JPH0773063A - テスト停止後テスト中の装置での励起を維持する装置 - Google Patents

テスト停止後テスト中の装置での励起を維持する装置

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JPH0773063A
JPH0773063A JP6090015A JP9001594A JPH0773063A JP H0773063 A JPH0773063 A JP H0773063A JP 6090015 A JP6090015 A JP 6090015A JP 9001594 A JP9001594 A JP 9001594A JP H0773063 A JPH0773063 A JP H0773063A
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test
signal
dut
memory
sustain
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JP6090015A
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Rodolfo F Garcia
エフ. ガルシア ロドルフォ
Egbert Graeve
グリーブ エグバート
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Schlumberger Technologies Inc
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SHIYURUNBERUJIE TECHNOL Inc
Schlumberger Technologies Inc
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Publication date
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 現在のテストが停止され且つ電源が未だに接
続されている場合にDUTへの励起を維持する方法を提
供する。 【構成】 本発明を組込んだテスタシステムがテストが
停止したことを検知すると、それはテスト中の装置即ち
DUTへ対して一連の信号励起を印加する。このこと
は、電源へ接続されている場合に連続的な機能励起を必
要とするファミリの装置が破壊されることから保護す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積電子回路をテスト
するための自動テスト装置に関するものであって、更に
詳細には、例えばRISC電子回路又はフェーズロック
ループ(PLL)を具備する電子回路等の進んだ高性能
装置をテストするテストシステムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えばデジタルイクイッピメントコーポ
レイションの21064(アルファAXPとしても知ら
れている)及びミップス社のR4000/4400プロ
セサ等の新しいスーパーパイプライン型の高性能RIS
Cプロセサの開発と共に、これらの装置をテストするこ
とに関する新たな問題が表面化した。これらの装置は何
等の機能的励起入力なしでパワー即ち電力が印加される
ことを許容することが可能なものではない。何等の機能
的励起入力なしでこれらの装置にパワーが印加される
と、これらの装置を壊滅的な高パワー散逸モードとさ
れ、テスト中の装置の内部回路に厳しい損傷を発生させ
る場合がある。この問題は、これらの高性能装置より前
のLSI/VLSI装置の場合には全く発生するもので
はなかった。このような状況は、最近のLSI/VLS
Iテスタの動作を説明することによってよりよく理解す
ることが可能である。
【0003】最近のLSI/VLSIテスタにおいて
は、機能的テストが開始されると、テスタのローカルメ
モリ内に格納されているテストベクトルがあるプログラ
ムされているスタート位置から実行を開始する。これら
のテストベクトルはフォーマット化されており且つタイ
ミング発生器からタイミングが印加される。その後に、
同期されフォーマット化されたテストベクトルがテスト
中の装置即ちDUTへ印加される。機能的な障害が発生
すると、通常機能的テストはアボート即ち中断され、そ
のことはテスト中の装置に対して更なる励起が印加され
ることがないことを意味している。特別エラー捕獲メモ
リを具備している幾つかのテスタにおいては、その障害
は捕獲メモリ内に記録させることが可能であり且つ中断
することなしにテストを継続して行なうことが可能であ
る。いずれの場合においても(即ち、捕獲メモリが設け
られているかいないかに拘らず)、真理値表内の最後の
テストベクトルが実行されると、更なるテストベクトル
の印加は停止される(即ち、テスト中の装置に対して更
なる励起が印加されることはない)。この時点におい
て、上述した種類の装置から迅速にパワーが取除かれな
い場合には、テスト中の装置はテストシステムによって
損傷されることとなる。
【0004】装置のテスト及び/又は特性付けの期間中
において、完全に良好なる装置が機能テストに不合格と
なる場合がある。例えば、このことは、テストプログラ
ムが必要とされる最も高い速度のビンにおける機能テス
トを稼動しようとする場合に装置の速度ソーティングを
実施する場合にしばしば発生する。その装置が充分に高
速なものでない場合には、機能テストの期間中あるラン
ダムの点において不合格となる。
【0005】上述した問題を解決する1つの態様は、テ
スト中の装置へのパワーを切断することである。然しな
がら、このような解決方法は多くの場合において実現可
能なものでない場合がある。例えば、装置に関してタイ
ミング余裕特性付け又はシュモー(shmoo)プロッ
トを実施する場合に、テストシステムが装置動作の合格
/不合格境界に収束する間に良好な装置に関して多くの
機能障害が発生する。この場合には、512×512個
の点のシュモープロットは、その装置に関して262,
144個の別個の機能テストを実施することを必要とす
る。上述した種類の装置の場合には、装置を損傷させな
いためにはそれだけ多くのパワーアップ/パワーダウン
サイクルが必要となる。パワーアップ又はパワーダウン
サイクルを実施するために1ミリ秒が必要であると仮定
すると、シュモープロットはテスト中の装置をパワーオ
ンさせるサイクル動作のために殆ど9分のテスタ時間を
必要とする。明らかに、このことは、非生産的で且つ浪
費される時間を非常に大きなものとさせることとなり、
そのことはテスト動作のオーバーヘッドコストに付加さ
れるとこととなる。
【0006】現在のところ、既存のテスタのいずれもが
上述した問題を完全に対処するものではない。然しなが
ら、その他のテスト問題を解決するために前の世代のA
TEシステム即ち自動テストシステムにおいては遠回し
に関係した特徴が表われている。
【0007】例えばフェアチャイルドセントリ600ラ
インのテスタ(現在は、本出願人であるシュルンベルジ
ェテクノロジーズインコーポレイテッドにより所有され
ている)は、図1に従来技術として示した如くテストプ
ログラムがテストベクトルの「マイナーループ」を定義
することの可能なモードを有している。図1はローカル
メモリ30を示しており、それはテスト中の装置即ちD
UTへ印加すべき一連のテストベクトルを格納してい
る。テストプログラムはアドレス位置32においてテス
