することができない
ため、昇降台8に位置決めされたカセット内のガラス基
板7のアライメントを行なう必要がある。In this case, if the position of the glass substrate 7 stored in the cassette varies, the glass substrate 7 cannot be transported to a predetermined position of the stage of the substrate processing apparatus, and therefore the cassette positioned on the elevating table 8 is positioned. It is necessary to align the glass substrate 7 inside.
【0006】従来、カセットに収納されたガラス基板7
のアライメントを行なうには、作業員がアライメント作
業を行なっている。Conventionally, a glass substrate 7 stored in a cassette
In order to perform the alignment, the worker is performing the alignment work.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、作業員がアラ
イメント作業を行なったときには、カセットに収納され
たガラス基板のアライメント作業を能率よく行なうこと
ができない。However, when the worker performs the alignment work, the alignment work of the glass substrates housed in the cassette cannot be performed efficiently.
【0008】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、カセットに収納されたガラス基板のアラ
イメント作業を能率よく行なうことができるガラス基板
アライメント装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a glass substrate alignment apparatus capable of efficiently performing the alignment work of the glass substrates housed in the cassette.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明においては、側板間にすき間を有するカセ
ットに収納されたガラス基板のアライメントを行なうガ
ラス基板アライメント装置において、上記すき間に露出
した上記ガラス基板の端面を押す押し部材と、上記押し
部材を駆動する駆動装置とを設ける。To achieve this object, in the present invention, in a glass substrate alignment apparatus for aligning glass substrates housed in a cassette having a gap between side plates, the above-mentioned exposed portion of the gap is provided. A pressing member that presses the end surface of the glass substrate and a drive device that drives the pressing member are provided.
【0010】[0010]
【作用】このガラス基板アライメント装置においては、
駆動装置により押し部材を駆動してガラス基板のアライ
メントを行なうため、ガラス基板のアライメント作業を
自動的に行なうことができる。In this glass substrate alignment device,
Since the glass substrate is aligned by driving the pushing member by the driving device, the glass substrate can be automatically aligned.
【0011】[0011]
【実施例】図1はこの発明に係るガラス基板アライメン
ト装置を示す一部切断概略底面図、図2は図1のA−A
断面図である。図に示すように、下板10と上板11と
の間に柱材12が設けられ、下板10、上板11、柱材
12でフレームを構成している。下板10にエアシリン
ダ13が回動可能に取り付けられ、シャフト14がベア
リング(図示せず)を介して下板10、上板11に回転
可能に支持され、シャフト14にレバー15が固定さ
れ、レバー15にチューブ17で覆った回転可能なガイ
ドシャフト16が固定され、レバー15、ガイドシャフ
ト16、チューブ17で横方向すなわち図1の紙面上下
方向の第1の押し部材を構成している。シャフト14に
連結バー18が固定され、連結バー18にシャフト19
が回転可能に取り付けられ、エアシリンダ13のピスト
ンロッドの先端がシャフト19に回転可能に取り付けら
れ、シャフト19に連結バー20が回転可能に取り付け
られ、シャフト21がベアリング(図示せず)を介して
下板10、上板11に回転可能に支持され、シャフト2
1にレバー22が固定され、レバー22にチューブ24
で覆った回転可能なガイドシャフト23が固定され、レ
バー22、ガイドシャフト23、チューブ24で横方向
の第2の押し部材を構成している。シャフト21に連結
バー25が固定され、連結バー25にシャフト26が回
転可能に取り付けられ、連結バー20がシャフト26に
回転可能に取り付けられ、シャフト26に連結バー27
が回転可能に取り付けられ、シャフト28がベアリング
(図示せず)を介して下板10、上板11に回転可能に
支持され、シャフト28にレバー29が固定され、レバ
ー29にチューブ31で覆った回転可能なガイドシャフ
ト30が固定され、レバー29、ガイドシャフト30、
チューブ31で縦方向すなわち図1の紙面左右方向の押
し部材を構成している。シャフト28に歯車32が固定
され、下板10にシャフト33が回転可能に取り付けら
れ、シャフト33に歯車34が固定され、歯車34は歯
車32と噛み合っている。シャフト33に連結バー35
が固定され、連結バー35にシャフト36に回転可能に
取り付けられ、シャフト36に連結バー27が回転可能
に取り付けられ、エアシリンダ13、連結バー18、2
0、25、27、35、歯車32、34等で横方向の第
1、第2の押し部材、縦方向の押し部材の駆動装置を構
成している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a partially cutaway schematic bottom view showing a glass substrate alignment apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is AA of FIG.
