JPH0755437A - 光学式伸び計用カメラ - Google Patents
光学式伸び計用カメラInfo
- Publication number
- JPH0755437A JPH0755437A JP20781793A JP20781793A JPH0755437A JP H0755437 A JPH0755437 A JP H0755437A JP 20781793 A JP20781793 A JP 20781793A JP 20781793 A JP20781793 A JP 20781793A JP H0755437 A JPH0755437 A JP H0755437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- position detectors
- light receiving
- measurement
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 49
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 28
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 241000208125 Nicotiana Species 0.000 description 2
- 235000002637 Nicotiana tabacum Nutrition 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】測定対象物５における複数の指標Ａ，Ｂの間隔
の変化に対して許容度の大きい光学式伸び計用カメラを
実現する。 【構成】伸びを測定される測定対象物５と一体の複数の
指標Ａ，Ｂの像を所定倍率で所定の平面４上に結像させ
る結像光学系１と、平面４に受光面を一致させ、且つ、
受光面相互が測定対象物５の伸びの方向に対応して連続
するように密接して配備された３以上の位置検出器２
Ａ，２Ｂ，２Ｃと、結像光学系１と位置検出器２Ａ，２
Ｂ，２Ｃとを保持し、計測時には測定対象物に対して不
動のケース３とを有する。
の変化に対して許容度の大きい光学式伸び計用カメラを
実現する。 【構成】伸びを測定される測定対象物５と一体の複数の
指標Ａ，Ｂの像を所定倍率で所定の平面４上に結像させ
る結像光学系１と、平面４に受光面を一致させ、且つ、
受光面相互が測定対象物５の伸びの方向に対応して連続
するように密接して配備された３以上の位置検出器２
Ａ，２Ｂ，２Ｃと、結像光学系１と位置検出器２Ａ，２
Ｂ，２Ｃとを保持し、計測時には測定対象物に対して不
動のケース３とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光学式伸び計用カメラ
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】測定対象物の物理的な伸びを光学的に測
定するのに、測定対象物に印し付けられた複数の指標の
像を結像光学系により位置検出器上に結像させ、伸びの
前後における上記指標の像の変位量を測定して「伸び
量」を算出することが行われており、測定対象物の指標
の像を位置検出器上に結像させて読み取るのに「光学式
伸び計用カメラ」が用いられる。
定するのに、測定対象物に印し付けられた複数の指標の
像を結像光学系により位置検出器上に結像させ、伸びの
前後における上記指標の像の変位量を測定して「伸び
量」を算出することが行われており、測定対象物の指標
の像を位置検出器上に結像させて読み取るのに「光学式
伸び計用カメラ」が用いられる。
【０００３】光学式伸び計用カメラは基本的には「測定
対象物に一体的な複数の指標の像を結像する結像光学系
と、この結像光学系による指標像の位置を検出する位置
検出器と」を有していれば良い。
対象物に一体的な複数の指標の像を結像する結像光学系
と、この結像光学系による指標像の位置を検出する位置
検出器と」を有していれば良い。
【０００４】測定対象物に印し付けられる複数の指標
は、測定対象物の物性に応じて、その数や間隔が設定さ
れるが、多くの種類の測定対象物に就いて適切な伸び量
測定を行い得るためには、指標間の最大間隔の変化に対
する許容度はなるべく大きいことが望ましい。
は、測定対象物の物性に応じて、その数や間隔が設定さ
れるが、多くの種類の測定対象物に就いて適切な伸び量