トの開始を表わすために開始アドレスレジスタ34をロ
ードする。テストプログラムはプログラム内のある予め
定めた期間においてアドレス位置36と40との間にマ
イナーループを特定する。マイナーループは、ライン3
8で示した如く、逐次的な実行を介して到達される。
【0008】このようなマイナーループを使用する典型
的な場合は、古いPMOS及びNMOSマイクロプロサ
をテストする場合である。テストプログラムは第一シリ
ーズのテストベクトルを介して稼動され、次いで別のシ
リーズのものを再ロードすることを所望する場合があ
る。再ロード期間中に、PMOS及びNMOS装置がそ
れらの状態を失うことがないようにそれらの装置の内部
メモリへの信号励起はマイナーループによって維持され
る。新たなテストベクトルがロードされると、適宜のモ
ードレジスタ内へ値をローディングさせることによって
テストプログラムはマイナーループから脱出し、それは
テストにおける次のクロックサイクルで動作可能状態と
なる。マイナーループから脱出した後に、停止アドレス
レジスタ44によって特定されるアドレス42へ到達し
テストの終了を表わすまで、テストベクトルは再度実行
される。
【0009】更に、フェーズロックループ(PLL)を
組込んだ装置も、新たなテストベクトルがパターンメモ
リ内にロードされている間にPLL周波数がドリフトす
ることを防止するために、この能力を使用することが可
能である。
【0010】注意すべきことであるが、「マイナールー
プ」機能は、テストベクトル実行がループの開始位置に
到達した場合にのみ活性化させることが可能である。テ
ストベクトル実行がこれらの位置に到達しない場合には
(即ち、テスト中の装置がより前の位置において不合格
となる場合)、テストパターンはこのループにエンター
することはない。より新しいテストシステムアーキテク
チュアでは、複数個のループ位置か又は単一ベクトルの
不定の繰返しが同一の機能を達成することを可能として
いる。然しながら、テストベクトル実行をこれらのルー
プ又は単一ベクトル繰返しの位置へ到達させることがな
お且つ必要である。このシステムにおいては、「マイナ
ーループ」が喚起されると、テストプログラムによって
修正するためにローカルメモリを使用することが可能で
あるが、継続してタイミングシステムが使用され、従っ
て新たなプログラム値はタイミング発生器内にエンター
させることは出来ない。
【0011】第二システムは図2に従来技術として示し
た如く「自走クロック」(FRC)50を組込んだ第二
の構成を使用している。この構成は、最初にシュルンベ
ルジェS20/S21シリーズのテスタで開発され且つ
使用されたものである。FRC50はマルチプレクサ回
路52を介してDUTのクロック入力へ印加される。メ
モリ54内のタイミング値がテスト期間メモリ60によ
ってプログラムされるテスト期間発生回路58の制御化
においてタイミング発生器56を介してピンへ印加され
る。機能テストを稼動した後に、メモリ54はDUTへ
印加されるべきDCパラメータテストで再ロードされ
る。FRCは継続して稼動し、DCテストを実行するの
に必要なクロック信号をDUTへ印加させる。FRCは
この状態ではどのテストベクトルとも同期されていない
ので、新たな機能テストが印加される場合には(DCテ
ストと対抗して)、システム全体がシャットダウンされ
且つ再開始されることが必要となる。最初の機能テスト
が終了した後はFRCは非同期状態にあるので、DUT
の最後の状態から再開することを可能とする構成は設け
られていない。機能テストの開始時においてはFRC5
0はタイミング発生器56と一貫性を持って開始される
が、機能テストが終了した後においては、最早同期は存
在しない。このことはFRCの使用を著しく削減する。
一般的に、このシステムにおいては、FRC発生器は使
用中であるのでそれを再プログラムすることが出来ない
という点を除いて、ローカルメモリは、全てのタイミン
グ発生器と共に、プログラムの修正のために使用するこ
とが可能である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、既存のAT
E(自動テスト)システムによっては提供されていない
新たなテスタの特徴を提供している。本発明は、最も新
しい世代の高性能RISCプロセサをテストする場合に
発生する上述した問題を対処すべく構成されている。本
発明は、テストシステムが新たなテストシーケンスを再
プログラムしている間又はテストシステムが、装置が不
合格であることを示している間に、テスト中の装置への
機能的入力励起を維持することを可能としている。この
ことは、テスト中の装置へ印加される通常の機能テスト
と同期された態様で行なわれる。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、現在のテスト
が停止された後にテスト中の装置(DUT)への励起を
維持する方法及び装置を提供している。本発明は、現在
のテストの差迫った停止を検知し且つDUTが破壊され
ることを防止するために一連の信号励起「維持活性」
(信号励起)を供給する。テスタシステムがテスト中の
装置を継続してテストする準備がなされると、その維持
活性シーケンスは再開信号に応答して同期された対応で
テストシーケンスと置換される。
【0014】本発明は、何等かのその他の励起信号なし
でパワーがDUTへ印加されることによりテスト中の装
置が破壊されることを防止することが可能な自動テスタ
システムを提供している。好適実施例においては、本発
明は、3つのイベント即ち(1)現在のテストが完了し
たか(ホルト即ち停止)、(2)プログラマブルなホル
ト即ち停止が実行されたか(ホルト即ち停止)、又は
(3)テスト中の装置がテストに不合格であったか(不
合格)を検知することによってDUTへの励起信号が停
止したか否かを検知する。これらのイベントのうちのい
ずれかが検知されると、本発明はDUTへ維持活性信号
励起を印加する。一方、新たなテストが稼動されねばな
らない場合には、本発明は新たなテストシーケンスでシ
ステムをローディングするか又はシステムのメモリ内に
既に存在している新たなテストシーケンスの何れかを可
能とさせる。システムがテストを再開する準備がなされ
ると、システムはメモリ内のテストシーケンスで維持活
性信号シーケンスを同期的に置換し且つ継続して動作を
行なう。
【0015】好適実施例においては、各ピンはイベント
シーケンス格納メモリ(ESS)を有しており、それは
一度に4つのイベントを表わすエッジ及びタイミング情
報をデータレジスタへ供給する。フォーマッタが該レジ
スタからクロック出力されるデータを解釈し、且つそれ
をパターンメモリからのテストベクトルと結合させてD
UTに対して信号シーケンスを印加する。イネーブルさ
れた維持活性条件を検知すると、一連の「維持活性」タ
イミング信号が発生されて維持活性状態へシーケンス動
作を行なう。維持活性シーケンスはイベントシーケンス
格納メモリからデータジレスタ内へロードされ、且つ該
レジスタ内への新たなデータのクロック動作がディスエ
ーブル即ち動作不能状態とされ、従ってそのシーケンス
は継続して繰返す。従って、必要な場合には、ESSア
ドレス入力の制御は再ローディングのためにCPUへス
イッチされる。維持活性状態へ入ること及びそれから出
ることは維持活性状態へ入ること及び出ることの両方の
テストシーケンスと同期されている。
【0016】従って本発明は、現在のテストが停止され
且つパワーがいまだに接続されている場合にDUTへの
励起を維持する方法を提供することを目的としている。
このことはパワーが装置へ印加されている間に機能的励
起を必要とする装置をテスタシステムが損傷することを
防止することを可能としている。
【0017】本発明の更に別の目的とするところは、多
数のパワーアップ/パワーダウン動作に対する必要性を
取除くことによって上述した装置のテストのコストを低
下する方法及び装置を提供することである。
【0018】本発明の更に別の目的とするところは、P
LLを包含する活性装置をテストする場合にPLLの周
波数ドリフトを防止する方法及び装置を提供することで
ある。
【0019】
【実施例】図3は一般的な従来のATE(自動テスト)
システム10を示したブロック図である。このシステム
は、中央処理装置(CPU)12と、高速セクション1
4と、テストヘッド16と、DCサブシステム20とを
有している。CPU12はATEシステムの全体的な動
作を制御する。それは、CPUバス13を介して高速セ
クション14と通信を行ない且つテストを実行するため
に高速セクションへ種々の制御信号及びテストベクトを
供給する。高速セクション14はライン15を介してテ
ストヘッド16へ異なるテストベクトルを印加する。テ
ストヘッドはピン17上へDUTへの励起信号を供給す
る。更に、それはテストヘッド18を介してテストベク
トルに対するDUTの応答を受取る。例えば、DUT1
8がテストに不合格であると、その不合格であることを
表わす応答信号が高速セクションへ送給されて更なる検
討が行なわれる。
【0020】図4は図3の高速セクション14の簡単化
したブロック図である。CPUはモードレジスタ102
とステータスレジスタ104と通信を行なう。それは実
行すべき機能テストのタイプに関する情報(即ち、モー
ドビット)をモードレジスタ102ヘ送給する。更に、
テストのスタート即ち開始を表わす1個のビットがモー
ドレジスタ102内に存在することが可能である。一
方、ステータスレジスタ104は高速セクション100
のステータスをCPUへ供給する。例えば、機能的テス
トが実行中である場合には、ステータスレジスタ104
内の1個のビットは通常「テスタビジー」(TBUS
Y)ステータスを示すか、又は「マッチモード」テスト
が実行中である場合には、ステータスレジスタ104内
の1個のビットはマッチ即ち一致が見つかったか否かを
表わす。更に、機能テストが終了すると、ステータスレ
ジスタ104はテストプロセスにおけるホルト即ち停止
に対する理由を表わす情報を保持する。装置が不合格で
あることにより現在のテストが停止する場合には、その
不合格の情報全体が高速セクション100のその他の部
分に格納される。
【0021】図3のDUT18の各ピンは、図4に示し
た如く、個別的なフォーマット/応答ブロック106を
有している。パターンメモリ108(又は任意のその他
のパターン供給源)からのパターンデータ及びタイミン
グ及び期間発生器110及び122からのタイミング/
フォーマット情報は、フォーマット/応答ブロック10
6を介してDUTへ印加される。更に、フォーマット/
応答ブロック106はテストベクトルに対するDUTの
応答を受取り且つそれを図3の高速セクション14へ通
信する。図4のシステムは、テストベクトルに対する波
形フォーマット及びタイミング情報を結合するが、他の
システムは波形フォーマット及びタイミング情報を分離
する。これらのシステムにおいては、フォーマット情報
はタイミング発生器とは別個の専用のハードウエア内に
設けることが可能である。
【0022】図4のフォーマット/応答ブロック106
は、フォーマットデータをDUT18へ印加すべき図3
のテストヘッド16へ送給する。フォーマット/応答ブ
ロック106は、更に、パターンメモリ108からDU
Tの理論的応答を受取り、テストベクトルに対するDU
Tの実際の応答と比較する。発生された応答がいずれか
のDUTピンに対する理論的な応答とマッチ即ち一致し
ない場合には、フォーマット/応答ブロック106がラ
イン150を介してグローバル高速制御116へ「不合
格」信号を送給し、処理を行なう。
【0023】メモリアドレスレジスタ(MAR)138
はDUTへ印加されるべき個別的なパターンベクトルの
位置を有している。このことは、ベクトルがパターンメ
モリ108から来ることを仮定している。そうでなけれ
ば、パターンがアルゴリズミックパターン発生器によっ
て発生される場合には、MAR138はアルゴリズミッ
クパターン発生器(APG)によって使用するための次
のアルゴリズムに関する命令を指摘する。このようなA
PGは大きなメモリ容量を有するVLSI装置をテスト
するために使用される。然しながら、パターンが発生さ
れる本発明にとってはどうでもよいことである。
【0024】パターンメモリ108と関連してシーケン
ス制御メモリ120が設けられている。それは適切なる
ベクトルの実行のために必要な付加的情報のみならずパ
ターンベクトルを使用すべき文脈を特定する非パターン
情報を有している。例えば、現在のベクトルが次のベク
トルへ前進する前に「M」回実行されねばならないか、
又はベクトルストリームにおいて条件付き又は無条件で
の分岐が存在することを定義する場合がある。シーケン
ス制御メモリ120のこの部分は、システムの高速セク
ションに対する「マイクロコード」として作用し且つ命
令デコーダ132によってデコードされる。
【0025】シーケンス制御メモリ120は、更に、ベ
クトルタイプ選択(VTS)情報を有している。この情
報は、時間値メモリ124及び期間値メモリ126内に
格納されている予め格納されたタイミング/フォーマッ
ト情報の何れがタイミング発生器110及び/又は期間
発生器122へ転送されるかを決定する。このことはフ
ォーマット/応答ユニット106によって使用するため
の異なる設定(各テストに対して)をタイミングシステ
ムが供給することを可能としている。異なる設定を供給
することの能力は、通常、「飛行中の時間スイッチン
グ」として知られている。
【0026】例えば本願出願人のシュルンベルジェテク
ノロジイズインポーレイテッドによって製造されている
ITS9000等のあるシステムアーキテクチュアで
は、パターンメモリ108とシーケンス制御メモリ12
0との間に1対1のマッピングを与える。その他のシス
テムはシーケンス制御メモリ120内に保持されている
情報がむしろまばらであり且つシーケンス制御メモリに
対してより少ないメモリ位置を割当てることを実現す
る。このことは、各機能的テスト期間中に、パターンベ
クトルと共に実効的なシーケンス制御ワードが定義され
るようにパターンベクトルとシーケンス制御情報との間
に論理的なマッピングを必要とする。
【0027】図4のシステムは以下の態様で機能する。
CPUが第一テストベクトルのアドレスをMAR138
にロードする。次いで、CPUがモードレジスタ102
内へ開始ビットを書込んでテストをスタート即ち開始さ
せる。このことはMAR138の内容によってアドレス
されるVTS情報をシーケンス制御メモリ120からM
AR134及び136へ転送させることを開始させる。
MAR134及び136はその情報を使用して、時間及
び期間発生器110及び122へそれぞれ転送される時
間値メモリ124及び期間値メモリ126内の適切なる
タイミング情報をアドレスする。次いで、グローバル高
速制御116が信号線140上に「RUN」信号を発生
する。この信号は命令レコーダ132及び期間発生器1
22へ供給される。この信号を受取ると、期間発生器1
22は時間ゼロ(TZ)信号を発生し、それはそのテス
トベクトルに対する期間の開始を表わす。テスト期間中
に、マルチプレクサ118,128,130の制御入力
へ供給されるTBUSY信号がアサート即ち活性化さ
れ、従ってそれは高速セクション114のMARへのC
PUアクセスを阻止する。
【0028】このテストプロセスは、グローバル高速制
御116が、例えばライン133上のホルト(HAL
T)信号又はライン150上の不合格(FAIL)信号
等のテストを停止させるための信号を受取るまで継続し
て行なわれる。進行中のテストの動作を停止させる原因
は多数あり、そのうちの1つはDUTがテストに不合格
となる場合である。システムの1つのタイプにおいて
は、不合格の場合には、何れかの装置ピンに対する最初
の不合格が高速セクション114によって認識されるや
否や機能テストが終了される。その他のシステムでは、
「蓄積エラー」モードとすることを可能とし、その場合
には、システムはテスト中のピンに対する不合格情報を
捕獲するための「捕獲メモリ」を有している。グローバ
ル高速制御116は全てのフォーマット/応答ユニット
からの全ての不合格(FAIL)信号の論理「OR」を
モニタする。不合格(FAIL)信号がアサート即ち活
性化されると、グローバル高速制御セクション116は
不合格が存在することを認識し且つDUT112へ機能
テストベクトルを更に印加することを停止する。このこ
とが発生すると、装置が破壊されることを防止するため
に、励起信号がDUT112へ印加されねばならない。
このことを達成するために、図5に示した如く、本発明
に基づいてシステムが修正されねばならない。
【0029】包括的維持活性テスタ 図5は本発明を実現するために修正された14の包括的
高速セクションを示している。この修正は、システムの
通常の動作が終了した時に継続してシステムがDUTを
励起状態とさせることを可能とする。図3における高速
セクション14の構成要素に加えて、図5の高速セクシ
ョン200は、ランタイムタイミング回路204と、保
持用レジスタ220及び222と、マルチプレクサ21
2,236,238と、「AND」ゲート240乃至2
46とを有しており、本発明を実現している。ランタイ
ムタイミング回路202は、高速セクション200にお
いて維持活性モードへ入るか又はそれから抜け出るパイ
プライン型の同期した遷移を与えるために一連の逐次的
なタイミング信号を供給する。図9及び10はこの遷移
を示したタイミング線図である。更に、新たな信号ビッ
ト即ち「維持活性モードイネーブル(MAME)」がモ
ードレジスタ206へ付加されており、何れかの特定の
テストに対して(例えば、RISCプロセサがテスト中
である場合)システムが維持活性機能を所望するか否か
を決定することを可能とさせる。モードレジスタ206
はこの情報を信号線250を介してグローバル高速制御
208へ転送する。
【0030】図9に示した如く、クロック信号902は
テスタシステムによって発生され、特定のテスト期間は
時間ゼロ(TZ)信号904によって表示される。各テ
スト期間中に、例えば信号906等の特定のテスト信号
がDUTの各ピンへ印加される。これは単一のパルス、
異なる幅の一連のパルス等とすることが可能である。上
述した如く、信号908等の不合格又は停止信号を検知
することにより、維持活性モードへエンターすることが
可能である(注意すべきことであるが、図9においてパ
ルスとして多数の信号が示されているが、それらはマル
チビットコード又はその他の信号とすることが可能であ
り、タイミング線図は信号の特定の値ではなくタイミン
グを示すことを意図したものである)。
【0031】高速セクション200は、以下の条件のう
ちのいずれか1つが充足される場合に維持活性動作モー
ドへエンターする。即ち、DUTがシステムによって予
測される通りに応答しない場合(FAIL)、現在の機
能テストが問題なく完了した場合(HALT)、又は命
令デコーダ210がシーケンス制御メモリ214からプ
ログラムされているHALT命令をフェッチした場合
(HALT、尚プログラマが任意の数の理由により一時
的にテストを停止することを所望する場合)である。F
AIL即ち不合格の一例は、DUTが「マッチモード」
タイプの機能テストに適切に応答しない場合であり、そ
のことは、テスト中の装置がマッチシーケンスに対して
正確に応答しないことを示しており、且つ捕獲メモリは
使用されず、またプログラマは「ノーマッチ(一致な
し)」情報を格納する代わりにテストを停止させること
を所望する。
【0032】これらの条件のうちの1つが発生すると、
グローバル高速制御回路208がライン253及び26
3を介して図5に示したHALT信号又はFAIL信号
の何れかを受取る。グローバル高速制御回路208はラ
イン252上に「維持活性グローバル」(MAG)信号
を発生する(図9における信号910)。このMAG信
号に応答して、命令デコーダ210はライン254上に
「TZタイプ」と呼ばれるテスタサイクルに対する特別
のタイプの資格付け信号を発生する(図9における信号
912)。この信号は、高速セクション内の他の要素に
対して、システムが通常のモードにあるか又は維持活性
モード、即ちTZ信号が解釈されるべきである状態にあ
るか否かを伝達する。ライン254上のTZタイプ信号
を検知すると、ランタイムタイミング回路204がライ
ン256上に「維持活性ローカル」(MAL)信号を発
生する(図9における信号914)。この信号はアクテ
ィブ低信号であり、それは維持活性動作に対し高速セク
ション200を介して必要な情報を伝播させるために使
用される。
【0033】図5の高速セクションは、ライン256上
のMAL信号を使用して、通常のテストベクトルの印加
を阻止し且つ維持活性テストベクトルを印加することを
可能とさせる。テストシステムが維持活性モードにエン
ターすると、通常の機能テスト(シーケンス制御メモリ
214内の)に対するVTS(ベクトルタイプ選択)が
レジスタ265内の予め格納されており且つユーザが定
義した維持活性VTSと置換されねばならない。マルチ
プレクサ212への制御入力としてライン256上のM
AL信号を使用して、高速セクションは維持活性VTS
を選択し且つそれをシーケンス制御メモリ214からの
VTSの代わりにタイミングシステムへ送給する(図9
における信号916によって示されている)。このこと
は、実際に、MAL信号がマルチプレクサ212へ印加
された後の次のクロックで発生し、その場合に維持活性
VTSは期間メモリ値218及び時間値メモリ216内
の値を選択し、それらの値は夫々保持用レジスタ222
及び220へロードされる(図9における信号918に
よって示されている)。
【0034】維持活性VTS情報は、時間値メモリ21
6及び期間値218内のユーザによって選択されたタイ
ミング情報をアドレスする。タイミング値がデータ保持
用レジスタ220及び222内に存在すると、システム
はMAL信号を使用してデータ保持用レジスタ220及
び222へのTZ信号をディスエーブル即ち動作不能状
態とさせる。このことは維持活性動作期間中にタイミン
グ発生器224及び期間発生器226によって使用され
る保持用レジスタの内容を凍結させる。
【0035】図9に示される如く、最後のテスト信号9
06がTZ信号922で開始するテスト期間の期間中に
DUTへ印加される。TZ信号924によって示される
その後のテスト期間において、維持活性シーケンス92
6がその代わりにDUTへ印加される。理解される如
く、このシステムは、DUTへテスト信号が印加される
ことのない期間は存在しないようにされており、最後の
テスト信号が印加された直後に維持活性テスト信号が印
加される。
【0036】維持活性モード期間中にパターンメモリ2
28は必要ではない。何故ならば、DUTへ供給される
信号のエッジ即ち端部は、パターンメモリを使用するこ
となしに定義することが可能だからである。パターンメ
モリは、テスト期間中に信号エッジの定義を繰返すか、
変化させる等のために使用される。これらの能力は単に
信号励起を維持するためには必要ではない。
【0037】テストが進行中である状態とは反対に、維
持活性動作期間中に、CPUは高速システム200の全
てのメモリへアクセスすることが可能である。従って、
CPUバスを介して、必要に応じて、シーケンス制御メ
モリ214、パターンメモリ228、時間値メモリ21
6及び期間値メモリ218内に新たなテストのための情
報をロードすることが可能である。TBUSY信号は、
通常、テストが開始した場合に、CPUからのメモリロ
ーディングを禁止する。信号MAL又はMAGは、この
機能をオーバーライドし、且つそれらが活性状態である
場合にはCPUからのメモリローディングを行なうこと
を可能とする。ライン258上のTBUSY信号(図9
における信号920)は、維持活性VTSがメモリ21
6及び218へ供給された後に、CPUバス及びCPU
クロックへスイッチオーバーするために使用される(図
9における信号930)。
【0038】ANDゲート240及び242は、ライン
256上のMAL信号が活性状態である場合にのみ、C
PUへの制御をスイッチするために使用することが可能
であることを確保する(MALが維持活性VTSを選択
させる前にTBUSYが選択を行なうことを防止するた
め)。維持活性動作期間中、ライン258上のTBUS
Y信号はマルチプレクサ230の制御入力へ供給され、
CPUバスがシーケンス制御メモリ214及びパターン
メモリ228をアドレスすることを可能とする。更に、
MAL信号が活性状態である場合には、TBUSYがマ
ルチプレクサ232及び234を制御して、CPUが時
間値メモリ216及び期間値メモリ218をアドレスし
データを供給することを可能とし、且つそれはマルチプ
レクサ236及び238を制御してCPUクロックをし
てCPUバス上に存在するデータをストローブ入力させ
る。
【0039】維持活性条件が最早必要でない場合には
(CPUが新たなテストを開始する準備がされている場
合)、CPUはモードレジスタ206内の開始モードを
アサート即ち活性化させることによって新たなテストの
開始に対する命令を送給する(図10における信号10
10)。この開始信号260を受取ると、グローバル高
速制御208がライン252上のMAG信号を脱活性化
させ、維持活性動作の終了を伝達する(図10における
信号1012)。命令デコーダ210が維持活性タイミ
ング信号を、維持活性モードの終了を表わすためにTZ
タイプ信号(図10における信号1014)を変化させ
ることを包含する通常のテストをラン即ち稼動させるた
めに必要な信号で置換するための信号を送給する。TZ
タイプ信号に応答して、ランタイムタイミング回路20
4はライン256上のMAL信号(アクティブ低)を脱
活性化させる(図10における信号1016)。維持活
性動作の後に使用されるパターン及びタイミング情報
は、維持活性動作期間中にメモリ内にロードされる新た
なテスト又は既存のテストのものとすることが可能であ
る。
【0040】TZタイプ信号に対する維持活性コード
は、維持活性モードから抜出るための同期信号として作
用する。システム全体にわたりテストをラン即ち稼動さ
せるために必要な情報の伝播を同期させるために、最初
に、ライン256上のMAL信号を同期又は再開信号、
TZタイプに応答するランタイムタイミング回路204
によって脱活性化される。MAL信号はマルチプレクサ
212の制御入力へ供給され、従ってシーケンス制御メ
モリ214からの新たなVTS情報は期間発生器及びタ
イミング発生器へ伝播することが可能である。マルチプ
レクサ232乃至238の制御入力におけるライン25
6上のMAL信号が脱活性化されるので、次のTZ信号
は、タイミング情報をしてメモリ(信号1018)次い
で保持用レジスタ220及び222(信号1020)、
従ってタイミング発生器224及び期間発生器226へ
到達させる。これらのステップが完了すると、本システ
ムは通常の態様で機能テストを実施する準備がなされ
る。これらのステップが実施されると、グローバル高速
セクション208は信号ライン262上に「RUN」信
号を発生してテストを開始させる(信号1022)。次
のTZ期間において、維持活性テスト信号926が図1
0に示した如く新たなテスト信号1026で置換され
る。注意すべきことであるが、上述したプロセス、即ち
維持活性動作に入ること及びそれから出ることは、一貫
し且つ継ぎ目のない態様で行なわれる。そのプロセスに
おいて、DUTは何等のストールン即ち盗まれたクロッ
クサイクルに遭遇することはない。
【0041】別の実施例においては、レジスタ265内
に維持活性VTSを格納する代わりに、それはシーケン
ス制御メモリ214内のサブルーチンとすることが可能
である。FAIL又はHALT信号がこのサブルーチン
を選択させる。このサブルーチンに対するアドレスを有
する命令は、サブルーチンアドレスを格納するレジスタ
へ接続した入力を有するマルチプレクサを使用すること
によってシーケンス制御メモリ214からのアドレスと
置換させることが可能である。このアドレスは、命令デ
コーダ210へ供給され、該デコーダがシーケンス制御
メモリ214内のサブルーチンを選択する。このこと
は、更に、マルチプレクサ212,232,233に対
する必要性を取除く。適宜の値が保持用レジスタ22
0,222内にロードされると、それらの入力はMAL
信号を使用してディスエーブル即ち動作不能状態とさせ
ることが可能であり、且つ全てのメモリはCPUによっ
てアップデートさせることが可能である。
【0042】ピンスライスアーキテクチュア維持活性構
図6はピンスライスアーキテクチュアを使用したATE
システム300を示している。このシステムはDUTを
テストするために「イベントシーケンス」方法を使用し
ている。「イベント」は一対(S,T)であり、尚
「S」は状態であり且つ「T」はSへの遷移に関係した
時間である。「イベントシーケンス」はこのような対の
時間順番付けリストである。このシステムは本発明を組
込むべく修正されている。注意すべきことであるが、必
要なCPU及びテスタシステムのその他の部分は図6に
は反映されていない。そこに示されているものは、本発
明を実施するためのテスタシステムの必要なモジュール
である。
【0043】図6はグローバルセクション302と、
「N」ピンスライス(PS)セクション304と、DU
T306とを示している。「N」の数はDUTが有する
ピンの数によって決定される。何故ならば、テスト中の
全てのピンに対して、1個のピンスライスセクションが
必要とされるからである。グローバルセクション302
はシステムの残部によって使用されるグローバル信号を
発生する。例えば、グローバルモジュール302は、テ
ストが停止したことを表わす表示を受取ると、あるグロ
ーバル信号を発生する。テストを停止させることとなる
条件は前にリストしたものと同一である。グローバルモ
ジュール302は、更に、個々のPSモジュール304
の維持活性部分によって使用される維持活性信号を発生
する。「グローバル信号」は、信号線308を介してP
Sセクション304へ通信される。ピンスライスセクシ
ョン304は、信号線310−313を介してDUT3
06へ維持活性シーケンスを供給するためにグローバル
信号を使用する。
【0044】図7及び8は維持活性能力を有するグロー
バルモジュール302及びピンスライスモジュール30
4の夫々の実施例を示している。テスタの通常動作期間
中、メインシーケンス制御メモリ610はテストシーケ
ンスを格納する。このメモリは、逐次的に、図示してい
ない回路によってアドレスされ、バス632を介してデ
コード614へ供給されるOPコードを発生する。更
に、このメモリはマルチプレクサ636を介してバス6
34上のベクタタイプ選択(VTS)信号を、イベント
シーケンス開始メモリ606及びバス638の両方へ供
給し、それは図8の個々のピンスライス回路へ供給され
る。
【0045】ライン632上のOPコードは、デコーダ
614をしてライン624上にTZタイプとして通常の
テスト信号を供給させる。バス634上のオペランド
は、メモリ606内のメモリ位置を選択し、それはその
テストに対するグローバル期間を定義する期間メモリ6
08に対する適宜のメモリアドレスを供給する。このこ
とは、保持用レジスタ612へ供給されるライン609
上の出力信号で行なわれる。保持用レジスタ612の値
は、テスト期間カウンタ618及び期間バーニヤ加算器
620の両方へ供給される。テスト期間カウンタ618
は、グローバルテストの開始を表わす時間ゼロ(TZ)
信号をライン626上に供給する。バーニヤ加算器62
0は、ライン642上に期間バーニヤ値を供給し、それ
は基本的にグローバル期間の変化を可能とするためにT
Z信号からのオフセットを与える。図8を参照すると、
ライン638上のグローバルVTS信号がイベントシー
ケンス開始メモリ704へ供給される。このメモリ内に
格納されたアドレスは、マルチプレクサ716を介して
アドレスレジスタ714へ出力され、そこで、それはイ
ベントシーケンス格納メモリ708をアドレスする。+
1加算器751が、アドレスレジスタ714の出力とマ
ルチプレクサ716の入力との間に接続されており、一
連のアドレスを介してシーケンス動作するために使用す
ることが可能である。イベントシーケンス格納メモリ7
08は、全てのピンスライスに対して異なるようにプロ
グラムすることが可能であり、メモリ位置アドレスは各
ピンスライスに対して異なるものを格納する(メモリ7
04及び図7のメモリ606は、両方とも間接アドレス
動作のための付加的な柔軟性を与えるが、別の実施例の
場合には除去することが可能である)。ピンスライス用
の特定のデータがデータ出力レジスタ710へ供給さ
れ、それはフォーマッタ712によって解釈されて特定
の記述された波形をライン730を介してテスト中の装
置へ供給する。
【0046】図7のグローバルモジュールからのライン
626,624,646,642上のTZ、TZタイ
プ、CLK及び期間バーニヤ信号は、図8のランタイム
タイミング回路702へ供給される。テストの通常の動
作期間中に、ランタイムタイミング回路702はランタ
イムシーケンス制御回路706へ信号を供給し、それは
ライン732上のアドレスクロック出力をマルチプレク
サ718を介してアドレスレジスタ714へ供給する。
更に、それは、ライン734上のデータ出力クロックを
ANDゲート720を介してデータ出力レジスタ710
へ供給する。更に、それは、ライン736上のクロック
信号をフォーマッタ回路712へ供給する。
【0047】図7の実施例においては、モードビット
「維持活性」がCPU(ここには図示していない)によ
ってCPU制御及びモードレジスタ602内に書込まれ
る。このモードビットは、図5のモードレジスタ206
に書込まれるMAMEビットと同一である。このモード
ビットは、停止が発生する場合に、図7における回路の
挙動を修正する。このビットがアサート即ち活性化され
ると、それは機能テスト開始/停止モジュール604及
びメイン機能デコーダ614へ印加される。開始/停止
モジュール604が、前に概説した理由のために、ライ
ン605又は607の夫々の上において不合格(FAI
L)又は停止(HALT)信号を検知すると、それはメ
イン機能デコーダ614へのライン630上に維持活性
信号を発生する。不合格(FAIL)信号は、例えば図
8に示した如く、ピンスライスセクションから発生し、
その場合には、DUTへ接続されている比較及び不合格
回路740がライン742上に不合格(FAIL)信号
を発生する。図7はライン605上に不合格(FAI
L)信号を発生するために、ORゲート641において
OR処理される一連のライン742を示している。
【0048】デコーダ614は、ライン632上のMA
MEビットが活性化される場合に、ライン624上のT
Zタイプ信号を維持活性モードを表わすように変化させ
ることによってライン230上の維持活性信号に応答す
る。更に、ライン648上の維持活性選択信号がデコー
ダ614によってマルチプレクサ636へ供給される。
マルチプレクサ636は、その信号に応答して、メイン
シーケンス制御メモリ610からの代わりに維持活性V
TSレジスタ650からVTS値を選択する。これはラ
イン638上の維持活性モード期間中に使用するための
予め格納された所定のVTSである。それは、グローバ
ルセクション(図7における606)及びピンスライス
(図8における704)の両方におけるイベントシーケ
ンス開始メモリをアドレスする。
【0049】メモリ606は期間メモリ608をアドレ
スし、それはバス609を介して保持用レジスタ612
へ維持活性期間値を送給し、そこで、維持活性モードの
期間中に格納され且つテスト期間カウンタ618及び期
間バーニヤ加算器620へ繰返し印加される。その結
果、維持活性TZ及び期間バーニヤ信号はライン626
及び642上へ供給される。
【0050】図8を参照すると、維持活性状態におい
て、VTS信号ライン638がメモリ704内において
維持活性シーケンスのアドレスを格納する位置を選択す
る。このアドレスは、マルチプレクサ716を介してア
ドレスレジスタ714へ供給され、そこで、それはイベ
ントシーケンス格納部708内の維持活性シーケンスを
アドレスする。次いで、この位置におけるこのシーケン
スは、データ出力レジスタ710へ供給され、そこで、
それはDUTへ信号を供給するためにフォーマッタ71
2へ印加させることが可能である。
【0051】ランタイムタイミング回路702が維持活
性モードを表わすTZタイプ信号を受取ると、維持活性
モード期間中のライン626上のTZ信号によって表わ
される如く、その後のある時刻においてライン735上
にローカル維持活性信号を発生する。この信号は、マル
チプレクサ716をしてCPUバスへ接続された入力7
26を選択させ、CPUがイベントシーケンス格納メモ
リ708をアドレスすることを可能とする。この信号
は、維持活性アドレスがマルチプレクサを介して最初に
イベントシーケンス格納部708へパスすることを可能
とするために遅延される。ローカル維持活性信号もAN
Dゲート720をディスエーブル即ち動作不能状態とさ
せて、データ出力レジスタ710の更なるクロック動作
を阻止し、従ってイベントシーケンス格納部708の出
力上の信号は、データ出力レジスタにおける維持活性シ
ーケンスに影響を与えることなしに、変化することが可
能である。従って、CPUは、データバス722上にD
UTへ供給される維持活性シーケンスに影響を与えるこ
となしに、イベントシーケンス格納メモリ708内に書
込むべき新たなデータを供給することが可能である。
【0052】維持活性シーケンスに対する所望のタイミ
ングは、図7の保持用レジスタ612によって定義され
る如く、グローバルモジュール内のTZ及び期間バーニ
ヤ値を使用して供給され、このタイミングはランタイム
シーケンス制御回路706へ供給され、該回路はライン
736上へフォーマッタ712へのクロックを供給する
ことが可能である。
【0053】別の実施例においては、図7のレジスタ6
50における特別の維持活性期間及び図8のメモリ70
8における指定された維持活性シーケンスを使用する代
わりに、本システムは、単に、テストに関するシーケン
ス動作における最後の期間を使用し且つ維持活性期間中
DUTに対してこのことを繰返すことを維持することが
可能である。このことは特別のレジスタ又はメモリ内の
特別の位置をアドレスすることの必要性を取除く。
【0054】維持活性動作が進行中に、ローカル維持活
性信号が、上述した如く、CPUアドレス線及びESS
708をアドレスするためのCPUクロック入力を選択
するために使用される。このことは、所望される場合に
新たなテストシーケンスがCPUデータバス722を使
用した状態で、CPUがアドレスバス726及び再ロー
ドESS708を介してアドレスレジスタ714を介し
ESS708をアドレスすることを可能とする。ユーザ
は、維持活性モードにおいてメモリ内に新たなテストが
ロードされねばならないか否かを決定する。新たなテス
トがメモリ内にロードされない場合には、本システムは
メモリ内の既存の情報を使用してテストを再開する。例
えば、不合格の状態が発生すると、本システムは、メモ
リ内に新たなテストをロードするか又はロードしない場
合がある。
【0055】CPUは、更に、例えばメインシーケンス
制御メモリ610、イベントシーケンス開始メモリ60
6及び期間メモリ608等の図7のグローバルモジュー
ル内の種々のメモリを再ロードすることが可能である。
CPUがそれが所望するメモリをロードするか、又は検
査の結果不合格状態となり且つ維持活性モードの後テス
トを継続して行なうことを決定すると、テスタはテスト
モードに復帰する。
【0056】CPUはテストシステムが維持活性モード
にある場合にはテストが再開されるべきであることを表
わすビットをモードレジスタ602内に書込む。このこ
とは、開始/停止モジュール604へ通信され、それは
維持活性モードからの抜け出すべきであることを表わす
信号をライン630を介してデコーダ614へ供給す
る。次いで、デコーダ614はライン624上のTZタ
イプ信号を変化させ、テスト動作が再開されるべきであ
ることを表わし、且つライン648上に信号を供給して
マルチプレクサ636がメインシーケンス制御メモリ6
10から入力をとるようにスイッチさせる。メモリ60
8からの新たなテスト期間は保持用レジスタ612へ供
給され且つそこから期間バーニヤ加算器620内のテス
ト期間カウンタ618へ供給されて新たなTZ及び期間
バーニヤ値を供給する。この新たなVTS信号は、マル
チプレクサ636を介してメインシーケンス制御メモリ
610から供給される。
【0057】図8を参照すると、テストの再開始時に、
ライン638上の新たなVTS信号が、イベントシーケ
ンス開始メモリ704を介してマルチプレクサ716へ
供給される。ランタイムタイミング回路702へ供給さ
れるTZタイプ信号がライン735上のローカル維持活
性信号を脱活性化させ、マルチプレクサ716をイベン
トシーケンス開始メモリ704からの入力を選択する状
態へスイッチバックさせる。このアドレスは、アドレス
ジレスタ714を介してイベントシーケンス格納メモリ
708へ供給し、且つそこからデータ出力レジスタ71
0へ供給することが可能である。ローカル維持活性信号
が除去されているので、ANDゲート720は最早クロ
ック信号を禁止することはなく、且つ新たなTZ及び期
間バーニヤ値によって供給される如く、クロック信号上
のタイミングはランタイムタイミング回路702を介し
てランタイムシーケンス制御回路706へ供給される。
この場合にも、維持活性動作へ入るプロセス及びそれか
ら出るプロセスは一貫性があり且つ継ぎ目のない態様で
行なわれる。
【0058】本発明の方法及び装置は、PLLを使用す
る装置をテストする場合にも同様に適用することが可能
である。連続的な励起が存在することはPLL周波数が
ドリフトすることを防止し、PLLが入力周波数に関す
るロックを失うことを防止する。
【0059】テストが停止した後にDUTへの励起を維
持する方法及び装置を特定の実施例について説明した。
然しながら、本発明の技術的範囲を逸脱することなし
に、種々の変更を行なうことが可能であることは勿論で
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術のセントリ600に対するマイナー
ループを示した概略図。
【図2】 従来技術の自走クロック回路を示した概略
図。
【図3】 従来技術の包括的自動テスト装置(ATE)
システムを示したブロック図。
【図4】 図3のATEシステムの包括的高速セクショ
ンを示したブロック図。
【図5】 本発明に基づいて修正された図4の高速セク
ションを示したブロック図。
【図6】 本発明を組込んだピンスライスアーキテクチ
ュアを具備するATEシステムを示したブロック図。
【図7】 図6のグローバルセクションを示したブロッ
ク図。
【図8】 図6の1個のピンスライスセクションを示し
たブロック図。
【図9】 図5の回路に対する維持活性モードへの同期
的遷移を示したタイミング線図。
【図10】 図5の回路に対する維持活性モードから抜
出す場合の同期的遷移を示したタイミング線図。
【符号の説明】
10 自動テスト装置(ATE)システム 12 CPU 14 高速セクション 16 テストヘッド 20 DCサブシステム 100 高速セクション 102 モードレジスタ 104 ステータスレジスタ 106 フォーマット/応答ブロック 108 パターンメモリ 110 タイミング発生器 120 シーケンス制御メモリ 122 期間発生器 134,136,138 MAR 200 高速セクション 204 ランタイムタイミング回路 206 モードレジスタ 208 グローバル高速制御 210 命令デコーダ 212,236,238 マルチプレクサ 214 シーケンス制御メモリ 220,222 保持用レジスタ 240−246 ANDゲート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エグバート グリーブ アメリカ合衆国, カリフォルニア 94024, ロス アルトス, アルボール アベニュー 1400

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テスト中の装置(DUT)へ機能的入力
    テスト信号励起を与えるテスタシステムにおいてテスト
    停止後に前記DUTへの励起を維持する方法において、 前記テストの停止を検知し、 前記テストの停止を検知するとメモリ内に格納されてい
    る維持活性信号励起を前記DUTへ供給し、 再開信号を検知すると前記維持活性信号励起をテスト信
    号励起と同期的に置換させる、上記各ステップを有する
    ことを特徴とする方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において、更に、前記テスタシ
    ステムがテスト動作を再開する準備がなされている時を
    検知するステップ及び前記再開信号を発生するステップ
    を有することを特徴とする方法。
  3. 【請求項3】 請求項2において、更に、維持活性動作
    イネーブルが活性化されたか否かを判別し、且つ前記テ
    ストの停止が検知され且つ前記維持活性動作イネーブル
    が活性化された場合にのみ前記維持活性信号励起を供給
    するステップを有することを特徴とする方法。
  4. 【請求項4】 請求項3において、更に、 前記維持活性信号励起が前記DUTへ供給されている間
    にメモリ内に新たなテストベクトルを格納し、 前記再開信号が検知された後に前記新たなテストベクト
    ルによって表わされる新たなテスト信号励起を前記DU
    Tへ供給する、上記各ステップを有することを特徴とす
    る方法。
  5. 【請求項5】 請求項4において、前記格納ステップ
    が、更に、 前記メモリのアドレス入力をCPUアドレスバスへ結合
    させ、 前記メモリのデータ入力をCPUデータバスへ結合さ
    せ、 前記メモリのクロック入力をCPUクロック信号へ結合
    させる、上記各ステップを有することを特徴とする方
    法。
  6. 【請求項6】 請求項5において、前記結合ステップの
    各々がマルチプレクサをスイッチングさせることを特徴
    とする方法。
  7. 【請求項7】 請求項1において、更に、 前記維持活性信号励起の表示を所定のメモリ位置内に格
    納し、 前記テストの停止が検知されると前記所定のメモリ位置
    へアクセスする、上記各ステップを有することを特徴と
    する方法。
  8. 【請求項8】 請求項7において、異なる維持活性信号
    励起が別個に複数個のピンスライスメモリ内に格納され
    ており且つ前記DUTの各ピンへ供給され、且つ前記異
    なる維持活性信号励起を前記DUTへ供給させるために
    グローバル維持活性期間が発生されることを特徴とする
    方法。
  9. 【請求項9】 請求項8において、更に、前記維持活性
    信号励起の表示を前記ピンスライスメモリから複数個の
    ピンスライスレジスタへ転送するステップを有すること
    を特徴とする方法。
  10. 【請求項10】 請求項1において、更に、前記維持活
    性信号励起として前記テストの信号励起を使用するステ
    ップを有することを特徴とする方法。
  11. 【請求項11】 請求項1において、更に、前記DUT
    が前記テストに不合格である場合に前記テストを停止さ
    せるステップを有することを特徴とする方法。
  12. 【請求項12】 請求項1において、更に、前記テスト
    が完了した時に前記テストを停止させるステップを有す
    ることを特徴とする方法。
  13. 【請求項13】 請求項1において、更に、前記システ
    ムによってプログラムされた停止が実行される場合に前
    記テストを停止させるステップを有することを特徴とす
    る方法。
  14. 【請求項14】 請求項1において、前記維持活性信号
    励起が前記DUTの各ピンへ印加されることを特徴とす
    る方法。
  15. 【請求項15】 請求項1において、前記維持活性信号
    励起が前記DUTの1個のピンへ印加されることを特徴
    とする方法。
  16. 【請求項16】 請求項1において、前記メモリがレジ
    スタであることを特徴とする方法。
  17. 【請求項17】 請求項7において、前記所定のメモリ
    位置がレジスタであることを特徴とする方法。
  18. 【請求項18】 請求項1において、前記DUTの全て
    のピンに対して別個の維持活性信号が発生されることを
    特徴とする方法。
  19. 【請求項19】 テスト中の装置(DUT)へ機能的入
    力テスト信号励起をを供給しテスト停止後に前記DUT
    への励起を維持するテスタシステムにおいて、 前記テストの停止を検知する手段、 前記テストの停止を検知するとレジスタ内に格納されて
    いる維持活性信号励起を前記DUTへ供給する手段、 前記維持活性信号励起をテスト信号励起と同期的に置換
    する手段、を有することを特徴とするテスタシステム。
  20. 【請求項20】 請求項19において、更に、前記シス
    テムがテストを再開する準備がされていることを検知し
    且つ前記同期信号を発生する手段が設けられていること
    を特徴とするテスタシステム。
  21. 【請求項21】 請求項20において、更に、前記テス
    トの停止が検知された場合に前記維持活性信号励起を供
    給する前に維持活性動作イネーブルを活性化させるか否
    かを決定する手段が設けられていることを特徴とするテ
    スタシステム。
  22. 【請求項22】 請求項21において、更に、同期信号
    が検知され且つ前記維持活性信号励起が取除かれた後に
    前記テスト信号励起を前記DUTへ供給する手段が設け
    られていることを特徴とするテスタシステム。
  23. 【請求項23】 請求項21において、更に、 前記維持活性信号励起が前記DUTへ供給されている間
    に新たなテスト信号励起を格納する手段、 前記同期信号が検知され且つ前記維持活性信号励起が取
    除かれた後に前記新たなテスト信号励起を前記DUTへ
    供給する手段、が設けられていることを特徴とするテス
    タシステム。
  24. 【請求項24】 請求項19において、前記DUTへ前
    記テスト信号励起を供給するためのクロック動作される
    段からなるパイプラインが設けられており、更に、再開
    テスト信号に応答して前記パイプラインを介して前記テ
    スト信号励起を伝播させる手段と、前記テスト信号励起
    が前記パイプラインを介して伝播した場合に前記同期信
    号を発生する手段とが設けられていることを特徴とする
    テスタシステム。
  25. 【請求項25】 請求項24において、前記パイプライ
    ンが、ベクトル型選択メモリと、前記ベクトル型選択メ
    モリの出力へ結合されているイベントシーケンス格納メ
    モリとを有することを特徴とするテスタシステム。
  26. 【請求項26】 請求項25において、更に、前記ベク
    トル型選択メモリと前記イベントシーケンス格納メモリ
    との間に結合されてアドレスレジスタが設けられてお
    り、且つ前記アドレスレジスタへ結合した出力とテスト
    クロックへ結合した第一入力とCPUクロックへ結合し
    た第二入力とを具備するマルチプレクサが設けられてい
    ることを特徴とするテスタシステム。
JP6090015A 1993-04-27 1994-04-27 テスト停止後テスト中の装置での励起を維持する装置 Pending JPH0773063A (ja)

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US134330 1993-10-12
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