JPH0755988A - 燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置 - Google Patents
燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置Info
- Publication number
- JPH0755988A JPH0755988A JP5205329A JP20532993A JPH0755988A JP H0755988 A JPH0755988 A JP H0755988A JP 5205329 A JP5205329 A JP 5205329A JP 20532993 A JP20532993 A JP 20532993A JP H0755988 A JPH0755988 A JP H0755988A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spacer
- microscope
- image
- axis direction
- image pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 title claims abstract description 46
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 10
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 title claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 240000007320 Pinus strobus Species 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012567 pattern recognition method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査物体を置き換えたり反転させたりする
ことなく、上下両面の寸法計測を正確に行なうことがで
きるようにすること。 【構成】 中央開口部に燃料棒支持スペーサ１９を支持
固定する被検査物体載置台３７を、Ｘ軸方向及びＹ軸方
向に移動可能にＸ−Ｙテーブル３４に支持する。被検査
物体載置台３７の上方及び下方にはそれぞれＺ軸方向に
移動可能な顕微鏡付撮像管を配設し、被検査物体載置台
に対して各顕微鏡付撮像管と反対側にこれと同一軸線上
に照明光源４２ａ，４２ｂを設け、スペーサの透過光よ
り得られた影の映像を画像処理装置によって画像処理
し、これとＸ−Ｙテーブルの移動距離等との合成により
各測定個所の寸法計測を行なう。
ことなく、上下両面の寸法計測を正確に行なうことがで
きるようにすること。 【構成】 中央開口部に燃料棒支持スペーサ１９を支持
固定する被検査物体載置台３７を、Ｘ軸方向及びＹ軸方
向に移動可能にＸ−Ｙテーブル３４に支持する。被検査
物体載置台３７の上方及び下方にはそれぞれＺ軸方向に
移動可能な顕微鏡付撮像管を配設し、被検査物体載置台
に対して各顕微鏡付撮像管と反対側にこれと同一軸線上
に照明光源４２ａ，４２ｂを設け、スペーサの透過光よ
り得られた影の映像を画像処理装置によって画像処理
し、これとＸ−Ｙテーブルの移動距離等との合成により
各測定個所の寸法計測を行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、燃料棒支持スペーサの
各部寸法を画像解析により自動的に検査する検査装置に
関する。
各部寸法を画像解析により自動的に検査する検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、原子炉の燃料集合体において
は、束状にされた多数本の燃料棒をその燃料棒の軸線方
向に所定間隔に配設されたスペーサで支持し、各燃料棒
間の間隔が所定値になるようにしている。
は、束状にされた多数本の燃料棒をその燃料棒の軸線方
向に所定間隔に配設されたスペーサで支持し、各燃料棒
間の間隔が所定値になるようにしている。
【０００３】図２及び図３は、上記スペーサの平面図及
び一部断面側面図であって、それぞれ燃料棒を挿通する
多数の円筒状のセル１を格子状に配列し互いに溶接によ
って接続するとともに、その外周をバンド２によって取
囲み一体としている。上記円筒状のセル１には、そのセ
