KR101186517B1 - Up-down apparatus and method of fabricating liquid crystal display device using the same - Google Patents
Up-down apparatus and method of fabricating liquid crystal display device using the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101186517B1 KR101186517B1 KR1020050119043A KR20050119043A KR101186517B1 KR 101186517 B1 KR101186517 B1 KR 101186517B1 KR 1020050119043 A KR1020050119043 A KR 1020050119043A KR 20050119043 A KR20050119043 A KR 20050119043A KR 101186517 B1 KR101186517 B1 KR 101186517B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- support
- glass
- liquid crystal
- power
- crystal display
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/46—Fixing elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명은 액정표시장치용 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 액정표시장치의 제조공정 중 글라스를 지지하면서 승강시키는 승강장치에 있어서, 비교적 대면적이면서 중량이 무거운 대형 글라스를 지지하는 지지부를 상하방향으로 직선 이동시키도록 소정의 간격을 두고 설치된 실린더 방식의 듀얼(dual) 구동부 및 상기 지지부에 연결되어 상기 각 구동부의 동작을 오차 없이 동일하게 이루어지도록 동기화시키는(synchronizing) 동기부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 본 발명의 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 듀얼 실린더 구조의 도입과 상기 구동부의 동작을 동기화시킴으로써 대면적이면서도 중량이 무거운 대형 글라스를 안정적으로 이송할 수 있을 뿐만 아니라 정확히 이송할 수 있게 된다.The present invention relates to a glass lift device for a liquid crystal display device and a method for manufacturing the liquid crystal display device using the same. To this end, the present invention is a lifting device that lifts while supporting the glass during the manufacturing process of the liquid crystal display device, which is installed at a predetermined interval to move the support portion for supporting a large glass with a relatively large area and a straight line in the vertical direction It is characterized in that it comprises a dual type driving unit of the cylinder type and the support unit for synchronizing (synchronizing) so that the operation of each of the driving unit is made to be the same without error. The glass lifting device of the present invention configured as described above and the manufacturing method of the liquid crystal display device using the same are able to stably transfer a large area and heavy weight glass stably by precisely introducing a dual cylinder structure and synchronizing the operation of the driving unit. It can be transported.
액정표시장치, 글라스, 승강장치, 구동부 LCD, glass, elevator, driver
Description
도 1은 본 발명의 글라스 승강장치의 설치 상태를 개략적으로 나타내는 예시도.1 is an exemplary view schematically showing an installation state of the glass elevating device of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 승강장치의 초기상태를 개략적으로 나타내는 사시도.Figure 2 is a perspective view schematically showing an initial state of the glass lifting apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 글라스 승강장치의 이송상태를 개략적으로 나타내는 사시도.Figure 3 is a perspective view schematically showing a transport state of the glass lifting apparatus according to the embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 승강장치의 구성을 개략적으로 나타내는 평면도.Figure 4 is a plan view schematically showing the configuration of a glass lifting apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 글라스 승강장치에 있어서, 버퍼장치에 글라스가 안착된 상태를 나타내는 단면도.5 is a cross-sectional view showing a state in which the glass is seated on the buffer device in the glass lifting device of the present invention.
도 6은 본 발명의 글라스 승강장치에 있어서, 글라스가 안착된 버퍼장치가 작동하여 상기 글라스가 이송되는 상태를 나타내는 단면도.6 is a cross-sectional view showing a state in which the glass is conveyed by operating the buffer device seated on the glass in the lifting device of the present invention.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도.7 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도.8 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS
10a : 제 1 지지부 10b : 제 2 지지부10a:
11,32 : 베어링 12 : 샤프트11,32: Bearing 12: Shaft
13 : 안착핀 14 : 지지판13: seating pin 14: support plate
20a : 제 1 구동부 20b : 제 2 구동부20a:
21 : 고정브라켓 22 : 구동수단21: fixing bracket 22: driving means
23 : 작동봉 30 : 동기부23: operating rod 30: synchronization unit
31 : 연결축 33 : 동력전환전달체31: connecting shaft 33: power switching carrier
34 : 동력수직전달체34: power vertical carrier
본 발명은 반도체 제조공정, 특히 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD) 제조공정의 글라스 승강장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버 내로 인입(引入)된 글라스를 상하로 승강시키는 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass elevating device in a semiconductor manufacturing process, in particular, a liquid crystal display (LCD) manufacturing process. More specifically, a glass elevating device for elevating a glass drawn into a chamber up and down, and the like. The manufacturing method of the used liquid crystal display device is related.
최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT) 을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.Recently, with increasing interest in information display and increasing demand for using a portable information carrier, a lightweight flat panel display (FPD), which replaces a conventional display device, a cathode ray tube (CRT), is used. The research and commercialization of Korea is focused on. In particular, the liquid crystal display of the flat panel display device is an image representing the image using the optical anisotropy of the liquid crystal, and has been actively applied to notebooks and desktop monitors because of its excellent resolution, color display and image quality.
일반적으로, 액정표시장치는 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여, 상기 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.In general, a liquid crystal display device displays a desired image by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form to adjust a light transmittance of the liquid crystal cells. to be.
