JPH0743242U - IC burn-in equipment - Google Patents

IC burn-in equipment

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JPH0743242U
JPH0743242U JP7598793U JP7598793U JPH0743242U JP H0743242 U JPH0743242 U JP H0743242U JP 7598793 U JP7598793 U JP 7598793U JP 7598793 U JP7598793 U JP 7598793U JP H0743242 U JPH0743242 U JP H0743242U
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JP
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burn
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test
printed wiring
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JP7598793U
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敏夫 荒木
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Nippon Avionics Co Ltd
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Nippon Avionics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 少量のICをバーンインテストする場合に、
大型の恒温槽を用いる必要がなくなり、ソケットを用い
ることなく能率良くICのバーンインテストを行うこと
ができるICのバーンイン装置を提供する。 【構成】 ICの位置決め孔とここに位置決めされたI
Cのリードが接続される回路パターンとが形成されたバ
ーンイン用ボードと、このバーンイン用ボードをその両
側面より挟み前記ICを保持する一対の押え板とを備
え、前記押え板の少くとも一方を面発熱体を有する発熱
板で形成し、この発熱板により前記ICを加熱する。
(57) [Summary] [Purpose] When performing a burn-in test of a small amount of ICs,
(EN) Provided is an IC burn-in device capable of efficiently performing an IC burn-in test without using a socket without using a large-sized constant temperature bath. [Structure] IC positioning hole and I positioned here
The burn-in board is formed with a circuit pattern to which the C lead is connected, and a pair of holding plates for holding the IC by sandwiching the burn-in board from both side surfaces thereof, and at least one of the holding plates is provided. The IC is heated by a heating plate having a surface heating element.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、ICのバーンインテストに用いるバーンイン装置に関するものであ る。 The present invention relates to a burn-in device used for burn-in test of IC.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

製造されたICは、市場に出す前にその特性を安定化するため、一定の環境下 で一定時間通電して実際に動作させる。この工程はバーンイン(焼きいれ、枯し 運転)、エージングなど(以下バーンインという)と呼ばれる。このようなバー ンイン工程ではICを実際に電気的に接続する必要がある。このためこのバーン イン専用のボードを用意しておき、ここにICをセットしてバーンインを行って いた。 In order to stabilize the characteristics of manufactured ICs before putting them on the market, they are actually operated by energizing them for a fixed time under a fixed environment. This process is called burn-in (burn-in, burn-out operation), aging, etc. (hereinafter burn-in). In such a burn-in process, it is necessary to actually electrically connect the IC. For this reason, a board dedicated to this burn-in was prepared, and an IC was set in this board for burn-in.

【0003】 図5はフラットパック型ICに用いられる従来の治具を示す断面図、図6はこ こに用いるソケットの斜視図である。これらの図で符号10はソケットであり、 下ケース12と蓋14とを有する。下ケース12にはIC16が装填され蓋14 を閉じることによってIC16をソケット10内に固定することができる。IC 16はそのパッケージ18の外周方向に突出する多数のリード20を持つ。IC 16はパッケージ18の対向する2辺にリード20を持つSOP型や、4辺にそ れぞれリード20を持つQFP型などのフラットパック型のものである。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional jig used in a flat pack type IC, and FIG. 6 is a perspective view of a socket used therein. In these drawings, reference numeral 10 is a socket, which has a lower case 12 and a lid 14. The IC 16 is loaded in the lower case 12, and the IC 16 can be fixed in the socket 10 by closing the lid 14. The IC 16 has a large number of leads 20 protruding in the outer peripheral direction of the package 18. The IC 16 is of a flat pack type such as a SOP type having leads 20 on two opposite sides of the package 18 or a QFP type having leads 20 on each of four sides.

【0004】 ソケット10の下ケース12には、図5に示すように一端が下ケース12の下 方に垂直に突出し、他端が水平に折曲されて各リード20の下に臨む多数のピン 22が植設されている。従ってIC16をこの下ケース12に装填し蓋14を閉 じると蓋14の内面に貼着した弾性マット24がパッケージ18を押下し、各リ ード20が対応するピン22に押圧される。なお26は蓋14を閉位置に保持す るロックである。As shown in FIG. 5, one end of the lower case 12 of the socket 10 projects vertically downward of the lower case 12, and the other end of the socket 10 is bent horizontally to face a plurality of pins 20 under each lead 20. 22 have been planted. Therefore, when the IC 16 is loaded into the lower case 12 and the lid 14 is closed, the elastic mat 24 attached to the inner surface of the lid 14 pushes down the package 18, and each lead 20 is pushed against the corresponding pin 22. Reference numeral 26 is a lock for holding the lid 14 in the closed position.