ル１内に挿入された燃料棒を一側に押圧するスプリング
３が挿着されるとともに、そのスプリング３に対して径
方向に対向する部分には周方向に２個のディンプル４が
設けられ、上記スプリング３によって押圧された燃料棒
を支承し、燃料棒を所定位置に支持するようにしてあ
る。
び一部断面側面図であって、それぞれ燃料棒を挿通する
多数の円筒状のセル１を格子状に配列し互いに溶接によ
って接続するとともに、その外周をバンド２によって取
囲み一体としている。上記円筒状のセル１には、そのセ
ル１内に挿入された燃料棒を一側に押圧するスプリング
３が挿着されるとともに、そのスプリング３に対して径
方向に対向する部分には周方向に２個のディンプル４が
設けられ、上記スプリング３によって押圧された燃料棒
を支承し、燃料棒を所定位置に支持するようにしてあ
る。
【０００４】また、上記スペーサの中央にはウォータロ
ッド用の中央開口５が設けられている。すなわち、スペ
ーサの中央部には複数のセルを取り除いた状態でその外
周部に配列された複数のセルの外側壁部によって上記中
央開口５が形成されている。
ッド用の中央開口５が設けられている。すなわち、スペ
ーサの中央部には複数のセルを取り除いた状態でその外
周部に配列された複数のセルの外側壁部によって上記中
央開口５が形成されている。
【０００５】ところで、このようなスペーサは、前述の
ように多数本の燃料棒の間隔を保持するとともに、各燃
料棒の平行度等をも確保するものであるため、スペーサ
の各部の寸法は高規準を満すものでなければならない。
ように多数本の燃料棒の間隔を保持するとともに、各燃
料棒の平行度等をも確保するものであるため、スペーサ
の各部の寸法は高規準を満すものでなければならない。
【０００６】そこで、従来スペーサの各部の寸法特にス
ペーサの対辺距離Ｌ及び中央開口５の直径に対応する寸
法Ｄを測定するためには、図４に示すような装置が使用
されている。
ペーサの対辺距離Ｌ及び中央開口５の直径に対応する寸
法Ｄを測定するためには、図４に示すような装置が使用
されている。
【０００７】すなわち、図４において符号１０は架台で
あって、その架台１０上にはガイドロッド１１に沿って
Ｘ方向（左右方向）に移動可能なＸ方向移動テーブル１
２が設けられており、そのＸ方向移動テーブル１２に
は、上記ガイドロッド１１と平行に配設され、ステッピ
ングモータ１３によって回動されるボールネジ１４が螺
合され、そのステッピングモータ１３によるボールネジ
１４の回転によってＸ方向移動テーブル１２がＸ方向に
移動するようにしてある。
あって、その架台１０上にはガイドロッド１１に沿って
Ｘ方向（左右方向）に移動可能なＸ方向移動テーブル１
２が設けられており、そのＸ方向移動テーブル１２に
は、上記ガイドロッド１１と平行に配設され、ステッピ
ングモータ１３によって回動されるボールネジ１４が螺
合され、そのステッピングモータ１３によるボールネジ
１４の回転によってＸ方向移動テーブル１２がＸ方向に
移動するようにしてある。
【０００８】上記Ｘ方向移動テーブル１２上には、Ｙ方
向（前後方向）に延びるガイドロッド１５及びステッピ
ングモータ１６により回転されるボールネジ１７によっ
てＹ方向に移動可能なＹ方向移動テーブル１８が設けら
れており、そのＹ方向移動テーブル１８に被検査体であ
るスペーサ１９を装着するようにしてある。
向（前後方向）に延びるガイドロッド１５及びステッピ
ングモータ１６により回転されるボールネジ１７によっ
てＹ方向に移動可能なＹ方向移動テーブル１８が設けら
れており、そのＹ方向移動テーブル１８に被検査体であ
るスペーサ１９を装着するようにしてある。
【０００９】一方、上記Ｙ方向移動テーブル１８の上方
には、支柱２０及びアーム２１によって支持された周囲
に照明光源２２が取り付けられた顕微鏡２３が配設され
ている。そして、その顕微鏡２３が画像処理装置２４及
びモニタテレビ２５に接続されている。
には、支柱２０及びアーム２１によって支持された周囲
に照明光源２２が取り付けられた顕微鏡２３が配設され
ている。そして、その顕微鏡２３が画像処理装置２４及
びモニタテレビ２５に接続されている。
【００１０】しかして、上記被検査体であるスペーサ１
９の検査に際しては、Ｙ方向移動テーブル１８上に上記
スペーサ１９を取り付け、Ｘ方向移動テーブル１２及び
Ｙ方向移動テーブル１９を適宜移動させることによって
スペーサ１９の被検査部処を顕微鏡２３の直下位置に移
動させ、照明光源２２の照明手段によって顕微鏡２３に
より反射画像を求め、その反射画像を解析することによ