상기 액정표시장치의 제조공정은 크게 하부 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이공정과 상부 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀공정으로 구분될 수 있다. 이때, 상기 어레이공정과 컬러필터공정 및 셀공정은 다수의 단위공정으로 이루어지며, 상기 단위공정의 대다수는 챔버라는 밀폐된 공간에서 진행되어 진다.The manufacturing process of the LCD may be classified into a driving element array process of forming a driving element on a lower array substrate, a color filter process of forming a color filter on an upper color filter substrate, and a cell process. In this case, the array process, the color filter process, and the cell process are made of a plurality of unit processes, and the majority of the unit processes are performed in a closed space called a chamber.
이러한 챔버 내로 어레이 기판 또는 컬러필터 기판용 글라스를 인입(引入)하거나 인출(引出)시키는 장치로 로봇 암과 상기 인입된 글라스를 지지하면서 승강시키는 승강장치(리프트) 등이 있다.An apparatus for pulling in or pulling out the glass for the array substrate or the color filter substrate into such a chamber includes a lifting device (lift) for lifting while supporting the robot arm and the drawn glass.
여기서, 일반적인 승강장치는 글라스를 지지하는 지지부를 챔버 내로 이송시키는 동력을 제공하기 위해 구동부에 서브 모터를 이용하고 있다.Here, the general hoisting apparatus uses a sub-motor in the driving unit to provide power for transferring the supporting part supporting the glass into the chamber.
그러나, 상기의 서브 모터를 적용한 구동부의 구조 및 구동방식은 승강장치가 정확한 동작, 즉 이동속도의 제어 및 이송거리의 제어 등이 간단하면서도 정확 히 이루어진다는 장점이 있으나, 전술한 바와 같이 정확하게 승강 동작함으로써 장기간 사용에 의해 챔버의 밀폐 상태가 변경된 경우 그 유격을 정밀하게 조정하여야 하는 등 정교한 제어가 필요하므로 장치의 설치 구조 및 작업상에 번거롭고 난해한 문제점을 가지고 있다.However, the structure and the driving method of the drive unit to which the sub-motor is applied have the advantage that the lifting device performs the simple operation accurately, that is, the control of the moving speed and the control of the feeding distance. When the sealed state of the chamber is changed by long-term use, precise control is required, such as precisely adjusting the clearance, and thus, the installation structure and operation of the device are cumbersome and difficult.
특히, 최근 들어서 대형화 추세에 있는 액정표시장치 분야에서는 대부분 대형화된 글라스를 이송하는 장치를 앞다투어 개발하고 있으나, 대형화된 글라스를 이송하기란 매우 조심스럽고 난해한 일이 아닐 수 없다.In particular, in the field of liquid crystal display devices, which have recently been enlarged in size, most of the devices are developed to transfer large-sized glass, but transferring large-sized glass is very careful and difficult.
또한, 대형 글라스의 중량을 고려하여 이송에 필요한 출력, 즉 파워를 갖는 사양의 구동장치를 적용하기 위해서는 그 구동장치의 크기도 문제점으로 나타나지만, 그 설치비용과 사용에 따른 유지 보수에도 큰 문제점이 있는 것이다. 그밖에도, 글라스가 인입된 챔버 내부에는 공간이 좁아 별도로 글라스를 배출시키기 위한 로봇의 인입이 수월하지 못한 문제점이 있다.In addition, the size of the drive device also appears as a problem in order to apply a drive device having an output, that is, a power required for transportation in consideration of the weight of a large glass, but there is a big problem in the installation cost and maintenance according to use. will be. In addition, there is a problem in that the space inside the chamber into which the glass is drawn is narrow so that the robot can not easily pull in the glass to discharge the glass separately.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 비교적 대면적이면서도 중량이 무거운 피가공물을 소형의 구동장치를 통해 안정적이면서도 오차 없이 이송할 수 있도록 하는 액정표시장치용 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and a glass lifting device for a liquid crystal display device and a liquid crystal display device using the same to allow a relatively large area and a heavy workpiece to be transported stably and without error through a small driving device. The purpose is to provide a method for producing.
본 발명의 또 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.Further objects and features of the present invention will be described in the configuration and claims of the invention which will be described later.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 글라스 승강장치는 소정의 간격을 두고 양측으로 분할 설치되어 글라스를 지지하는 제 1 지지부와 제 2 지지부; 상기 제 1, 제 2 지지부 각각의 일측 단부에 설치되어 개별적으로 동작하며, 상기 제 1, 제 2 지지부를 소정의 위치까지 이동시키는 제 1 구동부와 제 2 구동부; 및 상기 제 1, 제 2 지지부에 연결되어 상기 제 1, 제 2 지지부의 수평을 유지하도록 하는 동기부를 포함한다.In order to achieve the above object, the glass lifting apparatus of the present invention is divided into two sides at a predetermined interval to support the glass and the first support and the second support; A first driving unit and a second driving unit installed at one end of each of the first and second supporting units to operate individually and moving the first and second supporting units to a predetermined position; And a synchronizer connected to the first and second supports so as to keep the first and second supports horizontal.
