JPH0760111A - 光反応装置 - Google Patents
光反応装置Info
- Publication number
- JPH0760111A JPH0760111A JP21140893A JP21140893A JPH0760111A JP H0760111 A JPH0760111 A JP H0760111A JP 21140893 A JP21140893 A JP 21140893A JP 21140893 A JP21140893 A JP 21140893A JP H0760111 A JPH0760111 A JP H0760111A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substance
- light
- container
- excited
- reaction
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- Pending
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は反応物質に光を照射して反応させ
る場合に、その反応を効率よく行えるようにした光反応
装置を提供することにある。 【構成】 マイクロ波の発振器１と、この発振器で発振
されたマイクロ波が導入される空洞の回転楕円体空洞４
と、この回転楕円体空洞内の一方の焦点位置に配置され
マイクロ波によって励起されることで光を発生する被励
起物質が封入された第１の容器５と、上記回転楕円体空
洞の他方の焦点位置に配置され上記被励起物質から発生
する光が照射されることで反応する反応物質が封入され
た第２の容器６とを具備したことを特徴とする。
る場合に、その反応を効率よく行えるようにした光反応
装置を提供することにある。 【構成】 マイクロ波の発振器１と、この発振器で発振
されたマイクロ波が導入される空洞の回転楕円体空洞４
と、この回転楕円体空洞内の一方の焦点位置に配置され
マイクロ波によって励起されることで光を発生する被励
起物質が封入された第１の容器５と、上記回転楕円体空
洞の他方の焦点位置に配置され上記被励起物質から発生
する光が照射されることで反応する反応物質が封入され
た第２の容器６とを具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光によって反応物質を
反応させる光反応装置に関する。
反応させる光反応装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】反応物質に光を照射することで反応させ
る、光反応装置が知られている。反応物質に光を照射し
て反応を起こさせる場合、その反応は光の波長と密接な
関係を有するから、上記光の波長を容易に変えることが
できることが要求される。
る、光反応装置が知られている。反応物質に光を照射し
て反応を起こさせる場合、その反応は光の波長と密接な
関係を有するから、上記光の波長を容易に変えることが
できることが要求される。
【０００３】従来、このような光反応装置において、光
を発生させる光源としては水銀ランプ、キセノンフラシ
ュランプ、エキシマレ−ザなどが知られている。しかし
ながら、水銀ランプは波長が185nm 、254nm および３６
５nmに限定され、他の波長の光を得ることができないた
め、反応物質によってはその反応を効率よく確実に行わ
せることができないということがあった。
を発生させる光源としては水銀ランプ、キセノンフラシ
ュランプ、エキシマレ−ザなどが知られている。しかし
ながら、水銀ランプは波長が185nm 、254nm および３６
５nmに限定され、他の波長の光を得ることができないた
め、反応物質によってはその反応を効率よく確実に行わ
せることができないということがあった。
【０００４】キセンノフラッシュランプの場合は、発光
の効率は高いものの、波長が連続的であるため、所定の
波長を選択して反応物質を照射し、反応を起こさせると
いうことができないということがあった。エキシマ−レ
−ザは、紫外域に多くの発振波長を有するものの、装置
自体が非常に高価であるばかりか、大型であるから、汎
用性に乏しいということがある。
の効率は高いものの、波長が連続的であるため、所定の
波長を選択して反応物質を照射し、反応を起こさせると
いうことができないということがあった。エキシマ−レ
−ザは、紫外域に多くの発振波長を有するものの、装置
自体が非常に高価であるばかりか、大型であるから、汎
用性に乏しいということがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の光
反応装置は波長の選択性や価格などの点で実用上、問題
を有していた。この発明は上記事情に基づきなされたも
ので、その目的とするところは、波長の選択性がよく、
しかも比較的安価な構成とすることができる光反応装置
を提供することにある。
反応装置は波長の選択性や価格などの点で実用上、問題
を有していた。この発明は上記事情に基づきなされたも
ので、その目的とするところは、波長の選択性がよく、
しかも比較的安価な構成とすることができる光反応装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、マイクロ波の発振器と、この発振器で発
振されたマイクロ波が導入される回転楕円体空洞と、こ
の回転楕円体空洞内の一方の焦点位置に配置されマイク
ロ波によって励起されることで光を発生する被励起物質
が封入された第１の容器と、上記回転楕円体空洞の他方
の焦点位置に配置され上記被励起物質から発生する光が
照射されることで反応する反応物質が封入された第２の
容器とを具備したことを特徴とする。
にこの発明は、マイクロ波の発振器と、この発振器で発
振されたマイクロ波が導入される回転楕円体空洞と、こ
の回転楕円体空洞内の一方の焦点位置に配置されマイク
ロ波によって励起されることで光を発生する被励起物質
が封入された第１の容器と、上記回転楕円体空洞の他方
の焦点位置に配置され上記被励起物質から発生する光が
照射されることで反応する反応物質が封入された第２の
容器とを具備したことを特徴とする。
【０００７】
【作用】上記構成とすることで、第１の容器に封入され
る被励起物質の種類を変えることで、発生する光の波長
を選択することができ、また光を発生する被励起物質が
回転楕円体空洞の一方の焦点位置に配置され、反応物質
が他方の焦点位置に配置されることで、その反応物質を
効率よく照射して反応を起こさせることができる。
る被励起物質の種類を変えることで、発生する光の波長
を選択することができ、また光を発生する被励起物質が
回転楕円体空洞の一方の焦点位置に配置され、反応物質
が他方の焦点位置に配置されることで、その反応物質を
効率よく照射して反応を起こさせることができる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１はこの発明の第１の実施例を示し、同図中
１はマイクロ波の発振器である。この発振器１から発振
されたマイクロ波は導波管２に導入され、その先端に形
成された給電口３から内面４ａが鏡面加工された回転楕
円体空洞４の内部に放射される。この回転楕円体空洞４
は電気導電度の高い材料、たとえばＪＩＳのＡ５０５２
の番号で指定されるアルミニウムで全体が形成されたも
の、あるいは内面４ａだけをアルミニュウムでメッキし
たものなどが用いられる。
明する。図１はこの発明の第１の実施例を示し、同図中
１はマイクロ波の発振器である。この発振器１から発振
されたマイクロ波は導波管２に導入され、その先端に形
成された給電口３から内面４ａが鏡面加工された回転楕
円体空洞４の内部に放射される。この回転楕円体空洞４
は電気導電度の高い材料、たとえばＪＩＳのＡ５０５２
の番号で指定されるアルミニウムで全体が形成されたも
の、あるいは内面４ａだけをアルミニュウムでメッキし
たものなどが用いられる。
【０００９】上記回転楕円体空洞４の一方の焦点位置に
はマイクロ波を透過する材料、たとえば石英などによっ
て形成された第１の容器５が配設され、他方の焦点位置
には第２の容器６が配設されている。上記第１の容器５
にはマイクロ波によって励起されることで、エキシマ状
態となるガス、たとえばＡｒやＫｒの希ガスにＦ、Ｃ
ｌ、Ｂｒなどの弗化物を混合したエキシマガスをＨｅや
Ｎｅで希釈したものあるいは希ガスに酸素を混合したエ
キシマガスをＨｅやＮｅで希釈したものなどが封入され
ている。
はマイクロ波を透過する材料、たとえば石英などによっ
て形成された第１の容器５が配設され、他方の焦点位置
には第２の容器６が配設されている。上記第１の容器５
にはマイクロ波によって励起されることで、エキシマ状
態となるガス、たとえばＡｒやＫｒの希ガスにＦ、Ｃ
ｌ、Ｂｒなどの弗化物を混合したエキシマガスをＨｅや
Ｎｅで希釈したものあるいは希ガスに酸素を混合したエ
キシマガスをＨｅやＮｅで希釈したものなどが封入され
ている。
【００１０】したがって、上記第１の容器５に封入され
たエキシマガスがマイクロ波によって励起されると、そ
の容器５に封入されたエキシマガスの種類に応じた紫外
域の波長のレ−ザ光が発生するようになっている。
たエキシマガスがマイクロ波によって励起されると、そ
の容器５に封入されたエキシマガスの種類に応じた紫外
域の波長のレ−ザ光が発生するようになっている。
【００１１】上記第２の容器６は上記第１の容器５から
出力されたレ−ザ光が透過する材料、たとえば石英など
によって形成されていて、その内部にはレ−ザ光によっ
て照射されることで反応を起こす反応物質、たとえば光
で照射されることで分解するフロンが充填されている。
フロンはレ−ザ光によって照射されることでプラズマ化
して光反応を起こすため、その反応が非常に速く進むこ
とになる。フロンは分解されることで、ＮａＣｌやＮａ
Ｆなどのような無害な塩となり、有害な塩素を発生する
ことがなくなる。
出力されたレ−ザ光が透過する材料、たとえば石英など
によって形成されていて、その内部にはレ−ザ光によっ
て照射されることで反応を起こす反応物質、たとえば光
で照射されることで分解するフロンが充填されている。
フロンはレ−ザ光によって照射されることでプラズマ化
して光反応を起こすため、その反応が非常に速く進むこ
とになる。フロンは分解されることで、ＮａＣｌやＮａ
Ｆなどのような無害な塩となり、有害な塩素を発生する
ことがなくなる。
【００１２】上記構成の光反応装置によれば、第１の容
器５が回転楕円体４の一方の焦点位置に配設され、第２
の容器６が他方の焦点位置に配設されている。そのた
め、第１の容器５に収容されたエキシマガスがマイクロ
波によって励起されることで発生するレ−ザ光は、第２
の容器６に効率よく集光されるから、この第２の容器６
に収容された反応物質を効率よく照射することができ
る。
器５が回転楕円体４の一方の焦点位置に配設され、第２
の容器６が他方の焦点位置に配設されている。そのた
め、第１の容器５に収容されたエキシマガスがマイクロ
波によって励起されることで発生するレ−ザ光は、第２
の容器６に効率よく集光されるから、この第２の容器６
に収容された反応物質を効率よく照射することができ
る。
【００１３】第２の容器６に収容された反応物質がレ−
ザ光によって照射されれば、この反応物質は光反応を起
こす。この光反応は、上記反応物質がプラズマ化されて
起きるから、反応速度を速くすることができる。
ザ光によって照射されれば、この反応物質は光反応を起
こす。この光反応は、上記反応物質がプラズマ化されて
起きるから、反応速度を速くすることができる。
【００１４】また、第１の容器５に充填される被励起物
質の種類を変えることで、その物質がマイクロ波によっ
て励起されることで発生するレ−ザ光の波長を変えるこ
とができる。たとえば、被励起物質がＡｒＣｌであれ
ば、発生するレ−ザ光の波長は175nm であり、ＡｒＦで
あれば193nm である。また、ＫｒＣｌであれば222nm で
あり、ＫｒＦであれば249nm であり、上記被励起物質を
変えることで、紫外域での光を、約１０種類以上のスペ
クトルで、しかも10nm以下のスペクトル幅で発光させる
ことが可能となる。
質の種類を変えることで、その物質がマイクロ波によっ
て励起されることで発生するレ−ザ光の波長を変えるこ
とができる。たとえば、被励起物質がＡｒＣｌであれ
ば、発生するレ−ザ光の波長は175nm であり、ＡｒＦで
あれば193nm である。また、ＫｒＣｌであれば222nm で
あり、ＫｒＦであれば249nm であり、上記被励起物質を
変えることで、紫外域での光を、約１０種類以上のスペ
クトルで、しかも10nm以下のスペクトル幅で発光させる
ことが可能となる。
【００１５】つまり、反応物質の性質などによって第１
の容器５に充填される被励起物質の種類を変えること
で、第２の容器６に充填された反応物質の光反応を効率
よく確実に行わせることが可能となる。
の容器５に充填される被励起物質の種類を変えること
で、第２の容器６に充填された反応物質の光反応を効率
よく確実に行わせることが可能となる。
【００１６】図２はこの発明の第２の実施例を示す。こ
の実施例は、第２の容器６に反応物質の供給装置１１
と、処理装置１２とがそれぞれ配管１３によって接続さ
れているという点で、上記第１の実施例と構成が相違し
ている。
の実施例は、第２の容器６に反応物質の供給装置１１
と、処理装置１２とがそれぞれ配管１３によって接続さ
れているという点で、上記第１の実施例と構成が相違し
ている。
【００１７】このような構成によれば、第２の容器６に
収容される反応物質の交換を容易に行うことができる。
つまり、反応物質を、供給装置１１から順次供給し、そ
れに応じて処理装置１２で回収するようにすれば、反応
物質の光反応を連続的に行うことが可能となる。
収容される反応物質の交換を容易に行うことができる。
つまり、反応物質を、供給装置１１から順次供給し、そ
れに応じて処理装置１２で回収するようにすれば、反応
物質の光反応を連続的に行うことが可能となる。
【００１８】さらには、この発明の変形例として、上記
回転楕円体空洞の代わりに、真円形のものを用い、その
中に第１の容器および第２の容器をそれぞれその真円の
中心からその半径の１／３〜１／６の距離で、その真円
の中心を通る直線上に、その中心を挟んで対向する位置
に配することでも、ほぼ同様の効果が得られる。
回転楕円体空洞の代わりに、真円形のものを用い、その
中に第１の容器および第２の容器をそれぞれその真円の
中心からその半径の１／３〜１／６の距離で、その真円
の中心を通る直線上に、その中心を挟んで対向する位置
に配することでも、ほぼ同様の効果が得られる。
【００１９】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、発振器で
発振されたマイクロ波を空洞の回転楕円体空洞内に導入
するとともに、その回転楕円体空洞の一方の焦点位置に
マイクロ波によって励起されることで光を発生する被励
起物質が封入された第１の容器を配置し、他方の焦点位
置に光が照射されることで反応する反応物質を充填した
第２の容器を配置するようにした。
発振されたマイクロ波を空洞の回転楕円体空洞内に導入
するとともに、その回転楕円体空洞の一方の焦点位置に
マイクロ波によって励起されることで光を発生する被励
起物質が封入された第１の容器を配置し、他方の焦点位
置に光が照射されることで反応する反応物質を充填した
第２の容器を配置するようにした。
【００２０】そのため、一方の焦点位置の被励起物質か
ら発生する光を、他方の焦点位置の反応物質に効率よく
集めることができるから、上記反応物質の光反応を効率
よく行うことができる。
ら発生する光を、他方の焦点位置の反応物質に効率よく
集めることができるから、上記反応物質の光反応を効率
よく行うことができる。
【００２１】また、第１の容器に充填される被励起物質
を変えることで、発生する光の波長を変えることができ
るから、反応物質の種類に応じてその反応物質を励起す
る光の波長を選択すれば、その光反応を効率よく起こさ
せることが可能となる。
を変えることで、発生する光の波長を変えることができ
るから、反応物質の種類に応じてその反応物質を励起す
る光の波長を選択すれば、その光反応を効率よく起こさ
せることが可能となる。
【図１】この発明の第１の実施例を示す全体構成図。
【図２】この発明の第２の実施例を示す全体構成図。
１…マイクロ波の発振器、２…導波管、４…回転楕円体
空洞、５…第１の容器、６…第２の容器。
空洞、５…第１の容器、６…第２の容器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 花井 宏維 東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内
Claims (2)
- 【請求項１】 マイクロ波の発振器と、この発振器で発
振されたマイクロ波が導入される回転楕円体空洞と、こ
の回転楕円体空洞内の一方の焦点位置に配置されマイク
ロ波によって励起されることで光を発生する被励起物質
が封入された第１の容器と、上記回転楕円体空洞の他方
の焦点位置に配置され上記被励起物質から発生する光が
照射されることで反応する反応物質が封入された第２の
容器とを具備したことを特徴とする光反応装置。 - 【請求項２】 上記反応物質は上記被励起物質からの光
で照射されることによって分解される物質であることを
特徴とする請求項１記載の光反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21140893A JPH0760111A (ja) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | 光反応装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21140893A JPH0760111A (ja) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | 光反応装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760111A true JPH0760111A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=16605465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21140893A Pending JPH0760111A (ja) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | 光反応装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760111A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003096769A1 (fr) * | 2002-05-07 | 2003-11-20 | Toshiyuki Takamatsu | Systeme de traitement par reaction haute frequence |
-
1993
- 1993-08-26 JP JP21140893A patent/JPH0760111A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003096769A1 (fr) * | 2002-05-07 | 2003-11-20 | Toshiyuki Takamatsu | Systeme de traitement par reaction haute frequence |
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