測定を行い得るためには、指標間の最大間隔の変化に対
する許容度はなるべく大きいことが望ましい。
【０００５】例えば、位置検出器として受光素子数が１
００００個で全長：７０ｍｍのラインセンサを用い、分
解能：３．５μｍ以上で伸び量を測定しようとすると、
結像光学系の結像倍率は２倍以上であることが必要であ
る。するとこの場合、測定対象物に印し付けられた指標
の最大間隔が３５ｍｍ以上となると、伸び測定は原理的
に不可能である。
００００個で全長：７０ｍｍのラインセンサを用い、分
解能：３．５μｍ以上で伸び量を測定しようとすると、
結像光学系の結像倍率は２倍以上であることが必要であ
る。するとこの場合、測定対象物に印し付けられた指標
の最大間隔が３５ｍｍ以上となると、伸び測定は原理的
に不可能である。
【０００６】指標間の最大間隔が大きくても伸び量測定
を可能にした光学式伸び計用カメラとしては、特開平４
−２０４１０６号公報や特開昭６３−６１１０６号公報
開示のものが良く知られている。
を可能にした光学式伸び計用カメラとしては、特開平４
−２０４１０６号公報や特開昭６３−６１１０６号公報
開示のものが良く知られている。
【０００７】上記特開平４−２０４１６号公報開示の光
学式伸び計用カメラは、測定対象物に印し付けられた指
標の個々の像を、別個の結像光学系で位置検出器上に結
像させるので、指標の数に応じた結像光学系が必要であ
り、カメラがコスト高になるし、個々の結像光学系の結
像性能や倍率を正確に調整しないと正確な測定ができな
いという問題がある。
学式伸び計用カメラは、測定対象物に印し付けられた指
標の個々の像を、別個の結像光学系で位置検出器上に結
像させるので、指標の数に応じた結像光学系が必要であ
り、カメラがコスト高になるし、個々の結像光学系の結
像性能や倍率を正確に調整しないと正確な測定ができな
いという問題がある。
【０００８】特開昭６３−６１１０６号公報記載の発明
では、１対のラインセンサを用い、各ラインセンサごと
に指標像の位置を検出するので、指標間の最大間隔はラ
インセンサ１個の場合の２倍になるが、実用的にはそれ
でも十分でない場合がある。
では、１対のラインセンサを用い、各ラインセンサごと
に指標像の位置を検出するので、指標間の最大間隔はラ
インセンサ１個の場合の２倍になるが、実用的にはそれ
でも十分でない場合がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、測定対象物に一体の
複数の指標の最大間隔の変化に対して許容度の大きい新
規な光学式伸び計用カメラの提供を目的とする。
情に鑑みてなされたものであって、測定対象物に一体の
複数の指標の最大間隔の変化に対して許容度の大きい新
規な光学式伸び計用カメラの提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の光学式伸び計
用カメラは「測定対象物の物理的な伸びを測定するため
のカメラ」である。
用カメラは「測定対象物の物理的な伸びを測定するため
のカメラ」である。
【００１１】請求項１記載の光学式伸び計用カメラは、
結像光学系と、３以上の位置検出器と、ケースとを有す
る。「結像光学系」は、伸びを測定される測定対象物と
一体の複数の指標の像を所定倍率で所定の平面上に結像
させる。指標が「測定対象物と一体」であるとは、指標
が測定対象物に印し付けられてもよいし、ＬＥＤ等を指
標として測定対象物に一体的に付加してもよいことを意
味する。
結像光学系と、３以上の位置検出器と、ケースとを有す
る。「結像光学系」は、伸びを測定される測定対象物と
一体の複数の指標の像を所定倍率で所定の平面上に結像
させる。指標が「測定対象物と一体」であるとは、指標
が測定対象物に印し付けられてもよいし、ＬＥＤ等を指
標として測定対象物に一体的に付加してもよいことを意
味する。
【００１２】「３以上の位置検出器」は、結像光学系に
より指標像が結像される所定の平面に受光面を一致さ
せ、且つ、受光面相互が測定対象物の伸びの方向に対応
して、連続するように密接して配備される。即ち、３以
上の位置検出器は同一平面上に配備される。「ケース」
は、結像光学系と３以上の位置検出器とを保持し、計測
時には測定対象物に対して不動である。
より指標像が結像される所定の平面に受光面を一致さ
せ、且つ、受光面相互が測定対象物の伸びの方向に対応
して、連続するように密接して配備される。即ち、３以
上の位置検出器は同一平面上に配備される。「ケース」