【0005】 図5において28はバーンイン用ボードであり、このボード28にはIC16 をバーンインするために必要な回路パターンがプリント配線により形成され、ま たソケット10のピン22に対応する間隔でスルーホール30が形成されている 。32は基台であり、このボード28はこの基台32に載せられ、さらに各スル ーホール30にソケット10のピン22を位置合せして挿入する。この結果IC 16のリード20は、このピン22を介してボード28のバーンイン用の回路パ ターンに接続される。In FIG. 5, reference numeral 28 denotes a burn-in board, and a circuit pattern necessary for burn-in of the IC 16 is formed on the board 28 by printed wiring, and through holes are formed at intervals corresponding to the pins 22 of the socket 10. 30 are formed. 32 is a base, the board 28 is placed on the base 32, and the pins 22 of the socket 10 are aligned and inserted into the respective through holes 30. As a result, the lead 20 of the IC 16 is connected to the burn-in circuit pattern of the board 28 via the pin 22.

【0006】 このバーンイン用ボード28は、ソケット10を装着した状態で恒温槽に入れ られ、一定温度に加熱されバーンインテストすなわち熱衝撃試験される。しかし 恒温槽は通常一定寸法のバーンイン用ボードを入れるように作られていて、一般 には多数のICのテストが一度に行えるように大きいものである。The burn-in board 28 is placed in a thermostatic chamber with the socket 10 attached, heated to a constant temperature, and subjected to a burn-in test, that is, a thermal shock test. However, the temperature chamber is usually designed to hold a burn-in board of a certain size, and is generally large enough to test many ICs at once.

【0007】[0007]

【従来技術の問題点】[Problems of conventional technology]

このように従来はフラットパック型IC16のバーンインには、専用のソケッ ト10が必要となり、ソケット10へのIC16の装填、取出しに手間がかかる 。またソケット10をスルーホール30に挿入しはんだ付けしなければならず、 ボード製作が面倒であるという問題もあった。 As described above, the conventional socket 10 is required for burn-in of the flat pack type IC 16, and it takes time and effort to load and unload the IC 16 into and from the socket 10. Further, the socket 10 must be inserted into the through hole 30 and soldered, which is a problem in that the board manufacturing is troublesome.

【0008】 また従来の恒温槽は大型であり、少数のICや少量品種のICをテストする際 にも大きなバーンイン用ボードを使用しなければならず、効率が悪いという問題 があった。Further, the conventional constant temperature oven is large in size, and a large burn-in board must be used when testing a small number of ICs or a small number of ICs, which causes a problem of poor efficiency.

【0009】[0009]

【考案の目的】[The purpose of the device]

本考案は以上のような事情に鑑みなされたものであり、少量のICをテストす る場合に、大型の恒温槽を用いる必要がなくなり、ソケットを用いることなく能 率良くICのバーンインテストを行うことができるICのバーンイン装置を提供 することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and when testing a small amount of ICs, it is not necessary to use a large temperature chamber, and the burn-in test of the ICs can be performed efficiently without using a socket. It is an object of the present invention to provide an IC burn-in device that can be used.

【0010】[0010]

【考案の構成】[Constitution of device]

本考案によればこの目的は、ICのバーンインテストを行うバーンイン装置に おいて、ICの位置決め孔とここに位置決めされたICのリードが接続される回 路パターンとが形成されたバーンイン用ボードと、このバーンイン用ボードをそ の両側面より挟み前記ICを保持する一対の押え板とを備え、前記押え板の少く とも一方を面発熱体を有する発熱板で形成し、この発熱板により前記ICを加熱 することを特徴とするバーンイン装置、により達成される。 According to the present invention, an object of the present invention is to provide a burn-in board for performing an IC burn-in test, in which a positioning hole for the IC and a circuit pattern for connecting leads of the IC positioned therein are formed. And a pair of holding plates for sandwiching the burn-in board from both sides thereof to hold the IC, at least one of the holding plates being formed of a heating plate having a surface heating element. Is achieved by a burn-in device.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

図1は本考案の一実施例の全体概念図、図2は要部の側断面図、図3はその一 部の拡大図、図4はバーンイン用ボードへICを装填した状態を示す平面図であ る。 FIG. 1 is an overall conceptual view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side sectional view of an essential part, FIG. 3 is an enlarged view of a part thereof, and FIG. 4 is a plan view showing a state in which an IC is mounted on a burn-in board. Is.

【0012】 図2、3において符号50は下押え板、52はバーンイン用ボード、54は上 押え板である。下押え板50は、後記するように発熱板で構成される。この下押 え板50には適宜数の位置決め用ピン56が立設される一方、ボード52および 上押え板54にはこのピン56に係合してこれら相互間の位置決めを行うピン孔 が形成されている。2 and 3, reference numeral 50 is a lower pressing plate, 52 is a burn-in board, and 54 is an upper pressing plate. The lower pressing plate 50 is composed of a heating plate as described later. An appropriate number of positioning pins 56 are erected on the lower pressing plate 50, while pin holes are formed on the board 52 and the upper pressing plate 54 to engage with the pins 56 and perform positioning between them. Has been done.

【0013】 ボード52にはフラットパック型IC、例えばSOP型IC58(図4参照) のパッケージ60が落し込まれる矩形の位置決め孔62が適宜数形成されている 。これらの位置決め孔62はパッケージ60の外形寸法より僅かに大きく、ここ に入れたICを位置決めし保持する機能を持つ。The board 52 is provided with an appropriate number of rectangular positioning holes 62 into which a package 60 of a flat pack type IC, for example, a SOP type IC 58 (see FIG. 4) is dropped. These positioning holes 62 are slightly larger than the outer dimensions of the package 60, and have the function of positioning and holding the IC placed therein.

【0014】 ボード52の上面には、この位置決め孔62の縁までのびる多数の端子パター ン64がプリント配線によって形成されている。各端子パターン64は位置決め 孔62に入れたIC58の多数のリード66の下方に位置し、それぞれ回路パタ ーンによってスルーホール68や他の回路に接続されている。A large number of terminal patterns 64 extending to the edge of the positioning hole 62 are formed on the upper surface of the board 52 by printed wiring. Each terminal pattern 64 is located below a large number of leads 66 of the IC 58 put in the positioning hole 62, and is connected to the through hole 68 and other circuits by a circuit pattern.

【0015】 70は上押え板54の下面に突設された絶縁性弾性体であり、例えば硬質のゴ ムなどで土手状に作られている。この弾性体70はIC58のリード66を上方 から押下する位置、すなわち図4に示すようにリード66を有するパッケージ6 0の辺に平行でかつ各端子パターン64を横断するように位置する。Reference numeral 70 denotes an insulating elastic body projectingly provided on the lower surface of the upper pressing plate 54, which is formed in a bank shape, for example, by a hard rubber. The elastic body 70 is located at a position where the lead 66 of the IC 58 is pressed from above, that is, parallel to the side of the package 60 having the lead 66 and crossing each terminal pattern 64 as shown in FIG.

【0016】 従ってボード52をピン56に位置合せして基台50に重ね、ボード52の位 置決め孔62にIC58のパッケージ60を上から落し込めば、この孔62によ り位置決めされたIC58のリード66は、ボード52の対応する端子パターン 64の上に載ることになる。さらに上押え板54をピン56に位置合せして重ね れば、弾性材70がリード66を押し、リード66を端子パターン64に押圧す る。Therefore, if the board 52 is aligned with the pins 56 and stacked on the base 50, and the package 60 of the IC 58 is dropped into the positioning hole 62 of the board 52 from above, the IC 58 positioned by the hole 62 is positioned. The leads 66 of the above will be mounted on the corresponding terminal patterns 64 of the board 52. Further, when the upper pressing plate 54 is aligned with the pin 56 and overlapped with each other, the elastic member 70 pushes the lead 66 and the lead 66 against the terminal pattern 64.

【0017】 次に下押え板50について説明する。この下押え板50は図1に示すように、 発熱板で構成される。すなわちこの下押え板50は、ヒータ回路パターン100 がプリント回路形成の手法を用いて作画形成されたプリント配線板102と、こ の配線板102の両面に積層された金属板からなるメタルコア104、106と 、下のメタルコア106の下面に積層された第2のプリント配線板108とを有 する。Next, the lower pressing plate 50 will be described. The lower pressing plate 50 is composed of a heat generating plate as shown in FIG. That is, the lower presser plate 50 has a printed circuit board 102 on which the heater circuit pattern 100 is formed by a printed circuit forming method, and metal cores 104 and 106 made of metal plates laminated on both sides of the circuit board 102. And a second printed wiring board 108 laminated on the lower surface of the lower metal core 106.