FIG. As shown in the figure, a pillar member 12 is provided between the lower plate 10 and the upper plate 11, and the lower plate 10, the upper plate 11 and the pillar member 12 form a frame. An air cylinder 13 is rotatably attached to the lower plate 10, a shaft 14 is rotatably supported by the lower plate 10 and an upper plate 11 via a bearing (not shown), and a lever 15 is fixed to the shaft 14. A rotatable guide shaft 16 covered with a tube 17 is fixed to the lever 15, and the lever 15, the guide shaft 16, and the tube 17 constitute a first pressing member in the lateral direction, that is, the vertical direction of the paper surface of FIG. The connecting bar 18 is fixed to the shaft 14, and the shaft 19 is connected to the connecting bar 18.
Is rotatably attached, the tip of the piston rod of the air cylinder 13 is rotatably attached to the shaft 19, the connecting bar 20 is rotatably attached to the shaft 19, and the shaft 21 is attached via a bearing (not shown). The lower plate 10 and the upper plate 11 are rotatably supported by the shaft 2
The lever 22 is fixed to 1, and the tube 24 is attached to the lever 22.
The rotatable guide shaft 23 covered with is fixed, and the lever 22, the guide shaft 23, and the tube 24 constitute a second lateral pressing member. The connecting bar 25 is fixed to the shaft 21, the shaft 26 is rotatably attached to the connecting bar 25, the connecting bar 20 is rotatably attached to the shaft 26, and the connecting bar 27 is attached to the shaft 26.
Is rotatably attached, a shaft 28 is rotatably supported by a lower plate 10 and an upper plate 11 via bearings (not shown), a lever 29 is fixed to the shaft 28, and a tube 31 is covered on the lever 29. The rotatable guide shaft 30 is fixed, and the lever 29, the guide shaft 30,
The tube 31 constitutes a pushing member in the vertical direction, that is, in the lateral direction of the paper surface of FIG. A gear 32 is fixed to the shaft 28, a shaft 33 is rotatably attached to the lower plate 10, a gear 34 is fixed to the shaft 33, and the gear 34 meshes with the gear 32. Connecting bar 35 on shaft 33
Is fixed, and is rotatably attached to the shaft 36 on the connecting bar 35, and the connecting bar 27 is rotatably attached to the shaft 36.
0, 25, 27, 35, gears 32, 34, etc. constitute a driving device for the first and second horizontal pressing members and the vertical pressing member.
【0012】このガラス基板アライメント装置において
は、ガラス基板7が収納されたカセットが位置決めされ
た昇降台8を下降して、カセットを図4に示す位置とし
たのち、図3に示すように、エアシリンダ13を縮小す
ると、連結バー18、25が回動し、シャフト14、2
5が回転し、図5に示すように、レバー15、22が回
動して、ガイドシャフト16、23が側板3のすき間に
露出したガラス基板7の端面を押すから、ガラス基板7
は横方向にアライメントされる。また、エアシリンダ1
3を縮小すると、連結バー35が回動し、歯車34、3
2が回転し、シャフト28が回転し、レバー29が回動
して、図4、図5に示すように、ガイドシャフト30が
ガラス基板7のカセット入口側端面を押すから、ガラス
基板7のカセット入口側端面とは反対側の端面が基板止
め5に押しつけられるので、ガラス基板7は縦方向にア
ライメントされる。こののち、昇降台8を上昇しなが
ら、カセットに収納されたガラス基板7をロボットアー
ムにより1枚ずつ取り出して、基板処理装置に搬送す
る。In this glass substrate alignment apparatus, the elevating table 8 on which the cassette containing the glass substrate 7 is positioned is lowered to bring the cassette to the position shown in FIG. 4, and then, as shown in FIG. When the cylinder 13 is contracted, the connecting bars 18 and 25 are rotated, and the shafts 14 and 2 are rotated.
5, the levers 15 and 22 rotate as shown in FIG. 5, and the guide shafts 16 and 23 push the end surface of the glass substrate 7 exposed in the gap of the side plate 3.
Are laterally aligned. Also, the air cylinder 1
When 3 is contracted, the connecting bar 35 rotates, and the gears 34, 3
2 rotates, the shaft 28 rotates, the lever 29 rotates, and the guide shaft 30 pushes the end face of the glass substrate 7 on the cassette inlet side as shown in FIGS. Since the end surface on the side opposite to the entrance side end surface is pressed against the substrate stopper 5, the glass substrate 7 is vertically aligned. After that, the glass substrates 7 housed in the cassette are taken out one by one by the robot arm while the elevator table 8 is being raised, and are conveyed to the substrate processing apparatus.
