JPH0743615Y2 - Electromagnetic flowmeter detector - Google Patents

Electromagnetic flowmeter detector

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JPH0743615Y2
JPH0743615Y2 JP1984124692U JP12469284U JPH0743615Y2 JP H0743615 Y2 JPH0743615 Y2 JP H0743615Y2 JP 1984124692 U JP1984124692 U JP 1984124692U JP 12469284 U JP12469284 U JP 12469284U JP H0743615 Y2 JPH0743615 Y2 JP H0743615Y2
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JP
Japan
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ceramic
electrode
conduit
electromagnetic flowmeter
measuring tube
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JP1984124692U
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JPS6140624U (en
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一郎 和田
正樹 桂
尚 吉田
博幸 吉田
駿蔵 島井
昇 五十嵐
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、電磁流量計検出器に係り、特にセラミック測
定管を用いた電磁流量計検出器の電極部構造に関する。
[Technical Field of the Invention] The present invention relates to an electromagnetic flowmeter detector, and more particularly to an electrode structure of an electromagnetic flowmeter detector using a ceramic measuring tube.

〔考案の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the device and its problems]

従来のセラミック測定管を用いた電磁流量計検出器の電
極部の構造を第3図に示す。セラミック製の測定管
(1)に一対の電極(2)があり、その頭部は測定管
(1)内面に突出している。測定管壁を貫通して反対側
にはねじが切ってあり、ばね(4)、ワッシャ(5)、
信号を取出すためのリード端子(6)を介してナツト
(7)により固定されている。
FIG. 3 shows the structure of the electrode portion of the electromagnetic flowmeter detector using the conventional ceramic measuring tube. A ceramic measuring tube (1) has a pair of electrodes (2), the head of which projects into the inner surface of the measuring tube (1). Through the wall of the measuring tube and threaded on the opposite side, the spring (4), washer (5),
It is fixed by nuts (7) via lead terminals (6) for taking out signals.

電極頭部の内側には、ゴムとかテフロン等の伸縮する材
料により作られたパッキング(3)により測定管内に被
測定液が洩れないように気密シールを行なっている。
The inside of the electrode head is hermetically sealed by a packing (3) made of a stretchable material such as rubber or Teflon to prevent the liquid to be measured from leaking into the measuring tube.

このような従来の構造では、電極が流体内に突出してい
るため、高速流体やスラリーでは摩耗が大きく、また流
体の流れを乱すこともあり、測定上不満足であった。さ
らに、パッキング(3)に例えばテフロンを使用したと
しても使用可能温度は200℃位までで、それ以上の高温
には使用できずセラミック測定管の耐熱性が生かされて
いなかった。
In such a conventional structure, since the electrode is projected into the fluid, the high-speed fluid or the slurry causes large wear and may disturb the flow of the fluid, which is unsatisfactory in measurement. Further, even if Teflon is used for the packing (3), the usable temperature is up to about 200 ° C., it cannot be used at higher temperatures, and the heat resistance of the ceramic measuring tube is not utilized.

最近、上述の問題点を解決する方途として、実開昭58-1
95826号により「焼結体で形成された被測定流体を流す
導管とこの導管の一部が導電性焼結体として一体成形さ
れ、この導電性焼結体を電極として流量信号を検出する
ようにしたことを特徴とする電磁流量計。」が提案され
ている。しかしながら、この公開実用新案の電磁流量計
においては、導管を形成している焼結体はアルミナある
いはジルコニアなどのセラミックであり、電極を形成し
ている焼結体としては、金属炭化物系セラミックや超硬
粉末合金、例えば、炭化チタン(TiC)、炭化珪素(Si
C)など素材のものが導電性を有する材料を用いること
が開示されている。このため、電極部と測定管部とは材
質が異なり、密着性が悪く、また熱膨張率も異なるため
シール性に不安がある。
Recently, as a way to solve the above-mentioned problems, Shoukai 58-1
According to No. 95826, "A conduit for flowing a fluid to be measured formed of a sintered body and a part of this conduit are integrally molded as a conductive sintered body, and the conductive sintered body is used as an electrode to detect a flow signal. An electromagnetic flowmeter characterized by what has been done. " However, in the electromagnetic flowmeter of this published utility model, the sintered body forming the conduit is a ceramic such as alumina or zirconia, and the sintered body forming the electrode is a metal carbide ceramic or Hard powder alloys such as titanium carbide (TiC), silicon carbide (Si
It is disclosed that a material such as C) uses an electrically conductive material. For this reason, the electrode part and the measuring tube part are made of different materials, have poor adhesion, and have different coefficients of thermal expansion, so there is concern about the sealing property.

〔考案の目的〕[Purpose of device]

本考案は、高温に耐えられ且つ耐摩耗性、耐食性、シー
ル性にも優れた一体電極形セラミック測定管を用いた電
磁流量計検出器を提供することを目的とする。
It is an object of the present invention to provide an electromagnetic flowmeter detector using an integrated electrode type ceramic measuring tube which can withstand high temperatures and is excellent in wear resistance, corrosion resistance and sealability.

〔考案の概要〕[Outline of device]

本考案は、所定の絶縁性セラミック材料からなるセラミ
ック導管の壁の一部に、この壁の内面から外面まで貫通
して、前記導管のセラミック材料と同一のセラミック材
料に金属微粉末を分布したサーメット領域が管の軸線と
直交する電極として焼成形成されていることを特徴とす
る電磁流量計検出器を実現して所期の目的を達成した。
The present invention provides a cermet having a portion of a wall of a ceramic conduit made of a predetermined insulating ceramic material, which penetrates from the inner surface to the outer surface of the wall, and in which fine metal powder is distributed in the same ceramic material as the ceramic material of the conduit. The electromagnetic flowmeter detector is realized, in which the region is formed by firing as an electrode orthogonal to the axis of the tube, and the intended purpose was achieved.

〔考案の実施例〕[Example of device]

以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

本考案一実施例の電磁流量計検出器の電極一体形セラミ
ック測定管を第1図に示す。第1図において、(11)は
電極一体形セラミック測定管で、導管(12)に電極部
(15)を組込んで一体にした状態で焼結成形されたもの
である。(14)はメタライジングにより形成された導
体、(15)は流量信号を外部へ取出すリード線である。
FIG. 1 shows an electrode-integrated ceramic measuring tube of an electromagnetic flowmeter detector according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, (11) is an electrode-integrated ceramic measuring tube, which is formed by sintering the electrode part (15) in a conduit (12) in an integrated manner. (14) is a conductor formed by metallizing, and (15) is a lead wire for taking out the flow rate signal to the outside.

導管(12)は、アルミナあるいはジルコニアなどのセラ
ミック焼結体素材により管状に加圧成形され、その管壁
の所要位置に管の軸線と直交する直線を中心線とした一
対の貫通穴(12a)が設けられている。
The conduit (12) is pressure-molded into a tubular shape by using a ceramic sintered body material such as alumina or zirconia, and a pair of through holes (12a) with a straight line orthogonal to the axial line of the pipe as a center line at a required position on the pipe wall. Is provided.

一方、電極部(13)は、導管(12)を成形するのに用い
た素材と同じセラミック焼結体素材粉末に、耐熱性およ
び耐食性の高い金属例えば白金の微粉末または白金ペー
ストを混合し、導電性サーメット状態になった素材によ
り前記貫通穴(12a)に内嵌する円柱状に加圧成形され
る。
On the other hand, in the electrode part (13), the same ceramic sintered body material powder as the material used to mold the conduit (12) is mixed with a metal having high heat resistance and corrosion resistance, such as platinum fine powder or platinum paste, The material is brought into a conductive cermet state and is pressure-molded into a cylindrical shape to be fitted into the through hole (12a).

金属の炭化物、窒化物、酸化物などのセラミックの多く
は、高硬度、高融点で摩擦係数が低く、且つ高温での硬
さ、強度の低下が少ないなどの特徴をもっているが、こ
れらセラミックの欠点は、一般に脆いことである。しか
し、適当な結合金属をセラミック粒子間隙に充填するこ
とにより、靱性を大幅に高めることができる。このよう
にしてできたセラミックとメタルの複合材料を、一般に
サーメットと呼んでいる。
Most of the ceramics such as metal carbides, nitrides, and oxides are characterized by high hardness, high melting point, low friction coefficient, and little decrease in hardness and strength at high temperature. Is generally fragile. However, the toughness can be significantly increased by filling the ceramic particle gap with a suitable bonding metal. The composite material of ceramic and metal thus formed is generally called cermet.

そして、導管(12)の一対の貫通穴(12a)へ電極部(1
3)を組込んで一体にした状態にして焼成炉に入れて焼
結成形して完成する。なお、電極部(13)を予め焼結成
形または低温で半焼結成形したものを、末焼結の導管
(12)へ組込んで焼結成形するようにすることもでき
る。
Then, the electrode (1) is connected to the pair of through holes (12a) of the conduit (12).
3) is incorporated and integrated into a firing furnace to be sintered and completed. The electrode part (13) may be pre-sintered or semi-sintered at low temperature and may be incorporated into the unsintered conduit (12) for sinter-forming.

