JPH0314010A - Mass flow controller - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、工業用プロセスガスの流量制御器に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to an industrial process gas flow rate controller.
第２図は従来の一例を示すマスフローコントローラのブ
ロック図である。FIG. 2 is a block diagram of a conventional mass flow controller.
従来、この種のマスフローコントローラは、第２図に示
すように、センサー８、バイパス部１３、コントロール
バルブ６、各種電気回路２゜３．４で構成されていた。Conventionally, this type of mass flow controller has been comprised of a sensor 8, a bypass section 13, a control valve 6, and various electric circuits 2.3.4, as shown in FIG.
センサー８は、バイパス２管である毛細管に二つの自己
発熱抵抗体が巻かれ、ブリッジ回路２に接続されている
。ここで、バイパス管にガスが流れると、センサー８が
熱の移動に伴ない感知し、ブリッジ回路２のバランスが
くずれる。このバランスのくずれは、流体の質量と単位
時間当たりの流量に比例するものであるが、比較制御回
路４が、ブリッジ回路２の出力電圧を増幅回路３で増幅
した電圧と流量設定器から入力された電圧を比較し、コ
ントロールバルブの開度を制御することにより、マスフ
ローコントローラは、目的の流量を得ることができた。The sensor 8 has two self-heating resistors wound around a capillary tube, which is two bypass tubes, and is connected to the bridge circuit 2. Here, when gas flows into the bypass pipe, the sensor 8 senses the movement of heat, causing the bridge circuit 2 to become unbalanced. This imbalance is proportional to the mass of the fluid and the flow rate per unit time, but the comparison control circuit 4 receives the output voltage of the bridge circuit 2, which is amplified by the amplifier circuit 3, and the voltage input from the flow rate setting device. By comparing the voltages and controlling the opening of the control valve, the mass flow controller was able to obtain the desired flow rate.
上述した従来のマスフローコントローラでは、通常、比
較制御回路４又は、ブリッジ回路２が故障した場合、コ
ントロールバルブ６が全開になることがあり、自燃性ガ
ス、毒性を持つガス等を使用する場合は、配管内に他の
安全装置を組み入れる必要があるので、ガスシステムの
規模が大きくなり、また構成が煩雑となる欠点を持って
いた。In the above-mentioned conventional mass flow controller, if the comparison control circuit 4 or the bridge circuit 2 fails, the control valve 6 may become fully open. Since it is necessary to incorporate other safety devices into the piping, the scale of the gas system becomes large and the structure becomes complicated.
さらに、マスフローコントローラに流量制限として固定
オリフィスを取付けた場合でも、−次側ガス圧が適当で
なかった場合、マスフローコントローラの制御流量範囲
以上のガスが流れる危険があった。Further, even when a fixed orifice is attached to the mass flow controller to restrict the flow rate, if the downstream side gas pressure is not appropriate, there is a risk that gas exceeding the control flow rate range of the mass flow controller will flow.
本発明の目的は、かかる問題を解消するマスフローコン
トローラを提供することにある。An object of the present invention is to provide a mass flow controller that solves this problem.
本発明のマスフローコントローラは、工業用プロセスガ
スの流量制御を行なうマスフローコントローラにおいて
、ガス入口側に設けられた流量を検出するセンサと、こ
のセンサより出力を圧力伝送器を介して入力するバルブ
開度制限回路と、このバルブ開度制限回路の出力により
コントロールバルブの開閉を制御するバルブ開度制限器
とを備え構成される。The mass flow controller of the present invention is a mass flow controller that controls the flow rate of industrial process gas, and includes a sensor that detects the flow rate provided on the gas inlet side, and a valve opening that inputs the output from this sensor via a pressure transmitter. The valve opening limiter includes a limiting circuit and a valve opening limiter that controls opening and closing of the control valve based on the output of the valve opening limiting circuit.
〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。〔Example〕 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第１図は、本発明の一実施例を示すマスフローコントロ
ーラのブロック図である。このマスフローコントローラ
は、同図に示すように、許容量以上のガスが流出しない
ように、ガス人口１側に圧力検出器１１を、この圧力検
出器１１より流量を検出し、圧力伝送器９を介して作動
するバルブ開度制限回路１０と、この制限回路１０によ
り制御されるバルブ開度制限器５を設けたことである。FIG. 1 is a block diagram of a mass flow controller showing one embodiment of the present invention. As shown in the figure, this mass flow controller has a pressure detector 11 on the gas population 1 side, detects the flow rate from this pressure detector 11, and connects a pressure transmitter 9 to prevent gas exceeding the permissible amount from flowing out. The valve opening limiter 5 is provided with a valve opening limiting circuit 10 that operates through the valve opening limiting circuit 10 and a valve opening limiting device 5 that is controlled by the limiting circuit 10.
その他は従来例と同じである。The rest is the same as the conventional example.
次に、このマスフローコントローラの動作を説明する。Next, the operation of this mass flow controller will be explained.
まず、マスフローコントローラ内部にガスが供給される
と、圧力検知器１１によりガス圧が検知され、圧力伝送
器９を介し、バルブ開度制限回路１０にガス圧に応じた
信号が入力される。First, when gas is supplied into the mass flow controller, the pressure detector 11 detects the gas pressure, and a signal corresponding to the gas pressure is input to the valve opening limit circuit 10 via the pressure transmitter 9.
入力されたバルブ開度制限回路１０は入力信号に応じて
出力信号をバルブ開度制限器５に出力し、比較制御回路
４からの出力と重畳し、コントロールバルブ６を制御す
る。The input valve opening limit circuit 10 outputs an output signal to the valve opening limiter 5 in accordance with the input signal, and superimposes the output signal on the output from the comparison control circuit 4 to control the control valve 6.
通常、コントロールバルブが全開時のガス流量は、ガス
種とガス圧、マスフローコントローラの圧力損失によっ
て決定される０本実施例では、コントロールバルブ６の
開度の上限をガス圧によって変化させ、マスフローコン
トローラの故障時にも、マスフローコントローラから許
容量以上のガス流出を防止するものである。また、ガス
圧力がマスフローコントローラの最大使用圧よりも高く
なった場合、コントロールバルブを全閉とする機能を備
え、通常の使用時は、従来のマスフローコントローラと
同じ動作ができる。Normally, the gas flow rate when the control valve is fully open is determined by the gas type, gas pressure, and pressure loss of the mass flow controller. In this embodiment, the upper limit of the opening degree of the control valve 6 is changed depending on the gas pressure, and This prevents more than the allowable amount of gas from flowing out from the mass flow controller even in the event of a failure. It also has a function to fully close the control valve when the gas pressure becomes higher than the maximum working pressure of the mass flow controller, and during normal use it can operate in the same way as a conventional mass flow controller.
以上説明したように本発明は、マスフローコントローラ
に圧力検知−器、圧力伝送器とその信号によりバルブ開
度を制限する機構を設けることにより、ガス圧の異常時
、マスフローコントローラの故障時にガス流量の暴走を
抑制し、大流量のガスが流れないようにすることができ
る。また、安全のなめにガスシステムに取付けられるニ
ードル弁、接点出力付圧力警報器などを組み込む必要が
ないため、ガスシステムの構成を簡素化することが可能
となり、ガスシステムをコンパクト化できる効果がある
。As explained above, the present invention provides a mass flow controller with a pressure detector, a pressure transmitter, and a mechanism that limits the valve opening using their signals. It is possible to suppress runaway and prevent a large flow of gas from flowing. Additionally, since there is no need to incorporate needle valves or pressure alarms with contact outputs that are attached to the gas system for safety reasons, it is possible to simplify the configuration of the gas system, which has the effect of making the gas system more compact. .
第１図は本発明な一実施例を示すマスフローコントロー
ラの１のブロック図、第２図は、従来の一例を示すマス
フローコントローラのブロック図である。
１・・・ガス入口、２・・・ブリッジ回路、３・・・増
幅回路、４・・・比較制御回路、５・・・バルブ開度制
限器、６・・・コントロールバルブ、７・・・ガス出口
、８・・・センサー ９・・・圧力伝送器、１０・・・
バルブ開度制限回路、１１・・・力検知器、１２・・・
流量設定器、１３・・・バイパス部。FIG. 1 is a block diagram of a mass flow controller showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a mass flow controller showing an example of a conventional mass flow controller. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Gas inlet, 2... Bridge circuit, 3... Amplification circuit, 4... Comparison control circuit, 5... Valve opening limiter, 6... Control valve, 7... Gas outlet, 8...sensor 9...pressure transmitter, 10...
Valve opening limit circuit, 11...force detector, 12...
Flow rate setting device, 13... bypass section.
Claims (1)
トローラにおいて、ガス入口側に設けられた流量を検出
するセンサと、このセンサより出力を圧力伝送器を介し
て入力するバルブ開度制限回路と、このバルブ開度制限
回路の出力によりコントロールバルブの開閉を制御する
バルブ開度制限器とを備えることを特徴とするマスフロ
ーコントローラ。A mass flow controller that controls the flow rate of industrial process gas includes a sensor installed on the gas inlet side that detects the flow rate, a valve opening limit circuit that inputs the output from this sensor via a pressure transmitter, and a valve opening limit circuit that inputs the output from this sensor via a pressure transmitter. 1. A mass flow controller comprising: a valve opening limiter that controls opening and closing of a control valve based on the output of a degree limiting circuit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15009589A JPH0314010A (en) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | Mass flow controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15009589A JPH0314010A (en) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | Mass flow controller |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0314010A true JPH0314010A (en) | 1991-01-22 |
Family
ID=15489405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15009589A Pending JPH0314010A (en) | 1989-06-12 | 1989-06-12 | Mass flow controller |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0314010A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005076095A1 (en) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Hitachi Metals, Ltd. | Mass flow control device |
| CN104615157A (en) * | 2009-10-15 | 2015-05-13 | 关键系统公司 | Method and apparatus for gas flow control |
| KR20160138238A (en) | 2014-03-31 | 2016-12-02 | 도쿄 세이미츠 하츠조 가부시키가이샤 | Bending device for metallic plate |
| US10207304B2 (en) | 2014-03-31 | 2019-02-19 | Tokyo Seimitsu Hatsujo Co., Ltd. | Bending device for metallic plate |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP15009589A patent/JPH0314010A/en active Pending
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