JPH0759367A - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents
超音波モータの駆動回路Info
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- JPH0759367A JPH0759367A JP5203437A JP20343793A JPH0759367A JP H0759367 A JPH0759367 A JP H0759367A JP 5203437 A JP5203437 A JP 5203437A JP 20343793 A JP20343793 A JP 20343793A JP H0759367 A JPH0759367 A JP H0759367A
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- JP
- Japan
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- frequency
- ultrasonic motor
- drive
- circuit
- drive circuit
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- Pending
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】振動検出用のモニタ電極を用いることなく、使
用全温度における安定した駆動を可能とする超音波モー
タの駆動回路を提供することを目的とする。 【構成】交流駆動電圧を印加することで振動波を発生
し、被駆動体を駆動する超音波モータ４の駆動回路にお
いて、上記交流駆動電圧の周波数を設定する発振回路１
と、上記超音波モータ４を使用する際に、最低温度にお
ける共振周波数よりも高い周波数を記憶するメモリ７
と、上記交流駆動電圧の周波数を、上記メモリ７に記憶
された周波数情報に基づいて、さらに高い周波数になる
ように上記発振回路１を制御する発振制御回路６とを具
備することを特徴とする。
用全温度における安定した駆動を可能とする超音波モー
タの駆動回路を提供することを目的とする。 【構成】交流駆動電圧を印加することで振動波を発生
し、被駆動体を駆動する超音波モータ４の駆動回路にお
いて、上記交流駆動電圧の周波数を設定する発振回路１
と、上記超音波モータ４を使用する際に、最低温度にお
ける共振周波数よりも高い周波数を記憶するメモリ７
と、上記交流駆動電圧の周波数を、上記メモリ７に記憶
された周波数情報に基づいて、さらに高い周波数になる
ように上記発振回路１を制御する発振制御回路６とを具
備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータの駆動回
路、詳しくは、超音波モータの最適駆動周波数を設定す
る超音波モータの駆動回路に関する。
路、詳しくは、超音波モータの最適駆動周波数を設定す
る超音波モータの駆動回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、超音波モータは種々の要因、特に
温度変位によりその周波数特性が変動することが知られ
ており、動作制御が難しい。特に、超音波モータ自身の
共振周波数よりも高い周波数で駆動しなければ動作が不
安定となり、ときには停止したり大電流が流れる虞があ
る。
温度変位によりその周波数特性が変動することが知られ
ており、動作制御が難しい。特に、超音波モータ自身の
共振周波数よりも高い周波数で駆動しなければ動作が不
安定となり、ときには停止したり大電流が流れる虞があ
る。
【０００３】これらの問題点を解決する技術手段とし
て、特開昭６１−２５１４９０号公報には、超音波モー
タの振動検出用モニタ電極の出力位相に基づいて、該超
音波モータの最適駆動周波数を得る技術手段が開示され
ている。
て、特開昭６１−２５１４９０号公報には、超音波モー
タの振動検出用モニタ電極の出力位相に基づいて、該超
音波モータの最適駆動周波数を得る技術手段が開示され
ている。
【０００４】一方、特開昭６３−２０９４８２号公報に
は、上述したようなモニタ電極の出力を用いて共振点よ
りもさらなる低周波側への移行を禁止し、それよりも高
い周波数領域で速度制御を行う技術手段が開示されてい
る。
は、上述したようなモニタ電極の出力を用いて共振点よ
りもさらなる低周波側への移行を禁止し、それよりも高
い周波数領域で速度制御を行う技術手段が開示されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭６１−２５１４９０号公報に開示された技術手段で
