JPH0779177B2 - Laser controller - Google Patents

Laser controller

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JPH0779177B2
JPH0779177B2 JP32536387A JP32536387A JPH0779177B2 JP H0779177 B2 JPH0779177 B2 JP H0779177B2 JP 32536387 A JP32536387 A JP 32536387A JP 32536387 A JP32536387 A JP 32536387A JP H0779177 B2 JPH0779177 B2 JP H0779177B2
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output
optical output
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current
optical
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哲司 呉比
裕司 土井
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
    • H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
    • H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はレーザ光発振器の光出力の調整手段を改良した
レーザ制御装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Industrial field of application) The present invention relates to a laser control device having improved means for adjusting the optical output of a laser light oscillator.

（従来の技術） 一般に、レーザ発振装置は、その構成を大別すると第２
図に示すようにレーザ制御装置1,電源装置２およびレー
ザ光発振器３等から成っている。この装置は、一般的に
は光出力設定器４で設定された光出力基準値Pr1を電流
交換手段（図示せず）で電流基準値に変換した後電源装
置２へ供給し、かつ、この電源装置２でその電流基準値
にしたがってレーザ光発振器３を制御することにより、
レーザ光発振器３から光出力基準値Pr1に応じた所望の
光出力PWを得る構成となっている。(Prior Art) In general, a laser oscillator device is roughly classified into a second type.
As shown in the figure, it comprises a laser control device 1, a power supply device 2 and a laser light oscillator 3. This device generally supplies the power output device 2 after converting the light output reference value Pr 1 set by the light output setting device 4 into a current reference value by a current exchange means (not shown), and By controlling the laser light oscillator 3 according to the current reference value by the power supply device 2,
The laser light oscillator 3 is configured to obtain a desired light output PW according to the light output reference value Pr 1 .

ところで、上記レーザ制御装置１においては、以下に述
べる種々の理由から光出力設定器４と電源装置２の間に
電流変換関数発生器５が設けられ、さらに光フィードバ
ック制御系が設けられている。この光フィードバック制
御系はレーザ光発振器３の光出力の変動を防止する目的
で設けられたもので、レーザ光発振器３の光出力PWを速
い応答速度で検出して電圧値V1に変換する高速光検出器
6,この電圧値V1を光出力フィードバック値Pf1に変換す
る光出力変換関数発生器7,この関数発生器７の出力Pf1
と光出力設定器４の出力Pr1との偏差を得る第１の加算
手段8,その偏差に基づいてPID演算を行う光フィードバ
ック制御回路９および光フィードバック制御回路９の出
力と電流変換関数発生器５の出力とを加算し電流基準値
を得る第２の加算手段10等からなっている。11は関数デ
ータ設定部である。By the way, in the laser control device 1, a current conversion function generator 5 is provided between the optical output setting device 4 and the power supply device 2 for various reasons described below, and an optical feedback control system is further provided. This optical feedback control system is provided for the purpose of preventing the fluctuation of the optical output of the laser optical oscillator 3, and it is a high speed that detects the optical output PW of the laser optical oscillator 3 at a fast response speed and converts it into a voltage value V 1. Photo detector
6, Optical output conversion function generator 7 for converting this voltage value V 1 into optical output feedback value Pf 1 , Output Pf 1 of this function generator 7
And the output Pr 1 of the optical output setting device 4, first addition means 8 for obtaining a deviation, an optical feedback control circuit 9 for performing PID calculation based on the deviation, an output of the optical feedback control circuit 9 and a current conversion function generator It is composed of a second addition means 10 and the like for obtaining the current reference value by adding the output of 5 and the output. Reference numeral 11 is a function data setting unit.

しかして、前記電流変換関数発生器５は次のような理由
から設けられている。通常，光出力基準値Pr1と電源装
置２に供給する電流基準値Ir1との変換特性は線形では
ないこと、また，例えば送風循環形レーザ光発振装置等
においては相対向する２つの反射鏡を用いてレーザ光を
増幅出力する光共振室内にガスを送り込みかつその内部
に冷却器およびその冷却気体を循環するフアン等が設け
られ、このフアンにより冷却気体を循環させながら排気
ポンプで外部に送り出す形式のものがあるが、このよう
な発振器では冷却気体のガス圧力（密度），冷却気体の
風量およびその気体の温度の違い等により、また一般的
な発振器では反射鏡の交換，熱変化および取付位置の変
化，光モードの変更等により、電流基準値Ir1とそれに
よって得られるレーザ光発振器３の光出力PWとの間の変
換特性が不定であること等から光出力基準値Pr1から直
ちに光出力PWを決定することができない。ここに，光出
力基準値Pr1から電流基準値Ir1を得るための変換特性を
調整する必要があり、そのために電流変換関数発生器５
が設けられている。The current conversion function generator 5 is provided for the following reason. Usually, the conversion characteristic between the optical output reference value Pr 1 and the current reference value Ir 1 supplied to the power supply device 2 is not linear, and, for example, in a blower circulation type laser light oscillation device, two reflecting mirrors facing each other are used. Is used to feed gas into the optical resonance chamber that amplifies and outputs laser light, and a fan or the like that circulates a cooler and its cooling gas is provided inside, and the fan pumps the cooling gas to the outside while circulating the cooling gas. There are some types, but in such oscillators, due to differences in the gas pressure (density) of the cooling gas, the flow rate of the cooling gas and the temperature of the gas, etc. Since the conversion characteristic between the current reference value Ir 1 and the optical output PW of the laser light oscillator 3 obtained thereby is indefinite due to the change of the position, the change of the optical mode, etc., the optical output reference value Pr 1 The light output PW cannot be determined immediately from 1 . Here, it is necessary to adjust the conversion characteristic to the light output reference value Pr 1 to obtain a current reference value Ir 1, current transform function generator to its 5
Is provided.

一方、光出力変換関数発生器７を用いた光フィードバッ
ク制御系を設けた理由は、レーザ光発振器３自体のガス
圧力，冷却気体の風量およびその気体の温度，反射鏡の
熱変化および汚れ等により、その光出力PWは常に変動す
る。そこで、この光出力PWの変動を応答性の速い高速光
検出器６で検出し電圧値V1に変換してフィードバックす
るが、このとき光出力PWと電圧値V1との変換特性が不定
であるので、電圧値V1を光出力フィードバック値Pf1に
変換する変換特性を調整するために光出力変換関数発生
器７を設けて適正な光出力フィードバック値Pf1を得、
これを第１の加算手段８を介して光フィードバック制御
を行う必要がある。On the other hand, the reason for providing the optical feedback control system using the optical output conversion function generator 7 is that the gas pressure of the laser light oscillator 3 itself, the flow rate of the cooling gas and the temperature of the gas, the heat change of the reflecting mirror, the contamination, etc. , Its optical output PW is constantly changing. Therefore, the fluctuation of the optical output PW is detected by the high-speed photodetector 6 having a fast response and converted into the voltage value V 1 to be fed back. At this time, the conversion characteristic between the optical output PW and the voltage value V 1 is indefinite. Therefore, in order to adjust the conversion characteristic for converting the voltage value V 1 into the optical output feedback value Pf 1 , an optical output conversion function generator 7 is provided to obtain an appropriate optical output feedback value Pf 1 ,
It is necessary to perform optical feedback control on this via the first adding means 8.

ところで、従来装置における両変換関数発生器5,7の関
数データの調整は、レーザ発振器３を調整の度に外部か
ら電源装置２に電流基準値Ir1を段階的に与えつつのそ
時の光出力PWと高速光検出器６の出力電圧V1とを測定
し、それらのデータに基づいて関数データ設定部11から
変換関数発生器5,7に関数データを手動にて設定してい
る。By the way, adjustment of the function data of both conversion function generators 5 and 7 in the conventional device is performed by externally supplying the current reference value Ir 1 to the power supply device 2 externally every time the laser oscillator 3 is adjusted. The output PW and the output voltage V 1 of the high-speed photodetector 6 are measured, and the function data is manually set in the conversion function generators 5 and 7 from the function data setting unit 11 based on the data.