は、結像光学系と３以上の位置検出器とを保持し、計測
時には測定対象物に対して不動である。
【００１３】請求項２記載の光学式伸び計用カメラは、
結像光学系と、２以上の位置検出器と、調整手段と、ケ
ースとを有する。「結像光学系」は、伸びを測定される
測定対象物と一体の複数の指標の像を所定倍率で所定の
平面上に結像させる。「２以上の位置検出器」は、上記
所定の平面に受光面を一致させ、且つ、受光面相互の間
隔を測定対象物の伸びの方向に調整可能に配備される。
結像光学系と、２以上の位置検出器と、調整手段と、ケ
ースとを有する。「結像光学系」は、伸びを測定される
測定対象物と一体の複数の指標の像を所定倍率で所定の
平面上に結像させる。「２以上の位置検出器」は、上記
所定の平面に受光面を一致させ、且つ、受光面相互の間
隔を測定対象物の伸びの方向に調整可能に配備される。
【００１４】「調整機構」は、上記２以上の位置検出器
の間隔を調整する機構である。調整機構による調整は手
動により行うようにしてもよいし、外部から自動的に制
御するようにしても良い。
の間隔を調整する機構である。調整機構による調整は手
動により行うようにしてもよいし、外部から自動的に制
御するようにしても良い。
【００１５】「ケース」は、結像光学系と２以上の位置
検出器と調整手段とを保持し、計測時には測定対象物に
対して不動である。
検出器と調整手段とを保持し、計測時には測定対象物に
対して不動である。
【００１６】上記請求項１または２に記載された光学式
伸び計用カメラに用いられる「位置検出器」としては、
前述の特開平４−２０４１０６号公報に開示された半導
体位置検出器（ＰＳＤ）を用いても良いし、ラインセン
サを用いても良い。位置検出器として「ラインセンサ」
を用いる場合は、結像光学系の結像倍率を「所望の分解
能とラインセンサの受光素子の配列ピッチと」に応じて
設定することが出来る（請求項３）。
伸び計用カメラに用いられる「位置検出器」としては、
前述の特開平４−２０４１０６号公報に開示された半導
体位置検出器（ＰＳＤ）を用いても良いし、ラインセン
サを用いても良い。位置検出器として「ラインセンサ」
を用いる場合は、結像光学系の結像倍率を「所望の分解
能とラインセンサの受光素子の配列ピッチと」に応じて
設定することが出来る（請求項３）。
【００１７】なお、この発明の光学式伸び計用カメラに
は、測定対象物を照明するための専用の光源（各種ラン
プやＬＥＤ，ＬＤ等）を一体的に付加することもでき
る。
は、測定対象物を照明するための専用の光源（各種ラン
プやＬＥＤ，ＬＤ等）を一体的に付加することもでき
る。
【００１８】
【作用】この発明に於いては、複数の位置検出器は結像
光学系の像面である同一平面上に配備されるから、３以
上の位置検出器を連続的に配備することが可能である
し、２以上の位置検出器の間隔を同一平面上で調整する
ことも可能である。
光学系の像面である同一平面上に配備されるから、３以
上の位置検出器を連続的に配備することが可能である
し、２以上の位置検出器の間隔を同一平面上で調整する
ことも可能である。
【００１９】
【実施例】以下、具体的な実施例を説明する。図１は請
求項１，３記載の光学式伸び計用カメラの１実施例を要
部のみ説明図的に略示している。
求項１，３記載の光学式伸び計用カメラの１実施例を要
部のみ説明図的に略示している。
【００２０】符号１は「結像光学系」としての結像レン
ズを示す。符号２Ａ，２Ｂ，２Ｃで示す３個のラインセ
ンサは「位置検出器」として用いられている。また、符
号３はケースを示す。さらに、符号５は測定対象物を示
す。測定対象物５は、図の上下方向へ「引張り力」を作
用され、同引張り力による伸びが測定される。ケース３
は、結像レンズ１の光軸および伸び測定方向に平行な平
面による断面の端面が示されている。
ズを示す。符号２Ａ，２Ｂ，２Ｃで示す３個のラインセ
ンサは「位置検出器」として用いられている。また、符
号３はケースを示す。さらに、符号５は測定対象物を示
す。測定対象物５は、図の上下方向へ「引張り力」を作
用され、同引張り力による伸びが測定される。ケース３
は、結像レンズ１の光軸および伸び測定方向に平行な平
面による断面の端面が示されている。
【００２１】結像レンズ１は、この実施例において固定
焦点レンズであり、鎖線で示す結像面４（所定の平面）
に所定倍率の像を結像する。即ち、測定時には、このよ
うな結像関係が成立するように、ケース３の位置を測定
対象物５に対して不動に保つのである。３個のラインセ