は、超音波モータを任意の速度に設定することが困難で
ある。また、上記特開昭６３−２０９４８２号公報に開
示された技術手段では、モニタ電極の設置およびその処
理回路が必要であり、装置の大型化やコスト増大の要因
になっている。
開昭６１−２５１４９０号公報に開示された技術手段で
は、超音波モータを任意の速度に設定することが困難で
ある。また、上記特開昭６３−２０９４８２号公報に開
示された技術手段では、モニタ電極の設置およびその処
理回路が必要であり、装置の大型化やコスト増大の要因
になっている。
【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、振動検出用のモニタ電極を用いることなく、
使用全温度における安定した駆動を可能とする超音波モ
ータの駆動回路を提供することを目的とする。
のであり、振動検出用のモニタ電極を用いることなく、
使用全温度における安定した駆動を可能とする超音波モ
ータの駆動回路を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による超音波モータの駆動回路は、交流駆動
電圧を印加することで振動波を発生し、被駆動体を駆動
する超音波モータの駆動回路において、上記交流駆動電
圧の周波数を設定する発振手段と、上記超音波モータを
使用する際に、最低温度における共振周波数よりも高い
周波数を記憶する記憶手段と、上記交流駆動電圧の周波
数を、上記記憶手段に記憶された周波数情報に基づい
て、さらに高い周波数になるように上記発振手段を制御
する周波数制御手段とを具備することを特徴とする。
めに本発明による超音波モータの駆動回路は、交流駆動
電圧を印加することで振動波を発生し、被駆動体を駆動
する超音波モータの駆動回路において、上記交流駆動電
圧の周波数を設定する発振手段と、上記超音波モータを
使用する際に、最低温度における共振周波数よりも高い
周波数を記憶する記憶手段と、上記交流駆動電圧の周波
数を、上記記憶手段に記憶された周波数情報に基づい
て、さらに高い周波数になるように上記発振手段を制御
する周波数制御手段とを具備することを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明による超音波モータの駆動回路は、発振
手段で交流駆動電圧の周波数を設定し、記憶手段で、上
記超音波モータを使用する際に、最低温度における共振
周波数よりも高い周波数を記憶する。そして、周波数制
御手段で、上記交流駆動電圧の周波数を、上記記憶手段
に記憶された周波数情報に基づいて、さらに高い周波数
になるように上記発振手段を制御する。
手段で交流駆動電圧の周波数を設定し、記憶手段で、上
記超音波モータを使用する際に、最低温度における共振
周波数よりも高い周波数を記憶する。そして、周波数制
御手段で、上記交流駆動電圧の周波数を、上記記憶手段
に記憶された周波数情報に基づいて、さらに高い周波数
になるように上記発振手段を制御する。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１０】図１は、本発明の第１実施例の超音波モー
タの駆動回路を示す概念図である。
タの駆動回路を示す概念図である。
【００１１】図に示すように、本第１実施例は、原振ク
ロックをカウンタで分周して駆動周波数の約４倍の周波
数のパルス信号φ0 を出力する発振回路１と、該パルス
信号φ0 をパルス信号φ1 〜φ4 に分周するパルス変換
回路２と、該パルス信号φ1〜φ4 の４相パルスでトラ
ンスを駆動し、２相の交流電圧φA ，φB を発生する電
力増幅回路３と、進行波型の超音波モータ４と、この超
音波モータ４の回転を検出するエンコーダ５と、このエ
ンコーダ５の出力から回転速度を検出し、メモリ７の情
報をもとに上記発振回路１の発振周波数を制御する発振
制御回路６とで主要部が構成されている。
ロックをカウンタで分周して駆動周波数の約４倍の周波
数のパルス信号φ0 を出力する発振回路１と、該パルス
信号φ0 をパルス信号φ1 〜φ4 に分周するパルス変換
回路２と、該パルス信号φ1〜φ4 の４相パルスでトラ
ンスを駆動し、２相の交流電圧φA ，φB を発生する電
力増幅回路３と、進行波型の超音波モータ４と、この超
音波モータ４の回転を検出するエンコーダ５と、このエ
ンコーダ５の出力から回転速度を検出し、メモリ７の情
報をもとに上記発振回路１の発振周波数を制御する発振
制御回路６とで主要部が構成されている。
【００１２】図２は、本第１実施例において、上述した
各パルス信号φ0 ，φ1 〜φ4 、および交流電圧φA ，
φB の波形を示す線図である。
各パルス信号φ0 ，φ1 〜φ4 、および交流電圧φA ，
φB の波形を示す線図である。
【００１３】図３は、上記電力増幅回路３のさらに詳細
な構成を示す電気回路図である。
な構成を示す電気回路図である。
【００１４】この図に示すように、該電力増幅回路３
は、２つの同様なトランスＴ1 ，Ｔ2で構成されてお
り、これらのトランスの１次側には共に中間タップが設
けられている。この中間タップには共にパワー電源ＶE
に接続されている。該パワー電源は、たとえばリチウム
電池で構成されており、本実施例では、その供給電圧は
６Ｖとなっている。
は、２つの同様なトランスＴ1 ，Ｔ2で構成されてお
り、これらのトランスの１次側には共に中間タップが設
けられている。この中間タップには共にパワー電源ＶE
に接続されている。該パワー電源は、たとえばリチウム
電池で構成されており、本実施例では、その供給電圧は
６Ｖとなっている。
【００１５】また、上記トランスＴ1 ，Ｔ2 の１次側と
２次側の巻線比（ｔ1 −ｔ2 間対ｔ4 −ｔ5 間およびｔ
2 −ｔ3 間対ｔ4 −ｔ5 間）は、１：１７程度になって
いる。また、２次側のインダクタンスＬ2 は、超音波モ
ータの電極とＧＮＤ間の容量とほぼ駆動周波数で共振条
件になるように構成されている。
２次側の巻線比（ｔ1 −ｔ2 間対ｔ4 −ｔ5 間およびｔ
2 −ｔ3 間対ｔ4 −ｔ5 間）は、１：１７程度になって
いる。また、２次側のインダクタンスＬ2 は、超音波モ
ータの電極とＧＮＤ間の容量とほぼ駆動周波数で共振条
件になるように構成されている。
【００１６】図４は、本実施例における超音波モータの
温度特性を示した線図であり、横軸は駆動周波数
（ｆ），縦軸は、回転数（Ｎ），消費電流（Ｉ）をそれ
ぞれ示している。
温度特性を示した線図であり、横軸は駆動周波数
（ｆ），縦軸は、回転数（Ｎ），消費電流（Ｉ）をそれ
ぞれ示している。
【００１７】一般に、超音波モータは温度が高いほど共
振周波数が低く、最高回転数は大きくなり、また、該最
高回転時の消費電流も大きくなる。このため、何らかの
パラメータ値をモニタして温度による特性のドリフトに
対応する必要がある。また、共振点（最高回転を示す周
波数）よりも低周波側では、電力効率が急激に低下する
と共に回転が不安定になるため、該共振点より高い周波
数領域でモータを駆動することが望ましい。本実施例
は、係る事情を考慮してなされたものである。なお、本
実施例では、特に、民生品で一般的に必要とされる−２
０℃〜＋６０℃の間における駆動制御を想定している。
振周波数が低く、最高回転数は大きくなり、また、該最
高回転時の消費電流も大きくなる。このため、何らかの
パラメータ値をモニタして温度による特性のドリフトに
対応する必要がある。また、共振点（最高回転を示す周
波数）よりも低周波側では、電力効率が急激に低下する
と共に回転が不安定になるため、該共振点より高い周波
数領域でモータを駆動することが望ましい。本実施例
は、係る事情を考慮してなされたものである。なお、本
実施例では、特に、民生品で一般的に必要とされる−２
０℃〜＋６０℃の間における駆動制御を想定している。
【００１８】本実施例では、−２０℃において安定的に
最高に近い回転数の得られる周波数（ｆL で示される）
を全温度範囲における駆動周波数の下限値に設定してい
る。これは、該下限周波数ｆL では、高温での回転数は
やや落ちるものの、ほぼ等しい回転数が得られるためで
ある。該下限周波数ｆL よりも高い周波数で駆動すれ
ば、全温度範囲において不安定な共振点ｆrH，ｆrM，ｆ
rL等より低周波の領域に入り込むことはない。加えて、
高温において最高回転数を得る周波数がほぼ反共振点と
なるため、電池駆動時に問題となる消費電流を低く抑え
ることができる。また、トランスの昇圧比を１：１７と
やや高めに設定しているため、負荷変化等によってイン
ピーダンスが変化しても十分な電圧が電極に印加され、
Ｌ12，Ｌ11に示されるように中，高温時に共振周波数を
外れていても、回転が安定している。
最高に近い回転数の得られる周波数（ｆL で示される）
を全温度範囲における駆動周波数の下限値に設定してい
る。これは、該下限周波数ｆL では、高温での回転数は
やや落ちるものの、ほぼ等しい回転数が得られるためで
ある。該下限周波数ｆL よりも高い周波数で駆動すれ
ば、全温度範囲において不安定な共振点ｆrH，ｆrM，ｆ
rL等より低周波の領域に入り込むことはない。加えて、
高温において最高回転数を得る周波数がほぼ反共振点と
なるため、電池駆動時に問題となる消費電流を低く抑え
ることができる。また、トランスの昇圧比を１：１７と
やや高めに設定しているため、負荷変化等によってイン
ピーダンスが変化しても十分な電圧が電極に印加され、
Ｌ12，Ｌ11に示されるように中，高温時に共振周波数を
外れていても、回転が安定している。
【００１９】次に、実際に上記下限周波数ｆL を設定
し、メモリに書き込む方法について説明する。
し、メモリに書き込む方法について説明する。
【００２０】一般に超音波モータは構造にもよるが、そ
の振動体や電歪素子等の材料特性、形状その他のばらつ
きにより周波数特性は異なってくる。言い換えれば共振
点ｆrH，ｆrM，ｆrL等が全体的に周波数軸方向にばらつ
く。したがって、組み立て後に、計測により上記下限周
波数ｆL を決めなければならない。加えて、−２０℃で
駆動周波数−回転数特性（ｆ−Ｎ特性）を計測するのは
極めて困難である。したがって、常温において該駆動周
波数−回転数特性（ｆ−Ｎ特性）を計測する。
の振動体や電歪素子等の材料特性、形状その他のばらつ
きにより周波数特性は異なってくる。言い換えれば共振
点ｆrH，ｆrM，ｆrL等が全体的に周波数軸方向にばらつ
く。したがって、組み立て後に、計測により上記下限周
波数ｆL を決めなければならない。加えて、−２０℃で
駆動周波数−回転数特性（ｆ−Ｎ特性）を計測するのは
極めて困難である。したがって、常温において該駆動周
波数−回転数特性（ｆ−Ｎ特性）を計測する。
【００２１】図５は、上記下限周波数ｆL をメモリに書
き込む動作を示したフローチャートである。
き込む動作を示したフローチャートである。
【００２２】書き込み動作がスタートすると（ステップ
Ｓ１０１）、まず、共振点ｆrMよりも十分に高い周波数
のφA ，φB をモータに印加する（ステップＳ１０
２）。次に回転数をエンコーダのパルス間隔から測定し
（ステップＳ１０３）、図４に示す下限周波数ｆL にお
いて発生するはずの回転数Ｎ12と比べ（ステップＳ１０
４）、低ければ駆動周波数ｆを少し下げる（ステップＳ
１０５）。このようにして徐々に駆動周波数ｆを下げ回
転数を上げていき、該回転数がＮ12になった時点で該周
波数をメモリに書き込み（ステップＳ１０６）、書き込
み動作を終了する（ステップＳ１０７）。
Ｓ１０１）、まず、共振点ｆrMよりも十分に高い周波数
のφA ，φB をモータに印加する（ステップＳ１０
２）。次に回転数をエンコーダのパルス間隔から測定し
（ステップＳ１０３）、図４に示す下限周波数ｆL にお
いて発生するはずの回転数Ｎ12と比べ（ステップＳ１０
４）、低ければ駆動周波数ｆを少し下げる（ステップＳ
１０５）。このようにして徐々に駆動周波数ｆを下げ回
転数を上げていき、該回転数がＮ12になった時点で該周
波数をメモリに書き込み（ステップＳ１０６）、書き込
み動作を終了する（ステップＳ１０７）。
【００２３】次に、実際の駆動制御について説明する。
【００２４】図６は、該駆動制御を示すフローチャート
である。
である。
【００２５】駆動制御が開始すると（ステップＳ２０
１）、まず、下限周波数ｆL よりも高い周波数（ＺｆL
）で超音波モータを起動させる（ステップＳ２０
２）。次に、その回転速度を検出し（ステップＳ２０
３）、予め設定されている目標速度と比較する（ステッ
プＳ２０４）。該ステップＳ２０４で目標速度より小で
あれば、現在の駆動周波数ｆが下限周波数ｆL よりも低
くないかを調べ（ステップＳ２０５）、ｆ≦ｆL であれ
ば、駆動周波数ｆを一定量アップさせる（ステップＳ２
０６）。またｆ＞ｆL であれば、回転数を上げるために
駆動周波数ｆを一定量ダウンさせる（ステップＳ２０
７）。一方ステップＳ２０４において回転数が目標値よ
り大であれば、駆動周波数ｆを一定量アップさせる。
１）、まず、下限周波数ｆL よりも高い周波数（ＺｆL
）で超音波モータを起動させる（ステップＳ２０
２）。次に、その回転速度を検出し（ステップＳ２０
３）、予め設定されている目標速度と比較する（ステッ
プＳ２０４）。該ステップＳ２０４で目標速度より小で
あれば、現在の駆動周波数ｆが下限周波数ｆL よりも低
くないかを調べ（ステップＳ２０５）、ｆ≦ｆL であれ
ば、駆動周波数ｆを一定量アップさせる（ステップＳ２
０６）。またｆ＞ｆL であれば、回転数を上げるために
駆動周波数ｆを一定量ダウンさせる（ステップＳ２０
７）。一方ステップＳ２０４において回転数が目標値よ
り大であれば、駆動周波数ｆを一定量アップさせる。
【００２６】このように、本第１実施例によれば、モニ
タ電極を用いることなく全温度範囲で安定した駆動を得
ることが可能である。また、常温においてｆL （下限周
波数）を設定できるため、作業環境の制約を受けにくい
という利点がある。さらに、高温になっても消費電流を