り寸法計測等を行なう。
９の検査に際しては、Ｙ方向移動テーブル１８上に上記
スペーサ１９を取り付け、Ｘ方向移動テーブル１２及び
Ｙ方向移動テーブル１９を適宜移動させることによって
スペーサ１９の被検査部処を顕微鏡２３の直下位置に移
動させ、照明光源２２の照明手段によって顕微鏡２３に
より反射画像を求め、その反射画像を解析することによ
り寸法計測等を行なう。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の如き
検査装置による寸法計測においては、検査対象個所の形
状によっては乱反射等により映像情報が安定せず、直接
計測誤差に反映する等の問題がある。またスペーサの反
対側の面を計測するためには、上記スペーサ１９を把持
して反転させる反転機構２６を設ける必要がある。しか
も上記反転によってスペーサの上面及び下面の測定原点
すなわち基準が異なり、さらに上面及び下面の画像解析
データが上面及び下面でそれぞれ独立となる為、検査対
象個所の面の傾き或は中央開口５の傾き又は軸心のずれ
が計測できない等の問題がある。
検査装置による寸法計測においては、検査対象個所の形
状によっては乱反射等により映像情報が安定せず、直接
計測誤差に反映する等の問題がある。またスペーサの反
対側の面を計測するためには、上記スペーサ１９を把持
して反転させる反転機構２６を設ける必要がある。しか
も上記反転によってスペーサの上面及び下面の測定原点
すなわち基準が異なり、さらに上面及び下面の画像解析
データが上面及び下面でそれぞれ独立となる為、検査対
象個所の面の傾き或は中央開口５の傾き又は軸心のずれ
が計測できない等の問題がある。
【００１２】本発明はこのような点に鑑み、スペーサの
寸法計測を正確に実行することができ、測定結果の膨大
なデータを資源として、スペーサの状態変化をオン・ラ
インで把握し、スペーサの構成部材である円筒部材の成
型状態や組立工程での円筒部材の固定状態を統計的に処
理して、成型工程で使用する金型や組立工程で使用する
拘束治具の状態を定量化し、数値情報としてフィードバ
ックし得るようにした燃料棒支持スペーサの画像解析寸
法検査装置を得ることを目的とする。
寸法計測を正確に実行することができ、測定結果の膨大
なデータを資源として、スペーサの状態変化をオン・ラ
インで把握し、スペーサの構成部材である円筒部材の成
型状態や組立工程での円筒部材の固定状態を統計的に処
理して、成型工程で使用する金型や組立工程で使用する
拘束治具の状態を定量化し、数値情報としてフィードバ
ックし得るようにした燃料棒支持スペーサの画像解析寸
法検査装置を得ることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、中央開口部に
燃料棒支持スペーサを支持固定する被検査物体載置台
と、その被検査物体載置台をＸ軸方向及びＹ軸方向に移
動可能に支持するＸ−Ｙテーブルと、上記スペーサの上
方及び下方にそれぞれ配設され、それぞれＺ軸方向に移
動可能な顕微鏡付撮像管と、上記スペーサに対して各顕
微鏡付撮像管と反対側に、各顕微鏡付撮像管と同一垂直
軸線上に配設された照明光源と、上記顕微鏡付撮像管に
よるスペーサの透過光より得られたの映像を処理する画
像処理装置と、その画像処理装置による画像処理データ
とＸ−Ｙテーブルの移動距離或は顕微鏡付撮像管のＺ軸
方向の移動距離との合成により各測定個所の寸法計測を
行なう演算装置とを有することを特徴とする。
燃料棒支持スペーサを支持固定する被検査物体載置台
と、その被検査物体載置台をＸ軸方向及びＹ軸方向に移
動可能に支持するＸ−Ｙテーブルと、上記スペーサの上
方及び下方にそれぞれ配設され、それぞれＺ軸方向に移
動可能な顕微鏡付撮像管と、上記スペーサに対して各顕
微鏡付撮像管と反対側に、各顕微鏡付撮像管と同一垂直
軸線上に配設された照明光源と、上記顕微鏡付撮像管に
よるスペーサの透過光より得られたの映像を処理する画
像処理装置と、その画像処理装置による画像処理データ
とＸ−Ｙテーブルの移動距離或は顕微鏡付撮像管のＺ軸
方向の移動距離との合成により各測定個所の寸法計測を
行なう演算装置とを有することを特徴とする。
【００１４】
【作用】被検査物体載置台にスペーサを支持固定させ、
その被検査物体載置台をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動さ
せることによって被測定点を顕微鏡付撮像管と対向する
位置にセットし、そこで透過光より得られる影の映像を