上記のように構成された電極一体形セラミック測定管
(11)を用いた電磁流量計検出器においては、テフロン
のようなシール材を用いていないので高温に耐えられ、
数百度Cでの測定が可能となる。また、電極部(13)自
身もセラミックであるため耐摩耗性、耐食性が向上す
る。さらに、導管(12)と電極部(13)とを同一のセラ
ミック焼結体素材で構成したので、両者間の密着性が良
く、熱膨張率も一致するため、導管(12)と電極部(1
3)間のシール性が一層確実になる。また、電極が導管
内面に突出していないので、流体の乱れを発生しない。
In the electromagnetic flowmeter detector using the electrode-integrated ceramic measuring tube (11) configured as described above, since no sealing material such as Teflon is used, it can withstand high temperatures,
Measurement at several hundred degrees C is possible. Further, since the electrode portion (13) itself is also ceramic, wear resistance and corrosion resistance are improved. Furthermore, since the conduit (12) and the electrode part (13) are made of the same ceramic sintered body material, the adhesion between them is good and the thermal expansion coefficient is the same, so that the conduit (12) and the electrode part ( 1
3) The sealing property between them becomes more reliable. Further, since the electrode does not project to the inner surface of the conduit, the turbulence of the fluid does not occur.

なお、本考案は上述した実施例に限らず、第2図に示す
ように変形して実施できる。すなわち、第2図に示すも
のは、電極部(23)において、サーメット部(24)を接
液側端面に近い部分のみとし、残余の部分はセラミック
部(25)で構成し、このセラミック部(25)の中心軸部
分に、一端が前記サーメット部(24)に接続し他端がセ
ラミック部(25)の外方端面に露呈している柱状の導体
部(26)を前記サーメット部(24)と同一材質で形成
し、信号を外部へ導くようにした。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be modified and implemented as shown in FIG. That is, in the electrode part (23) shown in FIG. 2, the cermet part (24) is limited only to the part close to the liquid contact side end face, and the remaining part is composed of the ceramic part (25). A columnar conductor portion (26), one end of which is connected to the cermet portion (24) and the other end of which is exposed at the outer end surface of the ceramic portion (25), is attached to the central axis portion of the cermet portion (24). It is made of the same material as the above, and the signal is guided to the outside.

第2図の変形例の電極(23)は、第1図の実施例の電極
部(13)に比べて、高価な耐熱耐食性金属の量が少なく
て済むのでコストを低減できる。
The electrode (23) of the modified example of FIG. 2 requires less amount of expensive heat-corrosion-resistant metal than the electrode part (13) of the embodiment of FIG. 1, so that the cost can be reduced.

また、セラミック焼結体としては、アルミナ(Al
2O3)、ジルコニア(ZrO2・SiO2)の他にフォルステライ
ト(2MgO・SiO2)、ステアタイト(MgO・SiO2)、窒化
硅素(Si3N4)などがある。また、耐熱耐食性金属とし
ては、白金の他に金、タンタル、ジルコン、チタン、タ
ングステンなどがある。
Further, as the ceramic sintered body, alumina (Al
2 O 3 ), zirconia (ZrO 2 · SiO 2 ), forsterite (2MgO · SiO 2 ), steatite (MgO · SiO 2 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), and the like. In addition to platinum, gold, tantalum, zircon, titanium, tungsten and the like are used as the heat and corrosion resistant metal.

〔考案の効果〕[Effect of device]

以上詳述したように本考案によれば、所定の絶縁性セラ
ミック材料からなるセラミック導管の壁の一部に、この
壁の内面から外面まで貫通して、前記導管のセラミック
材料と同一のセラミック材料に金属微粉末を分布したサ
ーメット領域が管の軸線と直交する電極として焼成形成
されていることを特徴とする電磁流量計検出器を実現し
たことにより、次のような効果が得られる。
As described above in detail, according to the present invention, the same ceramic material as that of the conduit is penetrated through a part of the wall of the ceramic conduit made of a predetermined insulating ceramic material from the inner surface to the outer surface of the wall. The following effects can be obtained by realizing the electromagnetic flowmeter detector characterized in that the cermet region in which the fine metal powder is distributed is formed by firing as an electrode orthogonal to the axis of the tube.

〔1〕 テフロンのようなシール材を用いていないので
高温に耐えられ、数百度Cでの測定が可能となる。
[1] Since it does not use a sealing material such as Teflon, it can withstand high temperatures and can be measured at several hundred degrees C.

〔2〕 導管および電極部がセラミックであるため耐摩
耗性、耐食性が向上する。
[2] Since the conduit and the electrode part are made of ceramic, wear resistance and corrosion resistance are improved.

〔3〕 導管と電極部とを同一のセラミック焼結体素材
で構成したので両者間の密着性が良く、熱膨張率も一致
するため、導管と電極部の間のシール性が一層確実にな
る。
[3] Since the conduit and the electrode part are made of the same ceramic sintered body material, the adhesion between them is good and the coefficient of thermal expansion is the same, so the sealing property between the conduit and the electrode part becomes more reliable. .

〔4〕 電極が導管内に突出していないので、流体の乱
れを発生しない。
[4] Since the electrodes do not project into the conduit, the turbulence of the fluid does not occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案一実施例の電磁流量計検出器の電極一体
形セラミック測定管を示す断面図、第2図は本考案の変
形例を示す斜視図、第3図は従来のセラミック測定管の
電極部を示す断面図である。 11……電極一体形セラミック測定管 12……導管、12a……貫通穴 13……電極部、14……導体 15……リード線、23……電極部 24……サーメット部、25……セラミック部 26……導体部
FIG. 1 is a sectional view showing an electrode-integrated ceramic measuring tube of an electromagnetic flowmeter detector according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a modification of the present invention, and FIG. 3 is a conventional ceramic measuring tube. 3 is a cross-sectional view showing the electrode part of FIG. 11 …… Electrode integrated ceramic measuring tube 12 …… Conduit, 12a …… Through hole 13 …… Electrode part, 14 …… Conductor 15 …… Lead wire, 23 …… Electrode part 24 …… Cermet part, 25 …… Ceramic Part 26 ... Conductor part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 桂 正樹 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝総合研究所内 (72)考案者 吉田 尚 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)考案者 吉田 博幸 東京都新宿区西新宿1丁目26番2号 東芝 セラミツクス株式会社内 (72)考案者 島井 駿蔵 千葉県東金市小沼田字戌開1573―8 東芝 セラミツクス株式会社東金工場内 (72)考案者 五十嵐 昇 千葉県東金市小沼田字戌開1573―8 東芝 セラミツクス株式会社東金工場内 (56)参考文献 特開 昭58−66817(JP,A) 特開 昭49−80594(JP,A) 特開 昭52−139992(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Masaki Katsura Inventor, Komukai Toshiba-cho, Sachi-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 1 In Toshiba Research Institute, Inc. Inside the Fuchu Factory (72) Hiroyuki Yoshida 1-26-2 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Within Toshiba Ceramics Co., Ltd. (72) Inventor Shunzo Shimai, Inugata, Togane, Chiba Pref. Company Togane Factory (72) Inventor Noboru Igarashi 1573-8 Tokai, Onuma, Togane-shi, Chiba Toshiba Ceramics Co., Ltd. Togane Factory (56) Reference JP-A-58-66817 (JP, A) JP-A-49 -80594 (JP, A) JP-A-52-139992 (JP, A)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】所定の絶縁性セラミック材料からなるセラ
ミック導管の壁の一部に、この壁の内面から外面まで貫
通して、前記導管のセラミック材料と同一のセラミック
材料に金属微粉末を分布したサーメット領域が管の軸線
と直交する電極として焼成形成されていることを特徴と
する電磁流量計検出器。
1. A fine metal powder is distributed in a part of a wall of a ceramic conduit made of a predetermined insulating ceramic material, penetrating from the inner surface to the outer surface of the wall, and in the same ceramic material as the ceramic material of the conduit. An electromagnetic flowmeter detector characterized in that the cermet region is formed by firing as an electrode orthogonal to the axis of the tube.
JP1984124692U 1984-08-17 1984-08-17 Electromagnetic flowmeter detector Expired - Lifetime JPH0743615Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984124692U JPH0743615Y2 (en) 1984-08-17 1984-08-17 Electromagnetic flowmeter detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984124692U JPH0743615Y2 (en) 1984-08-17 1984-08-17 Electromagnetic flowmeter detector

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6140624U JPS6140624U (en) 1986-03-14
JPH0743615Y2 true JPH0743615Y2 (en) 1995-10-09

Family

ID=30683417

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1984124692U Expired - Lifetime JPH0743615Y2 (en) 1984-08-17 1984-08-17 Electromagnetic flowmeter detector

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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5866817A (en) * 1981-10-16 1983-04-21 Aichi Tokei Denki Co Ltd Electrode for electromagnetic flowmeter
JPS58195826U (en) * 1982-06-24 1983-12-26 横河電機株式会社 electromagnetic flow meter

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6140624U (en) 1986-03-14

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