또한, 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 복수개의 어레이 기판 또는 복수개의 컬러필터 기판이 배치된 모기판을 제공하는 단계; 상기 어레이 기판들에 어레이공정을 진행하며, 상기 컬러필터 기판들에 컬러필터공정을 진행하는 단계; 상기 어레이공정 및 컬러필터공정의 단위 공정에 있어서, 상기 모기판 위에 소정의 패턴을 형성하기 위해 감광막 도포와 노광 및 현상공정 등의 포토공정을 진행하는 단계; 상기 감광막이 도포된 모기판을 소정의 챔버에서 감압하여 건조 처리하는 단계; 상기 챔버 내에 설치되되, 소정의 간격을 두고 양측으로 분할 설치되어 글라스를 지지하는 제 1 지지부와 제 2 지지부와 상기 제 1, 제 2 지지부 각각의 일측 단부에 설치되어 개별적으로 동작하며 상기 제 1, 제 2 지지부를 소정의 위치까지 이동시키는 제 1 구동부와 제 2 구동부 및 상기 제 1, 제 2 지지부에 연결되어 상기 제 1, 제 2 지지부의 수평을 유지하도록 하는 동기부로 이루어진 글라스 승강장치에 의해 상기 모기판을 승, 하강시키는 단계; 상기 어레이공정과 컬러필터공정이 끝난 한 쌍의 모기판을 합착하는 단계; 및 상기 합착된 모기판을 다수개의 단위 액정표시패널로 절단하는 단계를 포함한다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention comprises the steps of providing a mother substrate having a plurality of array substrate or a plurality of color filter substrate; Performing an array process on the array substrates and performing a color filter process on the color filter substrates; In the unit process of the array process and the color filter process, performing a photo process such as photosensitive film coating, exposure and development process to form a predetermined pattern on the mother substrate; Depressurizing and drying the mother substrate to which the photosensitive film is applied in a predetermined chamber; It is installed in the chamber, and is divided into two sides at predetermined intervals to support the glass, the first support and the second support and one end of each of the first and second support are installed separately to operate the first, The glass elevating device includes a first driving part for moving the second support part to a predetermined position, a second driving part, and a synchronization part connected to the first and second support parts to keep the first and second support parts horizontal. Raising and lowering the mother substrate; Bonding a pair of mother substrates of which the array process and the color filter process are completed; And cutting the bonded mother substrate into a plurality of unit liquid crystal display panels.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of a glass lifting device and a method of manufacturing a liquid crystal display device using the same according to the present invention.
본 발명은 첨부된 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 액정표시장치의 제조공정 중 글라스를 지지하면서 승강시키는 승강장치에 있어서, 전 공정의 배출단에 위치하되, 전체 중량이 최소화되도록 소정의 간격을 두고 양분(兩分) 설치되어 글라스(G)를 지지하는 제 1 지지부(10a)와 제 2 지지부(10b) 및 상기 제 1, 제 2 지지부(10a, 10b) 각각의 일측 단부에 설치되어 개별적으로 동작하며, 상기 제 1, 제 2 지지부(10a, 10b)를 소정의 위치까지 이동시키는 제 1 구동부(20a)와 제 2 구동부(20b)로 이루어져 있다. 또한, 본 발명의 글라스 승강장치는 상기 제 1, 제 2 지지부(10a, 10b)에 연결되어 상기 제 1, 제 2 지지부(10a, 10b)의 수평을 유지하도록 하는 동기부(30)를 포함한다.1 to 4, the lifting device for lifting while supporting the glass during the manufacturing process of the liquid crystal display device, as shown in Figure 1, is located at the discharge end of the entire process, the predetermined weight so as to minimize the total weight It is provided at one end of each of the first and second supporting
이때, 상기 제 1 지지부(10a)는 본체의 프레임(1)에 설치된 다수개의 베어링(11)에 각각 축설되어 이동하는 샤프트(12)와 상기 샤프트(12)의 일측 단부에 구비되어 글라스(G)를 지지하여 안착시키는 핀(13) 및 상기 각각의 샤프트(12)의 타측 단을 수평으로 고정 지지하는 지지판(14)을 포함한다.At this time, the
또한 상기 제 2 지지부(10b)는 전술한 제 1 지지부(10a)와 동일한 구성요소를 포함하되, 상기 제 1 지지부(10a)와 소정의 간격을 두고 동일 또는 대칭으로 위치하도록 구성된다.In addition, the