処理する。そして処理された画像寸法データと、前記Ｘ
軸方向及びＹ軸方向の距離データ等から各測定点の座標
データが取得され、寸法評価が実施される。しかも顕微
鏡付撮像管がスペーサの上下にあるため、同一原点から
の上、下面の各部の寸法計測が可能となり、Ｘ−Ｙテー
ブルの移動データが高い精度で直接計測可能であって、
信頼性の高い計測を行なうことができる。
その被検査物体載置台をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動さ
せることによって被測定点を顕微鏡付撮像管と対向する
位置にセットし、そこで透過光より得られる影の映像を
処理する。そして処理された画像寸法データと、前記Ｘ
軸方向及びＹ軸方向の距離データ等から各測定点の座標
データが取得され、寸法評価が実施される。しかも顕微
鏡付撮像管がスペーサの上下にあるため、同一原点から
の上、下面の各部の寸法計測が可能となり、Ｘ−Ｙテー
ブルの移動データが高い精度で直接計測可能であって、
信頼性の高い計測を行なうことができる。
【００１５】
【実施例】以下、図１を参照して本発明の一実施例につ
いて説明する。図１において符号３０は架台であって、
その架台３０上にはＸ−Ｙテーブル３１が装着してあ
る。このＸ−Ｙテーブル３１は枠状を呈し、そのＸ−Ｙ
テーブル３１内には前後方向（Ｙ方向）に延び且つ左右
方向（Ｘ方向）に移動可能な一対の第１のガイドロッド
３２と、左右方向（Ｘ方向）に延び且つ前後方向（Ｙ方
向）に移動可能な一対の第２のガイドロッド３３が配設
してあり、上記第１のガイドロッド３２及び第２のガイ
ドロッド３３は、それぞれサーボモータ３４ａ，３４ｂ
及びＸ−Ｙテーブル３１の枠体内に設けられた図示しな
い駆動機構によってＸ方向或はＹ方向に移動するように
してある。
いて説明する。図１において符号３０は架台であって、
その架台３０上にはＸ−Ｙテーブル３１が装着してあ
る。このＸ−Ｙテーブル３１は枠状を呈し、そのＸ−Ｙ
テーブル３１内には前後方向（Ｙ方向）に延び且つ左右
方向（Ｘ方向）に移動可能な一対の第１のガイドロッド
３２と、左右方向（Ｘ方向）に延び且つ前後方向（Ｙ方
向）に移動可能な一対の第２のガイドロッド３３が配設
してあり、上記第１のガイドロッド３２及び第２のガイ
ドロッド３３は、それぞれサーボモータ３４ａ，３４ｂ
及びＸ−Ｙテーブル３１の枠体内に設けられた図示しな
い駆動機構によってＸ方向或はＹ方向に移動するように
してある。
【００１６】また、第１のガイドロッド３２及び第２の
ガイドロッド３３の一端部には、Ｘ−Ｙテーブル３１の
内壁面に沿って移動する検針部材３５ａ，３５ｂが一体
に形成され、さらにＸ−Ｙテーブル３１の上面には、上
記検針部材３５ａ，３５ｂの位置或は移動量を測定する
マグネスケール３６ａ，３６ｂが設けられている。
ガイドロッド３３の一端部には、Ｘ−Ｙテーブル３１の
内壁面に沿って移動する検針部材３５ａ，３５ｂが一体
に形成され、さらにＸ−Ｙテーブル３１の上面には、上
記検針部材３５ａ，３５ｂの位置或は移動量を測定する
マグネスケール３６ａ，３６ｂが設けられている。
【００１７】ところで、前記Ｘ−Ｙテーブル３１の第１
のガイドロッド３２及び第２のガイドロッド３３との交
差部には中央開口部を有する被検査物体載置台３７が、
各ガイドロッドに沿ってそれぞれ摺動可能に装着されて
いる。上記被検査物体載置台３７にはその中央開口部に
被検査物体であるスペーサ１９を装着し得るようにして
あり、またそのスペーサ１９を所定位置に固定する自動
固定装置３８が設けられている。
のガイドロッド３２及び第２のガイドロッド３３との交
差部には中央開口部を有する被検査物体載置台３７が、
各ガイドロッドに沿ってそれぞれ摺動可能に装着されて
いる。上記被検査物体載置台３７にはその中央開口部に
被検査物体であるスペーサ１９を装着し得るようにして
あり、またそのスペーサ１９を所定位置に固定する自動
固定装置３８が設けられている。
【００１８】一方、上記被検査物体載置台３７の上方及
び下方にはそれぞれ支持アーム３９に上下動可能に装着
されたＺテーブル４０に顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂ
が配設されており、被検査物体載置台３７に対してこの
上下の顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂの反対側には、そ
れぞれ各顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂと同一軸線上に