【0018】 第2のプリント配線板108には、金属箔抵抗器や白金センサなどからなる面 状の温度センサが多数形成され、温度分布を検出することができる。またプリン ト配線板102に形成したヒータ回路パターン100は配線板102の分割され た多くの領域の温度分布を別々に制御できるように、多数の領域に分割されてい る。なおメタルコア104、106の表面は、必要に応じて絶縁層で絶縁されて いる。On the second printed wiring board 108, a large number of planar temperature sensors including metal foil resistors and platinum sensors are formed, and the temperature distribution can be detected. Further, the heater circuit pattern 100 formed on the printed wiring board 102 is divided into a large number of areas so that the temperature distributions of many divided areas of the wiring board 102 can be controlled separately. The surfaces of the metal cores 104 and 106 are insulated by an insulating layer as needed.

【0019】 図1において110は温度コントローラであり、前記第2のプリント配線板1 08の温度センサの出力に基づいて、ヒータ回路パターン100に供給する電流 を制御するものである。すなわち温度設定器(図示せず)により設定された温度 とこの第2のプリント配線基板108の温度センサの出力とを比較し、両者に差 に応じた制御信号aを出力する。In FIG. 1, 110 is a temperature controller, which controls the current supplied to the heater circuit pattern 100 based on the output of the temperature sensor of the second printed wiring board 108. That is, the temperature set by a temperature setter (not shown) is compared with the output of the temperature sensor of the second printed wiring board 108, and a control signal a corresponding to the difference is output to both.

【0020】 この信号aはパルス幅制御回路(PWM)112に入力され、この回路112 は信号aの電圧に応じてデューティ比が変化するヒータ電流Iを出力する。11 4は直流電源であり、この電源114が出力する電流をPWM112で前記のデ ューティ比で断続制御する。ヒータ回路パターン100はこの電流Iにより発熱 する。This signal a is input to a pulse width control circuit (PWM) 112, and this circuit 112 outputs a heater current I whose duty ratio changes according to the voltage of the signal a. Reference numeral 114 denotes a DC power source, and the current output from the power source 114 is intermittently controlled by the PWM 112 at the duty ratio. The heater circuit pattern 100 generates heat due to this current I.

【0021】 このヒータ回路パターン100の熱は、IC58に伝えられ、IC58は加熱 した状態で所定のテストが行われる。すなわちバーンイン用ボード52の回路パ ターンによりIC58の各端子の出力はICテスタ116に導かれ、所定のテス トが行われる。The heat of the heater circuit pattern 100 is transferred to the IC 58, and a predetermined test is performed while the IC 58 is heated. That is, the circuit pattern of the burn-in board 52 guides the output of each terminal of the IC 58 to the IC tester 116, and a predetermined test is performed.

【0022】 以上の実施例では下押え板50だけを発熱板で構成しているが、上押え板54 だけを発熱板としたり、上・下の両押え板50、54を共に発熱板としてもよい 。また面発熱体は、この実施例のヒータ回路パターン100に限定されるもので はなく、実質的に面発熱となるものであればよい。さらに発熱板は、実施例のよ うにメタルコアを積層したものとすれば、熱伝導性が良く温度分布を均一化する 点で望ましい。しかし本考案はメタルコアを持たないものも包含する。In the above embodiment, only the lower pressing plate 50 is constituted by the heat generating plate. However, only the upper pressing plate 54 may be used as the heating plate, or both the upper and lower pressing plates 50, 54 may be used as the heating plates. Good. The surface heating element is not limited to the heater circuit pattern 100 of this embodiment, and may be any surface heating element that substantially generates surface heating. Further, it is desirable that the heat generating plate is formed by laminating metal cores as in the embodiment, because the heat conductivity is good and the temperature distribution is uniform. However, the present invention also includes those without a metal core.

【0023】[0023]

【考案の効果】[Effect of device]

請求項1の考案は以上のように、バーンイン用ボードを挟む押え板の少くとも 一方を面発熱体を持った発熱板としたものであるから、この発熱板でICを加熱 してバーンインテストを行うことができる。このため大型の恒温槽を用いること なく少量のICのテストを能率良く行うことが可能になる。 According to the invention of claim 1, as described above, at least one of the pressing plates sandwiching the burn-in board is a heating plate having a surface heating element, and therefore the IC is heated by the heating plate to perform the burn-in test. It can be carried out. Therefore, it becomes possible to efficiently test a small amount of ICs without using a large-sized constant temperature bath.

【0024】 ここに発熱板は、ヒータ回路パターンを形成したプリント配線板により形成す ることができ(請求項2)、このプリント配線板はメタルコアを積層したものと するのが温度分布を均一にするために望ましい(請求項3)。またこの発熱板に は温度センサを設けておき、発熱板の温度を一定にコントロールするのが望まし い(請求項4)。Here, the heat generating plate can be formed by a printed wiring board having a heater circuit pattern formed thereon (claim 2). This printed wiring board is formed by laminating metal cores so that the temperature distribution is uniform. This is desirable (claim 3). Further, it is desirable that a temperature sensor be provided on this heat generating plate to control the temperature of the heat generating plate at a constant level (claim 4).

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例の全体概念図FIG. 1 is an overall conceptual diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】その要部の側断面図FIG. 2 is a side sectional view of a main part thereof.

【図3】その一部の拡大図[Fig. 3] Partly enlarged view

【図4】ICの装填状態を示す平面図FIG. 4 is a plan view showing a loading state of an IC.

【図5】従来の治具を示す側断面図FIG. 5 is a side sectional view showing a conventional jig.

【図6】ソケットの斜視図FIG. 6 is a perspective view of a socket.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

50 発熱板からなる下押え板 52 バーンイン用ボード 54 上押え板 58 IC 62 位置決め用孔 64 回路パターンとしての端子パターン 66 リード 100 ヒータ回路パターン 102 ヒータ付きのプリント配線板 104、106 メタルコア 108 温度センサ付きのプリント配線板 50 Lower Pressing Plate Made of Heating Plate 52 Burn-in Board 54 Upper Pressing Plate 58 IC 62 Positioning Hole 64 Terminal Pattern as Circuit Pattern 66 Lead 100 Heater Circuit Pattern 102 Printed Wiring Board with Heater 104, 106 Metal Core 108 with Temperature Sensor Printed wiring board

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/66 H 7630−4M D 7630−4M ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location H01L 21/66 H 7630-4M D 7630-4M

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ICのバーンインテストを行うバーンイ
ン装置において、ICの位置決め孔とここに位置決めさ
れたICのリードが接続される回路パターンとが形成さ
れたバーンイン用ボードと、このバーンイン用ボードを
その両側面より挟み前記ICを保持する一対の押え板と
を備え、前記押え板の少くとも一方を面発熱体を有する
発熱板で形成し、この発熱板により前記ICを加熱する
ことを特徴とするバーンイン装置。
1. A burn-in device for performing an IC burn-in test, comprising: a burn-in board in which a positioning hole of the IC and a circuit pattern to which leads of the IC positioned in the IC are connected; A pair of pressing plates for holding the IC sandwiched from both side surfaces, at least one of the pressing plates is formed by a heating plate having a surface heating element, and the IC is heated by the heating plates. Burn-in equipment.
【請求項2】 発熱板は、ヒータ回路パターンが作画形
成されたプリント配線板である請求項1のバーンイン装
置。
2. The burn-in device according to claim 1, wherein the heating plate is a printed wiring board on which a heater circuit pattern is formed and formed.
【請求項3】 プリント配線板は、ヒータ回路パターン
が作画形成された絶縁基板と、この基板に積層されたメ
タルコアとを有する請求項2のバーンイン装置。
3. The burn-in device according to claim 2, wherein the printed wiring board has an insulating substrate on which a heater circuit pattern is formed and formed, and a metal core laminated on the substrate.
【請求項4】 発熱板には温度センサが設けられ、この
発熱板の温度が温度コントローラにより一定に制御され
る請求項1のバーンイン装置。
4. The burn-in device according to claim 1, wherein the heat generating plate is provided with a temperature sensor, and the temperature of the heat generating plate is controlled to be constant by a temperature controller.
JP7598793U 1993-12-28 1993-12-28 IC burn-in equipment Pending JPH0743242U (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005122641A1 (en) * 2004-06-07 2005-12-22 Advantest Corporation Heater power control circuit and burn-in apparatus using the same
KR100770388B1 (en) * 2004-06-07 2007-10-26 가부시키가이샤 어드밴티스트 Heater power control circuit and burn-in apparatus using the same

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