ンサ３Ａ，３Ｂ，３Ｃは、受光素子の配列ラインを図の
上下方向（測定対象物５の伸びの方向に対応）にして、
互いに密接して配備され、各ラインセンサの受光面は結
像面４に合致している。
焦点レンズであり、鎖線で示す結像面４（所定の平面）
に所定倍率の像を結像する。即ち、測定時には、このよ
うな結像関係が成立するように、ケース３の位置を測定
対象物５に対して不動に保つのである。３個のラインセ
ンサ３Ａ，３Ｂ，３Ｃは、受光素子の配列ラインを図の
上下方向（測定対象物５の伸びの方向に対応）にして、
互いに密接して配備され、各ラインセンサの受光面は結
像面４に合致している。
【００２２】測定対象物５には２つの指標Ａ，Ｂが印し
付けられているが、引張り力が作用していない状態、即
ち測定対象物５の自然状態では、指標Ａからの光は結像
レンズ１によりラインセンサ２Ａの受光面上の位置Ａ1
に結像する。同様に、測定対象物５の自然状態におい
て、指標Ｂからの光は結像レンズ１によりラインセンサ
２Ｃの受光面上の位置Ｂ1に結像する。各ラインセンサ
２Ａ，２Ｂ，２Ｃの出力は「カメラ出力」として、図示
されない演算系（コンピュータ等）に送られる。
付けられているが、引張り力が作用していない状態、即
ち測定対象物５の自然状態では、指標Ａからの光は結像
レンズ１によりラインセンサ２Ａの受光面上の位置Ａ1
に結像する。同様に、測定対象物５の自然状態におい
て、指標Ｂからの光は結像レンズ１によりラインセンサ
２Ｃの受光面上の位置Ｂ1に結像する。各ラインセンサ
２Ａ，２Ｂ，２Ｃの出力は「カメラ出力」として、図示
されない演算系（コンピュータ等）に送られる。
【００２３】測定対象物５の一端（図の上端）を固定
し、他端に引張り力を作用させると、測定対象物５は図
の下方へ向かって引き伸ばされ、指標Ａ，Ｂはそれぞ
れ、符号Ａ’，Ｂ’で示す位置へと変位し、この変位に
応じ、これら指標の像の位置はそれぞれラインセンサ２
Ａ，２Ｃ上で位置：Ａ2，Ｂ2へ変位する。
し、他端に引張り力を作用させると、測定対象物５は図
の下方へ向かって引き伸ばされ、指標Ａ，Ｂはそれぞ
れ、符号Ａ’，Ｂ’で示す位置へと変位し、この変位に
応じ、これら指標の像の位置はそれぞれラインセンサ２
Ａ，２Ｃ上で位置：Ａ2，Ｂ2へ変位する。
【００２４】従って、引張り力の作用の前後におけるラ
インセンサ２Ａ，２Ｃの出力から、測定対象物５の伸び
に伴う指標像の変位量：ΔＡ，ΔＢを検出できる。一般
に、ΔＡ＜ΔＢであり、指標Ａ，Ｂ間の「伸び量：Δ
Ｌ」は、結像レンズ１の結像倍率：Ｍと上記変位量：Δ
Ａ，ΔＢを用いて、例えば、量：（ΔＢ−ΔＡ）／Ｍを
演算することにより得ることができる。さらに、ΔＬ
と、自然状態における指標Ａ，Ｂの間隔：Ｌを用いれ
ば、伸び率をΔＬ／Ｌとして算出できるし、これらと引
張り力とからヤング率等をも算出することが可能であ
る。
インセンサ２Ａ，２Ｃの出力から、測定対象物５の伸び
に伴う指標像の変位量：ΔＡ，ΔＢを検出できる。一般
に、ΔＡ＜ΔＢであり、指標Ａ，Ｂ間の「伸び量：Δ
Ｌ」は、結像レンズ１の結像倍率：Ｍと上記変位量：Δ
Ａ，ΔＢを用いて、例えば、量：（ΔＢ−ΔＡ）／Ｍを
演算することにより得ることができる。さらに、ΔＬ
と、自然状態における指標Ａ，Ｂの間隔：Ｌを用いれ
ば、伸び率をΔＬ／Ｌとして算出できるし、これらと引
張り力とからヤング率等をも算出することが可能であ
る。
【００２５】なお、説明中の例では、ラインセンサ２Ｂ
の出力は演算に利用されないので、必要に応じてライン
センサ２Ｂはオフ状態にしておいてもよい。逆に、測定
対象物における指標の間隔が小さい場合には、伸び測定
をラインセンサ２Ｂのみで実行することができる場合も
あり、このような場合には必要に応じ、ラインセンサ２
Ａ，２Ｃをオフ状態として測定を実行しても良い。指標
Ａ，Ｂの位置関係によっては、ラインセンサ２Ａと２
Ｂ、或いはラインセンサ２Ｂと２Ｃとにより測定を行う
こともできることは言うまでもない。
の出力は演算に利用されないので、必要に応じてライン
センサ２Ｂはオフ状態にしておいてもよい。逆に、測定
対象物における指標の間隔が小さい場合には、伸び測定
をラインセンサ２Ｂのみで実行することができる場合も
あり、このような場合には必要に応じ、ラインセンサ２
Ａ，２Ｃをオフ状態として測定を実行しても良い。指標
Ａ，Ｂの位置関係によっては、ラインセンサ２Ａと２
Ｂ、或いはラインセンサ２Ｂと２Ｃとにより測定を行う
こともできることは言うまでもない。