照明光源（ストロボライト）４２ａ，４２ｂが配設され
ている。上記顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂはスペーサ
の影の映像をとらえるもので、撮像の目的に応じて倍率
と焦点が可変であり、各撮像点の深さに応じて昇降する
ようになっている。
び下方にはそれぞれ支持アーム３９に上下動可能に装着
されたＺテーブル４０に顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂ
が配設されており、被検査物体載置台３７に対してこの
上下の顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂの反対側には、そ
れぞれ各顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂと同一軸線上に
照明光源（ストロボライト）４２ａ，４２ｂが配設され
ている。上記顕微鏡付撮像管４１ａ，４１ｂはスペーサ
の影の映像をとらえるもので、撮像の目的に応じて倍率
と焦点が可変であり、各撮像点の深さに応じて昇降する
ようになっている。
【００１９】そして、上記各顕微鏡付撮像管４１ａ，４
１ｂは画像処理装置４３及びモニタテレビ４４に接続さ
れている。
１ｂは画像処理装置４３及びモニタテレビ４４に接続さ
れている。
【００２０】しかして、スペーサの各部の測定に際して
は、スペーサを被検査物体載置台３７の所定位置に支持
固定し、その被検査物体載置台３０をＸ軸方向及びＹ軸
方向に移動させ、スペーサの各測定点を順次顕微鏡付撮
像管４１ａ，４１ｂと対向する位置に移行させて、各測
定点におけるスペーサの影の映像が撮像されその撮像
が、画像処理装置４３に送られ、そこで画像処理が行な
われる。一方被検査物体載置台３７のＸ方向及びＹ方向
の移動距離は検針部材３５ａ，３５ｂ及びマグネスケー
ル３６ａ，３６ｂによって高精度で計測され、この移動
距離と前記画像処理装置での画像処理データとが、図示
しないコンピュータにおいて合成され、各測定個所のＸ
−Ｙテーブル内での絶対座標が求められ、これにより各
部の寸法計測が行なわれる。
は、スペーサを被検査物体載置台３７の所定位置に支持
固定し、その被検査物体載置台３０をＸ軸方向及びＹ軸
方向に移動させ、スペーサの各測定点を順次顕微鏡付撮
像管４１ａ，４１ｂと対向する位置に移行させて、各測
定点におけるスペーサの影の映像が撮像されその撮像
が、画像処理装置４３に送られ、そこで画像処理が行な
われる。一方被検査物体載置台３７のＸ方向及びＹ方向
の移動距離は検針部材３５ａ，３５ｂ及びマグネスケー
ル３６ａ，３６ｂによって高精度で計測され、この移動
距離と前記画像処理装置での画像処理データとが、図示
しないコンピュータにおいて合成され、各測定個所のＸ
−Ｙテーブル内での絶対座標が求められ、これにより各
部の寸法計測が行なわれる。
【００２１】この寸法計測は、上下の両顕微鏡付撮像管
により順次行なうことにより、両面の計測を被検査物体
を置き換えたり反転させたり等、被検査物体の姿勢を変
更することなく行なうことができる。すなわち、同一原
点からの上，下面の各部の寸法計測が可能となる。しか
も、寸法評価用データのもととなるＸ−Ｙテーブルの移
動データが高い精度で直接計測可能であるため、寸法評
価の信頼性も高いものとなる。
により順次行なうことにより、両面の計測を被検査物体
を置き換えたり反転させたり等、被検査物体の姿勢を変
更することなく行なうことができる。すなわち、同一原
点からの上，下面の各部の寸法計測が可能となる。しか
も、寸法評価用データのもととなるＸ−Ｙテーブルの移
動データが高い精度で直接計測可能であるため、寸法評
価の信頼性も高いものとなる。
【００２２】また、画像処理個所は被検査物体の状態に
よりパターン認識方法と、顕微鏡付撮像管の視野中心を
低倍率から高倍率へ移行させていくことで認識させる方
法、さらには図面を基準とする認識方法があり、これら
を場合に応じて選択することができる。
よりパターン認識方法と、顕微鏡付撮像管の視野中心を
低倍率から高倍率へ移行させていくことで認識させる方
法、さらには図面を基準とする認識方法があり、これら
を場合に応じて選択することができる。
【００２３】一方、測定結果の膨大なデータは資源とし
てスペーサの状態変化をオン・ラインで把握し、スペー
サの構成部材である円筒部材の成型状態や組立工程での
