JPH0780703A - 炭素膜被覆切削工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 母材とダイヤモンド膜あるいはダイヤモンド
と同等の高硬度を有する炭素膜を密着性よく被覆すると
共に、切削時の切屑排出性の向上を図ることによって工
具としての加工精度を高め、従来よりも飛躍的に性能を
向上させた切削工具を提供する。 【構成】 切削工具母材表面に気相合成法によって炭素
膜を被覆した炭素膜被覆切削工具において、（ａ）切れ
刃稜部に被覆された炭素膜の最表面における平均粒径
が、すくい面および／または逃げ面に被覆された膜の最
表面における平均粒径よりも大きい、および／または
（ｂ）切れ刃稜部に被覆された炭素膜のマイクロビッカ
ース硬度（Ｈｖ）が、すくい面および／または逃げ面に
被覆された炭素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈｖ）よ
りも大きいものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超硬合金、サーメット
またはセラミックス等を切削工具母材とし、該母材表面
にダイヤモンドや非晶質ダイヤモンド等の炭素膜を被覆
した炭素膜被覆切削工具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、切削加工の分野では、被削材の難
削化傾向に加えて、加工の高速度化や高精密化の傾向が
急速に進んでいる。この様な近年の傾向に対応する手段
の１つとして、切削工具表面に硬質膜を被覆することが
一般に行なれている。例えば、特公昭５９−４３２４６
号公報には、周期律表第４Ａ，５Ａ，６Ａ族の金属元素
の炭化物、窒化物或は炭窒化物等の単層膜や複合膜を、
気相合成法によって工具表面に形成することにより、耐
摩耗性を改善する方法が開示されている。しかしなが
ら、この様な化合物膜被覆工具では、ある程度の耐摩耗
性向上効果が認められるけれども、近年の傾向に対処し
きれず、その適用範囲は極く限られていた。

【０００３】一方、ここ数年来、ダイヤモンドを代表と
する硬質炭素膜の気相合成の研究、および気相合成炭素
膜の切削工具や耐摩摺動工具への応用開発も活発化して
いる。特にダイヤモンドは、上述した様な化合物系硬質
被覆工具に比べて極めて高い硬度を有し、また熱伝導率
も高く、切削時の耐摩耗性と放熱性に優れていることか
ら、従来の硬質膜被覆切削工具では対応しきれない様な
難削材加工、高速加工および精密加工が可能になるばか
りでなく、通常の非鉄系切削加工に用いた場合であって
も、著しい長寿命化が達成できるので、新たな被覆物質
として注目されている。

【０００４】しかしながら、気相合成されたダイヤモン
ド膜は、母材との密着性が低いことに加え、膜自体の靭
性が低いので、切削時に一瞬にして膜が剥離または破壊
されてしまうという欠点があった。この様な事態が生じ
る原因は、次の様に考えることができる。即ち、ダイヤ
モンド膜と母材との熱膨張率の違いに基づく膜応力の発
生、特にダイヤモンド膜の場合は、圧縮応力が大きいこ
とに原因しているものと考えられる。また母材として、
特にＮｉやＣｏ等の鉄族元素を含む超硬合金を用いた場
合には、ダイヤモンド合成時に脆弱なグラファイトが生
成されるので、母材との密着性が更に低下するものと考
えられる。

【０００５】こうしたことから、ダイヤモンド膜と母材
との密着性を向上させるための様々な技術が提案されて
いる。この様な技術としては、（１）母材とダイヤモン
ド膜との間に中間層を形成する方法（例えば、特公昭６
１−５０７２４号公報等）、（２）母材表面を硝酸や塩
酸でエッチング処理することによって改質する方法（例
えば、特公昭６３−２０９１１号公報等）、更には
（３）ダイヤモンド状蒸着炭素膜で被覆する方法（例え
ば、特開昭５６−２９６６５号公報等）等が提案されて
いる。

【０００６】しかしながらこれらの技術においても、夫
々下記に示す様な欠点を有しており、十分な効果が得ら
れているとは言えない。まず上記（１）の方法では、ダ
イヤモンド膜が有する高熱伝導性を工具性能として発揮
させることができないばかりでなく、製造工程も煩雑に
なるという欠点があり、実用的な観点からも問題があ
る。また上記（２）の方法では、超硬合金母材の結合相
であるＮｉやＣｏを酸によって溶出するものであるの
で、母材表面層の強度が大幅に低下し、切削時に膜を保
持することが困難になる。更に、上記（３）の方法で
は、本来目的とする耐摩耗性の改善という観点からなお
満足すべき性能は得られない。

【０００７】ダイヤモンド膜被覆切削工具における従来
技術には、膜の剥離の他に以下のような課題も残ってい
る。即ち、気相合成によって合成されたダイヤモンド膜
は多結晶性であり、通常各々の結晶粒は数μｍ以上にも
達する。従って、この様な膜が被覆された工具表面には
結晶粒径に対応した凹凸が生じるが、切削作用部以外、
例えばドリルやエンドミルの溝やチップの切刃近傍のす
くい面にこの様な凹凸が存在すれば、切屑の排出性が悪
化し、ドリルやエンドミルの折損、チップ刃先の溶着に
よる加工精度の低下等を引き起こす。

【０００８】この様な問題に対し、例えば特開平４−２
７５８１２号公報や特開昭６４−５１２０３号公報に記
載されている如く、ドリルやチップの切刃先端部の限定
された部分のみにダイヤモンド等を被覆する技術も開示
されている。これら技術は、例えば切屑排出に関与する
刃溝部分を除いた部分にのみ被覆を施すことによって、
切刃部の耐摩耗性を維持しつつ切屑排出性の低下を抑制
しようとするものである。しかしながら限定した部分に
のみ被覆するにあたって、被覆しない部分を予めマスキ
ングしなければならず、工程が煩雑になるだけでなく、
場合によっては被覆された膜が不連続に寸断されるため
に、この境界部から剥離が発生し、この剥離が刃先の被
覆されていなければならない部分にまで進展してしまう
こともある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
技術的課題を解決する為になされたものであって、その
目的は、母材とダイヤモンド膜あるいはダイヤモンドと
同等の高硬度を有する炭素膜を密着性よく被覆すると共
に、切削時の切屑排出性の向上を図ることによって工具
としての加工精度を高め、従来よりも飛躍的に性能を向
上させた切削工具を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明とは、切削工具母材表面に気相合成法によって炭素
膜を被覆した炭素膜被覆切削工具において、（ａ）切れ
刃稜部に被覆された炭素膜の最表面における平均粒径
が、すくい面および／または逃げ面に被覆された膜の最
表面における平均粒径よりも大きい、および／または
（ｂ）切れ刃稜部に被覆された炭素膜のマイクロビッカ
ース硬度（Ｈｖ）が、すくい面および／または逃げ面に
被覆された炭素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈｖ）よ
りも大きいものである点に要旨を有する炭素膜被覆切削
工具である。

【００１１】また上記の様な炭素膜被覆切削工具では、
前記炭素膜のラマンスペクトルにおいて、ダイヤモンド
に帰属されるピークの強度（Ｉ₁ ）と、１４５０〜１６
００ｃｍ^-1に出現する非ダイヤモンド成分に帰属される
ピークの強度（Ｉ₂ ）との比（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）を測定した
ときに、切れ刃稜部に被覆された炭素膜のピーク強度比
（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）が、すくい面および／または逃げ面に被
覆された炭素膜のピーク強度比（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）よりも大
きいものであることが好ましい。

【００１２】

【作用】前述の如く、ダイヤモンド膜は化合物系硬質膜
と比較して優れた耐摩耗性を有する反面、これを切削工
具表面に被覆して用いた場合、切削等の作業中に膜が剥
離するという問題が生じる。この剥離原因については、
一般に、ダイヤモンド膜と母材と熱膨張率の違いに基づ
く膜応力、特にダイヤモンド膜の場合は圧縮応力が大き
いこと、並びに靭性が小さい為であると考えられてい
る。