이때, 전술한 제 1 지지부(10a)와 제 2 지지부(10b)에 포함된 샤프트(12)와 상기 샤프트(12)의 단부에 구비된 다수개의 핀(13)은 글라스(G)의 일 측면 전체를 균등하게 지지할 수 있도록 위치하는 것으로, 예를 들면 대형 글라스(G)가 직사각형의 액정표시장치용 글라스일 경우 상기 액정표시장치용 글라스와 동일한 직사각형 형태로 균등하게 분포되게 된다.At this time, the
이와 같이 본 발명의 글라스 승강장치는 대형 글라스(G)를 지지하는 지지부가 하나로 이루어져 하나의 구동부에 의해 구동되는 것이 아니라, 최소한의 면적으로 양분된 두 개의 지지부(10a, 10b)를 통해 상기 대형 글라스(G)를 균등하게 지지하는 동시에 두 개의 구동부(20a, 20b)에 의해 상기 두 개의 지지부(10a, 10b)를 구동하게 되므로, 상기 구동부(20a, 20b)들에 글라스(G)의 하중에 따른 과도한 부하가 미치는 것을 방지하여 이송이 안정적으로 이루어지게 된다.As described above, the glass lifting device of the present invention is composed of one support part for supporting the large glass G, and is not driven by one driving part, but the two large glass parts through two
이때, 전술한 제 1 구동부(20a)는 본체의 프레임(1)에 고정되는 고정브라켓(21)과 상기 고정브라켓(21)에 고정되어 상기 제 1 지지부(10a)의 이동에 필요한 동력을 제공하는 구동수단(22) 및 상기 구동수단(22)에 결합되어 상기 구동수단(22)에서 제공하는 동력을 상기 제 1 지지부(10a)로 전달하는 작동봉(23)을 포함한다.At this time, the above-described
여기서, 상기 구동수단(22)은 소형 실린더를 포함하며 상기 작동봉(23)은 피스톤을 포함한다.Here, the drive means 22 includes a small cylinder and the
또한, 전술한 제 2 구동부(20b)는 상기 제 1 구동부(20a)와 동일한 구성요소를 포함하되, 상기 제 1 구동부(20a)와 소정의 간격을 두고 대칭으로 위치하도록 구성된다.In addition, the above-described
이와 같이 구성된 본 발명의 글라스 승강장치는 비교적 중량이 무거운 대형 글라스(G)를 이송시킬 수 있도록 동력을 전달하는 하나의 구동수단(22)이, 예를 들면 10이라는 힘을 발휘한다고 가정할 때, 전술한 힘의 1/2을 발휘하는 구동수단(22)을 2개 적용하여 하중을 분산함으로써, 대형 글라스(G)의 이송이 안정적으로 일어지도록 하는 한편, 이로 인해 소형의 구동수단(22)을 사용 가능하도록 함으로써 장치의 설치 면적 내지는 부피를 최소화함은 물론, 설치에 따른 유지, 보수가 용이하다는 이점이 있다.In the glass lifting device of the present invention configured as described above, assuming that one driving means 22 which transmits power to transfer the large glass G, which is relatively heavy, exerts a force of 10, for example. By distributing the load by applying two driving means 22 exerting one-half of a force, the large glass G can be transported stably while using the small driving means 22. By making it possible to minimize the installation area or volume of the device, there is an advantage that it is easy to maintain and repair according to the installation.
또한, 본 발명의 동기부(30)는 상기 제 1, 2 구동부(20a, 20b) 각각의 고정브라켓(21)에 구비된 베어링(32)에 수평으로 축설되는 연결축(31)과 상기 제 1, 2 지지부(10a, 10b) 각각의 지지판(14)의 범위 내에서, 상기 연결축(31) 상에 고정 설치되는 동력전환전달체(33) 및 상기 제 1, 2 지지부(10a, 10b) 각각의 지지판(14) 상에 수직으로 대칭 설치되어, 상기 동력전환전달체(33)로 상기 구동수단(22)의 동작에 따른 동력을 전달하는 동력수직전달체(34)를 포함한다.In addition, the
여기서, 상기 연결축(31)은 전술한 고정브라켓(21)에 구비되는 베어링(32)에만 축설된 것이다.In this case, the connecting
이때, 상기 동력전환전달체(33)는 상기 동력수직전달체(34)와 대응 설치되어, 상기 동력수직전달체(34)로부터 전달되는 직선동력을 회전동력으로 전환하는 평기어를 포함하며, 상기 동력수직전달체(34)는 상기 동력전환전달체(33)의 평기어에 대응하는 렉기어를 포함한다.At this time, the power
이와 같이 구성된 본 발명의 글라스 승강장치는 상기 동기부(30)에 포함된 연결축(31)이 상기 연결축(31)상에 설치된 동력전환전달체(33)와 상기 제 1, 2 지 지부(10a, 10b) 각각의 지지판(14)에 설치된 동력수직전달체(34)를 통해 수평으로 설치되어 있어, 상기 제 1, 2 지지부(10a, 10b)를 각각 이동시키는 상기 제 1, 2 구동부(20a, 20b)가, 예를 들면 미세한 오차가 발생하더라도 수평을 유지하면서 이동되도록 한다.The glass elevating device of the present invention configured as described above has a
즉, 본 발명에 적용된 구동수단(22)은 실시예로써 실린더를 포함하며, 상기 실린더는 소형이면서 출력이 큰 것이 특징이다.That is, the driving means 22 applied to the present invention includes a cylinder as an embodiment, and the cylinder is characterized in that the output is small and large.
이러한 실린더는 대면적이면서도 중량이 무거운 대형 글라스를 이동시키는 동력을 발생시키는데 적합하다.Such cylinders are suitable for generating power to move large glass that is large in size and heavy in weight.
또한, 본 발명의 글라스 승강장치는 상기 동기부(30)를 상기 제 1, 2 지지부(10a, 10b)에 수평으로 연결하여 상기 승강장치를 항상 수평을 유지하도록 제어하면서 이동시킴으로써, 실린더의 동작에 미세한 오차가 발생하여 대형 글라스를 정확히 수평 지지하지 못하는 문제를 방지할 수 있게 된다.In addition, the glass elevating device of the present invention by connecting the
이와 같이 구성되는 글라스 승강장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 도면을 통해 상세히 설명한다.The manufacturing method of the liquid crystal display device using the glass elevating device configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도이며, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도이다.7 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention.
이때, 상기 제 1 실시예는 액정주입방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시패널의 제조방법을 나타내며, 상기 제 2 실시예는 액정적하방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시패널의 제조방법을 나타낸다.In this case, the first embodiment shows a method of manufacturing a liquid crystal display panel when the liquid crystal layer is formed by the liquid crystal injection method, and the second embodiment shows a method of manufacturing a liquid crystal display panel when the liquid crystal layer is formed by the liquid crystal drop method. The method is shown.
액정표시장치의 제조공정은 크게 하부 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이공정과 상부 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀공정으로 구분될 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device may be largely divided into a driving element array process of forming a driving element on a lower array substrate, a color filter process of forming a color filter on an upper color filter substrate, and a cell process.
우선, 어레이공정에 의해 하부기판에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 어레이공정을 통해 상기 박막 트랜지스터에 접속되어 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.First, a plurality of gate lines and data lines arranged on a lower substrate to define a pixel region are formed by an array process, and thin film transistors, which are driving elements connected to the gate lines and data lines, are formed in each of the pixel regions (S101). ). In addition, the pixel electrode is connected to the thin film transistor through the array process to drive the liquid crystal layer as a signal is applied through the thin film transistor.
또한, 상부기판에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹, 청의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S103).In addition, the upper substrate is formed with a color filter layer and a common electrode composed of sub-color filters of red, green, and blue that implement color by a color filter process (S103).
이때, 상기 어레이공정과 컬러필터공정은 다수의 단위공정으로 이루어지며, 상기 박막 트랜지스터를 포함하는 어레이 기판의 제조 및 컬러필터층을 포함하는 컬러필터 기판의 제조에는 여러 횟수의 포토리소그래피공정(photolithography)을 필요로 한다.In this case, the array process and the color filter process include a plurality of unit processes, and a number of photolithography processes are performed to manufacture the array substrate including the thin film transistor and the color filter substrate including the color filter layer. in need.
상기 포토리소그래피공정은 마스크에 그려진 패턴을 박막이 증착된 기판 위에 전사시켜 원하는 패턴을 형성하는 일련의 공정으로 감광액 도포, 노광, 현상공정 등 다수의 공정으로 이루어져 있다.The photolithography process is a series of processes for transferring a pattern drawn on a mask onto a substrate on which a thin film is deposited to form a desired pattern. The photolithography process includes a plurality of processes such as photoresist coating, exposure, and development.
이때, 예를 들면 감광막 도포장치를 통해 액정표시장치용 글라스 표면에 감광막이 도포된 후에는 본 발명의 승강장치를 통해 상기 글라스가 건조챔버의 상부 또는 하부로 이송되게 된다. 이후, 상기 건조챔버에 구비된 진공흡입장치를 통해 상기 건조챔버 내의 공기를 흡입, 배출시키며 상기 감광막에 포함된 솔벤트와 같은 화학물질을 건조, 배출시키게 된다.At this time, for example, after the photosensitive film is applied to the glass surface of the liquid crystal display device through the photosensitive film coating device, the glass is transferred to the upper or lower portion of the drying chamber through the lifting device of the present invention. Thereafter, the vacuum suction device provided in the drying chamber sucks and discharges the air in the drying chamber and dries and discharges chemical substances such as solvent contained in the photosensitive film.
그리고, 이와 같은 다수의 포토리소그래피공정을 마친 상기 상부기판 및 하부기판에 각각 배향막을 인쇄한 후 상부기판과 하부기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(pretilt angel)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 배향 처리한다(S102, S104). 이때, 상기 배향 처리방법으로 러빙 또는 광배향의 방법을 적용할 수 있다.After the alignment films are printed on the upper substrate and the lower substrate, which have completed the photolithography process, the alignment control force or the surface fixing force (ie, the pretilt angle) is applied to the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the upper substrate and the lower substrate. The alignment layer is oriented to provide (pretilt angel and orientation direction) (S102 and S104). In this case, a rubbing or photoalignment method may be applied as the alignment treatment method.
이후, 상기 러빙공정을 마친 상부기판 및 하부기판은 배향막 검사기를 통해 배향막의 불량여부를 검사하게 된다(S105). 이때, 상기 배향막 검사기로 스팀 검사기를 이용할 수 있다.Thereafter, the upper substrate and the lower substrate having finished the rubbing process are inspected for defects of the alignment layer through an alignment layer inspector (S105). In this case, a steam tester may be used as the alignment film tester.