円筒部材の固定状態を統計的に処理して、成型工程で使
用する金型や組立工程で使用する拘束治具の状態を定量
化し、数値情報としてフィードバックさせることができ
る。このフィードバッグは既時性を要求されるものと、
長時間での傾向を予測するものとに分けられ、前者は１
個のスペーサ内の情報が主として用いられ、後者は母集
団情報として反映される。
てスペーサの状態変化をオン・ラインで把握し、スペー
サの構成部材である円筒部材の成型状態や組立工程での
円筒部材の固定状態を統計的に処理して、成型工程で使
用する金型や組立工程で使用する拘束治具の状態を定量
化し、数値情報としてフィードバックさせることができ
る。このフィードバッグは既時性を要求されるものと、
長時間での傾向を予測するものとに分けられ、前者は１
個のスペーサ内の情報が主として用いられ、後者は母集
団情報として反映される。
【００２４】
【発明の効果】本発明は上述のように構成したので、被
検査物体の姿勢を変更することなく、かつ非接触方式に
より各部寸法を測定することができ、測定精度を大幅に
向上でき、スペーサ構成要素の組立性評価が可能とな
る。また、品質を工程毎に保証する現システムに加え
て、工程間の状態監視が可能となる等の効果を奏する。
検査物体の姿勢を変更することなく、かつ非接触方式に
より各部寸法を測定することができ、測定精度を大幅に
向上でき、スペーサ構成要素の組立性評価が可能とな
る。また、品質を工程毎に保証する現システムに加え
て、工程間の状態監視が可能となる等の効果を奏する。
【図１】本発明の寸法検査装置の概略構成を示す斜視
図。
図。
【図２】スペーサの平面図。
【図３】スペーサの一部縦段側面図。
【図４】従来の寸法検査装置の概略構成を示す斜視図。
３０ 架台 ３１ Ｘ−Ｙテーブル ３２ 第１のガイドロッド ３３ 第２のガイドロッド ３４ａ，３４ｂ サーボモータ ３６ａ，３６ｂ マグネスケール ３７ 被検査物体載置台 ４０ Ｚテーブル ４１ａ，４１ｂ 顕微鏡付撮像管 ４２ａ，４２ｂ 照明光源 ４３ 画像処理装置 ４４ モニタテレビ
フロントページの続き (72)発明者 三 嶋 輝 昭 神奈川県横須賀市内川二丁目３番１号 日 本ニユクリア・フユエル株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】中央開口部に燃料棒支持スペーサを支持固
定する被検査物体載置台と、その被検査物体載置台をＸ
軸方向及びＹ軸方向に移動可能に支持するＸ−Ｙテーブ
ルと、上記被検査物体載置台の上方及び下方にそれぞれ
配設され、それぞれＺ軸方向に移動可能な顕微鏡付撮像
管と、上記被検査物体載置台に対して各顕微鏡付撮像管
と反対側に、各顕微鏡付撮像管と同一垂直軸線上に配設
された照明光源と、上記顕微鏡付撮像管によるスペーサ
の透過光より得られた影の映像を処理する画像処理装置
と、その画像処理装置による画像処理データとＸ−Ｙテ
ーブルの移動距離或は顕微鏡付撮像管のＺ軸方向の移動
距離との合成により各測定個所の寸法計測を行なう演算
装置とを有することを特徴とする、燃料棒支持スペーサ
の画像解析寸法検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05205329A JP3086111B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05205329A JP3086111B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755988A true JPH0755988A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3086111B2 JP3086111B2 (ja) | 2000-09-11 |
Family
ID=16505127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05205329A Expired - Lifetime JP3086111B2 (ja) | 1993-08-19 | 1993-08-19 | 燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3086111B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157878A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Global Nuclear Fuel-Japan Co Ltd | 原子燃料棒支持スペーサの検査方法 |
-
1993
- 1993-08-19 JP JP05205329A patent/JP3086111B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157878A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Global Nuclear Fuel-Japan Co Ltd | 原子燃料棒支持スペーサの検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3086111B2 (ja) | 2000-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4791118B2 (ja) | 画像測定機のオフセット算出方法 | |
| KR20140034816A (ko) | 휴대형 광학 측정 검사 시스템 | |
| CN110412054B (zh) | 一种玻璃面板检测设备及检测图像拼接方法 | |
| CN208476823U (zh) | 一种玻璃面板检测设备 | |
| TWI417516B (zh) | ３次元形狀測定方法 | |
| CN209992407U (zh) | 线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置 | |
| JP3086111B2 (ja) | 燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置 | |
| JPH08285785A (ja) | はんだ付け良否検査装置 | |
| US7034930B1 (en) | System and method for defect identification and location using an optical indicia device | |
| CN110864624A (zh) | 一机两用型测量仪器 | |
| JP2940405B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
| JPS6249481A (ja) | イメ−ジのデイジタル化方法および装置 | |
| TWI693374B (zh) | 非接觸式物體輪廓量測系統 | |
| JP3311696B2 (ja) | 燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置 | |
| JPS62265520A (ja) | ２つの検出子を備えた三次元測定機 | |
| US7349083B2 (en) | Rotary borescopic optical dimensional mapping tool | |
| US8027530B2 (en) | Apparatus and method for optically surveying and/or examining a welding componentry | |
| CN210242713U (zh) | 相机探测器指向和焦面组件安装面夹角的检测装置 | |
| JP2006337142A (ja) | ミキシングベーン検査方法と検査装置 | |
| CN215115915U (zh) | 一种尖嘴陶瓷柱t面检测装置 | |
| CN211373502U (zh) | 一机两用型测量仪器 | |
| CN220289440U (zh) | 一种晶圆检测机 | |
| CN117570854B (zh) | 一种齿轮加工精度检测装置 | |
| CN219589579U (zh) | 一种用于工业ct检测的调心预对中装置 | |
| CN216925458U (zh) | 一种高精度影像坐标测量仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070707 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120707 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130707 Year of fee payment: 13 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |