JPH0740175Y2 - Flow controller - Google Patents
Flow controllerInfo
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- JPH0740175Y2 JPH0740175Y2 JP1989025777U JP2577789U JPH0740175Y2 JP H0740175 Y2 JPH0740175 Y2 JP H0740175Y2 JP 1989025777 U JP1989025777 U JP 1989025777U JP 2577789 U JP2577789 U JP 2577789U JP H0740175 Y2 JPH0740175 Y2 JP H0740175Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 A.考案の目的 （１）産業上の利用分野 本考案は、気体または液体等の流体を所定の流量で供給
する際に使用される流量制御装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A. Purpose of the Invention (1) Field of Industrial Application The present invention relates to a flow rate control device used when supplying a fluid such as gas or liquid at a predetermined flow rate.
本考案の流量制御装置は、ガスまたは液体クロマトグラ
フ等の分析機器、プロセス制御またはPVD等の真空装置
等において使用される。The flow control device of the present invention is used in analytical equipment such as gas or liquid chromatographs, process control or vacuum equipment such as PVD.
（２）従来の技術 この種の技術は、特開昭57−88320号公報または特開昭5
8−95217号公報等に記載されている。次に、これらの公
報に記載された従来技術の概略を第５図により説明す
る。(2) Conventional Technology This type of technology is disclosed in JP-A-57-88320 or JP-A-5
No. 8-95217, etc. Next, an outline of the conventional techniques described in these publications will be described with reference to FIG.
第５図において、流体導入路01から流入した流体は抵抗
素子が配置されたバイパス02とセンサ部03の毛細管04と
に一定の割合で分流する。センサ部03は、毛細管04、そ
の外側に巻かれた自己加熱型抵抗体05a,05bおよびこれ
らの自己加熱型抵抗体05a,05bとともにブリッジ回路06
を構成する図示しない抵抗体とから構成されている。自
己加熱型抵抗体05a,05bは毛細管04を流れる流体の流量
に比例して冷却されるが、上流側の自己加熱型抵抗体05
aを流れる流体の方が下流側の自己加熱型抵抗体05bより
も多く冷却される。このとき変化する自己加熱型抵抗体
05a,05bの抵抗値によってブリッジ回路06は不平行電圧
（流量検出信号）Ｖを発生する。この流量検出信号Ｖは
流量設定信号V0と比較されてそれらの差信号が出力さ
れ、この差信号が駆動アンプ07で増幅されてコントロー
ルバルブ08を開閉制御するのに使用されている。In FIG. 5, the fluid that has flowed in from the fluid introduction path 01 is split at a constant rate into the bypass 02 in which the resistance element is arranged and the capillary tube 04 of the sensor unit 03. The sensor unit 03 includes a capillary tube 04, self-heating resistors 05a and 05b wound on the outside thereof, and a bridge circuit 06 together with these self-heating resistors 05a and 05b.
And a resistor (not shown) that constitutes Although the self-heating type resistors 05a and 05b are cooled in proportion to the flow rate of the fluid flowing through the capillary tube 04, the self-heating type resistors 05 on the upstream side are cooled.
The fluid flowing through a is cooled more than the self-heating resistor 05b on the downstream side. Self-heating resistor that changes at this time
The bridge circuit 06 generates an unparallel voltage (flow rate detection signal) V depending on the resistance values of 05a and 05b. This flow rate detection signal V is compared with the flow rate setting signal V 0, and a difference signal between them is output, and this difference signal is amplified by the drive amplifier 07 and used to control the opening / closing of the control valve 08.
（３）考案が解決しようとする課題 前述の従来の流量制御装置では、流体をバイパス02とセ
ンサ部03とに分流しなければならないので、流路構成が
複雑になり、小型化の障害になっていた。さらに、流体
をバイパス02とセンサ部03とに一定の割合で分流させな
ければ測定精度が低下するが、一定の割合で分流させる
のが容易でないという問題点もあった。(3) Problems to be Solved by the Invention In the above-described conventional flow rate control device, the fluid has to be divided into the bypass 02 and the sensor unit 03, which complicates the flow path configuration and hinders miniaturization. Was there. Furthermore, if the fluid is not diverted to the bypass 02 and the sensor unit 03 at a constant rate, the measurement accuracy will be reduced, but it is not easy to diverge the fluid at a constant rate.
さらにまた、前記従来の流量制御装置は一定流量で流体
供給を行う際に使用できるだけで、一定圧力で流体供給
を行いたい場合には適応することができないという問題
点もあった。Furthermore, there is a problem that the conventional flow rate control device can be used only when fluid is supplied at a constant flow rate, and cannot be applied when it is desired to perform fluid supply at a constant pressure.
本考案は前述の問題点に鑑み、流路構成が簡素で小型化
の容易な流量制御装置を提供することを主な課題とす
る。また、流路構成が簡素でしかも圧力制御にも容易に
適応できる流量制御装置を提供することを他の主な課題
とする。In view of the above-mentioned problems, the present invention mainly aims to provide a flow rate control device which has a simple flow path configuration and is easily miniaturized. Another main object is to provide a flow rate control device having a simple flow path configuration and easily adaptable to pressure control.
B.考案の構成 （１）課題を解決するための手段 前記課題を解決するために、本出願の第１考案の流量制
御装置は、流体導入路（16）が形成された流体導入ブロ
ック（B3）と、前記流体導入路（16）に抵抗素子（14
a）を介して接続される減圧流体流路（11）が形成され
た減圧流体流通ブロック（B2）と、前記減圧流体流通ブ
ロック（B2）および前記流体導入ブロック（B3）間に配
置されて減圧流体流路（11）内の流体圧と流体導入路
（16）内の流体圧との圧力差を検出する差圧センサ（1
5）と、前記減圧流体流路（11）に調節弁（Ｆ）を介し
て接続される被調節流体流路（１）が形成された被調節
流体流通ブロック（B1）とを備えたことを特徴とする。B. Configuration of the Invention (1) Means for Solving the Problem In order to solve the above problems, the flow rate control device of the first invention of the present application is a fluid introduction block (B3) in which a fluid introduction path (16) is formed. ) And a resistance element (14
a) a reduced pressure fluid flow block (B2) formed with a reduced pressure fluid flow path (11) connected via a) and a reduced pressure fluid flow block (B2) and a fluid introduction block (B3). A differential pressure sensor (1) for detecting a pressure difference between the fluid pressure in the fluid flow path (11) and the fluid pressure in the fluid introduction path (16).
5) and a regulated fluid flow block (B1) in which a regulated fluid flow channel (1) connected to the depressurized fluid flow channel (11) via a control valve (F) is formed. Characterize.
また、本出願の第２考案の流量制御装置は、流体導入路
（16）が形成された流体導入ブロック（B3）と、前記流
体導入路（16）に抵抗素子（14a）を介して接続される
減圧流体流路（11）が形成された減圧流体流通ブロック
（B2）と、前記減圧流体流通ブロック（B2）および前記
流体導入ブロック（B3）間に配置されて減圧流体流路
（11）内の流体圧と流体導入路（16）内の流体圧との圧
力差を検出する差圧センサ（15）と、前記減圧流体流路
（11）に調節弁（Ｆ）を介して接続した被調節流体流路
（１）と、この被調節流体流路（１）内の流体圧を検出
する圧力センサ（４）と、前記差圧センサ（15）の検出
値が所定値となるように前記調節弁（Ｆ）を制御する流
量制御系と、前記圧力センサ（４）の検出値が所定値と
なるように前記調節弁（Ｆ）を制御する圧力制御系と、
これらの両制御系を選択的に作動させる制御系作動選択
手段（SW）とを備えたことを特徴とする。The flow rate control device of the second invention of the present application is connected to a fluid introduction block (B3) in which a fluid introduction path (16) is formed and to the fluid introduction path (16) via a resistance element (14a). A reduced pressure fluid flow block (B2) having a reduced pressure fluid flow channel (11) formed therein, and the reduced pressure fluid flow block (B2) and the fluid introduction block (B3). Differential pressure sensor (15) for detecting a pressure difference between the fluid pressure of the fluid and the fluid pressure in the fluid introduction path (16), and a regulated valve connected to the pressure reducing fluid flow path (11) via a control valve (F). The fluid passage (1), the pressure sensor (4) for detecting the fluid pressure in the regulated fluid passage (1), and the adjustment so that the detection value of the differential pressure sensor (15) becomes a predetermined value. A flow control system for controlling the valve (F) and the control valve (F) so that the detection value of the pressure sensor (4) becomes a predetermined value. And a pressure control system that Gosuru,
A control system operation selecting means (SW) for selectively operating both of these control systems is provided.
（２）作用 前述の構成を備えた本出願の第１考案の流量制御装置
は、流体導入路（16）と減圧流体流路（11）とが抵抗素
子（14a）を介して接続されるように前記流体導入ブロ
ック（B3）と減圧流体流通ブロック（B2）とを結合し、
また、減圧流体流路（11）と被調節流体流路（１）とが
調節弁（Ｆ）を介して接続されるように、減圧流体流通
ブロック（B2）と被調節流体流通ブロック（B1）とを結
合して構成される。(2) Operation In the flow rate control device of the first invention of the present application having the above-described configuration, the fluid introduction path (16) and the decompression fluid flow path (11) are connected via the resistance element (14a). The fluid introduction block (B3) and the reduced pressure fluid circulation block (B2) are connected to
Further, the pressure reducing fluid flow block (B2) and the regulated fluid flow block (B1) are arranged so that the pressure reducing fluid flow channel (11) and the regulated fluid flow channel (1) are connected via the control valve (F). It is composed by combining and.
また、抵抗素子（14a）および調節弁（Ｆ）が各ブロッ
クとブロックとの間に配置される構成となっているの
で、各ブロック内部にそれらの収容部を形成する必要が
ない。したがって、各ブロック内部に形成する流路は構
成が簡素となる。したがって、各ブロックを小型に構成
することができるので、流量制御装置全体の小型化も容
易となっている。In addition, since the resistance element (14a) and the control valve (F) are arranged between the blocks, it is not necessary to form the accommodating portion inside each block. Therefore, the flow path formed inside each block has a simple structure. Therefore, since each block can be configured in a small size, it is easy to downsize the entire flow rate control device.
さらに、前記抵抗素子（14a）の上流側に接続される流
体導入路（16）を有する流体導入ブロック（B3）および
下流側に接続される減圧流体流路（11）を有する減圧流
体流通ブロック（B2）は、互いに接近して配置される。
したがって前記接近した流体導入ブロック（B3）および
減圧流体流通ブロック（B2）間に配置される前記差圧セ
ンサ（15）は、接近した前記流体導入ブロック（B3）お
よび減圧流体流通ブロック（B2）間に容易かつコンパク
トに配置することができる。Furthermore, a reduced pressure fluid flow block (B3) having a fluid introduction passage (16) connected to the upstream side of the resistance element (14a) and a reduced pressure fluid flow block (11) connected to the downstream side ( B2) are placed close to each other.
Therefore, the differential pressure sensor (15) arranged between the fluid introduction block (B3) and the depressurization fluid flow block (B2) that are close to each other is provided between the fluid introduction block (B3) and the pressure reduction fluid flow block (B2) that are close to each other. Can be arranged easily and compactly.
また、前記差圧センサ（15）により流量を容易に検出す
ることができるので、流量検出用の分岐流路を設ける必
要がない。したがって、流路構成が簡素となっている。Further, since the flow rate can be easily detected by the differential pressure sensor (15), it is not necessary to provide a branch flow path for flow rate detection. Therefore, the flow channel structure is simple.
また、本出願の第２考案の流量制御装置は、前記第１考
案の奏する作用効果と略同様の作用効果を奏するほか、
前記差圧センサ（15）の検出値が所定値となるように前
記調節弁（Ｆ）を制御する流量制御系と、前記圧力セン
サ（４）の検出値が所定値となるように前記調節弁
（Ｆ）を制御する圧力制御系と、これらの両制御系を選
択的に作動させる制御系作動選択手段（SW）とを備えて
いるので、一定流量での流体供給と一定圧力での流体供
給を選択的に行うことができる。Further, the flow rate control device of the second invention of the present application has substantially the same operational effect as the operational effect of the first invention.
A flow control system for controlling the regulating valve (F) so that the detection value of the differential pressure sensor (15) becomes a predetermined value, and the regulating valve so that the detection value of the pressure sensor (4) becomes a predetermined value. Since the pressure control system for controlling (F) and the control system operation selecting means (SW) for selectively operating both of these control systems are provided, fluid supply at a constant flow rate and fluid supply at a constant pressure are provided. Can be selectively performed.
（３）実施例 以下、図面により本考案の流量制御装置の一実施例を説
明する。(3) Embodiment An embodiment of the flow rate control device of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1,2図において、被調節流体流通ブロックB1には、そ
の上面に被調節流体流路１が形成されている。この被調
節流体流路１は第１図において左右に延びており、その
横断面形状は第２図に示すように長方形である。この被
調節流体流路１の第１図において中央部のやや左側の位
置には下方に延びるバネ収容穴２が形成されている。こ
のバネ収容穴２にはリターンバネ３が収容されている。
また、前記被調節流体流路１の第１図において右端側に
は圧力センサ４が配設されている。In FIGS. 1 and 2, the regulated fluid flow block B 1 has a regulated fluid flow path 1 formed on the upper surface thereof. This regulated fluid channel 1 extends to the left and right in FIG. 1, and its cross-sectional shape is rectangular as shown in FIG. A spring accommodating hole 2 extending downward is formed at a position on the slightly left side of the central portion of the regulated fluid channel 1 in FIG. A return spring 3 is housed in the spring housing hole 2.
A pressure sensor 4 is disposed on the right end side of the regulated fluid flow path 1 in FIG.
前記被調節流体流通ブロックB1の上面には、減圧流体流
通ブロックB2が適当なボルト等の締結部材（図示せず）
によって結合されている。 On the upper surface of the regulated fluid flow block B 1 , a pressure reducing fluid flow block B 2 is a suitable fastening member such as a bolt (not shown).
Are joined by.
この減圧流体流通ブロックB2の下面には前記被調節流体
流路１内に配置されるフラッパ５の一方の端部（第１図
中、左端部）が支持されている。このフラッパ５の下面
は前記リターンバネ３によって持ち上げられている。前
記減圧流体流通ブロックB2には、その上面に設けられた
被調節流体排出用接続管６と前記被調節流体流路１とを
接続する排出用被調節流体流路７が形成されている。ま
た、減圧流体流通ブロックB2には、前記被調節流体流路
１に連通するノズル装着部８と、外側面に開口する抵抗
素子接続部９（第２図参照）および差圧センサ接続部10
とを互いに連通させる減圧流体流路11が形成されてい
る。また、減圧流体流通ブロックB2には、アクチュエー
タ装着部12（第１図参照）が形成されている。One end portion (left end portion in FIG. 1) of the flapper 5 arranged in the regulated fluid flow path 1 is supported on the lower surface of the reduced pressure fluid flow block B 2 . The lower surface of the flapper 5 is lifted by the return spring 3. The pressure-reduced fluid circulation block B 2 is provided with a regulated fluid discharge flow passage 7 for connecting the regulated fluid discharge connection pipe 6 provided on the upper surface thereof and the regulated fluid flow passage 1. Further, in the reduced pressure fluid flow block B 2 , the nozzle mounting portion 8 communicating with the regulated fluid flow path 1, the resistance element connecting portion 9 (see FIG. 2) and the differential pressure sensor connecting portion 10 that open to the outer side surface are provided.
A depressurized fluid flow channel 11 is formed to connect the and. Further, an actuator mounting portion 12 (see FIG. 1) is formed in the depressurized fluid circulation block B 2 .
前記ノズル装着部８にはノズル13が装着されており、こ
のノズル13の先端は前記フラッパ５の上面に接近して配
置されている。そして、このノズル13の先端とフラッパ
５の上面との間隔を調節することにより、減圧流体流路
11から被調節流体流路１への流量の制御が行えるように
なっている。すなわち、この実施例では前記ノズル13と
フラッパ５とから流量を調節する調節弁Ｆが構成されて
いる。また、前記抵抗素子接続部９には抵抗素子として
の層流素子14aを内蔵した層流素子内蔵ブロック14が接
続され、前記差圧センサ接続部10には差圧センサ15が接
続されている。A nozzle 13 is mounted on the nozzle mounting portion 8, and the tip of the nozzle 13 is arranged close to the upper surface of the flapper 5. Then, by adjusting the distance between the tip of the nozzle 13 and the upper surface of the flapper 5, the pressure-reducing fluid flow path is formed.
The flow rate from 11 to the controlled fluid flow path 1 can be controlled. That is, in this embodiment, the control valve F for controlling the flow rate is constituted by the nozzle 13 and the flapper 5. A laminar flow element built-in block 14 having a laminar flow element 14a as a resistance element is connected to the resistance element connection portion 9, and a differential pressure sensor 15 is connected to the differential pressure sensor connection portion 10.
前記減圧流体流通ブロックB2に図示しないネジ部材によ
って結合された流体導入ブロックB3には、流体導入路16
が形成されており、この流体導入路16は、流体導入ブロ
ックB3の外側面に設けられた流体導入用接続管17、抵抗
素子接続部18および差圧センサ接続部19に連通してい
る。The fluid introduction block B 3 connected to the reduced pressure fluid circulation block B 2 by a screw member (not shown) has a fluid introduction path 16
The fluid introduction path 16 communicates with the fluid introduction connection pipe 17, the resistance element connection portion 18, and the differential pressure sensor connection portion 19 provided on the outer surface of the fluid introduction block B 3 .
前記流体導入ブロックB3の抵抗素子接続部18と減圧流体
流通ブロックB2の抵抗素子接続部９とは互いに対向して
配置され、それらの間は前記層流素子内蔵ブロック14に
より接続されている。また、前記導入ブロックB3の差圧
センサ接続部19と減圧流体流通ブロックB2の差圧センサ
接続部10とは互いに対向して配置され、それらの間に前
記差圧センサ15が配設されている。そしてこの差圧セン
サ15はその両端すなわち前記両差圧センサ接続部19,10
間の差圧を検出している。The resistance element connection portion 18 of the fluid introduction block B 3 and the resistance element connection portion 9 of the decompression fluid circulation block B 2 are arranged to face each other, and they are connected by the laminar flow element built-in block 14. . Further, the differential pressure sensor connection portion 19 of the introduction block B 3 and the differential pressure sensor connection portion 10 of the reduced pressure fluid circulation block B 2 are arranged to face each other, the differential pressure sensor 15 is arranged between them. ing. The differential pressure sensor 15 is provided at both ends thereof, that is, both the differential pressure sensor connecting portions 19 and 10.
The pressure difference between them is detected.
また、前記アクチュエータ装着部12には、アクチュエー
タ内蔵ケーシング20が装着され、このアクチュエータ内
蔵ケーシング20には下端を前記被調節流体流路１に開口
させたアクチュエータ収容部20aが形成されている。こ
のアクチュエータ収容部20aの頂壁には上下方向に伸縮
制御される圧電素子により構成されたアクチュエータ21
が固定されており、このアクチュエータ21の下端は前記
アクチュエータ収容部20aの下端を覆うベローズ22に接
触している。そしてこのベローズ22は、アクチュエータ
収容部20aと被調節流体流路１とを分離しており、また
前記フラッパ５の上面に接触している。したがって前記
アクチュエータ21を伸縮制御することにより前記調節弁
Ｆの開度を調節できるように構成されている。A casing 20 with a built-in actuator is mounted on the actuator mounting portion 12, and an actuator accommodating portion 20a whose lower end is opened to the fluid to be adjusted 1 is formed on the casing 20 with a built-in actuator. On the top wall of the actuator accommodating portion 20a, an actuator 21 composed of a piezoelectric element whose expansion and contraction is controlled in the vertical direction
Is fixed, and the lower end of the actuator 21 is in contact with the bellows 22 that covers the lower end of the actuator accommodating portion 20a. The bellows 22 separates the actuator accommodating portion 20a from the regulated fluid flow path 1 and is in contact with the upper surface of the flapper 5. Therefore, the opening degree of the control valve F can be adjusted by controlling the expansion and contraction of the actuator 21.
第３図は、前記第1,2図に示した流量制御装置の制御系
の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a control system of the flow rate control device shown in FIGS.
第３図において、比較器C1は、前記差圧センサ15の検出
信号ΔＰと流量設定値ΔＰ０との差信号を出力し、比較
器C2は、前記圧力センサ４の検出信号Ｐと圧力設定値P0
との差信号を出力している。制御系作動選択手段として
の切換スイッチSWは前記各比較器C1，C2の出力のいずれ
か一方を選択して駆動アンプＡに出力し、駆動アンプＡ
の出力信号は前記アクチュエータ21を作動させるように
構成されている。In FIG. 3, the comparator C 1 outputs a difference signal between the detection signal ΔP of the differential pressure sensor 15 and the flow rate setting value ΔP 0, and the comparator C 2 outputs the detection signal P of the pressure sensor 4 and the pressure. Set value P 0
It outputs the difference signal between. The changeover switch SW as the control system operation selecting means selects one of the outputs of the comparators C 1 and C 2 and outputs the selected output to the drive amplifier A.
Output signal is configured to actuate the actuator 21.
次に、第１〜３図を参照して前述の実施例の作用を説明
する。Next, the operation of the above-described embodiment will be described with reference to FIGS.
前述の実施例では、層流素子14aを内蔵した層流素子内
蔵ブロック14および差圧センサ15は、流体導入ブロック
B3と減圧流体流通ブロックB2との接続部に配置され、調
節弁Ｆは減圧流体流通ブロックB2と被調節流体流通ブロ
ックB1との接続部に配置される構成となっているので、
各ブロック内部にそれらの収容部を形成する必要がな
い。したがって、各ブロック内部に形成する流路の構成
は簡素になっている。In the above-described embodiment, the laminar flow element built-in block 14 having the laminar flow element 14a built therein and the differential pressure sensor 15 are the fluid introduction block.
Since it is arranged at the connecting portion between B 3 and the reduced pressure fluid flow block B 2, and the control valve F is arranged at the connecting portion between the reduced pressure fluid flow block B 2 and the regulated fluid flow block B 1 ,
It is not necessary to form those accommodating parts inside each block. Therefore, the structure of the flow path formed inside each block is simple.
そして、前記流体導入用接続管17から流体導入路16に導
入された流体（たとえば、ガスクロマトグラフで使用さ
れるキャリアガス）は順次前記層流素子14a、前記減圧
流体流路11、調節弁Ｆ、被調節流体流路１および排出用
被調節流体流路７を通って被調節流体排出用接続管６か
ら排出される。そして、前記流体導入路16内のキャリア
ガスの圧力と前記減圧流体流路11内のキャリアガスの圧
力との差は差圧センサ15によって検出される。検出され
た差圧ΔＰは比較器C1で流量設定値ΔＰ０と比較され
て、それらの差信号が切換スイッチSWに出力される。と
ころで、流体が層流状態にあるときには、層流素子14a
固有の抵抗値をＲとすれば、層流素子14a前後の差圧Δ
Ｐと流量Ｑとの間にはΔＰ＝RQなる関係があるので、差
圧センサ15の検出値ΔＰを制御することにより流量制御
を行うことができる。Then, the fluid (for example, carrier gas used in a gas chromatograph) introduced from the fluid introducing connection pipe 17 into the fluid introducing passage 16 is sequentially the laminar flow element 14a, the depressurizing fluid flow passage 11, the control valve F, It is discharged from the adjusted fluid discharge connecting pipe 6 through the adjusted fluid flow channel 1 and the discharge controlled fluid flow channel 7. Then, the difference between the pressure of the carrier gas in the fluid introduction passage 16 and the pressure of the carrier gas in the reduced pressure fluid passage 11 is detected by the differential pressure sensor 15. The detected differential pressure ΔP is compared with the flow rate setting value ΔP 0 by the comparator C 1 , and the difference signal between them is output to the changeover switch SW. By the way, when the fluid is in the laminar flow state, the laminar flow element 14a
If the inherent resistance value is R, the differential pressure Δ before and after the laminar flow element 14a
Since there is a relation of ΔP = RQ between P and the flow rate Q, the flow rate can be controlled by controlling the detection value ΔP of the differential pressure sensor 15.
また、前記圧力センサ４で検出された被調節流体流路１
内の測定ガスの圧力は比較器C2で圧力設定値P0と比較さ
れて、それらの差信号が前記切換スイッチSWに出力され
る。In addition, the regulated fluid channel 1 detected by the pressure sensor 4
The pressure of the measurement gas therein is compared with the pressure setting value P 0 by the comparator C 2 , and the difference signal between them is output to the changeover switch SW.
前記比較器C1，C2からの出力信号は切換スイッチSWでい
ずれか一方が選択されて駆動アンプＡに入力される。そ
して、駆動アンプＡの出力信号により前記アクチュエー
タ21は、前記比較器C1またはC2の出力が０になるように
調節弁Ｆを作動させる。 One of the output signals from the comparators C 1 and C 2 is selected by the changeover switch SW and input to the drive amplifier A. Then, the actuator 21 operates the control valve F so that the output of the comparator C 1 or C 2 becomes 0 by the output signal of the drive amplifier A.
したがって、切換スイッチSWにより、比較器C1の出力が
選択されたときには流量制御を行うことができ、また、
比較器C2の出力が選択されたときには圧力制御を行うこ
とができる。Therefore, when the output of the comparator C 1 is selected by the changeover switch SW, the flow rate can be controlled, and
Pressure control can be performed when the output of the comparator C 2 is selected.
次に第４図により本考案の流量制御装置の第２実施例を
説明する。Next, a second embodiment of the flow rate control device of the present invention will be described with reference to FIG.
この第２実施例の流量制御装置は、被調節流体流通ブロ
ックB1の調節流体流路１内に配置された調節弁Ｆ′がノ
ズル13とベローズ５′とにより構成されている点、およ
び前記調節弁Ｆ′の開度を調節するアクチュエータ21′
が前記ベローズ５′内に配置されている点で、前記第１
実施例と相違しているが、その他の点では前記第１実施
例と同様に構成されている。そして、この第２実施例は
前記第１実施例と同様の作用を奏する。In the flow rate control device of the second embodiment, the control valve F'arranged in the control fluid flow path 1 of the control target fluid flow block B 1 is constituted by the nozzle 13 and the bellows 5 ', and Actuator 21 'for adjusting the opening degree of the control valve F'
Is arranged in the bellows 5 ',
Although different from the embodiment, the other points are configured similarly to the first embodiment. And this 2nd Example has the same effect | action as the said 1st Example.
以上、本考案の実施例を詳述したが、本考案は、前記実
施例に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範
囲に記載された本考案を逸脱することなく、種々の小設
計変更を行うことが可能である。Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various small designs can be made without departing from the present invention described in the scope of claims for utility model registration. It is possible to make changes.
たとえば、前記調節弁F,F′の開度を調節するアクチュ
エータ21,21′としては、圧電素子の代わりにソレノイ
ド、ムービングコイル型のフォースモータ等を採用する
ことも可能である。また、前記調節弁F,F′として前述
の特開昭57−88320号公報に記載された流量制御弁や他
の従来公知の制御弁を採用することも可能である。さら
にまた、抵抗素子としては種々の層流素子を使用するこ
とが可能であり、またオリフィスを使用することも可能
である。そして使用する抵抗素子により前記差圧ΔＰに
対する流量の式が異なる場合、それに応じて流量設定値
ΔＰを調節すればよい。For example, as the actuators 21 and 21 'for adjusting the opening degree of the control valves F and F', it is possible to employ solenoids, moving coil type force motors or the like instead of the piezoelectric elements. Further, as the control valves F and F ', it is also possible to adopt the flow rate control valve described in the above-mentioned JP-A-57-88320 or other conventionally known control valves. Furthermore, it is possible to use various laminar flow elements as the resistance element and it is also possible to use an orifice. When the flow rate formula for the differential pressure ΔP differs depending on the resistance element used, the flow rate set value ΔP may be adjusted accordingly.
C.考案の効果 前述の構成を備えた本出願の第１考案の流量制御装置
は、流量検出用の分岐流路が設けられていないので、流
路構成が簡素となっている。また、抵抗素子および調節
弁が各ブロックとブロックとの間に配置される構成とな
っているので、各ブロック内部にそれらの収容部を形成
する必要がない。したがって、各ブロック内部に形成す
る流路は構成が簡素となるので、各ブロックを小型に構
成することができる。したがって、流量制御装置全体の
小型化も容易となっている。C. Effect of the Invention In the flow rate control device of the first invention of the present application having the above-described configuration, the flow path configuration is simple because the branch flow path for flow rate detection is not provided. Further, since the resistance element and the control valve are arranged between the blocks, it is not necessary to form the accommodating portion for each of the blocks. Therefore, since the flow path formed inside each block has a simple structure, each block can be downsized. Therefore, it is easy to downsize the entire flow rate control device.
また、前述の構成を備えた本出願の第２考案の流量制御
装置は、流量検出用の分岐流路が設けられていないの
で、流路構成が簡素となっている。また、前記差圧セン
サの検出値が所定値となるように前記調節弁を制御する
流量制御系と、前記圧力センサの検出値が所定値となる
ように前記調節弁を制御する圧力制御系と、これらの両
制御系を選択的に作動させる制御系作動選択手段とを備
えているので、一定流量での流体供給と一定圧力での流
体供給を選択的に行うことができる。Further, since the flow rate control device of the second invention of the present application having the above-mentioned configuration does not have the branch flow channel for flow rate detection, the flow channel configuration is simple. Further, a flow rate control system that controls the regulating valve so that the detection value of the differential pressure sensor becomes a predetermined value, and a pressure control system that controls the regulating valve so that the detection value of the pressure sensor becomes a predetermined value. Since the control system operation selecting means for selectively operating both of these control systems is provided, fluid supply at a constant flow rate and fluid supply at a constant pressure can be selectively performed.
第１図は本考案の流量制御装置の第１実施例の構造説明
図、第２図は第１図のII−II線断面図、第３図は同第１
実施例の制御系の説明図、第４図は第２実施例の説明
図、第５図は従来の流量制御装置の説明図、である。 B1……被調節流体流通ブロック、B2……減圧流体流通ブ
ロック、B3……流体導入ブロック、F,F′……調節弁 １……被調節流体流路、11……減圧流体流路、14a……
抵抗素子（層流素子）、15……差圧センサ、16、……流
体導入路FIG. 1 is a structural explanatory view of a first embodiment of a flow rate control device of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a control system of the embodiment, FIG. 4 is an explanatory diagram of the second embodiment, and FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional flow rate control device. B 1 …… Adjusted fluid flow block, B 2 …… Depressurized fluid flow block, B 3 …… Fluid introduction block, F, F ′ …… Control valve 1 …… Adjusted fluid flow path, 11 …… Depressurized fluid flow Road, 14a ...
Resistance element (laminar flow element), 15 ... Differential pressure sensor, 16 ,.
Claims (2)
と、前記流体導入路に抵抗素子を介して接続される減圧
流体流路が形成された減圧流体流通ブロックと、前記減
圧流体流通ブロックおよび流体導入ブロック間に配置さ
れて減圧流体流路内の流体圧と流体導入路内の流体圧と
の圧力差を検出する差圧センサと、前記減圧流体流路に
調節弁を介して接続される被調節流体流路が形成された
被調節流体流通ブロックとを備えた流量制御装置。1. A fluid introduction block in which a fluid introduction path is formed, a decompression fluid flow block in which a decompression fluid flow path connected to the fluid introduction path via a resistance element is formed, the decompression fluid flow block, and A differential pressure sensor that is arranged between the fluid introduction blocks and detects a pressure difference between the fluid pressure in the reduced pressure fluid passage and the fluid pressure in the fluid introduction passage, and is connected to the reduced pressure fluid passage through a control valve. A flow rate control device comprising a controlled fluid flow block in which a controlled fluid flow path is formed.
と、前記流体導入路に抵抗素子を介して接続される減圧
流体流路が形成された減圧流体流通ブロックと、前記減
圧流体流通ブロックおよび前記流体導入ブロック間に配
置されて減圧流体流路内の流体圧と流体導入路内の流体
圧との圧力差を検出する差圧センサと、前記減圧流体流
路に調節弁を介して接続した被調節流体流路と、この被
調節流体流路内の流体圧を検出する圧力センサと、前記
差圧センサの検出値が所定値となるように前記調節弁を
制御する流量制御系と、前記圧力センサの検出値が所定
値となるように前記調節弁を制御する圧力制御系と、こ
れらの両制御系を選択的に作動させる制御系作動選択手
段とを備えた流量制御装置。2. A fluid introduction block in which a fluid introduction path is formed, a decompression fluid flow block in which a decompression fluid flow path is formed which is connected to the fluid introduction path via a resistance element, the decompression fluid flow block, and A differential pressure sensor that is arranged between the fluid introduction blocks and detects a pressure difference between a fluid pressure in the reduced pressure fluid passage and a fluid pressure in the fluid introduction passage, and is connected to the reduced pressure fluid passage through a control valve. A regulated fluid channel, a pressure sensor for detecting a fluid pressure in the regulated fluid channel, a flow rate control system for controlling the regulating valve so that a detection value of the differential pressure sensor becomes a predetermined value, A flow rate control device comprising a pressure control system for controlling the control valve so that the detection value of the pressure sensor becomes a predetermined value, and control system operation selecting means for selectively operating both of these control systems.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989025777U JPH0740175Y2 (en) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | Flow controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989025777U JPH0740175Y2 (en) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | Flow controller |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118226U JPH02118226U (en) | 1990-09-21 |
| JPH0740175Y2 true JPH0740175Y2 (en) | 1995-09-13 |
Family
ID=31246809
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1989025777U Expired - Fee Related JPH0740175Y2 (en) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | Flow controller |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740175Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007086394A1 (en) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Fujikin Incorporated | Pressure sensor device and fluid control device having built-in pressure sensor |
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| JP3604059B2 (en) * | 1998-07-17 | 2004-12-22 | 株式会社堀場製作所 | Partial dilution type gas dilution system |
| JP2011248773A (en) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Horiba Ltd | Flow rate ratio control device |
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| JPS6062117U (en) * | 1983-10-04 | 1985-05-01 | 株式会社 京浜精機製作所 | flow control valve |
-
1989
- 1989-03-07 JP JP1989025777U patent/JPH0740175Y2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02118226U (en) | 1990-09-21 |
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