【００２６】ラインセンサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃとして、前
述の「受光素子数：１００００個，全長７０ｍｍ」のも
のを用い、結像レンズ１の結像倍率を２倍に設定すれ
ば、指標Ａ，Ｂ間の伸び量を、分解能：３．５μｍで測
定できる。このとき、位置検出器の受光面の、「測定対
象物５の伸びの方向」における長さは２１０ｍｍである
から、この範囲に結像できる指標間隔の最大長さは１０
５ｍｍであり、余裕をみても、指標間隔：９０ｍｍまで
の測定対象物の伸びを測定可能であり、指標間隔の下限
値には制限がない。必要に応じて、位置検出器の配列数
を増やせば、測定可能な指標間隔の最大値をさらに増大
できる。
述の「受光素子数：１００００個，全長７０ｍｍ」のも
のを用い、結像レンズ１の結像倍率を２倍に設定すれ
ば、指標Ａ，Ｂ間の伸び量を、分解能：３．５μｍで測
定できる。このとき、位置検出器の受光面の、「測定対
象物５の伸びの方向」における長さは２１０ｍｍである
から、この範囲に結像できる指標間隔の最大長さは１０
５ｍｍであり、余裕をみても、指標間隔：９０ｍｍまで
の測定対象物の伸びを測定可能であり、指標間隔の下限
値には制限がない。必要に応じて、位置検出器の配列数
を増やせば、測定可能な指標間隔の最大値をさらに増大
できる。
【００２７】図２（ａ）は、請求項２，３記載の光学式
伸び計用カメラの１実施例を示している。符号１０は結
像光学系としての結像レンズ、符号２１，２２は位置検
出器としてのラインセンサ、符号３０はケース、符号６
０は調整機構を示している。
伸び計用カメラの１実施例を示している。符号１０は結
像光学系としての結像レンズ、符号２１，２２は位置検
出器としてのラインセンサ、符号３０はケース、符号６
０は調整機構を示している。
【００２８】結像レンズ１０はケース３０により、測定
時には測定対象物（図２に図示されず）の指標の像を結
像面４０上に結像するように保たれる。ラインセンサ２
１，２２は、結像面４０に受光面を一致させ、受光素子
の配列ラインを測定対象物の伸びの方向（図の上下方
向）にし、且つ、受光面相互の間隔を測定対象物の伸び
の方向に調整可能にして調整機構６０に保持されてい
る。
時には測定対象物（図２に図示されず）の指標の像を結
像面４０上に結像するように保たれる。ラインセンサ２
１，２２は、結像面４０に受光面を一致させ、受光素子
の配列ラインを測定対象物の伸びの方向（図の上下方
向）にし、且つ、受光面相互の間隔を測定対象物の伸び
の方向に調整可能にして調整機構６０に保持されてい
る。
【００２９】この実施例における調整機構６０を、図２
（ｂ）を参照して説明する。ラインセンサ２１は保持体
２００に固定的に保持され、ラインセンサ２２は保持体
３００に固定的に保持されている。保持体２００，３０
０は、図示されない支持機構に支持されて図の左右方向
（図２（ａ）の上下方向に対応）へ摺動自在であり、互
いに近接する端部側にはラックが形成され、これらラッ
クはピニヨン６２と噛み合っている。
（ｂ）を参照して説明する。ラインセンサ２１は保持体
２００に固定的に保持され、ラインセンサ２２は保持体
３００に固定的に保持されている。保持体２００，３０
０は、図示されない支持機構に支持されて図の左右方向
（図２（ａ）の上下方向に対応）へ摺動自在であり、互
いに近接する端部側にはラックが形成され、これらラッ
クはピニヨン６２と噛み合っている。
【００３０】ピニヨン６２は図２（ａ）の調整摘み６１
により回転させることができるようになっており、従っ
て、調整摘み６１により手動でラインセンサ２１，２２
の受光面相互の間隔を「測定対象物の伸びの方向」に調
整することができる。このようにラインセンサ２１，２
２の受光面相互の間隔を調整できるから、測定対象物に
おける指標の間隔に応じて、ラインセンサ２１，２２の
受光面位置を測定に最も適した位置に設定できる。上記
間隔の調整の最大幅をＸ、ラインセンサ２１，２２の受
光面長さをＹ、結像レンズ１０の結像倍率をＭとすれ
ば、ラインセンサ２１，２２で受光できる最大の指標幅
は（Ｘ＋２Ｙ）／Ｍとなり、非常に大きな指標間隔まで
測定可能である。また指標間隔の測定可能な下限値には
限界がない。
により回転させることができるようになっており、従っ
て、調整摘み６１により手動でラインセンサ２１，２２
の受光面相互の間隔を「測定対象物の伸びの方向」に調
整することができる。このようにラインセンサ２１，２
２の受光面相互の間隔を調整できるから、測定対象物に
おける指標の間隔に応じて、ラインセンサ２１，２２の
受光面位置を測定に最も適した位置に設定できる。上記
間隔の調整の最大幅をＸ、ラインセンサ２１，２２の受
光面長さをＹ、結像レンズ１０の結像倍率をＭとすれ
ば、ラインセンサ２１，２２で受光できる最大の指標幅
は（Ｘ＋２Ｙ）／Ｍとなり、非常に大きな指標間隔まで
測定可能である。また指標間隔の測定可能な下限値には
限界がない。
【００３１】上には、変位可能な位置検出器が２個であ
る場合を説明したが、３個以上の位置検出器を変位可能
としても良いし、あるいは、図１の実施例のように３個
のラインセンサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃを用いる場合、ライン
センサ２Ｂは固定し、ラインセンサ２Ｂに対して、ライ
ンセンサ２Ａ，２Ｃを図の上下方向へ変位可能であるよ
うにしても良い。
る場合を説明したが、３個以上の位置検出器を変位可能
としても良いし、あるいは、図１の実施例のように３個
のラインセンサ２Ａ，２Ｂ，２Ｃを用いる場合、ライン
センサ２Ｂは固定し、ラインセンサ２Ｂに対して、ライ
ンセンサ２Ａ，２Ｃを図の上下方向へ変位可能であるよ
うにしても良い。
【００３２】結像光学系としても前述の固定焦点レンズ
に代えて可変焦点レンズもしくは焦点距離切り換え可能
なレンズを用いることが出来、このようにすると測定対
象物あるいは指標間隔に応じて測定可能なもしくは測定
に適した分解能や結像倍率を設定できる。
に代えて可変焦点レンズもしくは焦点距離切り換え可能
なレンズを用いることが出来、このようにすると測定対
象物あるいは指標間隔に応じて測定可能なもしくは測定
に適した分解能や結像倍率を設定できる。
【００３３】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規な光学式伸び計用カメラを提供できる。この発明
の光学式伸び計用カメラは上記の如き構成となっている
ので、指標間隔の異なる広範な測定対象物に対して伸び
の測定が可能である。また請求項２記載の光学式伸び計
用カメラでは少ない数の位置検出器で、指標間隔の大き
な範囲に対処することができる。
ば新規な光学式伸び計用カメラを提供できる。この発明
の光学式伸び計用カメラは上記の如き構成となっている
ので、指標間隔の異なる広範な測定対象物に対して伸び
の測定が可能である。また請求項２記載の光学式伸び計
用カメラでは少ない数の位置検出器で、指標間隔の大き
な範囲に対処することができる。
【００３４】また、この発明の光学式伸び計用カメラ
は、構造が簡素であり低コストで実現することができ
る。
は、構造が簡素であり低コストで実現することができ
る。
【図１】請求項１，３記載の発明の１実施例を説明する
ための図である。
ための図である。
【図２】請求項２，３記載の発明の１実施例を説明する
ための図である。
ための図である。
１ 結像レンズ（結像光学系） ２Ａ，２Ｂ，２Ｃ ラインセンサ（位置検出器） ３ ケース ４ 結像面（所定の平面） ５ 測定対象物 Ａ，Ｂ 指標
フロントページの続き (72)発明者 佐々木 達也 神奈川県平塚市黒部丘１番31号・日本たば こ産業株式会社生産技術開発センター内 (72)発明者 増野 茂美 神奈川県平塚市黒部丘１番31号・日本たば こ産業株式会社生産技術開発センター内 (72)発明者 矢部 正也 神奈川県三浦郡葉山町堀内639 (72)発明者 井上 利幸 長野県諏訪市大字中洲4600番地・日新工機 株式会社内 (72)発明者 生熊 敏弘 長野県諏訪市大字中洲4600番地・日新工機 株式会社内 (72)発明者 矢島 寿美雄 長野県諏訪市大字中洲4600番地・日新工機 株式会社内 (72)発明者 飯田 勉 長野県諏訪市大字中洲4600番地・日新工機 株式会社内 (72)発明者 小松 保雄 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地・株式会社 三協精機製作所内
Claims (3)
- 【請求項１】伸びを測定される測定対象物と一体の複数
の指標の像を所定倍率で所定の平面上に結像させる結像
光学系と、 上記所定の平面に受光面を一致させ、且つ、受光面相互
が測定対象物の伸びの方向に対応して、連続するように
密接して配備された３以上の位置検出器と、 上記結像光学系と３以上の位置検出器とを保持し、計測
時には測定対象物に対して不動のケースとを有する光学
式伸び計用カメラ。 - 【請求項２】伸びを測定される測定対象物と一体の複数
の指標の像を所定倍率で所定の平面上に結像させる結像
光学系と、 上記所定の平面に受光面を一致させ、且つ、受光面相互
の間隔を測定対象物の伸びの方向に調整可能に配備され
た２以上の位置検出器と、 上記２以上の位置検出器の間隔を調整する調整機構と、 上記結像光学系と２以上の位置検出器と調整機構とを保
持し、計測時には測定対象物に対して不動のケースとを
有する光学式伸び計用カメラ。 - 【請求項３】請求項１または２記載の光学式伸び計用カ
メラにおいて、 位置検出器がラインセンサであり、結像光学系の結像倍
率が、所望の分解能とラインセンサの受光素子の配列ピ
ッチとに応じて設定されていることを特徴とする光学式
伸び計用カメラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5207817A JP2954817B2 (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | 光学式伸び計用カメラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5207817A JP2954817B2 (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | 光学式伸び計用カメラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755437A true JPH0755437A (ja) | 1995-03-03 |
| JP2954817B2 JP2954817B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=16546003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5207817A Expired - Fee Related JP2954817B2 (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | 光学式伸び計用カメラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2954817B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998021547A1 (en) * | 1996-11-13 | 1998-05-22 | Noranda Inc. | Optical strain sensor and method for the measurement of microdeformations |
| NL1011035C2 (nl) * | 1999-01-15 | 2000-07-18 | Kema Nv | Werkwijze en inrichting voor het meten van in-vlak verplaatsingen. |
| US6164881A (en) * | 1996-07-23 | 2000-12-26 | Toko, Inc. | Machine tool |
| CN109991082A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-07-09 | 武汉东湖学院 | 一种杨氏模量测量装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110806181A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-18 | 河海大学 | 基于彩色相机的高精度光学引伸计及测量方法 |
-
1993
- 1993-08-23 JP JP5207817A patent/JP2954817B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6164881A (en) * | 1996-07-23 | 2000-12-26 | Toko, Inc. | Machine tool |
| WO1998021547A1 (en) * | 1996-11-13 | 1998-05-22 | Noranda Inc. | Optical strain sensor and method for the measurement of microdeformations |