抑えることができ、たとえば電池駆動を行う場合に効果
を発揮する。
タ電極を用いることなく全温度範囲で安定した駆動を得
ることが可能である。また、常温においてｆL （下限周
波数）を設定できるため、作業環境の制約を受けにくい
という利点がある。さらに、高温になっても消費電流を
抑えることができ、たとえば電池駆動を行う場合に効果
を発揮する。
【００２７】次に、本発明の第２実施例の超音波モータ
の駆動回路について説明する。
の駆動回路について説明する。
【００２８】本第２実施例は、その構成は上記第１実施
例と同一であり上記下限周波数ｆLの求め方のみが異な
っている。したがって、ここでは、該動作のみを説明す
る。
例と同一であり上記下限周波数ｆLの求め方のみが異な
っている。したがって、ここでは、該動作のみを説明す
る。
【００２９】図７は、本第２実施例における下限周波数
ｆL を求める動作を示したフローチャートである。
ｆL を求める動作を示したフローチャートである。
【００３０】該動作が開始すると（ステップＳ３０
１）、まず、組み立て後、常温で共振点ｆrMより十分大
きな周波数を設定し、この周波数の交流電圧を印加して
起動させる（ステップＳ３０２）。次に、回転数を検出
し（ステップＳ３０３）、そのまま１回目のみ、駆動周
波数ｆを一定量ダウンさせる（ステップＳ３０５）。次
に、再度回転数を検出し（ステップＳ３０３）、回転数
が前回の計測より大となったかを判断し（ステップＳ３
０４）、前回より大であればさらに駆動周波数ｆをダウ
ンさせる（ステップＳ３０５）。また、前回より小であ
れば、下限周波数ｆL をその時の周波数に一定値Δｆ0
を加算して設定し（ステップＳ３０６）、メモリに書き
込む（ステップＳ３０７）。
１）、まず、組み立て後、常温で共振点ｆrMより十分大
きな周波数を設定し、この周波数の交流電圧を印加して
起動させる（ステップＳ３０２）。次に、回転数を検出
し（ステップＳ３０３）、そのまま１回目のみ、駆動周
波数ｆを一定量ダウンさせる（ステップＳ３０５）。次
に、再度回転数を検出し（ステップＳ３０３）、回転数
が前回の計測より大となったかを判断し（ステップＳ３
０４）、前回より大であればさらに駆動周波数ｆをダウ
ンさせる（ステップＳ３０５）。また、前回より小であ
れば、下限周波数ｆL をその時の周波数に一定値Δｆ0
を加算して設定し（ステップＳ３０６）、メモリに書き
込む（ステップＳ３０７）。
【００３１】このように、本第２実施例によれば共振点
を正確に検出できるため、負荷が生産時にばらつくよう
なシステムに用いても、確実な下限周波数ｆL を検出す
ることが可能である。
を正確に検出できるため、負荷が生産時にばらつくよう
なシステムに用いても、確実な下限周波数ｆL を検出す
ることが可能である。
【００３２】なお、上述した各実施例において、発振回
路、電力増幅回路は他の方式でもよい。また、超音波モ
ータは進行波型以外であっても応用可能である。一方、
下限周波数ｆL も、回転数に限らず消費電流等、他の方
法で検出することも可能である。さらに、本実施例で
は、使用温度範囲を−２０℃〜＋６０℃としたが、本実
施例はこれに限定されることなく広い温度範囲で適用で
きることはいうまでもない。
路、電力増幅回路は他の方式でもよい。また、超音波モ
ータは進行波型以外であっても応用可能である。一方、
下限周波数ｆL も、回転数に限らず消費電流等、他の方
法で検出することも可能である。さらに、本実施例で
は、使用温度範囲を−２０℃〜＋６０℃としたが、本実
施例はこれに限定されることなく広い温度範囲で適用で
きることはいうまでもない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、振
動検出用のモニタ電極を用いることなく、使用全温度に
おける安定した駆動を可能とする超音波モータの駆動回
路を提供できる。
動検出用のモニタ電極を用いることなく、使用全温度に
おける安定した駆動を可能とする超音波モータの駆動回
路を提供できる。
【図１】本発明の第１実施例の超音波モータの駆動回路
を示す概念図である。
を示す概念図である。
【図２】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路にお
ける、各パルス信号φ0 ，φ1〜φ4 、および交流電圧
φA ，φB の波形を示す線図である。
ける、各パルス信号φ0 ，φ1〜φ4 、および交流電圧
φA ，φB の波形を示す線図である。
【図３】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路にお
ける電力増幅回路のさらに詳細な構成を示す電気回路図
である。
ける電力増幅回路のさらに詳細な構成を示す電気回路図
である。
【図４】上記第１実施例における超音波モータの温度特
性を示した線図である。
性を示した線図である。
【図５】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路にお
ける下限周波数ｆL をメモリに書き込む動作を示したフ
ローチャートである。
ける下限周波数ｆL をメモリに書き込む動作を示したフ
ローチャートである。
【図６】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路にお
ける駆動制御を示すフローチャートである。
ける駆動制御を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第２実施例の超音波モータの駆動回路
の下限周波数ｆL を求める動作を示したフローチャート
である。
の下限周波数ｆL を求める動作を示したフローチャート
である。
１…発振回路 ２…パルス変換回路 ３…電力増幅回路 ４…超音波モータ ５…エンコーダ ６…発振制御回路 ７…メモリ
Claims (1)
- 【請求項１】交流駆動電圧を印加することで振動波を発
生し、被駆動体を駆動する超音波モータの駆動回路にお
いて、 上記交流駆動電圧の周波数を設定する発振手段と、 上記超音波モータを使用する際に、最低温度における共
振周波数よりも高い周波数を記憶する記憶手段と、 上記交流駆動電圧の周波数を、上記記憶手段に記憶され
た周波数情報に基づいて、さらに高い周波数になるよう
に上記発振手段を制御する周波数制御手段と、 を具備することを特徴とする超音波モータの駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5203437A JPH0759367A (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | 超音波モータの駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5203437A JPH0759367A (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | 超音波モータの駆動回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0759367A true JPH0759367A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16474088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5203437A Pending JPH0759367A (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | 超音波モータの駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0759367A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012231625A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Canon Inc | 振動波モータの駆動制御装置 |
| JP2014007946A (ja) * | 2012-05-30 | 2014-01-16 | Canon Inc | 超音波モータおよび、超音波モータの駆動方法 |
-
1993
- 1993-08-17 JP JP5203437A patent/JPH0759367A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012231625A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Canon Inc | 振動波モータの駆動制御装置 |
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| US9148076B2 (en) | 2012-05-30 | 2015-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for driving ultrasonic motor, ultrasonic motor, and robot arm |
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