이와 같은 배향막 검사를 마친 상기 하부기판에는 도 7에 도시된 바와 같이, 셀갭을 일정하게 유지하기 위한 스페이서가 산포되고 상기 상부기판의 외곽부에는 실링재가 도포된 후 상기 하부기판과 상부기판에 압력을 가하여 합착하게 된다(S106, S107, S108).As shown in FIG. 7, spacers for maintaining a constant cell gap are dispersed on the lower substrate after the alignment layer inspection, and a sealing material is applied to the outer portion of the upper substrate, and then pressure is applied to the lower substrate and the upper substrate. To be attached (S106, S107, S108).
한편, 상기 하부기판과 상부기판은 대면적의 모기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 모기판에 복수의 패널영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정표시패널을 제작하기 위해서는 상기 모기판을 절단, 가공해야만 한다(S109). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정표시패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시 패널을 제작하게 된다(S1109, S111).On the other hand, the lower substrate and the upper substrate is composed of a large area mother substrate. In other words, a plurality of panel regions are formed in a large area mother substrate, and a thin film transistor and a color filter layer serving as driving elements are formed in each of the panel regions, so that the mother substrate is cut and processed in order to manufacture a single liquid crystal display panel. Must be (S109). Thereafter, the liquid crystal is injected into the liquid crystal display panel processed as described above through the liquid crystal inlet, and the liquid crystal inlet is encapsulated to form a liquid crystal layer, and then each liquid crystal panel is inspected to produce a liquid crystal display panel (S1109, S111). ).
이때, 상기 액정의 주입은 압력차를 이용한 진공주입방식을 사용하는데, 상기 진공주입 방식은 대면적의 모기판으로부터 분리된 단위 액정표시패널의 액정주입구를 일정한 진공이 설정된 챔버 내에서 액정이 채워진 용기에 침액시킨 다음 진공 정도를 변화시킴으로써, 상기 액정표시패널 내부 및 외부의 압력차에 의해 액정을 액정표시패널 내부로 주입시키는 방식으로, 이와 같이 액정이 액정표시패널 내부에 충진 되면, 액정주입구를 밀봉시켜 액정표시패널의 액정층을 형성한다. 따라서, 상기 액정표시패널에 진공주입 방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 실 패턴의 일부가 개방되도록 형성하여 액정주입구의 기능을 갖도록 하여야 한다.At this time, the injection of the liquid crystal uses a vacuum injection method using a pressure difference, the vacuum injection method is a container filled with the liquid crystal in the chamber in which a constant vacuum is set in the liquid crystal injection hole of the unit liquid crystal display panel separated from the mother substrate of a large area The liquid crystal is injected into the liquid crystal display panel by injecting the liquid crystal into the liquid crystal display panel by the pressure difference between the inside and the outside of the liquid crystal display panel. The liquid crystal layer of the liquid crystal display panel is formed. Therefore, when the liquid crystal layer is formed in the liquid crystal display panel through a vacuum injection method, a part of the seal pattern must be opened to have a function of the liquid crystal injection hole.
그러나, 상기한 바와 같은 진공주입 방식은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the vacuum injection method as described above has the following problems.
첫째, 액정표시패널에 액정을 충진 하는데 소요되는 시간이 매우 길다. 일반적으로, 합착된 액정표시패널은 수백 ㎠의 면적에 수 ㎛ 정도의 갭을 갖기 때문에 압력차를 이용한 진공주입 방식을 적용하더라도 단위 시간당 액정의 주입량은 매우 작을 수밖에 없다. 예를 들어, 약 15인치의 액정표시패널을 제작하는 경우에 액정을 충진 시키는데 대략 8시간 정도가 소요됨에 따라 액정표시패널의 제작에 많은 시간이 소요되어 생산성이 저하되는 문제가 있다. 또한, 액정표시패널이 대형화되어 갈수록 액정 충진에 소요되는 시간이 더욱 길어지고, 액정의 충진불량이 발생되어 결과적으로 액정표시패널의 대형화에 대응할 수 없는 문제점이 있다.First, it takes a very long time to fill the liquid crystal in the liquid crystal display panel. In general, since the bonded liquid crystal display panel has a gap of several μm in an area of several hundred cm 2, even if a vacuum injection method using a pressure difference is applied, the amount of liquid crystal injected per unit time is very small. For example, when manufacturing a liquid crystal display panel of about 15 inches takes about 8 hours to fill the liquid crystal there is a problem that the production of the liquid crystal display panel takes a lot of time, productivity is lowered. In addition, as the size of the liquid crystal display panel increases in size, the time required for filling the liquid crystal becomes longer, resulting in poor filling of the liquid crystal, and as a result, there is a problem in that it cannot cope with the increase in size of the liquid crystal display panel.