【0013】このようなガラス基板アライメント装置に
おいては、駆動装置により横方向の第1、第2の押し部
材、縦方向の押し部材を駆動してガラス基板7の横方向
および縦方向のアライメントを行なうから、ガラス基板
7のアライメント作業を自動的に行なうことができるの
で、ガラス基板7のアライメント作業を能率よく行なう
ことができる。In such a glass substrate alignment apparatus, the driving device drives the first and second horizontal pressing members and the vertical pressing member to perform the horizontal and vertical alignment of the glass substrate 7. Therefore, since the alignment work of the glass substrate 7 can be automatically performed, the alignment work of the glass substrate 7 can be efficiently performed.
【0014】[0014]
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るガ
ラス基板アライメント装置においては、ガラス基板の横
方向のアライメント作業を自動的に行なうことができる
ので、ガラス基板のアライメント作業を能率よく行なう
ことができる。このように、この発明の効果は顕著であ
る。As described above, in the glass substrate alignment apparatus according to the present invention, the lateral glass substrate alignment work can be automatically performed, so that the glass substrate alignment work can be performed efficiently. You can As described above, the effect of the present invention is remarkable.
【図1】この発明に係るガラス基板アライメント装置を
示す一部切断概略底面図である。FIG. 1 is a partially cutaway schematic bottom view showing a glass substrate alignment apparatus according to the present invention.
【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図3】図1、図2に示したガラス基板アライメント装
置の動作説明図である。FIG. 3 is an operation explanatory view of the glass substrate alignment apparatus shown in FIGS. 1 and 2.
【図4】図3の一部省略B−B断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【図5】図4のC−C断面図である。5 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG.
【図6】液晶表示板用のガラス基板のカセットを示す概
略正面図である。FIG. 6 is a schematic front view showing a glass substrate cassette for a liquid crystal display panel.
【図7】図6に示したカセットを示す一部切断概略平面
図である。7 is a partially cutaway schematic plan view showing the cassette shown in FIG.
【図8】図6に示したカセットを示す概略側面図であ
る。FIG. 8 is a schematic side view showing the cassette shown in FIG.
【図9】図6〜図8に示したカセットをローディング部
にセットした状態を示す概略図である。FIG. 9 is a schematic view showing a state where the cassette shown in FIGS. 6 to 8 is set in a loading section.
3…側板 7…ガラス基板 13…エアシリンダ 15…レバー 16…ガイドシャフト 17…チューブ 18…連結バー 20…連結バー 22…レバー 23…ガイドシャフト 24…チューブ 25…連結バー 3 ... Side plate 7 ... Glass substrate 13 ... Air cylinder 15 ... Lever 16 ... Guide shaft 17 ... Tube 18 ... Connection bar 20 ... Connection bar 22 ... Lever 23 ... Guide shaft 24 ... Tube 25 ... Connection bar
Claims (1)
れたガラス基板のアライメントを行なうガラス基板アラ
イメント装置において、上記すき間に露出した上記ガラ
ス基板の端面を押す押し部材と、上記押し部材を駆動す
る駆動装置とを具備することを特徴とするガラス基板ア
ライメント装置。1. A glass substrate alignment apparatus for aligning a glass substrate housed in a cassette having a gap between side plates, the pushing member pushing an end face of the glass substrate exposed in the gap, and the pushing member. A glass substrate alignment apparatus comprising a driving device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22711593A JPH0781709A (en) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | Glass substrate alignment device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22711593A JPH0781709A (en) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | Glass substrate alignment device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0781709A true JPH0781709A (en) | 1995-03-28 |
Family
ID=16855717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22711593A Pending JPH0781709A (en) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | Glass substrate alignment device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0781709A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102540878A (en) * | 2012-03-16 | 2012-07-04 | 广东电网公司电力科学研究院 | Cascading gain self-scheduling PID (Proportion Integration Differentiation) controller |
KR101488584B1 (en) * | 2013-02-07 | 2015-02-02 | 주식회사 한일하이테크 | Cassette for loading lcd panel |
WO2019118397A1 (en) * | 2017-12-12 | 2019-06-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer apparatus and method for positioning and clamping a substrate on non contact gripper |
-
1993
- 1993-09-13 JP JP22711593A patent/JPH0781709A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102540878A (en) * | 2012-03-16 | 2012-07-04 | 广东电网公司电力科学研究院 | Cascading gain self-scheduling PID (Proportion Integration Differentiation) controller |
KR101488584B1 (en) * | 2013-02-07 | 2015-02-02 | 주식회사 한일하이테크 | Cassette for loading lcd panel |
WO2019118397A1 (en) * | 2017-12-12 | 2019-06-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer apparatus and method for positioning and clamping a substrate on non contact gripper |
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