| NL1011035C2 (nl) * | 1999-01-15 | 2000-07-18 | Kema Nv | Werkwijze en inrichting voor het meten van in-vlak verplaatsingen. |
| WO2000042382A1 (en) * | 1999-01-15 | 2000-07-20 | N.V. Kema | Method and apparatus for measuring of displacements within a plane |
| CN109991082A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-07-09 | 武汉东湖学院 | 一种杨氏模量测量装置 |
| CN109991082B (zh) * | 2019-03-28 | 2024-03-08 | 武汉东湖学院 | 一种杨氏模量测量装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2954817B2 (ja) | 1999-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7450249B2 (en) | Position sensor | |
| JPS60235110A (ja) | 焦点検出装置の温度補償装置 | |
| JPH0755437A (ja) | 光学式伸び計用カメラ | |
| CN104880913A (zh) | 一种提高工艺适应性的调焦调平系统 | |
| EP3134772B1 (en) | Photolithography apparatus comprising projection system for control of image size | |
| CN102193338B (zh) | 用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法 | |
| JP2003050109A (ja) | 面形状測定装置および面形状測定方法 | |
| JP2840314B2 (ja) | 投影露光装置 | |
| JP3609988B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
| JP2775519B2 (ja) | 参照レティクルを用いた２重焦点装置 | |
| JP2528790B2 (ja) | 異なつた対象物平面における２つの対象物の光学的模写装置 | |
| JPH06324260A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPS63264715A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JP2672771B2 (ja) | 貫通孔の内径測定装置 | |
| JP3011742B2 (ja) | 自動レンズメーター | |
| JPH04165318A (ja) | 合焦位置検出装置 | |
| JP4323592B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
| KR20230133919A (ko) | 광학 시스템의 광학적 특성 측정 장치 및 방법 | |
| JP3313769B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPH05232370A (ja) | 顕微鏡の合焦検出装置 | |
| JPH02201238A (ja) | 眼鏡レンズの頂点屈折力測定装置 | |
| JPH04308806A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JP2002005621A (ja) | レンズアレイ金型偏心測定方法及び測定装置 | |
| JPH02145903A (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH02216114A (ja) | 合焦用光学系 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |