JPH0737686A - El panel and manufacture thereof - Google Patents

El panel and manufacture thereof

Info

Publication number
JPH0737686A
JPH0737686A JP5183031A JP18303193A JPH0737686A JP H0737686 A JPH0737686 A JP H0737686A JP 5183031 A JP5183031 A JP 5183031A JP 18303193 A JP18303193 A JP 18303193A JP H0737686 A JPH0737686 A JP H0737686A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
porous member
moisture
panel
desiccant
porous
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5183031A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Seike
武士 清家
Hiroyuki Shimoyama
浩幸 下山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP5183031A priority Critical patent/JPH0737686A/en
Publication of JPH0737686A publication Critical patent/JPH0737686A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the infiltration of moisture and prevent the speed of dielectric breakdown. CONSTITUTION:An EL structure 30 laminated with a lower electrode 23, a lower insulator layer 24, an EL luminescence layer 25, an upper insulator layer 26, and an upper electrode 27 in this order is formed on the surface 22a of a translucent substrate 22, and a porous member 28 is arranged on it. The EL structure 30 and the porous member 28 are covered with a moisture-proof member 29. The infiltration of moisture is prevented, a molten electrode material generated at the time of dielectric breakdown is diffused in voids 28a of the porous member 28, the spread of dielectric breakdown is prevented, and the deterioration of the rated characteristic is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、OA(オフィスオート
メーション)機器やFA(ファクトリーオートメーショ
ン)機器などの表示手段として用いられるEL(エレク
トロルミネセント)パネルおよびその製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an EL (electroluminescent) panel used as a display means for OA (office automation) equipment, FA (factory automation) equipment and the like, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】ELパネルは、自己発光型、かつ完全固
体型であり、薄型で信頼性に優れた表示手段として多方
面での使用が期待されている。
2. Description of the Related Art An EL panel is a self-luminous type and a completely solid type, and is expected to be used in various fields as a thin and highly reliable display means.

【0003】図5は、第1の従来例であるELパネル1
の構成を示す断面図である。たとえばガラスで実現され
る透光性基板2上には、たとえば下部電極3、下部絶縁
層4、EL発光層5、上部絶縁層6および上部電極7が
この順に積層されたEL構造体11が形成される。たと
えばITO(Indium Tin Oxide)で実現される下部電極
3と、たとえばAlで実現される上部電極7とは、とも
に帯状に形成され、かつ互いに直交する方向に形成され
る。
FIG. 5 shows an EL panel 1 which is a first conventional example.
3 is a cross-sectional view showing the configuration of FIG. An EL structure 11 in which, for example, a lower electrode 3, a lower insulating layer 4, an EL light emitting layer 5, an upper insulating layer 6 and an upper electrode 7 are laminated in this order is formed on a transparent substrate 2 made of glass, for example. To be done. The lower electrode 3 made of, for example, ITO (Indium Tin Oxide) and the upper electrode 7 made of, for example, Al are both formed in a strip shape and are formed in directions orthogonal to each other.

【0004】前記ELパネル1は、前記下部電極3と上
部電極7との交点を絵素として、該電極3,7間に電圧
を印加してEL発光層5を発光させて表示を行うもので
あるけれども、EL発光層5に湿気が侵入すると表示特
性が低下する。すなわち、EL発光層5内の湿気が、電
圧印加に伴う温度上昇によって気化し、膨張して、EL
発光層5と電極3,7あるいは絶縁層4,6とが剥離す
る。このため、印加した電圧がEL発光層5に加わらな
くなり、発光が生じずに、たとえば黒点となる。したが
って、発光輝度が低下して表示特性が低下する。
The EL panel 1 uses the intersection of the lower electrode 3 and the upper electrode 7 as a picture element, and applies a voltage between the electrodes 3 and 7 to cause the EL light emitting layer 5 to emit light for display. However, if moisture enters the EL light emitting layer 5, the display characteristics are deteriorated. That is, the moisture in the EL light emitting layer 5 is vaporized and expanded by the temperature rise accompanying the voltage application,
The light emitting layer 5 and the electrodes 3, 7 or the insulating layers 4, 6 are peeled off. Therefore, the applied voltage is not applied to the EL light emitting layer 5, and no light is emitted, resulting in, for example, a black dot. Therefore, the emission brightness is lowered and the display characteristics are lowered.

【0005】このような湿気の侵入を防ぐために、たと
えば図5に示されるELパネル1では、前記EL構造体
11を封止する封止部材8が接着剤9によって固定さ
れ、該封止部材8とEL構造体11との隙間に、たとえ
ばシリコンオイルが注入されて絶縁流体層10が形成さ
れる。このような構造のELパネル1は、たとえば特開
昭52−72197号に開示されている。また、湿気の
侵入をさらに防ぐために、絶縁流体層10中に粉末状の
シリカゲルなどの吸湿手段を混入する例や、コントラス
ト比を向上させるために粉末状の黒色物質を混入する例
が、特開昭55−124182号に開示されている。さ
らに、絶縁流体層10として、前記シリコンオイルの代
わりに乾燥ガスを封入する例が特開昭60−95884
号に開示されている。
In order to prevent such invasion of moisture, for example, in the EL panel 1 shown in FIG. 5, a sealing member 8 for sealing the EL structure 11 is fixed by an adhesive 9, and the sealing member 8 is fixed. Silicon oil, for example, is injected into the gap between the EL structure 11 and the EL structure 11 to form the insulating fluid layer 10. The EL panel 1 having such a structure is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 52-72197. Further, in order to further prevent the invasion of moisture, an example in which a moisture absorbing means such as powdered silica gel is mixed in the insulating fluid layer 10 and an example in which a powdery black substance is mixed in order to improve the contrast ratio are disclosed. It is disclosed in Japanese Patent Publication No. Sho 55-124182. Further, as an example of the insulating fluid layer 10, a dry gas is sealed in place of the silicone oil, as disclosed in JP-A-60-95884.
No.

【0006】図6は、第2の従来例であるELパネル1
2の構成を示す断面図である。該ELパネル12は、前
述したEL構造体11上に絶縁膜13を形成することに
よって湿気の侵入を防ぐものである。また、絶縁膜13
上には、たとえばエポキシ系樹脂などの比較的防水性の
よい材料で実現される保護膜14が形成されて、さらに
湿気の侵入が防止される。このような構造のELパネル
12は、たとえば特開昭52−72197号に開示され
ている。
FIG. 6 shows an EL panel 1 which is a second conventional example.
It is sectional drawing which shows the structure of 2. The EL panel 12 prevents moisture from entering by forming the insulating film 13 on the EL structure 11 described above. In addition, the insulating film 13
A protective film 14 made of a relatively waterproof material such as an epoxy resin is formed on the upper surface of the protective film 14 to further prevent moisture from entering. The EL panel 12 having such a structure is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-72197.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】前述した絶縁流体層1
0による湿気防止構造には、シリコンオイルや乾燥ガス
などの封止が困難であることから、シリコンオイルや乾
燥ガスの注入に時間がかかるとともに、真空装置などの
高価な装置が必要となり、製造コストが高くなるという
問題がある。また、ELパネルの薄型化および軽量化を
図る上で、絶縁流体層10を形成することや、シリコン
オイルなどの比較的重い材料を用いることは、不利であ
る。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
Since it is difficult to seal silicone oil and dry gas in the moisture prevention structure by 0, it takes time to inject silicon oil and dry gas, and an expensive device such as a vacuum device is required. There is a problem that is high. Further, it is disadvantageous to form the insulating fluid layer 10 and to use a relatively heavy material such as silicon oil in order to reduce the thickness and weight of the EL panel.

【0008】一方、前述した絶縁膜13による湿気防止
構造には、EL構造体11中に絶縁破壊が発生すると、
発生した絶縁破壊が拡大し、断線が生じるという問題が
ある。これは、絶縁破壊時に溶融した電極が飛散する領
域がないため、さらに絶縁破壊が発生するということが
次々に起こるためである。また、絶縁膜13とされる合
成樹脂などは、たとえば溶剤を含んだ状態で塗布されて
硬化されるけれども、該硬化時には収縮が生じる。この
硬化収縮の応力に伴い、EL構造体11との接触部分で
剥離が生じる恐れがある。
On the other hand, in the moisture prevention structure by the insulating film 13 described above, when dielectric breakdown occurs in the EL structure 11,
There is a problem that the generated dielectric breakdown expands and disconnection occurs. This is because there is no region where the melted electrode is scattered at the time of dielectric breakdown, so that further dielectric breakdown occurs one after another. Further, the synthetic resin or the like used as the insulating film 13 is applied and cured in a state containing a solvent, for example, but contracts during the curing. Due to the stress of the curing shrinkage, peeling may occur at the contact portion with the EL structure 11.

【0009】本発明の目的は、比較的簡単な工程で作成
することができて、湿気の侵入を防止し、かつ絶縁破壊
が生じたときにおいても、その破壊が広がることのない
ELパネルおよびその製造方法を提供することである。
An object of the present invention is to provide an EL panel which can be manufactured by a relatively simple process, prevents moisture from entering, and prevents dielectric breakdown from spreading even when dielectric breakdown occurs. It is to provide a manufacturing method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、透光性基板
と、前記透光性基板上に配置され、EL発光層を挟む上
部電極と下部電極とを含むEL構造体と、前記EL構造
体上に配置される多孔質部材と、前記EL構造体と多孔
質部材とを覆う防湿部材とを含むことを特徴とするEL
パネルである。
According to the present invention, there is provided an EL structure including a translucent substrate, an upper electrode and a lower electrode disposed on the translucent substrate and sandwiching an EL light emitting layer, and the EL structure. An EL comprising a porous member disposed on the body and a moisture-proof member covering the EL structure and the porous member.
It is a panel.

【0011】また本発明は、前記多孔質部材の空隙の大
きさは前記EL構造体の上部電極と下部電極との交差部
である1絵素の大きさ以下であり、前記空隙の直径は1
μm以上であることを特徴とする。
Further, in the present invention, the size of the void of the porous member is equal to or less than the size of one pixel which is the intersection of the upper electrode and the lower electrode of the EL structure, and the diameter of the void is 1
It is characterized by being at least μm.

【0012】また本発明は、前記多孔質部材の空隙に乾
燥剤が含まれていることを特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that the pores of the porous member contain a desiccant.

【0013】また本発明は、前記多孔質部材と防湿部材
との間に乾燥材料を含む乾燥材層が配置されていること
を特徴とする。
Further, the present invention is characterized in that a desiccant layer containing a desiccant is disposed between the porous member and the moisture-proof member.

【0014】また本発明は、前記多孔質部材の空隙に、
Ar,He,NeあるいはN2ガスが含まれていること
を特徴とする。
In the present invention, the void of the porous member is
It is characterized in that it contains Ar, He, Ne or N 2 gas.

【0015】また本発明は、透光性基板上にEL発光層
を挟む上部電極と下部電極とを含むEL構造体を形成す
る工程と、前記EL構造体上に多孔質部材を形成する工
程と、前記EL構造体と多孔質部材とを乾燥雰囲気中に
おいて防湿部材で覆う工程とを含むことを特徴とするE
Lパネルの製造方法である。
Further, according to the present invention, a step of forming an EL structure including an upper electrode and a lower electrode sandwiching an EL light emitting layer on a transparent substrate, and a step of forming a porous member on the EL structure. And a step of covering the EL structure and the porous member with a moisture-proof member in a dry atmosphere.
It is a manufacturing method of an L panel.

【0016】また本発明は、前記多孔質部材は、前記E
L構造体上に液状あるいはゼル状の発泡体材料を塗布
し、加熱することによって形成されることを特徴とす
る。
In the present invention, the porous member may be the E
It is characterized in that it is formed by applying a liquid or gel-like foam material on the L structure and heating it.

【0017】また本発明は、前記多孔質部材は、前記E
L構造体上にシート状の発泡体あるいは不織布を貼着す
ることによって形成されることを特徴とする。
In the present invention, the porous member may be the E
It is characterized by being formed by adhering a sheet-shaped foam or a non-woven fabric onto the L structure.

【0018】また本発明は、前記EL構造体上に塗布さ
れる発泡体材料中に乾燥剤が含まれていることを特徴と
する。
The present invention is also characterized in that a desiccant is contained in the foam material applied on the EL structure.

【0019】また本発明は、前記多孔質部材上に乾燥材
料を含む乾燥材層を形成する工程を含むことを特徴とす
る。
Further, the present invention is characterized by including a step of forming a desiccant layer containing a desiccant on the porous member.

【0020】また本発明は、前記乾燥雰囲気が、Ar,
He,NeあるいはN2ガス雰囲気であることを特徴と
する。
In the present invention, the dry atmosphere is Ar,
It is characterized in that the atmosphere is He, Ne or N 2 gas.

【0021】[0021]

【作用】本発明に従えば、透光性基板上に形成され、E
L発光層を挟む上部電極と下部電極とを含むEL構造体
上には、多孔質部材が形成され、さらに乾燥雰囲気中に
おいて前記EL構造体と多孔質部材とを覆う防湿部材が
形成される。前記EL発光層への湿気の侵入は、防湿部
材によって防止されるので、発光輝度の低下が低減す
る。また、前記多孔質部材には複数の空隙が形成されて
いる。前記EL構造体中に絶縁破壊が発生すると、溶融
した電極材料が飛散し、前記複数の空隙に拡散する。ま
た、絶縁破壊時に発生したガスは、前記複数の空隙を通
過して発生ガスによる圧力が分散されるので、部分的に
高い圧力がかかることがなくなり、物理的な損傷が生じ
ることが低減される。したがって、絶縁破壊が発生して
も、その破壊が広がることはなく、致命的な欠陥となる
断線の発生を防ぐことが可能となる。
According to the present invention, E formed on a transparent substrate
A porous member is formed on the EL structure including the upper electrode and the lower electrode that sandwich the L light emitting layer, and a moisture-proof member that covers the EL structure and the porous member in a dry atmosphere is formed. Since moisture is prevented from entering the EL light-emitting layer by the moisture-proof member, the decrease in emission brightness is reduced. A plurality of voids are formed in the porous member. When dielectric breakdown occurs in the EL structure, the molten electrode material is scattered and diffused into the plurality of voids. Further, the gas generated at the time of dielectric breakdown passes through the plurality of voids and the pressure generated by the generated gas is dispersed, so that a high pressure is not applied locally and physical damage is reduced. . Therefore, even if a dielectric breakdown occurs, the breakdown does not spread, and it is possible to prevent the occurrence of disconnection, which is a fatal defect.

【0022】また、本発明のELパネルは、特開昭52
−72197号、特開昭55−124182号、特開昭
60−95884号に記載されているシリコンオイルや
乾燥ガスなどを用いることなく湿気防止を行うものであ
るため、シリコンオイルや乾燥ガスの注入や封止が不要
となり、比較的簡単にかつ安価に製造することが可能と
なる。さらに、シリコンオイルなどの比較的重い材料を
使用しないので、軽量化を図ることができる。
Further, the EL panel of the present invention is disclosed in
-72197, JP-A-55-124182 and JP-A-60-95884 do not use silicone oil or dry gas to prevent moisture, so injection of silicone oil or dry gas It becomes possible to manufacture it relatively easily and at low cost, because no sealing or sealing is required. Further, since a relatively heavy material such as silicone oil is not used, the weight can be reduced.

【0023】またさらに、EL構造体上に多孔質部材が
形成され、さらに防湿部材が形成されるので、たとえば
比較的粘性の高い、たとえばゼル状の樹脂などを用いて
防湿部材を形成すると、該防湿部材はEL構造体と直接
接触することがないので、前記樹脂の硬化収縮の応力に
伴う剥離が生じることはない。さらに、ガラスや金属な
どの防湿部材を接着剤などで貼合わせて形成しても、該
防湿部材はEL構造体と直接接触することはないので、
EL構造体を物理的に破損することはない。
Furthermore, since the porous member is formed on the EL structure and the moisture-proof member is further formed, if the moisture-proof member is formed by using, for example, a resin having a relatively high viscosity, such as a gel resin, Since the moisture-proof member does not come into direct contact with the EL structure, peeling does not occur due to the curing shrinkage stress of the resin. Furthermore, even if a moisture-proof member such as glass or metal is laminated with an adhesive or the like, the moisture-proof member does not come into direct contact with the EL structure.
There is no physical damage to the EL structure.

【0024】また本発明に従えば、前記多孔質部材の空
隙の大きさは前記EL構造体の上部電極と下部電極との
交差部である1絵素の大きさ以下であり、前記空隙の直
径は1μm以上である。一般に、分子レベル以下の直径
を有する空隙は吸着効果を有すると考えられていること
から、逆に分子レベル以上の直径を有する空隙は吸着効
果をもたないと考えられる。本発明の空隙はその直径が
1μm以上であり、吸着効果が得られる空隙の直径、た
とえば数10Å〜数1000Å(平均直径40Å程度)
よりも大きいものである。本発明は、このような空隙に
絶縁破壊時に溶融して飛散した電極材料が拡散するもの
である。また、絶縁破壊時に発生したガスが前記空隙を
通過するものである。また、1絵素の大きさは、一般的
なELパネルや液晶パネルなどにおいて、数100μm
×数100μmとされる。
Further, according to the invention, the size of the void of the porous member is equal to or less than the size of one picture element which is the intersection of the upper electrode and the lower electrode of the EL structure, and the diameter of the void. Is 1 μm or more. In general, voids having a diameter of molecular level or lower are considered to have an adsorption effect, and therefore, voids having a diameter of molecular level or higher do not have an adsorption effect. The voids of the present invention have a diameter of 1 μm or more, and the diameter of the voids that can provide an adsorption effect, for example, several tens of Å to several thousand Å (average diameter of about 40Å)
Is greater than. In the present invention, the electrode material that is melted and scattered at the time of dielectric breakdown is diffused into such a void. Further, the gas generated at the time of dielectric breakdown passes through the void. The size of one picture element is several 100 μm in a general EL panel or liquid crystal panel.
× Several 100 μm

【0025】また本発明に従えば、前記多孔質部材は、
EL構造体上に液状あるいはゼル状の発泡体材料を塗布
し、加熱することによって形成される。したがって、多
孔質部材が精度よく形成される。また、このような形成
方法は自動化に適したものであり、ELパネルの製造に
おいて製造効率の向上を図ることができる。
According to the invention, the porous member is
It is formed by applying a liquid or gel-like foam material on the EL structure and heating. Therefore, the porous member is accurately formed. Further, such a forming method is suitable for automation, and can improve the manufacturing efficiency in manufacturing the EL panel.

【0026】また本発明に従えば、前記多孔質部材は、
EL構造体上にシート状の発泡体あるいは不織布を貼着
することによって形成される。したがって、前述したよ
うな発泡体材料の塗布や加熱の工程が不要となり、多孔
質部材の形成が容易となる。
According to the invention, the porous member is
It is formed by sticking a sheet-shaped foam or a non-woven fabric on the EL structure. Therefore, the steps of applying the foam material and heating as described above are unnecessary, and the formation of the porous member is facilitated.

【0027】また本発明に従えば、前記多孔質部材の空
隙には乾燥剤が含まれる。したがって、湿気が乾燥剤に
よって吸収され、EL構造体への湿気の侵入をさらに低
減させることができる。このため、発光輝度の低下がさ
らに低減する。乾燥剤を含む多孔質部材は、前記EL構
造体上に塗布される発泡体材料中に乾燥剤を含ませるこ
とによって形成することができる。
Further, according to the present invention, a desiccant is contained in the voids of the porous member. Therefore, the moisture is absorbed by the desiccant, and the invasion of moisture into the EL structure can be further reduced. Therefore, the decrease in emission brightness is further reduced. The desiccant-containing porous member can be formed by including a desiccant in the foam material applied on the EL structure.

【0028】また本発明に従えば、前記多孔質部材上に
乾燥材料を含む乾燥材層が形成される。したがって前述
したのと同様に湿気が乾燥材料によって吸収され、EL
構造体中への湿気の侵入を低減させることができる。こ
のため、発光輝度の低下がさらに低減する。
According to the invention, a desiccant layer containing a desiccant is formed on the porous member. Therefore, as before, moisture is absorbed by the dry material and the EL
Infiltration of moisture into the structure can be reduced. Therefore, the decrease in emission brightness is further reduced.

【0029】また本発明に従えば、前記多孔質部材の空
隙には、Ar,He,NeあるいはN2ガスが含まれ
る。したがって、EL構造体の隣接した上部電極間の電
位差による放電を低減することができる。これは、前記
ガス雰囲気中では空気雰囲気中よりも放電のために大き
な電力を必要とするためである。このため、EL構造体
の破損を防止することができる。また、多孔質部材の空
隙に前記ガスを含ませるためには、たとえば前記防湿部
材がAr,He,NeあるいはN2ガス雰囲気中で形成
される。
According to the present invention, the void of the porous member contains Ar, He, Ne or N 2 gas. Therefore, the discharge due to the potential difference between the adjacent upper electrodes of the EL structure can be reduced. This is because in the gas atmosphere, larger electric power is required for discharging than in the air atmosphere. Therefore, damage to the EL structure can be prevented. Further, in order to allow the gas to be contained in the voids of the porous member, for example, the moisture-proof member is formed in an Ar, He, Ne or N 2 gas atmosphere.

【0030】[0030]

【実施例】図1は、本発明の一実施例であるELパネル
21の構成を示す断面図である。ELパネル21は、透
光性基板22、下部電極23、下部絶縁層24、EL発
光層25、上部絶縁層26、上部電極27、多孔質部材
28および防湿部材29を含む。たとえば絶縁性を有す
るガラスで実現される透光性基板22の一方表面22a
上には、下部電極23、下部絶縁層24、EL発光層2
5、上部絶縁層26および上部電極27がこの順に積層
されたEL構造体30が形成される。すなわち、前記表
面22a上に、たとえばITO膜が蒸着法によって形成
され、エッチングによってパターン形成されて、下部電
極23とされる。下部電極23は、互いに平行な複数の
帯状にパターン形成される。下部電極23が形成された
基板22の表面22a上には、下部絶縁層24としてS
iO2膜とSi34膜とがこの順に積層して形成され
る。SiO2膜の膜厚は、たとえば500Åに選ばれ、
Si34膜の膜厚は、たとえば2000Åに選ばれ、と
もに、たとえばスパッタリング法によって形成される。
1 is a cross-sectional view showing the structure of an EL panel 21 which is an embodiment of the present invention. The EL panel 21 includes a translucent substrate 22, a lower electrode 23, a lower insulating layer 24, an EL light emitting layer 25, an upper insulating layer 26, an upper electrode 27, a porous member 28, and a moisture-proof member 29. One surface 22a of the translucent substrate 22 made of, for example, insulating glass
Above the lower electrode 23, the lower insulating layer 24, the EL light emitting layer 2
5, the upper insulating layer 26 and the upper electrode 27 are laminated in this order to form the EL structure 30. That is, for example, an ITO film is formed on the surface 22a by a vapor deposition method, and is patterned by etching to form the lower electrode 23. The lower electrode 23 is patterned into a plurality of parallel strips. On the surface 22a of the substrate 22 on which the lower electrode 23 is formed, S as a lower insulating layer 24 is formed.
An iO 2 film and a Si 3 N 4 film are laminated in this order. The thickness of the SiO 2 film is selected to be, for example, 500Å,
The film thickness of the Si 3 N 4 film is selected to be 2000 Å, for example, and both are formed by, for example, a sputtering method.

【0031】下部絶縁層24上には、たとえばMnをド
ープしたZnSで実現されるEL発光層25が形成され
る。EL発光層25の膜厚は、たとえば7000Åに選
ばれる。EL発光層25上には上部絶縁層26として、
Si34膜とSiO2膜とがこの順に積層して形成され
る。Si34膜の膜厚は、たとえば1000Åに選ば
れ、SiO2膜の膜厚は、たとえば500Åに選ばれ、
ともに、たとえばスパッタリング法によって形成され
る。上部絶縁層26上には、たとえばAl膜が蒸着法に
よって形成され、エッチングによってパターン形成さ
れ、上部電極27とされる。上部電極27は、複数の帯
状に形成され、かつ前記下部電極23と直交する方向に
形成される。
On the lower insulating layer 24, an EL light emitting layer 25 made of, for example, ZnS doped with Mn is formed. The thickness of the EL light emitting layer 25 is selected to be 7,000 Å, for example. As an upper insulating layer 26 on the EL light emitting layer 25,
A Si 3 N 4 film and a SiO 2 film are laminated in this order. The film thickness of the Si 3 N 4 film is selected to be, for example, 1000Å, and the film thickness of the SiO 2 film is selected to be, for example, 500Å.
Both are formed, for example, by a sputtering method. An Al film, for example, is formed on the upper insulating layer 26 by a vapor deposition method, and is patterned by etching to form an upper electrode 27. The upper electrode 27 is formed in a plurality of strips and is formed in a direction orthogonal to the lower electrode 23.

【0032】なお、本実施例のEL構造体30は、いわ
ゆる薄膜型の二重絶縁構造であるけれども、EL構造体
30はこれに限らず、たとえば分散型であってもよい。
Although the EL structure 30 of this embodiment has a so-called thin film type double insulation structure, the EL structure 30 is not limited to this, and may be, for example, a dispersion type.

【0033】このようなEL構造体30上には、多孔質
部材28が形成される。多孔質部材28は、たとえばポ
リエチレン発泡体から成り、前記上部電極27が形成さ
れた上部絶縁層26上に、たとえば二塩化四フッ化エタ
ンなどのフッ素化合物で実現される溶剤形発泡剤、ある
いはアゾビスホルムアミドなどで実現される分解形発泡
剤を添加したポリエチレン発泡体材料を、膜厚が約1m
mとなるように印刷法によって塗布し、約80℃で加熱
し、乾燥することによって形成される。ポリエチレン発
泡体材料を加熱することによって、ガスが発生して気泡
が形成されるので、複数の空隙28aを有する多孔質部
材28が形成される。このような形成方法は、多孔質部
材28を精度よく形成することができるとともに自動化
に適したものであることから、ELパネルの製造効率の
向上を図ることができる。
A porous member 28 is formed on such an EL structure 30. The porous member 28 is made of, for example, polyethylene foam, and on the upper insulating layer 26 on which the upper electrode 27 is formed, for example, a solvent type foaming agent realized by a fluorine compound such as ethane dichloride tetrafluoride or an azo. A polyethylene foam material with a decomposition type foaming agent such as bisformamide added has a film thickness of about 1 m.
It is formed by applying by a printing method so as to be m, heating at about 80 ° C., and drying. By heating the polyethylene foam material, gas is generated and bubbles are formed, so that the porous member 28 having a plurality of voids 28a is formed. Since such a forming method can form the porous member 28 with high accuracy and is suitable for automation, the manufacturing efficiency of the EL panel can be improved.

【0034】なお、前記空隙28aの大きさは、前記発
泡剤を適宜選択することによって任意に選択することが
できる。また、空隙28aの大きさは、表示に影響せ
ず、絶縁破壊時に生じる溶融した電極材料やガスなどが
充分に拡散あるいは通過する大きさに選ばれ、好ましく
は1絵素の大きさよりも小さく、かつその直径が1μm
以上となるように形成される。前記1絵素の大きさは、
一般的なELパネルや液晶パネルなどにおいて、数10
0μm×数100μmとされる。
The size of the void 28a can be arbitrarily selected by appropriately selecting the foaming agent. The size of the void 28a is selected so that it does not affect the display and allows the molten electrode material, gas, etc. generated at the time of dielectric breakdown to sufficiently diffuse or pass through, and is preferably smaller than the size of one pixel. And its diameter is 1 μm
It is formed as described above. The size of one picture element is
In general EL panel and liquid crystal panel, etc.
It is set to 0 μm × several 100 μm.

【0035】さらに、前記EL構造体30と多孔質部材
28とが防湿部材29で覆われる。防湿部材29は、た
とえばポリエステル系フィルムにAl箔を貼合わせたも
ので実現され、乾燥雰囲気中において前記EL構造体3
0と多孔質部材28とを覆うように貼付けられる。
Further, the EL structure 30 and the porous member 28 are covered with a moistureproof member 29. The moisture-proof member 29 is realized, for example, by laminating an Al foil on a polyester film, and the EL structure 3 is provided in a dry atmosphere.
0 and the porous member 28 are attached so as to cover them.

【0036】以上のようにして形成されるELパネル2
1は、下部電極23と上部電極27との交点を絵素とし
て、該電極23,27間に配置されるEL発光層25を
発光させて表示を行うものである。EL発光層25の発
光は、電極23,27間に印加される電圧が、予め定め
られる閾値電圧以上となったときに生じ、印加電圧を制
御することによって表示が行われる。
EL panel 2 formed as described above
In the first example, the intersection of the lower electrode 23 and the upper electrode 27 is used as a picture element, and the EL light emitting layer 25 arranged between the electrodes 23 and 27 is caused to emit light to perform display. Light emission of the EL light emitting layer 25 occurs when the voltage applied between the electrodes 23 and 27 exceeds a predetermined threshold voltage, and display is performed by controlling the applied voltage.

【0037】また、ELパネル21は、EL発光層25
に湿気が侵入すると発光特性が低下する。すなわち、E
L発光層25内の湿気が電圧印加に伴う温度上昇によっ
て気化し、膨張して、EL発光層25と電極23,27
あるいは絶縁層24,26とが剥離する。このため、印
加した電圧がEL発光層25に加わらなくなり、発光が
生じずに、たとえば黒点となる。したがって、発光輝度
が低下して表示特性が低下する。しかしながら、本実施
例のELパネル21には湿気の侵入を防止する防湿部材
29が設けられているため、上述した不都合の発生が低
減する。
The EL panel 21 has an EL light emitting layer 25.
If moisture penetrates into it, the light emission characteristics will deteriorate. That is, E
Moisture in the L light emitting layer 25 is vaporized and expanded by the temperature rise accompanying the voltage application, and the EL light emitting layer 25 and the electrodes 23 and 27 are expanded.
Alternatively, the insulating layers 24 and 26 are separated. Therefore, the applied voltage is not applied to the EL light emitting layer 25, and no light emission occurs, resulting in, for example, a black dot. Therefore, the emission brightness is lowered and the display characteristics are lowered. However, since the EL panel 21 of this embodiment is provided with the moisture-proof member 29 for preventing the intrusion of moisture, the occurrence of the above-mentioned inconvenience is reduced.

【0038】さらに、前記EL構造体30中に絶縁破壊
が生じると、電極が溶融する。この溶融した電極材料
は、飛散して多孔質部材28の複数の空隙28aに拡散
する。このため、絶縁破壊が拡大し、断線が生じるとい
う問題が低減する。また、電極破壊時に発生したガス
は、前記複数の空隙28aを通過して、発生ガスによる
圧力が分散される。このため、部分的に高い圧力がかか
ることはなく、物理的な損傷の発生が低減される。
Further, when dielectric breakdown occurs in the EL structure 30, the electrode melts. The melted electrode material is scattered and diffused into the plurality of voids 28 a of the porous member 28. For this reason, the problem that the dielectric breakdown expands and disconnection occurs is reduced. Further, the gas generated when the electrode is broken passes through the plurality of voids 28a, and the pressure generated by the generated gas is dispersed. Therefore, high pressure is not applied locally, and the occurrence of physical damage is reduced.

【0039】なお、本実施例では、EL構造体30と多
孔質部材28とを覆うようにフィルム状の防湿部材29
を貼付ける例について説明したけれども、たとえばエポ
キシ系樹脂を塗布し、加熱乾燥させる例や、図2に示さ
れるELパネル31のように板状の、たとえば合成樹
脂、ガラス、金属などから成る防湿部材32を接着剤3
3で接着する例も本発明の範囲に属するものである。
In the present embodiment, the film moistureproof member 29 is formed so as to cover the EL structure 30 and the porous member 28.
Although the example of sticking is described, for example, an example in which an epoxy resin is applied and heated and dried, or a plate-like moisture-proof member made of, for example, synthetic resin, glass, or metal like the EL panel 31 shown in FIG. 32 for adhesive 3
The example of adhering with 3 also belongs to the scope of the present invention.

【0040】また、本実施例では、多孔質部材28とし
て、ポリエチレン発泡体を用いる例について説明したけ
れども、多孔質部材28はこれに限るものではなく、熱
的および化学的に安定な材料、たとえばポリウレタン、
スチロール、天然ゴム、合成ゴムなどの発泡体を用いて
もよい。また、塗布する発泡体材料は、液状、ゼル状な
どいずれの状態であってもよい。さらに、多孔質部材2
8は、発泡体に限らず、多孔質な材料であればよく、た
とえば不織布であってもよい。このため、多孔質部材2
8の形成方法は、前述した方法に限らず、たとえばシー
ト状に形成された発泡体や不織布を接着剤を用いて貼付
ける方法であってもよい。このような形成方法によって
前述した発泡体材料の塗布や加熱の工程が不要となり、
多孔質部材28の形成が容易なものとなる。
In this embodiment, the polyethylene member is used as the porous member 28. However, the porous member 28 is not limited to this, and a thermally and chemically stable material, for example, may be used. Polyurethane,
Foam such as styrene, natural rubber, and synthetic rubber may be used. Further, the foam material to be applied may be in any state such as liquid state or gel state. Furthermore, the porous member 2
The material 8 is not limited to foam and may be any porous material, such as nonwoven fabric. Therefore, the porous member 2
The method of forming 8 is not limited to the method described above, and may be a method of attaching a sheet-shaped foam or non-woven fabric using an adhesive, for example. By such a forming method, the application and heating steps of the foam material described above are unnecessary,
It becomes easy to form the porous member 28.

【0041】なお、多孔質部材28として接着性を有す
る発泡シート等を用いることによって、前記防湿部材2
9,32の形成を確実で簡単なものとすることができ
る。また、防湿効果を有するフィルム上に多孔質部材2
8を形成し、該多孔質部材28とEL構造体30とが接
するようにして前記フィルムを貼付けてもよい。これに
よって、多孔質部材28と防湿部材29との形成を一括
して行うことが可能となる。
By using a foamed sheet having adhesiveness as the porous member 28, the moisture-proof member 2 can be obtained.
The formation of 9, 32 can be made reliable and simple. Moreover, the porous member 2 is formed on the film having a moisture-proof effect.
8 may be formed, and the film may be attached so that the porous member 28 and the EL structure 30 are in contact with each other. This makes it possible to collectively form the porous member 28 and the moisture-proof member 29.

【0042】さらに、多孔質材料の構造としては、一般
に個々の気泡が独立したClosed Cell(独立
気泡)構造と、単位気泡が相互に貫通したOpen C
ell(連続気泡)構造とが知られている。前記多孔質
部材28としては、絶縁破壊時に溶融した電極材料が充
分に空隙28aに拡散するように、および発生したガス
が充分に通過できるように、後者のOpen Cell
構造の適用が望ましいけれども、本発明はこれに限定す
るものではない。
Further, as the structure of the porous material, generally, a closed cell structure in which individual cells are independent and an open cell structure in which unit cells penetrate each other are generally used.
The ell (open cell) structure is known. As the porous member 28, the latter Open Cell is used so that the electrode material melted at the time of dielectric breakdown can be sufficiently diffused into the voids 28a and the generated gas can sufficiently pass through.
Although structural applications are desirable, the invention is not so limited.

【0043】またさらに、本実施例では防湿部材29の
形成を乾燥雰囲気中で行う例について説明したけれど
も、たとえばAr、He、Ne、N2などのガス雰囲気
中で行う例も本発明の範囲に属するものである。これに
よって、ELパネル21の隣接した上部電極27間の電
位差によって放電が生じ、該放電によってELパネル2
1が破損することを防ぐことができる。すなわち、前述
したガス雰囲気中では、空気雰囲気中よりも大きい電圧
が印加されたときに放電が生じるので、放電のためには
より大きな電圧が必要となる。このため、前記ガス雰囲
気中で防湿部材29の形成を行うと、多孔質部材28の
空隙28a中が前記ガス雰囲気となり、放電の発生を低
減させることができる。また、多孔質部材28である発
泡体材料として、発泡時に、たとえばN2ガスを発生す
る材料を用いることによっても、前述したのと同様に放
電の発生を低減させることができる。したがって、放電
によるELパネル21の破損を防ぐことが可能となる。
Furthermore, although the example in which the moisture-proof member 29 is formed in a dry atmosphere has been described in this embodiment, an example in which the moisture-proof member 29 is formed in a gas atmosphere of Ar, He, Ne, N 2 or the like is also within the scope of the present invention. Belong to. As a result, a discharge occurs due to the potential difference between the adjacent upper electrodes 27 of the EL panel 21, and the EL panel 2 is discharged by the discharge.
It is possible to prevent 1 from being damaged. That is, in the gas atmosphere described above, discharge occurs when a voltage higher than that in the air atmosphere is applied, and thus a higher voltage is required for discharging. Therefore, when the moisture-proof member 29 is formed in the gas atmosphere, the void 28a of the porous member 28 becomes the gas atmosphere, and the occurrence of discharge can be reduced. Further, by using, for example, a material that generates N 2 gas at the time of foaming as the foam material that is the porous member 28, it is possible to reduce the occurrence of discharge in the same manner as described above. Therefore, it is possible to prevent the EL panel 21 from being damaged by the discharge.

【0044】図3は、本発明の他の実施例であるELパ
ネル35の構成を示す断面図である。ELパネル35
は、前記ELパネル21とほぼ同様に構成されるけれど
も、多孔質部材28の空隙28a中に乾燥剤36が含ま
れていることを特徴とする。乾燥剤36は、たとえば粒
状のシリカゲルで実現される。多孔質部材28の空隙2
8a中に乾燥剤36を含ませるには、たとえば前述した
ポリエチレンなどの発泡体材料中に乾燥剤を含ませるこ
とによって実現することが可能である。
FIG. 3 is a sectional view showing the structure of an EL panel 35 which is another embodiment of the present invention. EL panel 35
Is substantially the same as the EL panel 21, but is characterized in that the desiccant 36 is contained in the void 28a of the porous member 28. The desiccant 36 is realized by, for example, granular silica gel. Void 2 of porous member 28
The inclusion of the desiccant 36 in 8a can be accomplished by including the desiccant in a foam material such as the polyethylene described above.

【0045】図4は、本発明のさらに他の実施例である
ELパネル38の構成を示す断面図である。ELパネル
38は、前記ELパネル21とほぼ同様に構成されるけ
れども、多孔質部材28上に乾燥材料を含む乾燥材層3
9が配置されていることを特徴とする。乾燥材層39
は、板状に形成されたシリカゲルなどで実現される。こ
のように、乾燥剤36を含ませる、あるいは乾燥材層3
9を設けることによって、湿気が吸収されるので、EL
構造体30中への湿気の侵入を低減させることができ、
発光機能の低下による表示特性の低下を、さらに低減さ
せることが可能となる。なお、図3および図4のELパ
ネル35,38において、前記ELパネル21と同様の
構成部材は同じ参照符を付して示している。
FIG. 4 is a sectional view showing the structure of an EL panel 38 which is still another embodiment of the present invention. The EL panel 38 has substantially the same structure as the EL panel 21, but the desiccant layer 3 containing the desiccant material on the porous member 28.
9 is arranged. Dry material layer 39
Are realized by silica gel or the like formed in a plate shape. In this way, the desiccant 36 is included, or the desiccant layer 3
Moisture is absorbed by providing 9, so EL
Ingress of moisture into the structure 30 can be reduced,
It is possible to further reduce the deterioration of the display characteristics due to the deterioration of the light emitting function. In the EL panels 35 and 38 of FIGS. 3 and 4, the same components as those of the EL panel 21 are designated by the same reference numerals.

【0046】なお、本実施例では、ELパネル1を表示
手段とする例について説明したけれども、たとえば液晶
表示素子などの非発光型表示手段の光源としてELパネ
ル1を用いる例も本発明の範囲に属するものである。
In this embodiment, the example in which the EL panel 1 is used as the display means has been described, but an example in which the EL panel 1 is used as a light source of a non-emissive display means such as a liquid crystal display element is also within the scope of the present invention. Belong to.

【0047】上述した本発明に基づくELパネル21,
31,35,38は、特開昭52−72197号、特開
昭55−124182号、特開昭60−95884号に
記載れているシリコンオイルや乾燥ガスを用いるもので
はないので、シリコンオイルや乾燥ガスの注入が不要と
なり、比較的簡単にかつ安価に製造することができる。
また、シリコンオイルなどを使用しないので、軽量化を
図ることができる。また、防湿部材29,32とEL構
造体30との間には多孔質部材28が配置されるので、
防湿部材29,32と、EL構造体30とが直接接触す
ることはなく、防湿部材29,32としての樹脂が硬化
収縮する際における応力に伴う剥離や、EL構造体30
の破損がなくなる。
The EL panel 21 according to the present invention described above,
Nos. 31, 35, and 38 do not use the silicone oil or dry gas described in JP-A-52-72197, JP-A-55-124182, and JP-A-60-95884. Since it is not necessary to inject a dry gas, it can be manufactured relatively easily and inexpensively.
Further, since silicone oil or the like is not used, the weight can be reduced. Further, since the porous member 28 is arranged between the moisture-proof members 29 and 32 and the EL structure 30,
The moisture-proof members 29 and 32 and the EL structure 30 do not come into direct contact with each other, resulting in peeling due to stress when the resin as the moisture-proof members 29 and 32 cures and shrinks, and the EL structure 30.
No damage.

【0048】また、特開平1−140592号には、低
軟化点の絶縁保護材料が含浸された多孔質部材を用い、
絶縁破壊時に飛散した電極材料を溶融した前記低軟化点
の絶縁保護材料によって保護し、絶縁破壊の拡大を防止
する例が開示されている。しかしながら本発明は、絶縁
破壊時に飛散した電極材料が、多孔質部材28の複数の
空隙28aに拡散することによって、絶縁破壊の拡大を
防ぐものであり、特開平1−140592号で用いられ
ている低軟化点の絶縁保護材料を必要としないものであ
る。したがって、本発明に基づくELパネルの方が形成
が容易となる。
Further, JP-A-1-140592 uses a porous member impregnated with an insulating protective material having a low softening point,
An example is disclosed in which the electrode material scattered at the time of dielectric breakdown is protected by the melted insulation protection material having the low softening point to prevent the expansion of the dielectric breakdown. However, according to the present invention, the electrode material scattered during the dielectric breakdown is prevented from expanding the dielectric breakdown by diffusing into the plurality of voids 28a of the porous member 28, and is used in JP-A-1-140592. It does not require an insulating protective material having a low softening point. Therefore, the EL panel according to the present invention is easier to form.

【0049】また、実開昭60−156694号には、
多孔質ガラスを配置する例が開示されている。これは、
多孔質ガラスに形成される細孔の大きさを数10Å〜数
1000Å(平均細孔直径40Å程度)として、吸着効
果によって前記細孔に湿気やガスを吸着させるものであ
る。一般に分子レベル以下の直径を有する空隙は吸着効
果を有すると考えられていることから、逆に分子レベル
以上の直径を有する空隙は吸着効果をもたないものと考
えられる。本発明の多孔質部材28は、前記吸着効果を
期待するものではなく、多孔質部材28の空隙28aの
大きさは、前述したように、たとえば1絵素の大きさ以
下で、かつその直径が1μm以上となるように形成され
る。また、本発明は、絶縁破壊時の電極の飛散やガスの
発生などによる影響を緩衝する作用を有しているけれど
も、前記実開昭60−156694号は吸着効果はある
けれども前記緩衝効果をもたないものである。
In addition, in Japanese Utility Model Publication No. 60-156669,
An example of disposing porous glass is disclosed. this is,
The size of the pores formed in the porous glass is set to several 10Å to several 1000Å (average pore diameter of 40Å), and moisture or gas is adsorbed to the pores by the adsorption effect. Since it is generally considered that voids having a diameter of molecular level or lower have an adsorption effect, it is considered that voids having a diameter of molecular level or higher do not have an adsorption effect. The porous member 28 of the present invention is not expected to have the above-described adsorption effect, and the size of the void 28a of the porous member 28 is, for example, one pixel or less and its diameter as described above. It is formed to have a thickness of 1 μm or more. Further, although the present invention has a function of buffering the influence of the scattering of electrodes and the generation of gas at the time of dielectric breakdown, the above-mentioned Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 60-156694 also has the above-mentioned buffering effect although it has an adsorption effect. It is something that cannot be done.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、EL構造
体上に、絶縁破壊時に生じる溶融した電極材料が拡散す
る複数の空隙を有する多孔質部材が配置され、さらにE
L構造体中への湿気の侵入を防止する防湿部材が配置さ
れる。したがって、湿気による素子剥離を防ぐことがで
きる。また、絶縁破壊の拡大が防止され、致命的な欠陥
となる断線の発生を低減させることが可能となる。さら
に、絶縁破壊時に生じるガスは、複数の空隙を通過する
ので、発生ガスは分散されて、部分的に高い圧力がかか
ることによる損傷の発生が低減する。さらに、簡単な工
程で作成することができ、また比較的低コストの材料を
用いることができる。
As described above, according to the present invention, a porous member having a plurality of voids in which a molten electrode material generated at the time of dielectric breakdown is diffused is arranged on the EL structure, and further E
A moisture-proof member that prevents moisture from entering the L structure is arranged. Therefore, element peeling due to moisture can be prevented. Further, the expansion of the dielectric breakdown is prevented, and the occurrence of disconnection, which is a fatal defect, can be reduced. Further, the gas generated at the time of dielectric breakdown passes through the plurality of voids, so that the generated gas is dispersed and the occurrence of damage due to the partial high pressure is reduced. Further, it can be manufactured by a simple process, and a relatively low cost material can be used.

【0051】また本発明によれば、多孔質部材の空隙の
大きさは1絵素の大きさ以下で、かつその直径は1μm
以上とされる。このような空隙に、絶縁破壊時に生じた
熔融した電極材料が拡散し、また生じたガスが前記空隙
を通過する。
Further, according to the present invention, the size of the voids of the porous member is not larger than the size of one picture element, and the diameter thereof is 1 μm.
That is all. The melted electrode material generated at the time of dielectric breakdown diffuses into such voids, and the generated gas passes through the voids.

【0052】また本発明によれば、多孔質部材が液状あ
るいはゼル状の発泡体材料を塗布し、加熱することによ
って形成される。したがって、多孔質部材を精度よく、
また効率よく形成することができる。
According to the present invention, the porous member is formed by applying a liquid or gel-like foam material and heating it. Therefore, the porous member with high accuracy,
Further, it can be formed efficiently.

【0053】また本発明によれば、多孔質部材がシート
状の発泡体あるいは不織布を貼着することによって形成
される。したがって、多孔質部材の形成が容易となる。
Further, according to the present invention, the porous member is formed by sticking a sheet-shaped foam or nonwoven fabric. Therefore, it becomes easy to form the porous member.

【0054】また本発明によれば、多孔質部材の空隙に
は乾燥剤が含まれる。また、多孔質部材と防湿部材との
間には乾燥材料を含む乾燥材層が形成される。湿気は乾
燥剤あるいは乾燥材料によって吸収されるので、EL構
造体中への湿気の侵入がさらに低減する。
Further, according to the present invention, the pores of the porous member contain a desiccant. Further, a desiccant layer containing a desiccant is formed between the porous member and the moisture-proof member. Moisture is absorbed by the desiccant or dry material, further reducing moisture ingress into the EL structure.

【0055】また本発明によれば、多孔質部材の空隙に
は、Ar,He,NeあるいはN2ガスが含まれる。し
たがって、EL構造体の隣接した上部電極間の電位差に
よる放電が低減し、EL構造体の破損が低減する。
Further, according to the present invention, the void of the porous member contains Ar, He, Ne or N 2 gas. Therefore, the discharge due to the potential difference between the adjacent upper electrodes of the EL structure is reduced, and the damage of the EL structure is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるELパネル21の構成
を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an EL panel 21 that is an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例であるELパネル31の構
成を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a configuration of an EL panel 31 which is another embodiment of the present invention.

【図3】本発明のさらに他の実施例であるELパネル3
5の構成を示す断面図である。
FIG. 3 is an EL panel 3 which is still another embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the structure of 5.

【図4】本発明のさらに他の実施例であるELパネル3
8の構成を示す断面図である。
FIG. 4 is an EL panel 3 which is still another embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the structure of 8.

【図5】第1の従来例であるELパネル1の構成を示す
断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration of an EL panel 1 which is a first conventional example.

【図6】第2の従来例であるELパネル12の構成を示
す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration of an EL panel 12 which is a second conventional example.

【符号の説明】 21,31,35,38 ELパネル 22 透光性基板 23 下部電極 25 EL発光層 27 上部電極 28 多孔質部材 28a 空隙 29,32 防湿部材 30 EL構造体 36 乾燥剤 39 乾燥材層[Explanation of Codes] 21, 31, 35, 38 EL Panel 22 Translucent Substrate 23 Lower Electrode 25 EL Light Emitting Layer 27 Upper Electrode 28 Porous Member 28a Void 29, 32 Moisture Proof Member 30 EL Structure 36 Drying Agent 39 Drying Material layer

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透光性基板と、 前記透光性基板上に配置され、EL発光層を挟む上部電
極と下部電極とを含むEL構造体と、 前記EL構造体上に配置される多孔質部材と、 前記EL構造体と多孔質部材とを覆う防湿部材とを含む
ことを特徴とするELパネル。
1. A translucent substrate, an EL structure disposed on the translucent substrate and including an upper electrode and a lower electrode sandwiching an EL light emitting layer, and a porous structure disposed on the EL structure. An EL panel comprising: a member; and a moisture-proof member that covers the EL structure and the porous member.
【請求項2】 前記多孔質部材の空隙の大きさは前記E
L構造体の上部電極と下部電極との交差部である1絵素
の大きさ以下であり、前記空隙の直径は1μm以上であ
ることを特徴とする請求項1記載のELパネル。
2. The size of the voids in the porous member is the E
2. The EL panel according to claim 1, wherein the size of one pixel, which is the intersection of the upper electrode and the lower electrode of the L structure, is not more than the size of one pixel, and the diameter of the void is not less than 1 μm.
【請求項3】 前記多孔質部材の空隙に乾燥剤が含まれ
ていることを特徴とする請求項1記載のELパネル。
3. The EL panel according to claim 1, wherein a desiccant is contained in the voids of the porous member.
【請求項4】 前記多孔質部材と防湿部材との間に乾燥
材料を含む乾燥材層が配置されていることを特徴とする
請求項1記載のELパネル。
4. The EL panel according to claim 1, wherein a desiccant layer containing a desiccant is disposed between the porous member and the moisture-proof member.
【請求項5】 前記多孔質部材の空隙に、Ar,He,
NeあるいはN2ガスが含まれていることを特徴とする
請求項1記載のELパネル。
5. Ar, He,
The EL panel according to claim 1, wherein the EL panel contains Ne or N 2 gas.
【請求項6】 透光性基板上にEL発光層を挟む上部電
極と下部電極とを含むEL構造体を形成する工程と、 前記EL構造体上に多孔質部材を形成する工程と、 前記EL構造体と多孔質部材とを乾燥雰囲気中において
防湿部材で覆う工程とを含むことを特徴とするELパネ
ルの製造方法。
6. A step of forming an EL structure including an upper electrode and a lower electrode sandwiching an EL light emitting layer on a translucent substrate; a step of forming a porous member on the EL structure; And a step of covering the structural body and the porous member with a moisture-proof member in a dry atmosphere.
【請求項7】 前記多孔質部材は、前記EL構造体上に
液状あるいはゼル状の発泡体材料を塗布し、加熱するこ
とによって形成されることを特徴とする請求項6記載の
ELパネルの製造方法。
7. The manufacturing of an EL panel according to claim 6, wherein the porous member is formed by applying a liquid or gel-like foam material on the EL structure and heating the same. Method.
【請求項8】 前記多孔質部材は、前記EL構造体上に
シート状の発泡体あるいは不織布を貼着することによっ
て形成されることを特徴とする請求項6記載のELパネ
ルの製造方法。
8. The method for manufacturing an EL panel according to claim 6, wherein the porous member is formed by adhering a sheet-shaped foam or a non-woven fabric on the EL structure.
【請求項9】 前記EL構造体上に塗布される発泡体材
料中に乾燥剤が含まれていることを特徴とする請求項7
記載のELパネルの製造方法。
9. The desiccant is included in the foam material applied onto the EL structure.
A method for manufacturing the described EL panel.
【請求項10】 前記多孔質部材上に乾燥材料を含む乾
燥材層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項6
記載のELパネルの製造方法。
10. The method according to claim 6, further comprising forming a desiccant layer containing a desiccant on the porous member.
A method for manufacturing the described EL panel.
【請求項11】 前記乾燥雰囲気が、Ar,He,Ne
あるいはN2ガス雰囲気であることを特徴とする請求項
6記載のELパネルの製造方法。
11. The dry atmosphere is Ar, He, Ne.
Alternatively, the N 2 gas atmosphere is used, and the method of manufacturing an EL panel according to claim 6.
JP5183031A 1993-07-23 1993-07-23 El panel and manufacture thereof Pending JPH0737686A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5183031A JPH0737686A (en) 1993-07-23 1993-07-23 El panel and manufacture thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5183031A JPH0737686A (en) 1993-07-23 1993-07-23 El panel and manufacture thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0737686A true JPH0737686A (en) 1995-02-07

Family

ID=16128532

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5183031A Pending JPH0737686A (en) 1993-07-23 1993-07-23 El panel and manufacture thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0737686A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002280166A (en) * 2001-01-12 2002-09-27 Japan Gore Tex Inc Organic el element
JP2005243556A (en) * 2004-02-27 2005-09-08 Shin Etsu Polymer Co Ltd Drying agent for organic el devices, and its manufacturing method
KR20240019227A (en) 2021-06-07 2024-02-14 가부시키가이샤 마루에무 세이사쿠쇼 Base material for screw, screw and manufacturing method thereof

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002280166A (en) * 2001-01-12 2002-09-27 Japan Gore Tex Inc Organic el element
JP2005243556A (en) * 2004-02-27 2005-09-08 Shin Etsu Polymer Co Ltd Drying agent for organic el devices, and its manufacturing method
KR20240019227A (en) 2021-06-07 2024-02-14 가부시키가이샤 마루에무 세이사쿠쇼 Base material for screw, screw and manufacturing method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5189405A (en) Thin film electroluminescent panel
US10135030B2 (en) Organic electroluminescent display device and method of manufacturing the same
US4357557A (en) Glass sealed thin-film electroluminescent display panel free of moisture and the fabrication method thereof
US6525339B2 (en) Organic electroluminescent element
US6717052B2 (en) Housing structure with multiple sealing layers
KR101596070B1 (en) Radiation-emitting device and method for producing a radiation-emitting device
JPH0224992A (en) Film el panel
US20050023976A1 (en) Seal and sealing process for electroluminescent displays
EP0500382B1 (en) Moisture proof thin film electroluminescent panel
US6977391B2 (en) Transport balancing diffusion layer for rate limited scavenging systems
US5194027A (en) Solid seal for thin film electroluminescent display panels
JPH0737686A (en) El panel and manufacture thereof
EP0751699A2 (en) Method and device for sealing of a thin film electroluminescent device
GB2383683A (en) Sealed housing for a display device comprising two sealing layers
JPS63105495A (en) Thin film el panel
JP2001053320A (en) Solar battery module
JPS5944633B2 (en) Thin film EL panel
JPH02100289A (en) Thin film el panel
JPS598039B2 (en) Thin film EL panel
JPS5855634B2 (en) Thin film EL panel
CN1443024A (en) Organic electro luminous screen and its manufacturing method
JP2004152664A (en) Display panel, electronic apparatus comprising the display panel, and method for manufacturing display panel
JPH046272B2 (en)
JPS6010320Y2 (en) Thin film EL panel
JPS6358394A (en) Electroluminescence display device