둘째, 액정의 소모량이 높다. 일반적으로, 용기에 채워진 액정량에 비해 실제 액정표시패널에 주입되는 액정량은 매우 작고, 액정이 대기나 특정 가스에 노출 되면 가스와 반응하여 열화 된다. 따라서, 용기에 채워진 액정이 복수의 액정표시패널에 충진 된다고 할지라도, 충진 후에 잔류하는 많은 양의 액정을 폐기해야 하며, 이와 같이 고가의 액정을 폐기함에 따라 결과적으로 액정표시패널의 단가를 상승시켜 제품의 가격경쟁력을 약화시키는 요인이 된다.Second, the consumption of liquid crystal is high. In general, the amount of liquid crystal actually injected into the liquid crystal display panel is very small compared to the amount of liquid crystal filled in the container, and when the liquid crystal is exposed to the air or a specific gas, it deteriorates by reacting with the gas. Therefore, even if the liquid crystal filled in the container is filled in a plurality of liquid crystal display panels, a large amount of liquid crystals remaining after the filling should be discarded. As such, the expensive liquid crystals are discarded, resulting in an increase in the cost of the liquid crystal display panel. It is a factor that weakens the price competitiveness of the product.
상기한 바와 같은 진공주입 방식의 문제점을 극복하기 위해 적하 방식을 적용할 수 있다.The dropping method may be applied to overcome the problems of the vacuum injection method as described above.
상기 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 적하방식을 이용한 제 2 실시예의 경우에는 배향막 검사(S105)를 마친 후, 상기 컬러필터 기판에 실런트로 소정의 실 패턴을 형성하는 동시에 상기 어레이 기판에 액정층을 형성하게 된다(S106', S107').As shown in FIG. 8, in the second embodiment using the dropping method, after completing the alignment film inspection (S105), a predetermined seal pattern is formed on the color filter substrate with a sealant and a liquid crystal layer is formed on the array substrate. (S106 ', S107').
상기 적하 방식은 디스펜서를 이용하여 복수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 제 1 모기판이나 또는 복수의 컬러필터 기판이 배치된 제 2 모기판의 화상표시 영역에 액정을 적하 및 분배(dispensing)하고, 상기 제 1, 제 2 모기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화상표시 영역 전체에 균일하게 분포되도록 함으로써, 액정층을 형성하는 방식이다.The dropping method uses a dispenser to drop and dispense liquid crystals in an image display area of a first large substrate having a plurality of array substrates or a second mother substrate having a plurality of color filter substrates disposed thereon. The liquid crystal layer is formed by uniformly distributing the liquid crystals to the entire image display area by the pressure for bonding the first and second mother substrates together.
따라서, 상기 액정표시패널에 적하 방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 액정이 화상표시 영역 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 실 패턴이 화소부 영역 외곽을 감싸는 폐쇄된 패턴으로 형성되어야 한다.Therefore, when the liquid crystal layer is formed on the liquid crystal display panel by dropping, the seal pattern should be formed in a closed pattern surrounding the pixel portion region to prevent the liquid crystal from leaking outside the image display region.
상기 적하 방식은 진공주입 방식에 비해 짧은 시간에 액정을 적하할 수 있으며, 액정표시패널이 대형화될 경우에도 액정층을 매우 신속하게 형성할 수 있다.The dropping method can drop the liquid crystal in a short time compared to the vacuum injection method, and even when the liquid crystal display panel is enlarged, the liquid crystal layer can be formed very quickly.
또한, 기판 위에 액정을 필요한 양만 적하하기 때문에 진공주입 방식과 같이 고가의 액정을 폐기함에 따른 액정표시패널의 단가 상승을 방지하여 제품의 가격경쟁력을 강화시키게 된다.In addition, since only the required amount of liquid crystal is dropped on the substrate, the price competitiveness of the liquid crystal display panel due to the disposal of expensive liquid crystal, such as a vacuum injection method, is prevented, thereby enhancing the price competitiveness of the product.
이후, 상기와 같이 액정이 적하되고 실링재가 도포된 상기 상부기판과 하부기판을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 상기 실링재에 의해 상기 하부기판과 상부기판을 합착함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정을 패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게 한다(S108'). 이와 같은 공정에 의해 대면적의 모기판(하부기판 및 상부기판)에는 액정층이 형성된 복수의 액정표시패널이 형성되며, 이 유리기판을 가공, 절단하여 복수의 액정표시패널로 분리하고 각각의 액정표시패널을 검사함으로써 액정표시패널을 제작하게 된다(S109', S110').Thereafter, the liquid crystal is dropped as described above and the pressure is applied while the upper substrate and the lower substrate on which the sealing material is applied are aligned to bond the lower substrate and the upper substrate by the sealing material, and the liquid crystal dropped by application of pressure at the same time. To spread evenly across the panel (S108 '). By such a process, a plurality of liquid crystal display panels having a liquid crystal layer are formed on a large-area mother substrate (lower substrate and upper substrate), and the glass substrates are processed and cut and separated into a plurality of liquid crystal display panels. By inspecting the display panel, a liquid crystal display panel is produced (S109 ', S110').
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.Many details are set forth in the foregoing description but should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention. Therefore, the invention should not be construed as limited to the embodiments described, but should be determined by equivalents to the appended claims and the claims.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 구동부를 듀얼 타입의 실린더 방식으로 하는 동시에 상기 각 구동부의 동작을 동기화시킴으로써, 대면적이면서도 중량이 무거운 대형 글라스를 안정적으로 이송할 뿐만 아니라 정확히 이송시킬 수 있게 된다.As described above, the glass lifting device and the method of manufacturing the liquid crystal display device using the same according to the present invention by using a dual cylinder type drive unit and at the same time by synchronizing the operation of each drive unit, a large area and heavy weight glass Not only can it be transported stably but it can also be transported accurately.