（発明が解決しようとする問題点） 従って、以上のように光出力基準値Pr1と電流基準値Ir1
との変換特性の線形化および光出力PWの変動防止の観点
から変換関数発生器5,7が設けられているが、これら関
数データの調整がレーザ光発振器３の調整の度に手動に
て設定しているので、その調整作業に長時間を要し、か
つ、関数データの設定ミスが度々発生する問題がある。(Problems to be solved by the invention) Therefore, as described above, the optical output reference value Pr 1 and the current reference value Ir 1
The conversion function generators 5 and 7 are provided from the viewpoint of linearizing the conversion characteristics with and preventing fluctuations of the optical output PW. Adjustment of these function data is manually set each time the laser light oscillator 3 is adjusted. Therefore, there is a problem that the adjustment work takes a long time and a function data setting error often occurs.

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
人手を必要とせずに関数発生器の関数データを短時間に
自動的に調整設定し得るレーザ制御装置を提供すること
を目的とする。The present invention has been made to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide a laser control device capable of automatically adjusting and setting the function data of the function generator in a short time without requiring manual labor.

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明によるレーザ制御装置は、上記目的を達成するた
めに、光出力基準値に応じて電流変換関数発生器から出
力される電流基準出力とレーザ光発振器の光出力を高速
光検出器で検出しこの光出力検出値に基づいて光出力変
換関数発生器から出力される光出力フィードバック値と
を用いて電源装置の電流基準値を決定し、前記電源装置
が前記電流基準値に基づいてレーザ光発振器を制御する
レーザ制御装置において、 自動調整モード時に前記電源装置へ異なる基準電流値を
順次供給し、そのときの前記レーザ光発振器の光出力を
高速光検出器と低速光検出器で検出し、これらの光検出
器の出力を用いて得られる関数データを順次前記電流変
換関数発生器および前記光出力変換関数発生器へ設定す
る関数データ調整設定手段を備えたものである。[Configuration of the Invention] (Means for Solving Problems) In order to achieve the above object, the laser control device according to the present invention has a current reference output output from a current conversion function generator in accordance with an optical output reference value. And the optical output of the laser light oscillator is detected by the high-speed photodetector, and the optical output feedback value output from the optical output conversion function generator based on the detected optical output is used to determine the current reference value of the power supply device. In the laser control device in which the power supply device controls the laser light oscillator based on the current reference value, different reference current values are sequentially supplied to the power supply device in the automatic adjustment mode, and the optical output of the laser light oscillator at that time Is detected by a high-speed photodetector and a low-speed photodetector, and the function data obtained by using the outputs of these photodetectors are sequentially set to the current conversion function generator and the optical output conversion function generator. Those having a function data adjustment setting means for.

（作用） 従って、本発明は、以上のような手段とすることによ
り、自動調整モード時，関数データ調整設定手段を手動
的または自動的に電源装置に接続した後、前記関数デー
タ調整設定手段から異なる電流基準値を供給しながらレ
ーザ光発振器の光出力を高速光検出器と低速光検出器で
検出し、かつ、これら高速光検出器の出力および低速光
検出器の出力を元に関数データを決定しながら前記電流
変換関数発生器および光出力変換関数発生器に設定する
ので、短時間に関数データを自動的に設定できる。(Operation) Therefore, according to the present invention, the function data adjustment setting means is connected to the power supply device in the automatic adjustment mode manually or automatically after the function data adjustment setting means by the above means. While supplying different current reference values, the optical output of the laser optical oscillator is detected by the high-speed photodetector and the low-speed photodetector, and the function data is output based on the outputs of these high-speed photodetector and low-speed photodetector. Since the current conversion function generator and the light output conversion function generator are set while determining, the function data can be automatically set in a short time.

（実施例） 以下、本発明装置の一実施例について第１図を参照して
説明する。本装置は、従来装置と同様に光出力設定器21
の光出力基準値Pr1を電流変換関数発生器22で関数デー
タに基づいて電流基準出力Ir1′に変換し第２の加算手
段23を通して電源装置24に供給する電流基準供給系と、
レーザ光発振器25の光出力PWを検出し電圧値V1に変換し
て出力する高速光検出器26、この高速光検出器26の出力
を関数データに基づいて光出力フィードバック値Pr1に
変換する光出力変換関数発生器27、この関数発生器27の
出力と光出力設定器21の出力との偏差を演算する第１の
加算手段28、この第１の加算手段28では得られた偏差を
用いて例えばPID演算を行い補正電流出力Icを得た後前
記第２の加算手段23へ供給する光フィードバック制御回
路29等からなる光フィードバック制御系とにより構成さ
れている。(Embodiment) An embodiment of the device of the present invention will be described below with reference to FIG. This device has the same optical output setting device 21 as the conventional device.
Of the optical output reference value Pr 1 of the current conversion function generator 22 into the current reference output Ir 1 ′ based on the function data based on the function data and supplying the current reference output Ir 1 ′ to the power supply device 24 through the second adding means 23;
A high-speed photodetector 26 that detects the optical output PW of the laser light oscillator 25, converts it into a voltage value V 1 and outputs it, and converts the output of this high-speed photodetector 26 into an optical output feedback value Pr 1 based on the function data. Optical output conversion function generator 27, first adding means 28 for calculating the deviation between the output of the function generator 27 and the output of the optical output setting device 21, and the obtained deviation is used in the first adding means 28. And an optical feedback control system including an optical feedback control circuit 29 and the like for supplying the corrected current output Ic to the second adding means 23 after obtaining the corrected current output Ic.

本装置において従来装置と特に異なるのは、第２の加算
手段23と電源装置24との間に例えばハード的なスイッチ
31を設け、常時は電源装置24側を第２の加算手段23の出
力端側に接続し、自動調整モード時に図示位置とは反対
側の端子，つまり調整モード側端子に接続する調整モー
ド切替手段が設けられている。This device is different from the conventional device in that, for example, a hardware switch is provided between the second adding means 23 and the power supply device 24.
31 is provided, the power supply device 24 side is normally connected to the output end side of the second adding means 23, and the adjustment mode switching means is connected to the terminal on the side opposite to the illustrated position in the automatic adjustment mode, that is, the adjustment mode side terminal. Is provided.

また、低速光検出器32、光出力変換器33および関数デー
タ調整設定回路34等からなる関数データ調整設定手段が
設けられている。この関数データ調整設定手段は、自動
調整モード時，すなわちスイッチ31が図示位置と反対側
を選択されていると、関数データ調整設定回路34から例
えば段階的に電流基準値を電源装置24へ供給し、このと
きレーザ光発振器25の光出力PWを高速光検出器26および
低速光検出器32で検出して電圧値V1，V2に変換し、この
電圧値V1および電圧値V2を光出力変換器33で変換した光
出力フィードバック値Pf2を順次測定記憶し、これらの
記憶データを元に関数データを求めて前記電流変換関数
発生器22,光出力変換関数発生器27に設定していく構成
である。Further, function data adjustment setting means including a low speed photodetector 32, a light output converter 33, a function data adjustment setting circuit 34, etc. is provided. In the automatic adjustment mode, that is, when the switch 31 is selected on the side opposite to the illustrated position, the function data adjustment setting means supplies the current reference value to the power supply device 24 from the function data adjustment setting circuit 34 stepwise. , this time is converted into a voltage value V 1, V 2 light output PW of the laser beam oscillator 25 is detected by a high speed photodetector 26 and the low-speed photodetector 32, the light of the voltage value V 1 and the voltage value V 2 The optical output feedback value Pf 2 converted by the output converter 33 is sequentially measured and stored, and function data is obtained based on these stored data and set in the current conversion function generator 22 and the optical output conversion function generator 27. It is a configuration that goes.

更に、関数データ調整設定手段によって調整設定された
関数データの適正有無を判断する関数データ適正判断手
段が備えられている。この関数データ適正判断手段にあ
っては、常時は図示位置側端子に接続され、レーザ光発
振器25の最良な自動調整モード時等に図示位置とは反対
側端子に接続する関数データ記憶スイッチ41a,41bと、
これらのスイッチ41a,41bが図示位置と反対側端子に設
定されたとき前記関数データ調整設定回路34から電流変
換関数発生器22および光出力変換関数発生器27へ設定す
る関数データを記憶する電流変換側標準関数データテー
ブル42および光出力変換側基準関数データテーブル43
と、この記憶された関数データと通常の自動調整モード
時に得られる関数データとを比較し所定の値以上異なっ
ているときに警報その他の手段により外部に報知する関
数データ比較回路44から構成されている。Further, function data adequacy determining means for determining whether or not the function data adjusted and set by the function data adjustment setting means is appropriate is provided. In this function data appropriateness determination means, the function data storage switch 41a is normally connected to the terminal on the side of the illustrated position, and is connected to the terminal on the opposite side of the illustrated position during the best automatic adjustment mode of the laser light oscillator 25, etc. 41b,
When these switches 41a, 41b are set to terminals opposite to the positions shown in the drawing, current conversion for storing the function data set from the function data adjustment setting circuit 34 to the current conversion function generator 22 and the optical output conversion function generator 27. Side standard function data table 42 and optical output conversion side reference function data table 43
And a function data comparison circuit 44 that compares the stored function data with the function data obtained in the normal automatic adjustment mode and notifies the outside by an alarm or other means when they differ by a predetermined value or more. There is.

次に、以上のように構成された装置の動作を説明する。
常時は、変換関数発生器22は予め調整設定された関数デ
ータを用いて光出力基準値Pr1を電流基準値出力Ir1′に
変換し、また変換関数発生器27は同様に予め調整設定さ
れた関数データを用いて高速光検出器26の出力V1を光出
力フィードバック値Pf1に変換し、光出力基準値Pr1と電
流基準値出力Ir1′との変換特性の線形化を行い、か
つ、レーザ光発振器25の光出力PWの変動を抑制する光フ
ィードバック制御を行うことにより、第１の加算手段23
から電流変換関数発生器22の出力Ir1′に電流補正値Ic
を加算してなる電流基準Ir1を取得し電源装置24へ供給
している。Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.
Normally, the conversion function generator 22 converts the optical output reference value Pr 1 into the current reference value output Ir 1 ′ using the preset function data, and the conversion function generator 27 is similarly preset and set. The output V 1 of the high-speed photodetector 26 is converted into the optical output feedback value Pf 1 using the function data, and the conversion characteristic between the optical output reference value Pr 1 and the current reference value output Ir 1 ′ is linearized, In addition, by performing the optical feedback control for suppressing the fluctuation of the optical output PW of the laser light oscillator 25, the first adding means 23
To the output Ir 1 ′ of the current conversion function generator 22 from the current correction value Ic
The current reference Ir 1 obtained by adding is acquired and supplied to the power supply device 24.

以上のような状態において例えばレーザ光発振器25が種
々の理由から調整あるいは部材の交換等を行った時、そ
れに伴ない自動調整モードにより正しい関数データを得
る必要がある。When, for example, the laser oscillator 25 is adjusted or the members are exchanged for various reasons in the above-described state, it is necessary to obtain correct function data in the automatic adjustment mode.

しかして、この自動調整モードは、自動的または人為的
にスイッチ31を第１の加算手段23側から関数データ調整
設定回路34側に接続した後、この関数データ調整設定回
路34から電流基準値Ir1を零から100％まで段階的，か
つ，自動的に出力して電源装置24に供給し、この電源装
置24はその電流基準値Ir1にしたがってレーザ光発振器2
5に電流を与えていく。その結果，レーザ光発振器25か
らその電流に応じたエネルギーの光出力PWが発生する。In this automatic adjustment mode, after the switch 31 is automatically or artificially connected from the first adding means 23 side to the function data adjustment setting circuit 34 side, the function data adjustment setting circuit 34 outputs the current reference value Ir. 1 is output stepwise and automatically from 0 to 100% and is supplied to the power supply device 24, which supplies the laser light oscillator 2 according to its current reference value Ir 1.
Apply current to 5. As a result, the laser light oscillator 25 generates an optical output PW having energy corresponding to the current.

この光出力PWは低速光検出器32で検出する。この低速光
検出器32は応答特性は遅いが光出力−電圧変換を線形で
行う特性をもっているので、正確に光出力PWを検出でき
る。そして、この低速光検出器32,光出力変換器33で変
換された光フィードバックPf2と高速光検出器26の出力V
1は関数データ調整設定回路34で同時に測定記憶され
る。従って、この関数データ調整設定回路34は電流基準
値Ir1を零から100％まで増加させることにより、電流基
準値Ir1に対するPf2から出力基準値Pr1−基準電流出力I
r1′の電流変換用関数データを得ることができ、高速光
検出器26の電圧V1−光出力フィードバック値Pf2から光
出力変換関数発生器27の光出力変換用関数データを得る
ことができ、かつ、これらの関数データはそれぞれ電流
変換関数発生器22および光出力変換関数発生器27に自動
的に設定される。This optical output PW is detected by the low speed photodetector 32. Although the low-speed photodetector 32 has a slow response characteristic, it has a characteristic that the optical output-voltage conversion is linearly performed, so that the optical output PW can be accurately detected. Then, the optical feedback Pf 2 converted by the low-speed photodetector 32 and the optical output converter 33 and the output V of the high-speed photodetector 26
1 is measured and stored at the same time by the function data adjustment setting circuit 34. Therefore, the function data adjustment setting circuit 34 increases the current reference value Ir 1 from zero to 100%, so that the output reference value Pr 1 −reference current output I 1 from Pf 2 with respect to the current reference value Ir 1 .
The current conversion function data of r 1 ′ can be obtained, and the optical output conversion function data of the optical output conversion function generator 27 can be obtained from the voltage V 1 of the high-speed photodetector 26-optical output feedback value Pf 2. This function data can be automatically set in the current conversion function generator 22 and the light output conversion function generator 27, respectively.

一方、関数データ適正判断手段においては、例えばレー
ザ光発振器25の最良自動調整モード時にスイッチ41a,41
bを図示位置とは反対側端子に接続し、前記両変換関数
発生器22,27に設定したと同じ関数データを基準関数デ
ータテーブル42,43に順次記憶していく。On the other hand, in the function data appropriateness determination means, for example, the switches 41a, 41 in the best automatic adjustment mode of the laser light oscillator 25
b is connected to the terminal on the side opposite to the illustrated position, and the same function data set in both conversion function generators 22 and 27 are sequentially stored in the reference function data tables 42 and 43.

また、別時期のレーザ光発振器32の自動調整モード時、
スイッチ41a,41bを図示位置に設定したとき、既に記憶
されている電流変換用関数データ，光出力変換用関数デ
ータと今回調整によって得られた電流変換用関数デー
タ，光出力変換用関数データとをそれぞれ関数データ比
較回路44に入力して比較し、その比較結果が所定の値以
上となったときには最良調整時と大幅に異なると判断
し、いわゆるレーザ光発振器25の調整エラーであるとし
て例えば警報を出力することができる。Also, in the automatic adjustment mode of the laser light oscillator 32 at another time,
When the switches 41a and 41b are set to the positions shown in the drawing, the current conversion function data and the optical output conversion function data that have already been stored and the current conversion function data and the optical output conversion function data obtained by this adjustment are displayed. Each is input to the function data comparison circuit 44 and compared, and when the comparison result is equal to or more than a predetermined value, it is determined that it is significantly different from the time of the best adjustment, and a so-called laser light oscillator 25 adjustment error, for example, an alarm is issued. Can be output.

従って、以上のような実施例の構成によれば、レーザ光
発振器25の調整等のときに自動的に電流基準値を段階的
に電源装置24に供給しながらレーザ光発振器25の光出力
PWを高速光検出器26および低速光検出器32で検出した
後、これら検出器26,32の出力を測定し関数データを求
めて電流変換関数発生器22および光出力変換関数発生器
27に設定するようにしたので、レーザ光発振器25の調整
を行った後の関数データの調整を自動的，かつ，短時間
に設定することができ、それに伴って人間による設定誤
りを無くすことができる。また、自動調整モードの最良
調整時に得られた関数データを予め記憶すると共にこの
記憶された関数データと別時期に調整設定した関数デー
タとを比較することにより、レーザ光発振器25の調整が
適正に行われているかあるいはレーザ光発振器25等の経
時変化の状態ひいては発振器等の構成部材の交換あるい
はレーザ光発振器25自体の交換の目安を得ることができ
る。Therefore, according to the configuration of the above embodiment, the optical output of the laser light oscillator 25 while automatically supplying the current reference value to the power supply device 24 stepwise when adjusting the laser light oscillator 25 or the like.
After PW is detected by the high-speed photodetector 26 and the low-speed photodetector 32, the output of these detectors 26, 32 is measured to obtain the function data, and the current conversion function generator 22 and the optical output conversion function generator are generated.
Since it is set to 27, the adjustment of the function data after the adjustment of the laser light oscillator 25 can be set automatically and in a short time, and accordingly, the setting error by the human can be eliminated. it can. Further, by pre-storing the function data obtained at the time of the best adjustment in the automatic adjustment mode and comparing the stored function data with the function data set for adjustment at another time, the adjustment of the laser light oscillator 25 is properly performed. It is possible to obtain an indication of whether or not the laser light oscillator 25 or the like is changed over time, and thus the constituent members such as the oscillator or the laser light oscillator 25 itself is replaced.

なお、上記実施例ではハード的な構成を用いて実現した
が、コンピュータを用いて必要なデータ処理部分をソフ
ト的に行うことができる。その他，本発明はその要旨を
逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。Although the above embodiment is implemented by using a hardware configuration, the necessary data processing part can be performed by software using a computer. Besides, the present invention can be variously modified and implemented without departing from the scope of the invention.

［発明の効果］ 以上詳記したように本発明によれば、自動調整モード
時，異なる電流基準値を電源装置に供給しつつレーザ光
発振器の光出力を低速光検出器および高速光検出器で検
出しこれらの検出値に基づいて得られた関数データを両
関数発生器に設定するようにしたので、人手を必要とせ
ずに関数発生器の関数データを短時間に自動的に調整設
定できるレーザ制御装置を提供できる。[Effects of the Invention] As described in detail above, according to the present invention, in the automatic adjustment mode, the optical output of the laser light oscillator is controlled by the low-speed photodetector and the high-speed photodetector while supplying different current reference values to the power supply device. Since the function data detected and set based on these detected values is set in both function generators, it is possible to automatically adjust and set the function data of the function generator in a short time without requiring human intervention. A control device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本発明に係わるレーザ制御装置の一実施例を説
明する構成図、第２図は従来装置の構成図である。 21……光出力設定器、22……電流変換関数発生器、24…
…電源装置、25……レーザ光発振器、26……高速光検出
器、27……光出力変換関数発生器、32……スイッチ、32
……低速光検出器、33……光出力変換器、34……関数デ
ータ調整設定回路、41a,41b……関数データ記憶スイッ
チ、42……電流変換側標準関数データテーブル、43……
光出力変換側標準関数データテーブル、44……関数デー
タ比較回路。FIG. 1 is a block diagram illustrating an embodiment of a laser control device according to the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a conventional device. 21 ... Optical output setting device, 22 ... Current conversion function generator, 24 ...
… Power supply, 25 …… Laser light oscillator, 26 …… High-speed photodetector, 27 …… Optical output conversion function generator, 32 …… Switch, 32
...... Low speed photodetector, 33 ...... Optical output converter, 34 …… Function data adjustment setting circuit, 41a, 41b …… Function data storage switch, 42 …… Current conversion side standard function data table, 43 ……
Optical output conversion side standard function data table, 44 ... Function data comparison circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】光出力基準値に応じて電流変換関数発生器
から出力される電流基準出力とレーザ光発振器の光出力
を高速光検出器で検出しこの光出力検出値に基づいて光
出力変換関数発生器から出力される光出力フィードバッ
ク値とを用いて電源装置への電流基準値を決定し、前記
電源装置が前記電流基準値に基づいてレーザ光発振器を
制御するレーザ制御装置において、 自動調整モード時に前記電源装置へ異なる基準電流値を
順次供給し、そのときの前記レーザ光発振器の光出力を
高速光検出器および低速光検出器で検出し、これら両検
出器の出力を用いて得られた関数データを順次前記電流
変換関数発生器および前記光出力変換関数発生器に設定
する関数データ調整設定手段を備えたことを特徴するレ
ーザ制御装置。1. A high-speed photodetector detects a current reference output output from a current conversion function generator according to an optical output reference value and an optical output of a laser optical oscillator, and optical output conversion is performed based on the detected optical output value. A laser controller that determines a current reference value to a power supply device using an optical output feedback value output from a function generator, and the power supply device controls a laser light oscillator based on the current reference value. In the mode, different reference current values are sequentially supplied to the power supply device, the optical output of the laser light oscillator at that time is detected by the high-speed photodetector and the low-speed photodetector, and the output of both detectors is obtained. And a function data adjustment setting means for sequentially setting the function data to the current conversion function generator and the light output conversion function generator.
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