【００１３】そこで本発明者らは、この膜応力を緩和さ
せる方法について種々の検討を行った。その結果、膜の
被覆形態として膜質、即ち最表面における平均粒径やマ
イクロビッカース硬度（Ｈｖ）を、被覆領域内で平面方
向に変化させることによって膜応力を大幅に緩和させる
ことができるという知見が得られた。尚膜応力の緩和作
用は、例えば特開平１−２０５０７５号公報等で開示さ
れている如く、母材とダイヤモンド膜との間に中間層と
してｉ−カーボンや非晶質炭素を挿入すること等の手段
によって膜厚方向で膜質を変化させる手法も提案されて
いるが、この様な手段では上記作用が有効に達成されな
いことも明らかとなった。

【００１４】上記知見に基づき本発明者らは、膜の密着
性のみならず、被覆工具の加工精度等の観点からも膜の
最適な被覆形態およびそれを規定する為の具体的な指標
について鋭意研究を重ねた。その結果、（ａ）切れ刃稜
部に被覆された膜の最表面における平均粒径がすくい面
および／または逃げ面に被覆された膜の最表面における
平均粒径よりも大きい、（ｂ）切れ刃稜部に被覆された
膜のマイクロビッカース硬度がすくい面及び／或は逃げ
面に被覆された膜のマイクロビッカース硬度よりも大き
い、のいずれかまたは双方の要件を満足する被覆形態に
することによって、炭素膜を密着性よく被覆すると共
に、工具としての加工精度を高め、従来よりも飛躍的に
性能を向上させた切削工具が実現できることを見いだ
し、本発明を完成した。

【００１５】ここで、切れ刃稜部とは、切削時に工具と
被削材が直接作用する部分およびその近傍を、またすく
い面と逃げ面は切削時に切屑が接触する可能性のある部
分を含めて工具と被削材とが直接接触しない部分を示
す。具体的には、切れ刃の稜部に被覆された炭素膜と逃
げ面および／または刃溝に被覆された炭素膜とそれぞれ
上述の様な性状を有しているドリルや、エンドミル、更
には切れ刃先端部に被覆された炭素膜と逃げ面および／
またはすくい面に被覆された膜とがそれぞれ上述の様な
性状を有しているチップ等が挙げられ、これらの形態を
満足する炭素膜を工具表面に被覆することによって、従
来技術によるものよりも極めて高性能な工具を得ること
ができる。また、この様な被覆形態は、例えばプラズマ
ＣＶＤ法を用いた場合、空間内での基板配置や原料ガス
濃度等を適切に変化させることによって達成することが
できる。

【００１６】本発明の炭素膜被覆切削工具においては、
切れ刃稜部に被覆された炭素膜の最表面における平均粒
径およびマイクロビッカース硬度（Ｈｖ）は夫々１〜１
０μｍ，７０００〜９０００であることが好ましく。ま
た、すくい面および／または逃げ面に被覆された膜の最
表面における平均粒径およびマイクロビッカース硬度
（Ｈｖ）は夫々１μｍ以下，７０００以下であることが
好ましい。工具表面に被覆する炭素膜膜性状を上記の様
な数値範囲に規定することによって、膜の密着性や加工
精度の観点から本発明の効果を最大とすることができ
る。但し、本発明の効果は、切れ刃稜部の炭素膜とすく
い面および／または逃げ面の炭素膜との間で平均粒径や
ビッカース硬度（Ｈｖ）における大小関係が前述の如く
満足されておればよく、上記の値から外れた膜で被覆さ
れた場合を排除するものではない。また、これら切れ刃
稜部、すくい面および逃げ面に被覆される炭素膜の膜厚
は特に限定されるものではないが、切れ刃稜部に被覆さ
れる炭素膜の膜厚は５〜２０μｍが適当であり、すくい
面や逃げ面に被覆された膜厚はこれと同等以下であって
も差し支えない。

【００１７】被覆炭素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈ
ｖ）は以下の様にして見積もることができる。即ち、被
覆炭素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈｖ）を規定する
場合、試験面は曲率が無視し得るだけの平面性と平滑性
が必要であり、例えばＪＩＳ規格Ｚ ２２５１（微少硬
さ試験方法）には、試験面は原則として平面とし、試験
面の仕上がりは、くぼみの対角線の長さを、その測定値
の０．４％または０．２μｍのうち、いずれか大きい値
まで容易に測定できる程度に滑らかでなければならない
と規定している。また、同ＪＩＳ規格では試料の厚さに
も言及しており、試料の厚さは、原則として１．５ｄ
（ｄは対角線長さ）とするとしている。しかし、一般に
は工具刃先部またはその近傍は複雑形状を有しており、
信頼性のおける数値を得るだけの平面性と平滑性を得る
ことが困難な場合もある。また本発明においては被覆膜
の膜厚を明確に規定するものではなく、場合によっては
上記ＪＩＳ規格に基づいて十分に信頼性ある数値を得る
だけの膜厚を有していなくとも、本発明の効果は十分に
発揮されるものである。

【００１８】そこで本発明において硬度を直接測定でき
ない場合は、十分な膜厚を有し、且つほぼ同一の膜質を
有する膜が形成された十分な平面性と平滑性を有した該
工具と同一素材の基板をもって試料とし、この試料のマ
イクロビッカース硬度（Ｈｖ）を測定することによっ
て、該工具刃先部またはその近傍の膜の硬度として規定
することができる。ここで同一の膜質とは、同一条件で
測定したラマンスペクトルがほぼ同一のパターンを有す
ること、および同一条件で観察した走査型電顕による表
面形態がほぼ同一であることを意味する。尚この硬度規
定用試料は必ずしも該工具への被覆処理と同時に同一条
件で被覆して作製する必要はなく、別途別条件によって
作製しても前記同一膜質を有すると確認されたものであ
るならば構わない。また試料の膜厚は前記ＪＩＳ規格で
規定された膜厚を有することが望ましく、通常５μｍ以
上の膜厚の試料を用いる。更にその測定時の通常の条件
は、荷重５００ｇ、荷重保持時間１５秒乃至２０秒であ
る。

【００１９】ところで本発明に係る炭素膜を構成する粒
子は、通常の走査型電子顕微鏡，透過型電子顕微鏡，Ｘ
線回折或は電子線回折等の機器分析手法で確認し得る粒
子であり、その結晶構造はダイヤモンド構造を有するも
のである。しかしながら、本発明に係る炭素膜は実質的
に該粒子のみからだけ構成される必要はなく、非ダイヤ
モンド成分、即ち、非結晶性ダイヤモンドやグラファイ
トとの混合物、或は実質的に構成物質たり得ない他の微
量添加金属成分等を含む構成となる場合がある。

【００２０】そして、該炭素膜がダイヤモンド構造を持
つ粒子と非ダイヤモンド成分との混合物から構成される
場合、本発明の目的を更に効果的に得るために、前記炭
素膜のラマンスペクトルにおいて、ダイヤモンドに帰属
されるピークの強度（Ｉ₁ ）と１４５０〜１６００ｃｍ
^-1に出現する非ダイヤモンド成分に帰属されるピーク強
度（Ｉ₂ ）との強度比（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）を測定したとき
に、切れ刃稜部に被覆された膜の強度比（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）
の方がすくい面や逃げ面に被覆された膜の強度比（Ｉ₁
／Ｉ₂ ）よりも大きくすることによって耐剥離性および
切屑排出性がより一層優れた高性能な切削工具を実現す
ることができる。

【００２１】ラマンスペクトルにおけるダイヤモンドと
非ダイヤモンド成分のピーク強度比（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）は、
通常次の様にして見積もることができる。即ち、ラマン
シフト９００ｃｍ^-1から１８００ｃｍ^-1までのスペクト
ルからバックグランドを差引き、ダイヤモンドのピーク
に帰属されるピークの強度（Ｉ₁ ）と、１４５０ｃｍ ^-1
から１６００ｃｍ^-1に出現する非ダイヤモンド成分に帰
属されるピークの強度（Ｉ₂ ）から両者の強度比（Ｉ₁
／Ｉ₂ ）を求める。この場合、バックグランドは９００
ｃｍ^-1近傍と１８００ｃｍ^-1近傍のスペクトルを直線で
結ぶことによって決定される。尚発振源として用いるレ
ーザーは、Ａｒレーザー（発振線４５７９Å，４７２７
Å，４８８０Å，５０１７Å等）、Ｋｒレーザー（発振
線４７６２Å，５２０８Å，５６８２Å，６７６５Å
等）などが用いられる。

【００２２】本発明に係る炭素膜被覆工具において、工
具母材の材質や工具種類等は特に限定されるものではな
く、工具母材としては例えば超硬合金，サーメット，セ
ラミックス等が挙げられ、一方、工具種類としてはチッ
プ，エンドミル，ドリル等に適用でき、上記構成を採用
することによって従来の工具に比べて工具性能を著しく
向上させることができる。また、被覆する炭素膜の形成
方法についても特に限定されるものではなく、例えばマ
イクロ波プラズマＣＶＤ法，熱フィラメント法，高周波
プラズマＣＶＤ法，イオンビーム法等、公知のＣＶＤ，
ＰＶＤ法を適用することができる。更に合成に用いる原
料ガスとしては、メタン，エタン等の炭化水素系ガスの
他、メタノール，エタノール等のアルコール系のガス、
或は一酸化炭素等の酸化炭素系ガスを用いることがで
き、通常これら炭素含有ガスと水素との混合ガスを用い
る。

【００２３】以下、本発明を実施例によって更に詳細に
説明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のもの
ではなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更することは
いずれも本発明の技術範囲に含まれるものである。

【００２４】

【実施例】

実施例１ Ｋ種超硬合金を母材とするＲ５ｍｍのボールエンドミル
を用い、マイクロ波プラズマＣＶＤ法で励起したメタン
−水素混合ガスを接触させて、工具母材表面に下記表１
に示す２種類の被覆形態の炭素膜を合成した。このと
き、表１に示す被覆形態となる様に反応空間内に母材を
配置し、メタン濃度とガス圧力はそれぞれ２．５％，２
５Ｔｏｒｒとした。

【００２５】

【表１】

【００２６】これらのエンドミルを用いてグラファイト
の切削試験を行なった。このとき、被削材としてショア
硬度６０のグラファイトを用い、加工条件は切削速度：
２００ｍ／ｍｉｎ，１刃当たりの送り速度：０．１ｍｍ
とした。その結果、本発明例１では、切削長１０００ｍ
後も刃稜部の膜の剥離もなく、逃げ面摩耗幅は約３５μ
ｍであったのに対し、比較例１では切削長５００ｍ後あ
たりから刃稜部の膜のカケが発生し始め、以後の加工状
況はバリが多く発生し実用に耐えない状態となった。

【００２７】実施例２ Ｋ種超硬合金を母材とする直径：０．５ｍｍのミニアチ
ュアドリルを用い、マイクロ波プラズマＣＶＤ法で励起
したメタン−水素混合ガスを接触させて工具表面に下記
表２に示す２種類の炭素膜を被覆した。このとき、表２
に示す被覆形態の炭素膜となるように反応空間内に母材
を配置し、メタン濃度とガス圧力はそれぞれ３％，３５
Ｔｏｒｒｒとした。尚表２に示す硬度は、硬度測定用と
して、同一のＫ種超硬母材からなり、表面を鏡面に研磨
した母材表面に、これら２種のドリル表面の各部位に被
覆された膜と同一の膜質の膜を被覆して測定したもので
ある。また、膜質の同一性は表面ＳＥＭ観察およびラマ
ン分析に依った。

【００２８】

【表２】

【００２９】これら２種のミニアチュアドリルを用い、
プリント基板の穴明け試験を行なった。このとき、被削
材として厚み：１．５ｍｍのエポキシ樹脂製基板（両面
板）を３枚重ねにした合板を用い、エントリーボードと
して厚さ０．１ｍｍのＡｌ板を使用した。また加工条件
は回転数：７００００ｒｐｍ，送り速度：２ｍ／ｍｉｎ
とした。その結果、本発明例２のドリルでは、加工数９
００００穴後も膜の剥離やドリルの折損がなく、加工後
の穴精度も良好であった。これに対し比較例２のドリル
では、加工数約２０００穴後にドリルが折損した。この
ときの折損の状態を調べた結果、折損は切屑の刃溝への
詰まりが原因であり、本発明例２との差異は切屑の排出
性の違いであると推察された。

【００３０】実施例３ Ｍ種超硬合金を母材とする直径：６ｍｍのストレートド
リルを用い、マイクロ波プラズマＣＶＤ法で励起したメ
タン−水素混合ガスを接触させて工具表面に下記表３に
示す３種類の被覆形態の炭素膜を合成した。このとき、
炭素膜の被覆形態は反応空間内の母材の配置方法により
変化させ、メタン濃度とガス圧力はそれぞれ２％，３９
Ｔｏｒｒとした。尚表３に示すラマンスペクトル測定の
結果は、レーザー発振源としてＡｒレーザー（発振線４
８８０Å，波数２０４９２．４ｃｍ^-1）を用い、ラマン
シフトが９００ｃｍ^-1から１８００ｃｍ^-1までのスキャ
ンスピードを２ｃｍ^-1／ｓｅｃで測定した。

【００３１】

【表３】

【００３２】これら３種のドリルを用いてＡｌ合金の穴
明け加工試験を行なった。このとき、被削材としてＡｌ
−１６％Ｓｉ合金を用い、切削条件は回転数：１００ｍ
／ｍｉｎ，送り速度：０．２ｍｍ／ｒｅｖ，加工穴深
さ：２０ｍｍとした。その結果、本発明例３のドリルで
は加工数２０００穴を経過しても被覆膜の剥離は発生せ
ず、また、加工数５００穴後の切刃の摩耗量と真円度は
それぞれ約１３μｍ，約６μｍであった。これに対し、
比較例３では加工数５００穴後の切刃の摩耗量は約１４
μｍと本発明例３と同等であったが、被削材の真円度は
約１１μｍと本発明例３に比べて大きく、加工精度にお
いて満足できないものであった。また比較例３について
切削を継続した結果、約８５０穴で刃先の膜が剥離し、
寿命に至った。更に、比較例４のドリルでは、加工数約
３００穴経過したあたりから膜が被覆された部分とマス
キングされた部分の境界から膜の剥離が発生し始め、約
５００穴後には被覆膜全域に剥離が及んで寿命となっ
た。

【００３３】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、耐剥離
性に優れただけでなく、切削工具としての加工精度をも
向上させ得た炭素膜の被覆を施すことにより、従来の炭
素膜被覆工具に比べて極めて長寿命，高性能な切削工具
を実現するものであり、その工業的価値は極めて大き
い。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 切削工具母材表面に気相合成法によって
   炭素膜を被覆した炭素膜被覆切削工具において、切れ刃
   稜部に被覆された炭素膜の最表面における平均粒径が、
   すくい面および／または逃げ面に被覆された膜の最表面
   における平均粒径よりも大きいものであることを特徴と
   する炭素膜被覆切削工具。
2. 【請求項２】 切削工具母材表面に気相合成法によって
   炭素膜を被覆した炭素膜被覆切削工具において、切れ刃
   稜部に被覆された炭素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈ
   ｖ）が、すくい面および／または逃げ面に被覆された炭
   素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈｖ）よりも大きいも
   のであることを特徴とする炭素膜被覆切削工具。
3. 【請求項３】 切削工具母材表面に気相合成法によって
   炭素膜を被覆した炭素膜被覆切削工具において、切れ刃
   稜部に被覆された炭素膜の最表面における平均粒径が、
   すくい面および／または逃げ面に被覆された膜の最表面
   における平均粒径よりも大きいと共に、切れ刃稜部に被
   覆された炭素膜のマイクロビッカース硬度（Ｈｖ）が、
   すくい面および／または逃げ面に被覆された炭素膜のマ
   イクロビッカース硬度（Ｈｖ）よりも大きいものである
   ことを特徴とする炭素膜被覆切削工具。
4. 【請求項４】 前記炭素膜のラマンスペクトルにおい
   て、ダイヤモンドに帰属されるピークの強度（Ｉ₁ ）
   と、１４５０〜１６００ｃｍ^-1に出現する非ダイヤモン
   ド成分に帰属されるピークの強度（Ｉ₂ ）との比（Ｉ₁
   ／Ｉ₂ ）を測定したときに、切れ刃稜部に被覆された炭
   素膜のピーク強度比（Ｉ₁ ／Ｉ₂ ）が、すくい面および
   ／または逃げ面に被覆された炭素膜のピーク強度比（Ｉ
   ₁ ／Ｉ₂ ）よりも大きいものである請求項１〜３のいず
   れかに記載の炭素膜被覆切削工具。