또한, 본 발명에 따른 글라스 승강장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 협소하면서도 한정된 챔버 내에서 지지판이 승강하도록 함으로써 상기 지지 판에 안착된 글라스를 별도의 로봇 암이 안출시킬 수 있게 된다.In addition, the glass lifting device according to the present invention and the manufacturing method of the liquid crystal display device using the same by allowing the support plate to be raised and lowered within a limited chamber, the separate robot arm can be placed on the glass seated on the support plate.
Claims (16)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050119043A KR101186517B1 (en) | 2005-12-07 | 2005-12-07 | Up-down apparatus and method of fabricating liquid crystal display device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050119043A KR101186517B1 (en) | 2005-12-07 | 2005-12-07 | Up-down apparatus and method of fabricating liquid crystal display device using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070059778A KR20070059778A (en) | 2007-06-12 |
KR101186517B1 true KR101186517B1 (en) | 2012-10-08 |
Family
ID=38356045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050119043A KR101186517B1 (en) | 2005-12-07 | 2005-12-07 | Up-down apparatus and method of fabricating liquid crystal display device using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101186517B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101719176B1 (en) * | 2015-09-11 | 2017-03-23 | 주식회사 선익시스템 | A Support Method for a Glass Substrate |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200310327Y1 (en) * | 2003-01-28 | 2003-04-21 | 최록일 | Vacuum hot press for laminating multilayer printed circuit board |
KR100429031B1 (en) * | 2002-05-21 | 2004-04-29 | 이종주 | An apparatus for pre-joining of multi-layer board |
KR20040042652A (en) * | 2002-11-15 | 2004-05-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for manufacturing liquid crystal display device and method for manufacturing liquid crystal display devide using the same |
KR20050024250A (en) * | 2003-09-05 | 2005-03-10 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
-
2005
- 2005-12-07 KR KR1020050119043A patent/KR101186517B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100429031B1 (en) * | 2002-05-21 | 2004-04-29 | 이종주 | An apparatus for pre-joining of multi-layer board |
KR20040042652A (en) * | 2002-11-15 | 2004-05-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for manufacturing liquid crystal display device and method for manufacturing liquid crystal display devide using the same |
KR200310327Y1 (en) * | 2003-01-28 | 2003-04-21 | 최록일 | Vacuum hot press for laminating multilayer printed circuit board |
KR20050024250A (en) * | 2003-09-05 | 2005-03-10 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070059778A (en) | 2007-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7992482B2 (en) | Apparatus for cutting substrate and method thereof | |
KR100720422B1 (en) | Apparatus for manufacturing liquid crystal display device and method for manufacturing liquid crystal display devide using the same | |
US5963289A (en) | Asymmetrical scribe and separation method of manufacturing liquid crystal devices on silicon wafers | |
KR101115874B1 (en) | Apparatus for testing array | |
KR20100009208A (en) | Combination equipment for exfoliation and position, and fabricating method of liquid crystal display using the same | |
TWI520895B (en) | Substrate removing apparatus and method for manufacturing flat panel display device using the same | |
US20150144267A1 (en) | Liquid crystal sealant forming device and display panel assembly apparatus using the same | |
US7349060B2 (en) | Loader and bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device and loading method thereof | |
KR20070100563A (en) | Substrate bonding device and method | |
KR101730553B1 (en) | Apparatus for conveying substrate | |
KR101186517B1 (en) | Up-down apparatus and method of fabricating liquid crystal display device using the same | |
KR101807195B1 (en) | Array test apparatus | |
JP4234479B2 (en) | Bonded substrate manufacturing apparatus and bonded substrate manufacturing method | |
US7270587B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method | |
KR100928927B1 (en) | Alignment film forming equipment and alignment film forming method using the same | |
KR100698054B1 (en) | Bonding device for liquid crystal display device | |
KR20070071010A (en) | Apparatus of bonding substrates for a liquid crystal display device | |
US7708515B2 (en) | Apparatus for loading substrate of liquid crystal display | |
KR101186516B1 (en) | Apparatus for drying glass and method of fabricating liquid crystal display device using the same | |
KR101488519B1 (en) | substrate processing apparatus | |
KR100617034B1 (en) | bonding apparatus for liquid crystal display device and loading method using the same | |
KR101212150B1 (en) | Apparatus of moving attached substrates, and Method of fabricating Liquid Crystal Display Device using the same | |
KR100978262B1 (en) | Apparatus for testing liquid crystal dispaly devce | |
KR101750873B1 (en) | Exposing method using maskless exposure apparatus and method of fabricating liquid crystal display using thereof | |
KR101119806B1 (en) | Apparutus for cleaning bubber plate of forming system of alinment film and cleaning method using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150818 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160816 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170816 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180816 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190814 Year of fee payment: 8 |